JP3177897B2 - 液滴デポジット装置 - Google Patents

液滴デポジット装置

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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、ピエゾ電気物質からなりさらにチャンネル
の長さに垂直な配列方向で互いに間隔を置いて配置され
た多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成さ
れた底部シートを含む液滴デポジット装置、特にインク
ジェットプリントヘッドに関しており、各チャンネル
は、相対する側壁によりそして該側壁の間を延在する底
面により少なくとも一部画成され、そして少なくとも側
壁は該ピエゾ電気物質からなる。本発明は、またこの装
置を製造する方法を含む。
背景技術 これらのプリントヘッドは、（例えばヨーロッパ特許
Ａ第0277703、278590及び0364136号から）当業者に周知
であり、そしてその剪断モードで作動するピエゾ電気物
質を使用してインク室の体積を変化させそれによりイン
クの滴を放出させる。ヨーロッパ特許Ａ第0341929号
は、これらの作動器を駆動する方法を記載し、そして作
動器がそれぞれ容量性負荷を有することを明らかにして
いる。一般に理解されるように、この容量性負荷は、駆
動回路のサイズ及びコストの両者に影響する電流及び電
力を必要とする。その上、プリントヘッド自体の回路及
び電極を流れる電流は、また熱を発生させ、それは、次
にインクの粘度に影響し、多くのタイプのインクジェッ
ト装置の場合のように、インク粘度における変動は、放
出されるインクの液滴の粘度の変動を引き起こし、それ
は、次に印刷されたイメージの液滴の配置の誤りとして
それ自体明らかになることが、本発明者らにより認めら
れている。
ピエゾ電気的活性が実際に必要とされる領域（即ちチ
ャンネルの「活性」（閉じた）部分のチャンネルの壁に
おいて）にプリントヘッドのピエゾ電気物質の使用を制
限し、そしてプリントヘッドの残りの部分にさらに低い
比誘導率を有する物質を使用することにより、プリント
ヘッドの容量性負荷を低下させることが提案されてい
る。これは、さらに低い誘電性のベース中へピエゾ電気
物質の挿入物を「入れこみ（letting in）」、挿入物
及びベースの両方を通るチャンネルを形成しそして各チ
ャンネルの長さに沿って電極をデポジットすることによ
り、実際には達成できる。ピエゾ電気物質からなる各チ
ャンネル壁の部分のみが、電極を経て適用される電場に
応じてひずみ、各壁の残りの部分及び組み合わされたす
べての接続領域は、低い容量性負荷を示すに過ぎない。
ピエゾ電気挿入物の「入れこみ」は、しかし、複雑な工
程であり、それ故この技術を高価なものにする。
発明の開示 本発明は、周知の構造物より低い容量性負荷を有しし
かも製造するのに複雑ではないプリントヘッドを目的と
する。これらのプリントヘッドの製造方法も、本発明に
含まれる。
従って、本発明は、 ピエゾ電気物質からなりさらにチャンネルの長さに垂直
な配列方向で互いに間隔を置いて配置された多数の平行
且つ頂部の開いたチャンネルにより形成された底部シー
トであって、各チャンネルは、相対する側壁によりそし
て該側壁の間を延在する底面により少なくとも一部画成
され； 該ピエゾ電気物質に電場を適用しそれにより該側壁の横
方向の変位を行うための該ピエゾ電気物質及び電極から
なる少なくとも側壁； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
の頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のため
のノズルと連絡しているチャンネルであって、各チャン
ネルは液滴流体供給手段と連絡するためにチャンネル軸
と平行な側面で開いた一方の部分並びにチャンネル軸に
平行なすべての側面で閉じた他方の部分を有する 液滴デポジット装置において、 各チャンネルの前記の一方の部分の該ピエゾ電気物質か
らなるそれぞれの側壁が各チャンネルの前記の一方の部
分の該側壁の横方向の変位が生じないように作動不能で
ある ことを特徴とする液滴デポジット装置からなる。
チャンネルの「開いた」部分の壁の横方向の変位が不
必要であるばかりでなく、これら「開いた」部分の壁を
作動不能にすることにより、全体の容量性負荷の低下
が、ピエゾ電気物質の均一な層からなるベースにチャン
ネルを形成する実質的に従来の技術に従って製造された
プリントヘッドにおいて達成できることが、本発明者に
より認められた。上記の複雑な製造方法は、それ故、避
けることができる。
第一の好ましい態様では、本発明は、その層に垂直な
方向に極性を有する（poled）ピエゾ電気物質の層を有
しそしてチャンネルの長さに垂直な配列方向に互いに間
隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルによ
り形成された底部シートであって、各チャンネルは相対
する側壁によりそして該側壁の間に延在する底面により
少なくとも一部画成され、少なくとも側壁は該ピエゾ電
気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
の頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のため
のノズルと連絡しているチャンネル； 液滴流体供給手段と連絡するためにチャンネル軸と平行
な側面で開いた一方の部分並びにチャンネル軸に平行な
すべての側面で閉じた他方の部分を有する各チャンネ
ル； 該側壁の相対する側面に設けられ、それにより該作動器
と組み合わされたチャンネルから液滴の排除を行うため
の剪断モード作動器を形成する電極であって、各電極は
チャンネルの長さに実質的に延在している ことからなる液滴デポジット装置において、 該チャンネルの前記の一方の部分において、ピエゾ電気
物質のそれより低い比誘電率を有する物質の層が、該側
壁の相対する側面に設けられた該電極の少なくとも一つ
と該ピエゾ電気物質との間にはさまれている ことを特徴とする液滴デポジット装置からなる。
この装置は、上述のような「入れこみ」ピエゾ電気挿
入物に伴う複雑さなしに、従来のデザインよりも低い静
電容量を達成する。インク供給手段に対して開いたチャ
ンネルの前記の一方の部分では、壁は変位が可能である
必要はない。その結果、この部分の電極は、ピエゾ電気
物質より低い比誘電率を有しそれによりピエゾ電気物質
のその部分を作動不能にする物質の層によりチャンネル
の壁のピエゾ電気物質から分離できる。この一方の部分
のチャンネルの壁の相対する側面の電極間の得られる容
量性負荷は、ピエゾ電気物質単独（チャンネルの前記の
他の「閉じた」部分の場合のように）で得られるのより
も低く、それによりプリントヘッドの全体の容量性負荷
の低下に寄与する。
特別な態様によれば、前記の一方及び他方の部分は、
それぞれ、同一平面上の頂部表面を有しそして実質的に
一定の高さである側壁により少なくとも一部画成され、
それにより前記の一方及び他方の部分のそれぞれの側壁
の高さは実質的に等しい。この態様は、特に製造が容易
であり、少なくともチャンネルの前方部分に必要なチャ
ンネルの機械加工の深さに変動がない。この態様では、
チャンネルの前記の他方の部分は、ノズルまで一定の深
さで延在できる。これとは無関係に、前記の一方及び他
方の部分は、隣接する。
好ましくは、側壁の相対する側面に設けられる電極
は、該底面から離れて各チャンネルの側壁の頂部に位置
する。この配置は、周知の「角度のついたメッキ（angl
ed plating）」の原理を使用してデポジットするのに
特に適している。特に、電極は、有利には、前記の他方
の部分においてそれぞれのチャンネルの深さのほぼ半分
にわたって延在し、一方前記の一方の部分では、電極
は、好ましくは、それぞれのチャンネルの壁の高さの10
％以下で延在する。
該チャンネルのそれぞれが、前記の一方又は他方の部
分の何れかのチャンネル壁より低い高さのチャンネル壁
を有するさらなる部分を含み、そして電極が、相対する
チャンネル壁並びに該チャンネルのそれぞれの前記のさ
らなる部分の底部に設けられる場合、該電極及び各チャ
ンネルの前記の相対する壁及び底部の間にはさまれるピ
エゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質の層
が設けられる。このさらなる部分の電極は、チャンネル
の電極と外部のドライバチップとの間の接続点として働
く。これらの電極と高さの低いチャンネル壁との間の低
い誘電性物質の層は、これらの領域の容量性負荷を低下
させる。
本発明のこの態様は、また液適デポジット装置を製造
する方法からなり、それは、（ａ）ピエゾ電気物質の層
からなる底部シートに多数の平行なチャンネルを形成す
る段階；（ｂ）該チャンネルのそれぞれの第一の部分の
相対する側壁の少なくとも一つに物質の層をデポジット
し、その物質はピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率
を有し、該チャンネルのそれぞれの第二の部分の相対す
る側壁は該物質を有しないままである段階；（ｃ）該チ
ャンネルの前記の第一及び第二の部分の相対する側壁に
電極物質をデポジットする段階を含む。また、この方法
は、それ自体周知であるデポジット方法を本発明により
使用することによって、複雑さなしに低静電容量プリン
トヘッドを製造できる。
有利には、方法は、該チャンネルのそれぞれの前記の
第一の部分の相対する側壁の少なくとも一つに物質の該
層をデポジットする前に該チャンネルのそれぞれの前記
の第二の部分をマスクし、次に該チャンネルの前記の第
一及び第二の部分の相対する側壁に電極物質をデポジッ
トする前に前記の第二の部分のマスクを取ることを含
む。
電極物質は、有利には、該側壁に向けられそしてその
チャンネルの相対する表面へ傾斜した金属蒸気のビーム
によりデポジットされる。
本発明のこの第一の態様は、また、その層に垂直な方
向に極性を有しそしてチャンネルの長さに垂直な配列方
向で互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開いたチ
ャンネルにより形成されたピエゾ電気物質の層からなる
底部のシートであり、各チャンネルは該側壁間を延在す
る底面及び高所を有する相対する側壁により少なくとも
一部画成され、少なくとも側壁はピエゾ電気物質からな
り；該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合し
てその頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート；液適流
体を供給されそしてそれからの液適の放出のためのノズ
ルと連絡しているチャンネル；チャンネル軸に平行なす
べての側面で閉じた部分を有する各チャンネル；該側壁
の少なくとも相対する側面に設けられそれにより該作動
器と組み合わされたチャンネルから液適排除を行うため
の剪断モード作動器を形成する電極；各電極はチャンネ
ルの長さを実質的に延在することからなる液滴デポジッ
ト装置において、ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電
率を有する物質の層が、各チャンネルの該部分以外の領
域の該電極の少なくとも一つと該ピエゾ電気物質との間
にはさまれることを特徴とする液滴デポジット装置をカ
バーする。
本発明の第一の態様は、また、ピエゾ電気物質からな
りそしてチャンネルの長さに垂直な配列方向に互いに間
隔をおいた多数の平行且つ頂部のあいたチャンネルによ
り形成された底部シートを有し、各チャンネルは該側壁
間に延在する高所及び底面を有する相対する側壁により
少なくとも一部画成され、少なくとも側壁は該ピエゾ電
気物質からなり；該チャンネルの該底面に面しそして該
側壁に結合してその頂部で該チャンネルを閉じる頂部シ
ート；液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出
のためのノズルと連絡しているチャンネル；チャンネル
軸に平行なすべての側面で閉じた部分を有する各チャン
ネル；該側壁で該ピエゾ電気物質に電場を適用するため
の電極を有する液滴デポジット装置において、各チャン
ネルの該部分以外の領域で、ピエゾ電気物質のそれより
低い比誘電率を有する物質の層が、該側壁の該ピエゾ電
気物質と該電極の少なくとも一つとの間にはさまれるこ
とを特徴とする液滴デポジット装置を含む。
同様な有利さは、本発明の第二の好ましい態様により
達成される。これは、その層に垂直な方向に極性を有す
るピエゾ電気物質の層からなりそしてチャンネルの長さ
に垂直な配列方向に互いに間隔をおいた多数の平行且つ
頂部の開いたチャンネルにより形成された底部シートで
あって、各チャンネルは同一平面上の頂部の表面を有す
る相対する側壁によりさらに該側壁間に延在する底面に
より少なくとも一部画成され、少なくとも側壁は該ピエ
ゾ電気物質からなり；該チャンネルの該底面に面しそし
て該側壁に結合してその頂部で該チャンネルを閉じる頂
部シート；液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の
放出のためのノズルと連絡しているチャンネル；液滴流
体供給手段と連絡するためのチャンネル軸に平行な側壁
で開いている一方の部分、並びにチャンネル軸に平行な
すべての側面で閉じられた他方の部分を有する各チャン
ネル；該側壁の相対する側面に設けられそれにより作動
器と組み合わされたチャンネルからの液滴の排除を行う
ための剪断モード作動器を形成する電極であって、各電
極はチャンネルの長さに実質的に延在する液滴デポジッ
ト装置において、各チャンネルの前記の一方の部分に設
けられた電極は、各チャンネルの前記の他方の部分に設
けられた電極よりそれぞれの側壁の高さのより少ない割
合にわたって延在することを特徴とする液滴デポジット
装置からなる。
この装置は、また、簡単なやり方で従来のデザインよ
り低い静電容量を達成する。インク供給手段に開いたチ
ャンネルの前記の一方の部分において、壁は変位可能で
ある必要はなく、その結果、この部分の電極は、チャン
ネルの閉じた部分の電極に作動電圧を送るのに十分であ
るが、従って局所的に作動不能である開いた部分のピエ
ゾ電気物質を駆動するには不十分であるチャンネル壁の
高所の（より少ない）部分にわたって延在することのみ
を要する。閉じた部分では、電極は、チャンネル壁を移
動させるのに十分な大きな割合で壁を下方に延在させ
る。このやり方で、少なくとも前記の一方（開いた）の
部分のチャンネル壁の容量性負荷は、従来のデザインに
比べて低下し、全体としてプリントヘッドの静電容量を
低下させる。
特別な態様では、前記の一方及び他方の部分は、それ
ぞれ、実質的に一定の高さの側壁により少なくとも一部
画成され、それにより前記の一方及び他方の部分のそれ
ぞれの側壁は実質的に等しい。この態様は、製造するの
に特に容易であり、少なくともチャンネルの前方の部分
に要求されるチャンネルの機械加工の深さに変動は存在
しない。この態様では、チャンネルの前記の他方の部分
は、ノズルまで一定の深さで延在できる。これとは無関
係に、前記の一方及び他方の部分は隣接できる。
好ましくは、側壁の相対する側面に設けられた電極
は、該底面から離れた各チャンネルの側壁の頂部に配置
される。この配置は、周知の「角度のついたメッキ」の
原理を使用してデポジットするのに特に適している。特
に、前記の一方の部分では、電極は、好ましくは、それ
ぞれのチャンネルの壁の高所の10％以下にわたって延在
する。
この第二の態様による本発明は、前記の一方及び他方
のチャンネルの部分の長さの比が約２以上である態様に
おいて特に有利である。
本発明は、また、この態様に対応する製造方法を含
み、それは、（ａ）ピエゾ電気物質の層からなる底部シ
ートに同一平面上の頂部の表面を有するチャンネル壁に
より分離された多数の平行なチャンネルを形成する段
階；（ｂ）それぞれの側壁の高所の第一の範囲（propor
tion）にわたって該チャンネルのそれぞれの第一の部分
の相対する側壁上に電極物質をデポジットする段階；
（ｃ）それぞれの側壁の高所の第二の範囲にわたって該
チャンネルのそれぞれの第二の部分の相対する側壁上に
電極物質をデポジットし、前記の第一及び第二の範囲は
異なる段階を含む。
再び、この方法は、それ自体周知であるようなデポジ
ット方法を本発明により使用することによって、複雑さ
なしに低静電容量プリントヘッドを製造できる。
好ましい態様によれば、方法は、それぞれの側壁の高
所の第一の範囲にわたって該チャンネルのそれぞれの前
記の第一の部分の相対する壁に電極物質をデポジットす
る前に該チャンネルのそれぞれの前記の第二の部分をマ
スクし、次に該チャンネルのそれぞれの前記の第一及び
第二の部分の相対する側壁に電極物質をデポジットする
前に前記の第二の部分のマスクを取ることを含む。この
やり方は、実行するのに簡単でありそしてデポジット段
階間の真空を止めることを要しない。有利には、第一の
範囲は、前記の第二の範囲より大きく、第二の範囲は好
ましくは壁の高さの10％以下である。これは、該壁に向
けられそしてそのチャンネルの相対する表面に傾斜した
金属蒸気のビームによる物質デポジットの従来の技術を
本発明で使用することにより達成でき、前記の第一の部
分のデポジットの角度は、前記の第二の部分のデポジッ
トの角度より鋭い。
図面の簡単な説明 本発明は、図に関して例により記述されるだろう。
図１は、本発明が適用できる従来のインクジェットプ
リントヘッドの一つの形の透視図である。
図２は、図１のＡ−Ａの線に沿ってとられた図１のプ
リントヘッドの断面図である。
図３（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ線Ｂ−
Ｂ、Ｃ−Ｃ及びＤ−Ｄに沿ってとられた図１のプリント
ヘッドの部分の断面図である。
図４は、図２のそれに対応しそして本発明の第一の態
様を組み込んだ断面図である。
図５（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、図４の線Ｂ′−
Ｂ′、Ｃ′−Ｃ′及びＤ′−Ｄ′に沿ってとられそして
図３（ａ）−（ｃ）の断面に対応する断面図である。
図６は、図２のそれに対応しそして本発明の第二の態
様を組み込んだ断面図である。
図７（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、図６の線Ｂ″−
Ｂ″、Ｃ″−Ｃ″及びＤ″−Ｄ″に沿ってとられそして
図３（ａ）−（ｃ）の断面に対応する断面図である。
図８は、本発明の第二の態様によるチャンネル壁を通
る断面の概略図である。
図９は、図６に対応する断面図でありそして本発明の
第二の態様による方法の段階を説明する。
図10は、本発明を組み込んだ他のプリントヘッドのチ
ャンネルの縦の軸に沿ってとられた断面図である。
発明を実施するための最良の形態 図１−３は、例えば米国特許Ａ第5016028号から知ら
れしかも剪断モードで操作するピエゾ電気壁作動器を組
み込んだ代表的なインクジェットプリントヘッド８を示
す（それぞれ透視及び断面の図で）。それは、その接続
トラック14を示す部分のみが画かれている回路板12上に
設けられたピエゾ電気物質のベース10からなる。
多数の平行な溝が、例えば米国特許Ａ第5016028号に
記載されているように、ピエゾ電気物質の層中に延在す
るベース10に形成される。各溝は、比較的深くて均一に
同一平面上の頂部表面を有する相対する作動器の壁22に
より分離されたインクチャンネル20を設ける前方部分、
並びに比較的浅くて接続トラックのための配置を提供す
る後方部分からなる。前方及び後方の部分は、チャンネ
ルの「ランアウト（runout）」部分Ｒにより接続され、
その半径は、チャンネルを形成するために使用される切
断ディスクの半径により決定され（そして例えば前記の
ヨーロッパ特許Ａ第0364136号に論じられている）。
図３に画かれているように、溝の形成後、金属メッキ
がそのなかにデポジットされて、それが壁の頂部からチ
ャンネルの高さの約半分に遅延している、インクチャン
ネル20の相対する面上に電極26が前方部分で設けられ
（図３（ａ）及び（ｂ））、そして後方部分ではデポジ
ットされて各チャンネル20の電極に接続する接続トラッ
ク24を提供する（図３（ｃ））。壁の頂部は、トラック
24及び電極26が各チャンネルについて絶縁された作動器
電極を形成するようにメッキ金属がないようにする。こ
のメッキ技術は、例えば前記のヨーロッパ特許Ａ第0364
136号から当業者に周知である。
デポジットそして（任意に）インクからの電極パーツ
の電気的な絶縁のための不動態層によるベース10の被覆
後、ベース10は、図１に示されるように、回路板12上に
設けられそして結合されたワイヤ接続28は、回路板12上
の接続トラック14へベース部分10上の接続トラック24を
接続する。
カバー16が作動器壁22の頂部に結合されそれにより多
数の「閉じた」チャンネル20を形成することにより確保
される。一端では、各チャンネルは、補充インクの供給
を受けることができる（示された例では、これはカバー
16の窓27を経てなされる）。各チャンネルの他端では、
プリントヘッドに結合したノズル板17に（有利にはUVエ
キシマーレーザーアブレーションにより）形成できるノ
ズル30が配置される。
例では、プリントヘッドは、窓27を経てインク供給か
らインクを伝達することにより操作され、それからそれ
はインクチャンネル20に送られてノズル30に達する。例
えばヨーロッパ特許Ａ第0277703号から知られているよ
うに、チャンネル壁の何れかの側面上の電極への電圧波
形の適切な適用は、壁間に生ずる電位差を生じ、それは
次にチャンネル壁の極性を有するピエゾ電気物質を剪断
モードで変形させ、そして壁をそれぞれのチャンネルに
関して横方向に偏向させる。インクチャンネルと界接し
ている壁の一方又は両者は、従って偏向できる。
チャンネル中への壁の運動は、チャンネルの体積を減
少させそしてそれぞれベース及びカバーにより頂部及び
底部で閉じられさらにそれぞれのチャンネルの壁により
両方の側面で閉じられたチャンネルの長さに沿ってイン
クの圧力を確立する。この長さは、チャンネルの「活
性」長さとして知られており、図１及び２では「Ｌ」に
より表示される。圧力の消滅は、インクの液滴をノズル
から排除する。
上記のように、記述された種類のプリントヘッドは、
容量性負荷を提供し、前方の部分（図３（ａ）及び３
（ｂ）に対応する）では、コンデンサがチャンネルの壁
及び何れかの側面に位置する電極により形成され、一方
チャンネルの後方部分ではそれは、（非常に低下した）
型ばかりか接続トラック24と組合わさって容量性効果に
寄与するピエゾ電気ベースであることを理解するだろ
う。
図４は、図２に対応しそして本発明の第一の態様によ
るプリントヘッドを画いている断面図である。図５は、
対応する断面図を示す。図４のプリントヘッドの「活
性」長さの構造が従来のヘッドのそれと同じままであ
り、電極26′は壁のほぼ半分下方に延在することが分か
るだろう。
しかし、インク供給窓27へ一面で開いておりそのため
チャンネルの「活性」長さの一部でない十分の深さのチ
ャンネルのその部分（Ｎ′により示される）では、電極
26″は壁の頂部そのものの部分に沿ってのみ延在する。
これは、活性チャンネル部分の電極26′へ接続トラック
24から作動信号を運ぶのに十分であり、しかも（図５
（ｂ）から明らかなように）チャンネルの電極の間に位
置するピエゾ電気物質の領域を減少することによりチャ
ンネルのこの部分の容量性負荷をかなり低下させる（こ
れは、相対比誘電率Ｋを有する物質の厚さＬにより分離
される面積Ａの板を有する平行な板のコンデンサの静電
容量ＣがＣ＝K.eo.A/L（但し、eoは自由空間の誘電率で
ある）により与えられる確立された原理から導かれ
る）。
減少された深さの電極26″は、また、それが従来のや
り方で形成される接続トラック24と連絡する「ランアウ
ト」部分Ｒで有利に使用される。
上述の異なる高さのトラック26′、26″の製造に関し
て、これは金属蒸気デポジットにより有利に（しかしそ
ればかりでなく）達成される。この技術の原理は、ヨー
ロッパ特許Ａ第0364136号に十分に記載され、そのため
本明細書では論じない。チャンネル状のピエゾ電気ボデ
ィは、最初に、遮蔽された溝の後方の部分Ｃ′を除くす
べてのボディの平面に垂直に向けられた即ちチャンネル
の側壁に実質的に平行な金属蒸気ビームに曝される。図
５（ｃ）で点線60により示されるように、金属はそれに
よりデポジットされてワイヤ結合工程に抵抗するのに十
分な厚さ、概して２−４μｍの接続トラック24を形成す
る。
プリントヘッドの活性長さＬを形成するためのチャン
ネルのこれらの部分の遮蔽は、次に除かれ、そしてチャ
ンネル状ボディ及び金属蒸気ビームは、電極が、壁のほ
ぼ半分の高さ（125μｍという代表的なメッキ深さを生
ずる）でしかも金属蒸気ビームに垂直に整えられた表面
上１μｍのデポジットに概して等しい厚さで、部分Ｌの
チャンネル壁上にデポジットされるように、図５（ａ）
に示される位置に相互に回転する、相対的な回転は、各
チャンネルの両方の側壁を被覆するために２回行う必要
があることを理解するだろう。工程のこの部分は、ヨー
ロッパ特許Ａ第0364136号に開示された電極デポジット
方法に対応する。
最後に、チャンネルの残り即ち部分Ｎ及びＲの遮蔽は
除かれ、そしてチャンネル状のボディ及び金属蒸気ビー
ムは、図５（ｂ）に示されるより浅い角度で再び相互に
回転し、それにより以前の段階で活性領域にデポジット
した電極26′の頂部に沿ってまた部分Ｒ、Ｎでより浅い
電極26″（概して深さ25μｍ）をデポジットする。チャ
ンネルの活性領域では、浅い電極は、活性領域の長さに
沿って伝導を助ける（これは、高い抵抗を有する電極物
質が使用される場合特に有利である）。再び、さらなる
回転が、他の壁の頂部に沿ってデポジットをするのに必
要とされる。
上記の方法は、デポジットの各段階で、デポジットの
パラメータが、メッキされる特別な領域で最適の電極特
性を達成するように調整できるという、付随する有利さ
を有する。従って、デポジットの最初の段階は、ワイヤ
結合工程中セラミック基体に付着したままの接続トラッ
クを単に形成するのに十分な品質の金属の層を（最小の
時間で）生成するように、デポジットをさらに早い速度
で実行できる。一方、チャンネルの活性長さにおける電
極のデポジットの第二の段階は、チャンネルの活性部分
の壁上にデポジットされた電極が電気的な連続性を示す
ことを確実にするように、さらに遅いデポジット速度で
実施できる。浅い電極26″がデポジットされる最後の段
階は、この電極が垂直に近い角度でデポジットされると
いう事実を示すさらに早いデポジット速度で再び実施で
きる。
遮蔽は、メッキの良好なエッジの画成を達成するよう
に、好ましくはチャンネル状部品10に近く、チャンネル
状ベース10と金属蒸気源との間に置かれる物理的なマス
クにより達成できる。マスクは、理想的には、真空系で
使用するのに好適な物質（例えばポリイミド又は金属）
から構築される。各マスクは、メッキされるべき領域に
対応してそれに形成される孔を有し、そして上記の方法
に従って、それぞれが次にデポジットの適切な段階後開
けるように、引張により、又はチャンネル状ベースから
それらを静かに動かすことにより、又はそれらを蝶番式
に動かすことによりの何れかで除くことができる。好ま
しくは、各マスクは、さもなければ連続的に形成される
電極層間の酸化物層の形成を生ずるかもしれない真空室
を開けることなく除かれる。
電極デポジット方法の別法は、最初に、チャンネルの
全長さに沿って浅い電極をデポジットすることを含む。
チャンネルの不活性部分「Ｎ」を遮蔽するマスクは、次
にヨーロッパ特許Ａ第0364136号から周知の従来のやり
方で、チャンネルの浅い後方の部分「Ｃ」の接続トラッ
ク及びチャンネルの活性成分「Ｌ」の壁の半分の深さの
電極をデポジットする前に、室中に導入される。
壁の頂部上の望まない金属のデポジットは、例えばヨ
ーロッパ特許Ａ第0397441号から周知のように、熱可塑
性の「持ち上げるだけで取り外せる（lift off）」フ
ィルムにより、又はヨーロッパ特許Ａ第0364136号にお
けるようにデポジット後ラッピングすることにより避け
ることができる。例えば電極26′又は26″の次のデポジ
ットにおける接続トラックのような領域のさらなるデポ
ジットは、有利には、接続トラックの必要な最初のデポ
ジット厚さを計算するとき、考慮に入れることになる
（例えば、２μｍに過ぎない電極物質が溝の後方の部分
「Ｃ」に最初にデポジットされる必要があり、次のデポ
ジット段階における後方の部分でデポジットされる電極
物質は、３−４μｍの最終の目標とする接続トラックの
厚さを生ずる）。
図４及び５は、ピエゾ電気物質の層に垂直にそして単
一の方向に極性を有するピエゾ電気物質の壁を有するプ
リントヘッド（ヨーロッパ特許Ａ第0354136号に開示さ
れているいわゆる「カンチレバ構造」）に適用されると
きの本発明の前記の態様を画いている。しかし、本発明
は決してこれらの構造に制限されず、そしてヨーロッパ
特許Ａ第0277703号から知られるように、二つの相対す
る方向に極性を有するピエゾ電気物質による「山形（ch
evron）」構造を有するプリントヘッドに等しく適用さ
れる。この後者の構造は、「カンチレバ」構造より低い
操作電圧を要する利点を有するが、容量性負荷がより高
い不利を有する。本発明の使用は、そのため、非常に適
切なことになる。例えばヨーロッパ特許Ａ第0277703号
から理解できるように、これらの構造は、壁の全高さに
延在するようにチャンネルの活性部分（Ｌ）に電極を必
要とする。不活性部分では、浅い電極の高さは、カンチ
レバ構造に使用されるそれと同じ、即ち概して25μｍ及
び／又は壁の高さの20％以下である。WO92/09436号は、
それから「山形」構造が「カンチレバ」デザインに関し
て上述したのと本質的に同じ製造技術を使用して製造で
きるラミネートを記述している。
図６は、図２に対応しそして本発明の他の態様による
プリントヘッドを画いた断面図であり、図７は、それに
対応する断面図を示す。先の態様によるように、プリン
トヘッドの「活性」長さの構造は、従来のヘッドのそれ
と同じままであるが、電極26は、示された「カンチレ
バ」作動器の場合では、ピエゾ電気物質の壁をほぼ半分
下方に延在する（そして「山形」スタイルの作動器の場
合にはピエゾ電気物質の壁を全部下方に延在する）。
対照的に、インク供給窓27に一面で開いておりそして
そのためチャンネルの「活性」長さの一部ではない深さ
全部に及び（full−depth）チャンネルの部分（Ｎ）
は、ピエゾ電気物質のそれよりも低い比誘電率を有する
物質40の層が電極26及びチャンネル壁22のピエゾ電気物
質の間にはさまれる点で従来の構造とは異なる。これ
は、図７（ｂ）の断面図で画されている。
チャンネルのこの部分のチャンネル壁の容量性負荷
は、従来のデザインの単一のコンデンサよりむしろ直列
の３個のコンデンサにより代表できる。図８で概略的に
画されているように、コンデンサC1は、それ自体壁22の
ピエゾ電気物質により形成されるコンデンサC2に加えて
壁の何れかの側面上で層40にわたって形成される。ピエ
ゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質を選ぶ
ことにより、直列のコンデンサC1及びC2の得られる合計
の静電容量は、ピエゾ電気物質単独のそれより低いよう
に製造できる。（第一の近似に、C1の低い値が、Ctotal
の低い値を与えるだろうことが分かることから、合計の
静電容量は、1/Ctotal＝1/C2＋2/C1により与えられ
る）。
図７（ｃ）から明らかなように、この技術は、有利
に、ランアウト領域Ｒにおけると同様に接続トラックの
領域Ｃに適用できる。
本発明の先の態様におけるように、この態様は、それ
自体周知のデポジット技術を本発明で使用することによ
り行うことができる。ピエゾ電気物質より低い比誘電率
を有する物質として、窒化珪素が有利に使用できる。こ
れは、約８の比較比誘電率を有し（鉛ジルコニウムチタ
ネート（PZT）のようなピエゾ電気物質に関する約3600
の値と比較したとき）、そしてチャンネル電極用の保護
的不動態被覆としてインクジェットプリントヘッドで好
都合に使用される。
この物質は、マスクされたチャンネルの目的とする活
性部分Ｌを保持しつつ、例えばWO95/07820号により周知
の技術を使用してチャンネル壁にわたってデポジットで
きる。得られる窒化珪素の層は、概して、0.3−0.5μｍ
の範囲内の厚さを有する。デポジット工程は、導入され
る低い誘電性物質がチャンネルの活性長さをカバーする
ことを防ぐように整えられた単一のマスクのみを必要と
する。図９に示されるように、マスク70は、活性領域Ｌ
の壁22の頂部と密に接触しなければならず、そして活性
部分Ｌのわずか上（概してほぼチャンネルの深さ）に延
在しなければならない。それは、使用されるデポジット
技術が、導入する低い誘電性物質（矢印80により示され
る）を突き出す部分72の下に浸透させる（事実、デポジ
ット方法は、ピエゾ電気物質の不規則な表面を満たすた
めにこの性質を意識的に選択する）からである。その
上、マスク70は、デポジット工程中加熱及び歪みを避け
るために、実質的な厚さを有しそして熱的に伝導性であ
る必要がある。従って、それは概して２−3mmの厚さの
アルミニウムから製造される。
電極は、次に上記の従来のやり方でチャンネルの全長
さの上にデポジットされる。事実、不動態物は、チャン
ネル壁ののこでひかれた表面よりも電極のデポジットに
よりさらに滑らかな表面をもたらすものと考えられ、そ
の結果、チャンネルの不活性部分の電極はより疲労しな
い。
本発明の先の態様によるように、熱可塑性の「持ち上
げるだけで取り外せる」フィルム又はラッピングの使用
は、チャンネル壁の頂部の上にデポジットした電極及び
低い誘電性物質を除くのに満足しうることが明らかにな
っている。また、本発明は、ピエゾ電気物質がピエゾ電
気物質の層に垂直な方向に極性を有している場合、「カ
ンチレバ」、「山形」又は任意の他のプリントヘッド構
造に等しく適用可能である。
多くの別の絶縁物質及び／又は別のデポジット技術
が、低い誘電性層について窒化珪素の代わりに使用で
き、酸化物特に酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化アル
ミニウム及びダイアモンド様炭素がある。物質を適切に
選択すると、低い誘電性層及びチャンネル電極をデポジ
ット装置の単一の部品を使用してデポジットさせること
ができ、製造時間（一方の機械から他の機械にチャンネ
ル状の部品を移動させる必要がない）及び設備する装置
の明らかな経済性をもたらす。例えば、窒化アルミニウ
ムの低い誘電性層を、窒素イオン又はフリーラジカルに
より部品に衝撃を与えている間、アルミニウムを蒸発す
ることにより室中のチャンネル状の部品上にデポジット
させる。室の次の排気は、蒸発するアルミニウムを、前
記のヨーロッパ特許Ａ第0364136号から周知のやり方で
同じ室中でチャンネル壁上の電極としてデポジットさせ
るだろう。
上記の態様の変動が、本発明の範囲内で可能であるこ
とは、理解されるだろう。例えば、前記の態様は、電極
とチャンネル側壁との間にはさまれた低い誘電性物質の
層と浅い電極とをともに有するチャンネルの不活性部分
「Ｎ」と組み合わせて使用できる。別に、本発明の前記
の態様の何れか又は両者は、他の静電容量低下の手段と
組合わさって使用できる。
チャンネルの活性及び不快性の長さの相対的なディメ
ンジョンは、また図に示されたものから変化でき、ヨー
ロッパ特許Ａ第0422870号に記載されたもの（そして低
い容量性負荷が高い駆動周波数からみて特に重要である
場合）の高い周波数の操作は、10−1mm例えば4mmの範囲
の低い末端における活性チャンネル長さ（Ｌ）を必要と
し、一方チャンネルの縦の方向に開いたマニホールドの
ディメンジョンは、現存のインク供給構造などに適合す
るために、過剰の圧力低下なしに十分なインクの流れを
行わせるのに実質的に一定（例えば10mm）のままである
ことを必要とする。従って、要するに、本発明は、約２
以上の不活性の深さ全部に及ぶ長さ対活性の深さ全部に
及び長さの比を有するプリントヘッドにおいて特に有利
である。
このプリントヘッドの他の重要なディメンジョンは、
概して、以下の通りである。全チャンネル深さ300μ
ｍ、チャンネルの活性部分の電極深さ150μｍ、深さ全
部に及ぶ部分のチャンネル壁幅（Ｌ、Ｎ）62μｍ、接続
トラック部分の長さ（Ｃ）7.4mm、接続トラック部分の
チャンネル壁幅47μｍ、作動器の全長さ（Ｃ＋Ｒ＋Ｎ＋
Ｌ）11.5mm、活性長さ（Ｌ）1.5mm。
これらのデザインにおいて、本発明の使用は、図で示
された種類のプリントヘッドにおけるよりもプリントヘ
ッドの容量性負荷が比例して大きく低下することは理解
されるだろう。例えば、本発明の一つの態様によれば、
上記のディメンジョンを有する単一のチャンネル壁の不
活性部分における深さ25μｍの浅い電極を使用すること
は、一定の高さ150μｍの電極を使用して同じ壁に関す
る540pFの値と比較して、354pFの壁に関する全静電容量
を生ずる。本発明の他の態様による低い誘電性不動態フ
ィルムの使用は、190pFの合計の壁の静電容量を与える
が、一方組み合わせた両方の態様の使用は、140pFの壁
の静電容量の値を与えるだろう。この値は、壁の活性部
分のみにより表示されるそれに極めて近い（129pF）。
本発明は、図に示されたプリントヘッド構造に制限さ
れない。特に、液滴流体は、チャンネル軸に平行な任意
のチャンネルの側面を経て、例えばヨーロッパ特許Ａ第
0364136号に示されるようなチャンネルのベースの開口
を経て供給できる。同様に、ノズルは、図に示されるよ
うなチャンネル軸上に配置される必要はなく、カバー又
はベース（いわゆる「トップ・シューター」及び「ボト
ム・シューター」のデザイン）又は当業者に知られてい
るような他の場所に配置できる。そして、本発明による
装置は、本明細書で示された方法により製造することに
必ずしも制限される必要はない。例えば、電極及び／又
は低い誘電性層の選択的適用は、チャンネル状のベース
への頂部カバーの結合後考慮することができる。別に、
チャンネル状ベース及び頂部層は、別々のアセンブリに
組み込まれ、そのそれぞれは別々に製造段階にかけられ
る。
本発明は、例えばWO95/18717号に記載された「ウェー
ハー・スケール」製造技術及び構造に適用可能である。
不動態化及び電極デポジットマスクは、従って必ず適合
されるだろう。インクがチャンネルの側面からよりむし
ろ末端から（例えば、図10に示されるようなチャンネル
の縦の軸に垂直に走るマニホールドトラフから）供給さ
れる構造では、低い誘電性物質は、チャンネルの閉じた
（「活性」）部分130の外側にある領域120のチャンネル
状の部品110と電極物質105との間にはさまれているに過
ぎない。
本発明は、また上記の構造に異なるやり方で極性をあ
たえるピエゾ電気物質を含みそしてそれに応じて作動電
極の異なる配置を有する構造に適用可能である。この構
造の例は、米国特許Ａ第5235352号に示され、それは、
チャンネルの配列方向に平行に極性を与えるピエゾ電気
物質を含み、そしてそれら自体壁に位置する電極によっ
て極性の方向に垂直な電場にかけられるチャンネル分離
壁を有する。低い誘電性層は、チャンネルの不活性且つ
閉じていない部分に対応する壁の部分のピエゾ電気物質
と電極との間に適用される。本明細書（請求の範囲を含
む）に開示されたそれぞれの特徴及び／又は図に示され
たそれぞれの特徴は、他の開示及び／又は画かれた特徴
に無関係に、本発明に組み込まれる。
要約書のテキストは、明細書の一部として以下に繰り
返される。
ドロップ・オン・デマンドのピエゾ電気プリントヘッ
ドは、その長さに沿う電極（26）を有するピエゾ電気物
質（10）により画成されるチャンネル壁を有する。イン
ク供給導管に開いたチャンネルの部分では、ピエゾ物質
は、例えば電極の幅を減少させることにより、又は電極
とピエゾ物質との間に低い比誘電率の物質（40）をはさ
むことにより、局所的に作動不能にされる。低い容量性
負荷が生ずる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フィリップス，クリストファー デビッ ド イギリス国ベッツ エスジー19 ２イー エフ サンディ レスリングワース ビ クトリア クローズ 10 (72)発明者 テンプル，ステフェン イギリス国ケンブリッジ シービー３ ０エルエヌ ガートン ロード 66 (56)参考文献 特開 平７−132591（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−101056（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−207331（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16

Claims (28)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ピエゾ電気物質を有しさらにチャンネルの
    長さに垂直な配列方向で互いに間隔を置いて配置された
    多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成され
    た底部シートであって、各チャンネルは、相対する側壁
    によりそして該側壁の間を延在する底面により少なくと
    も一部画成され； 該ピエゾ電気物質に電場を適用しそれにより該側壁の横
    方向の変位を行うための該ピエゾ電気物質及び電極から
    なる少なくとも側壁で当該各電極はチャンネルの長さに
    実質的に延在する様に構成されており； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
    の頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれらの液滴の放出のための
    ノズルと連絡しているチャンネルであって、各チャンネ
    ルは液滴流体供給手段と連絡するためにチャンネル軸と
    平行な側面で開いた一方の部分並びにチャンネル軸に平
    行なすべての側面で閉じた他方の部分を有する 液滴デポジット装置において、 各チャンネルの前記の一方の部分の該ピエゾ電気物質か
    らなるそれぞれの側壁が、各チャンネルの前記の一方の
    部分の該側壁の横方向の変位が生じないように作動不能
    である ことを特徴とする液滴デポジット装置。
  2. 【請求項２】チャンネルの一方の部分において、ピエゾ
    電気物質のそれよりも低い比誘電率を有する物質の層
    が、ピエゾ電気物質を作動不能にするために該壁の相対
    する側面上に設けられた電極の少なくとも一つとピエゾ
    電気物質との間にはさまれる請求項１の液滴デポジット
    装置。
  3. 【請求項３】各チャンネルの前記の一方の部分に設けら
    れる電極が、ピエゾ物質を前記の一方の部分で駆動しそ
    れによりそれが作動不能にされるように、各チャンネル
    の前記の他方の部分に設けられる電極よりもそれぞれの
    側壁の高所のより少ない割合にわたって延在する請求項
    １の液滴デポジット装置。
  4. 【請求項４】その層に垂直な方向に極性を有するピエゾ
    電気物質の層を有しそしてチャンネルの長さに垂直な配
    列方向で互いに間隔をおいた多数の平行且つ頂部の開い
    たチャンネルにより形成された底部シートであって、各
    チャンネルは相対する側壁によりそして該側壁の間に延
    在する底面により少なくとも一部画成され、少なくとも
    側壁は該ピエゾ電気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
    の頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のため
    のノズルと連絡しているチャンネル； 液滴流体供給手段と連絡するためにチャンネル軸と平行
    な側面で開いた一方の部分並びにチャンネル軸に平行な
    すべての側面で閉じた他方の部分を有する各チャンネ
    ル； 該側壁の相対する側面に設けられ、それにより該作動器
    と組み合わされたチャンネルから液滴の排除を行うため
    の剪断モード作動器を形成する電極であって、各電極は
    チャンネルの長さに実質的に延在している ことからなる液滴デポジット装置において、 該チャンネルの前記の一方の部分において、ピエゾ電気
    物質のそれより低い比誘電率を有する物質の層が、該側
    壁の相対する側面に設けられた該電極の少なくとも一つ
    と該ピエゾ電気物質との間にはさまれている ことを特徴とする液滴デポジット装置。
  5. 【請求項５】前記の一方及び他方の部分が、それぞれ、
    同一平面上の頂部表面を有しそして実質的に一定の高さ
    である側壁により少なくとも一部画成され、それにより
    前記の一方及び他方の部分のそれぞれの側壁の高さが実
    質的に等しい請求項４の液滴デポジット装置。
  6. 【請求項６】各チャンネルについて、ノズルがチャンネ
    ルの前記の他方の部分に隣接している請求項４又は５の
    液滴デポジット装置。
  7. 【請求項７】各チャンネルについて、前記の一方及び他
    方の部分が隣接する請求項４−６の何れか一つの項の液
    滴デポジット装置。
  8. 【請求項８】前記の他方の部分において、電極がそれぞ
    れのチャンネル壁のピエゾ電気物質の表面上に設けられ
    る請求項４−７の何れか一つの項の液滴デポジット装
    置。
  9. 【請求項９】各チャンネルの少なくとも前記の一方の部
    分の該側壁の相対する側面に設けられた該電極が、該底
    面から離れた各チャンネル側壁の頂部に位置する請求項
    ８の液滴デポジット装置。
  10. 【請求項１０】該チャンネルのそれぞれが、前記の一方
    又は他方の部分の何れかのチャンネル壁より低い高さの
    チャンネル壁を有するさらなる部分を含み、そして電極
    が、相対するチャンネル壁並びに該チャンネルのそれぞ
    れの前記のさらなる部分の底部に設けられ、該電極及び
    各チャンネルの前記の相対する壁及び底部の間にはさま
    れるピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物
    質の層が存在する請求項４−９の何れか一つの項の液滴
    デポジット装置。
  11. 【請求項１１】（ａ）ピエゾ電気物質の層からなる底部
    シートに多数の平行なチャンネルを形成する段階：
    （ｂ）該チャンネルのそれぞれの第一の部分の相対する
    側壁の少なくとも一つに物質の層をデポジットし、物質
    はピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有し、該チ
    ャンネルのそれぞれの第二の部分の相対する側壁は該物
    質を有しないままである段階；（ｃ）該チャンネルの前
    記の第一及び第二の部分の相対する側壁に電極物質をデ
    ポジットする段階を含む請求項４の液滴デポジット装置
    を製造する方法。
  12. 【請求項１２】（ｄ）該チャンネルのそれぞれの前記の
    第一の部分の相対する側壁の少なくとも一つに物質の該
    層をデポジットする前に該チャンネルのそれぞれの前記
    の第二の部分をマスクする段階、（ｅ）該チャンネルの
    前記の第一及び第二の部分の相対する側壁上に電極物質
    をデポジットする前に前記の第二の部分のマスクを取る
    段階を含む請求項11の方法。
  13. 【請求項１３】電極物質が、該側壁に向けられそしてそ
    のチャンネルの相対する表面に傾斜した金属蒸気のビー
    ムによりデポジットされる請求項11又は12の方法。
  14. 【請求項１４】その層に垂直な方向に極性を有しそして
    チャンネルの長さに垂直な配列方向で互いに間隔をおい
    た多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成さ
    れたピエゾ電気物質の層からなる底部のシートであり、
    各チャンネルは該側壁間を延在する底面及び高所を有す
    る相対する側壁により少なくとも一部画成され、少なく
    とも側壁はピエゾ電気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
    の頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のため
    のノズルと連絡しているチャンネル； チャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた部分を有す
    る各チャンネル； 該側壁の少なくとも相対する側面に設けられそれにより
    作動器と組み合わされたチャンネルから液滴排除を行う
    ための剪断モード作動器を形成する電極であって各電極
    はチャンネルの長さに実質的に延在することからなる液
    滴デポジット装置において、 各チャンネルの前記の一方の部分に設けられた電極が、
    各チャンネルの前記の他方の部分に設けられた電極より
    少ない割合の高さのそれぞれの側壁にわたって延在する
    ことを特徴とする液滴デポジット装置。
  15. 【請求項１５】前記の一方及び他方の部分は、それぞ
    れ、実質的に一定の高さの側壁により少なくとも一部画
    成され、それにより前記の一方及び他方の部分のそれぞ
    れの側壁は実質的に等しい請求項14の液滴デポジット装
    置。
  16. 【請求項１６】各チャンネルについて、ノズルがチャン
    ネルの前記の他方の部分に隣接する請求項15の液滴デポ
    ジット装置。
  17. 【請求項１７】各チャンネルについて、前記の一方及び
    他方の部分が隣接する請求項14−16の何れか一つの項の
    液滴デポジット装置。
  18. 【請求項１８】各チャンネルの少なくとも前記の一方の
    部分の該側壁の相対する側面に設けられた該電極が、該
    底面から離れた各チャンネル側壁の頂部に位置する請求
    項14−17の何れか一つの項の液滴デポジット装置。
  19. 【請求項１９】電極が好ましくは前記の一方の部分のそ
    れぞれのチャンネル壁の高さの10％以下に延在する請求
    項14−18の何れか一つの項の液滴デポジット装置。
  20. 【請求項２０】前記の他方の部分の電極が、それぞれの
    チャンネル壁の約半分の深さ又は実質的に全部の深さに
    わたって延在する請求項14−19の何れか一つの項の液滴
    デポジット装置。
  21. 【請求項２１】前記の一方及び他方のチャンネル部分の
    長さの比が約２以上である請求項14−20の何れか一つの
    項の液滴デポジット装置。
  22. 【請求項２２】（ａ）ピエゾ電気物質の層からなる底部
    シートに同一平面上の頂部の表面を有するチャンネル壁
    により分離された多数の平行なチャンネルを形成する段
    階；（ｂ）それぞれの側壁の高さの第一の範囲にわたっ
    て該チャンネルのそれぞれの第一の部分の相対する側壁
    上に電極物質をデポジットする段階；（ｃ）それぞれの
    側壁の高さの第二の範囲にわたって該チャンネルのそれ
    ぞれの第二の部分の相対する側壁上に電極物質をデポジ
    ットし、前記の第一及び第二の範囲は異なる段階を含む
    請求項14の液滴デポジット装置を製造する方法。
  23. 【請求項２３】（ｄ）それぞれの側壁の高さの第一の範
    囲にわたって該チャンネルのそれぞれの前記の第一の部
    分の相対する壁上に電極物質をデポジットする前に該チ
    ャンネルのそれぞれの前記の第二の部分をマスクする段
    階； （ｅ）該チャンネルのそれぞれの前記の第一及び第二の
    部分の相対する側壁上に電極物質をデポジットする前に
    前記の第二の部分からマスクを取る段階 を含む請求項22の方法。
  24. 【請求項２４】前記の第一の範囲が前記の第二の範囲よ
    り大きい請求項22又は23の方法。
  25. 【請求項２５】前記の第二の範囲が壁の高さの10％以下
    である請求項24の方法。
  26. 【請求項２６】電極物質が、該側壁に向けられそしてそ
    のチャンネルの相対する表面へ傾斜した金属蒸気のビー
    ムによりデポジットされ、前記の第一の部分のデポジッ
    トのための角度が前記の第二の部分のデポジットのため
    の角度より鋭い請求項22−25の何れか一つの項の方法。
  27. 【請求項２７】その層に垂直な方向に極性を有しそして
    チャンネルの長さに垂直な配列方向で互いに間隔をおい
    た多数の平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成さ
    れたピエゾ電気物質の層からなる底部のシートであり、
    各チャンネルは該側壁間を延在する底面及び高所を有す
    る相対する側壁により少なくとも一部画成され、少なく
    とも側壁はピエゾ電気物質からなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
    の頂部で該チャンネルを閉じる頂部シート； 液滴流体を供給されそしてそれからの液滴の放出のため
    のノズルと連絡しているチャンネル； チャンネル軸に平行なすべての側面で閉じた部分を有す
    る各チャンネル； 該側壁の少なくとも相対する側面に設けられそれにより
    作動器と組み合わされたチャンネルから液滴排除を行う
    ための剪断モード作動器を形成する電極であって各電極
    はチャンネルの長さに実質的に延在することからなる液
    滴デポジット装置において、 ピエゾ電気物質のそれより低い比誘電率を有する物質の
    層が、各チャンネルの該部分以外の領域で該電極の少な
    くとも一つと該ピエゾ電気物質との間にはさまれる ことを特徴とする液滴デポジット装置。
  28. 【請求項２８】ピエゾ電気物質からなりそしてチャンネ
    ルの長さに垂直な配列方向に互いに間隔をおいた多数の
    平行且つ頂部の開いたチャンネルにより形成された底部
    シートであって、各チャンネルは該側壁の間に延在して
    いる高所及び底面を有する相対する側壁により少なくと
    も一部画成され、少なくとも側壁は該ピエゾ電気物質か
    らなり； 該チャンネルの該底面に面しそして該側壁に結合してそ
    の頂部に該チャンネルを閉じる頂部のシート； 液滴流体により供給されそしてそれからの液滴の放出の
    ためのノズルと連絡しているチャンネル； チャンネル軸に平行なすべての側面に閉じられた部分を
    有する各チャンネル； 該側壁で該ピエゾ電気物質に電場を適用する電極 を有する液滴デポジット装置において、 各チャンネルの該部分以外の領域で、ピエゾ電気物質の
    それより低い比誘電率を有する物質の層が該側壁の該ピ
    エゾ電気物質と該電極の少なくとも一つとの間にはさま
    れる ことを特徴とする液滴デポジット装置。
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