JP3161623B2

JP3161623B2 - 磁場測定装置

Info

Publication number: JP3161623B2
Application number: JP10149392A
Authority: JP
Inventors: ザイツトーマス
Original assignee: Mars Inc
Current assignee: Mars Inc
Priority date: 1991-04-26
Filing date: 1992-04-22
Publication date: 2001-04-25
Anticipated expiration: 2016-04-25
Also published as: US5278500A; EP0511434A1; EP0511434B1; ES2137155T3; DE59109165D1; JPH05264699A; CH689466A5; DK0511434T3

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は微弱な磁束の磁場を測定
する磁場測定装置に関し、特にコア飽和原理に従って動
作するセンサを備えた磁場測定装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】微弱な磁束の磁場として、特に磁化され
た磁性インクにより発生される磁場Ｈ0 がある。磁場測
定装置は、例えば自動紙幣認識装置内に設けられ、磁性
インクにより例えば米国、日本、あるいはドイツの紙幣
上に施された文字像を検知ないし読み取るのに用いられ
る。このために、紙幣は検知ないし読み取り前に強い永
久磁石により磁化しなければならない。紙幣の磁化され
た磁性インクによる極めて弱い磁場の値は１０のマイナ
ス３乗ガウスであり、その場合、常に存在する地磁気の
強さでも０．５ガウスであり、約３乗大きい。

【０００３】ＵＳ−４８６４２３８号により上述の種類
の磁場測定装置が知られており、同装置はコア飽和原理
に従って動作する極めて敏感なセンサを有し、これによ
り紙幣の磁化された磁性インクによる極めて弱い磁場を
測定し、その場合、センサの後段の検出装置においてセ
ンサ出力電圧の第２高調波が取り出される。センサは３
次元のコイルを有し、その製造ないし組立ては比較的高
価につき、同一のものを再現できるようにすることは殆
ど不可能である。これにより、同一のセンサを２個必要
とする装置は、莫大な数製造したセンサから選択して捜
し出さねばならず、不可能、あるいは少なくとも非常に
高価になってしまう。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、従来の磁場測定装置を改良し、安価に製造でき、実
質的に同一のセンサを高精度に製造できるようにし、さ
らに、少なくとも好ましい実施例では、センサの後段の
検出装置においてフィルタを用いずにセンサ出力電圧か
ら高調波を取り出せるようにすることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明によれば、コア飽和原理に従って動作する少
なくとも一つのセンサを有し微弱な磁束の磁場を測定す
る磁場測定装置であって、前記センサが励磁コイルと、
１層からなる測定コイルと、薄膜として形成された強磁
性コアを有し、前記測定コイルと強磁性コアが電気的に
絶縁されて担体の外表面上の２つの分離された平行な層
に配置されている磁場測定装置において、センサが平坦
なプレーナセンサとなるように励磁コイルが形成されて
いる構成を採用した。

【０００６】

【作用】このような構成によれば、センサはプレーナセ
ンサとして構成されるので、バッチ工程、フォトリソグ
ラフィ法などにより非常に安価に高精度に製造でき、実
質的に同一のセンサを製造できる。

【０００７】

【実施例】以下、図に示した本発明の実施例を詳細に説
明する。なお図面の全ての図において同一の参照番号は
同一部分を示している。

【０００８】図１に示す装置は少なくとも１つのセンサ
１を有し、このセンサには、少なくとも１つのエアギャ
ップ２と強磁性コア３とを有する磁気回路２、３、並び
に少なくとも１つの励磁コイル４と１つの測定コイル５
が設けられている。両コイル４、５は互いに誘導的に結
合されており、図中でコア３の下側で同じ側に配置され
ている。

【０００９】駆動電流発生器６によって直列抵抗７を介
して周期Ｔで周期的に変化する励磁電流ｉ［ｔ］が励磁
コイル４に供給される。時間的に変化する励磁電流ｉ
［ｔ］は、好ましくは時間ｔの関数で鋸歯状の励磁電流
であるが、例えばサイン形状の励磁電流であってもよ
い。鋸歯状の励磁電流ｉ［ｔ］、従ってコア３の鋸歯状
の励磁は、変調が同じ場合サイン形状の励磁電流ｉ
［ｔ］よりも損失が少ない。測定コイル５の両端はセン
サ１の２極の出力となっており、駆動中センサには出力
電圧ｕ［ｔ］が発生する。

【００１０】さらに図１に示した装置には、センサ１の
出力電圧ｕ［ｔ］の高調波の値を検出する検出装置８が
設けられている。センサ１の出力は、例えば図示の順序
で増幅器９と電圧計１０のカスケード接続からなる装置
８の入力に導かれている。この場合、増幅器９は第１の
実施例ではバンドパス増幅器であり、出力電圧ｕ［ｔ］
の周波数スペクトルから該当する検出すべき高調波を取
り出して増幅する。電圧計１０は交流電圧計であって、
例えば増幅器９の出力電圧の実効値、すなわちフィルタ
リングされ増幅された高調波の実効値を測定する。

【００１１】磁化された磁性インクにより印刷された紙
幣１１は、検出の際に少なくともある時間エアギャップ
２内でコア３の近傍、しかもコア３の両コイル４、５と
は反対側に位置する。コア３は平坦なコアであり、紙幣
１１は検出時コア３に対して約１ｍｍの距離隔てて平行
に配置される。

【００１２】センサ１はコア飽和原理に従って動作す
る。この原理は公知であって、特に上述の従来技術の資
料に記載されているので、本発明を理解しやすくするた
めだけに以下に簡単に説明する。

【００１３】図２の左上には磁気回路２、３の実効磁束
密度Ｂの理想的な特性曲線Ｂ［Ｈ］が励磁電流ｉ［ｔ］
によって発生される励磁磁場Ｈ［ｔ］の関数として図示
されている。その場合、強磁性コア３のヒステリシスは
無視でき、飽和外領域の特性曲線は線形であるものと仮
定する。励磁コイル４には、駆動時に強磁性コア３を少
なくともある時間磁気的に飽和させるのに充分強い周期
的な電流ｉ［ｔ］が印加される。時間的に変化する周期
的な励磁電流ｉ［ｔ］の周波数は好ましくは２０〜２０
０ｋＨｚであり、測定コイル５の巻き数は例えば１００
回とする。

【００１４】図２においてＢｓは飽和磁場Ｈｓに対応す
る飽和磁束密度を示す。図２の左下には磁気回路２、３
を励磁する励磁磁場Ｈ［ｔ］が時間ｔの関数で示されて
いる。この磁場Ｈ［ｔ］はコイル４により励磁電流ｉ
［ｔ］に比例して発生される。

【００１５】図２においては、励磁電流ｉ［ｔ］とそれ
による励磁磁場Ｈ［ｔ］も時間ｔの関数で鋸歯状である
ものと仮定する。鋸歯状の励磁磁場Ｈ［ｔ］の振幅Ｈma
xの大きさは、強磁性コア３が周期的に飽和するように
設定される。それによって磁気回路２、３内に存在する
磁束密度Ｂ［ｔ］は時間ｔの関数で周期的に台形状のカ
ーブを取り、それが図２の右上に示されている。台形状
カーブの傾斜部によりコイル５内に電磁誘導による周期
Ｔの周期的な電圧ｕ［ｔ］が発生する。この電圧の時間
的な波形は、順次交替する一連の正と負の矩形の電圧パ
ルスからなる。

【００１６】磁束密度Ｂ0に相当する外部磁場Ｈ0、例え
ば紙幣の磁化された磁性インクの磁場の作用によって、
図２に一点鎖線で示す特性曲線が生じる。特に、出力電
圧ｕ［ｔ］の矩形の電圧パルスは時間軸方向に非対称に
なり、その値を外部磁場Ｈ0の値の測定に利用すること
ができる。いかなる場合でも周期的な出力電圧ｕ［ｔ］
は、フーリエ解析によれば、連続番号１を有する基本波
と２から始まる多数の連番の高調波からなる。基本波と
高調波の連続番号は以下においてはｎで示す。

【００１７】センサ１の近傍、即ちエアギャップ２内に
紙幣の磁化された磁性インクがあると、センサ１の出力
電圧ｕ［ｔ］の高調波の全スペクトルが現れる。

【００１８】フーリエ解析によれば第ｎ高調波の振幅は
次式に等しい。

【００１９】

【数１】

【００２０】但し、μ0は真空透磁率、μr’は磁気回路
２、３の実効相対透磁率（「見かけ透磁率」）、すなわ
ち飽和領域外のセンサ特性曲線Ｂ［Ｈ］の傾斜ｔｇα
（図２参照）、ｎ2は測定コイル５の巻数、ｆ1は励磁電
流ｉ［ｔ］の基本波、すなわち出力電圧ｕ［ｔ］の基本
波の周波数、Ｆはコア３の断面積、Ｈmaxは励磁磁場Ｈ
［ｔ］の振幅である。

【００２１】コア３が比較的幅広の２つの主辺部と細い
ブリッジ部からなるＨ形状の強磁性コア３である場合
（図４参照）には、Ｆは長手軸に対して垂直に延びるブ
リッジ部の断面積である。磁気回路２、３の実効相対透
磁率μr’はよく知られているように１／［Ｎ＋（１／
μr）］に等しい。但し、Ｎはいわゆる減磁率、μrはコ
ア３の強磁性材料の相対透磁率（比透磁率）である。

【００２２】本発明の第１実施例では、増幅器９により
増幅された偶数高調波、即ち第２高調波がセンサ出力電
圧ｕ［ｔ］からフィルタリングして取り出される。この
場合、ｎ＝２として式（１）により、振幅としてフィリ
タリングして取り出される第２高調波は、Ｈ0がＨmaxよ
りかなり小さいので、次のようになる。

【００２３】

【数２】

【００２４】強磁性コア３は薄膜として形成され、測定
コイル５は１層に構成されており、測定コイル５と強磁
性コア３は、担体１２の外表面上に分離された平行な２
層に電気的に絶縁されて配置されている。励磁コイル４
は、好ましくはセンサ１が平坦なプレーナセンサとなり
図３と図４に示す構造を有するものとなるように形成さ
れる。励磁コイル４は、この場合、同様に１層からな
り、担体１２の外表面上に強磁性コア３と測定コイル５
の層に対して平行な分離した層に電気的に絶縁されて配
置されている。

【００２５】図３において、磁性インクは紙幣１１の裏
側に付された黒い矩形の形態で模式的に示されている。
両コイル４、５はそれぞれ１層コイルであって、第１の
絶縁層１３によって互いに電気的に絶縁されて担体１
２、例えば基板上の分離された平行な２つの層内に配置
されている。担体１２は例えばセラミックスあるいは他
の適当な絶縁材料から形成される。測定コイル５が矩形
螺旋形状である場合には、励磁コイル４も同様に矩形螺
旋形状とするのがよい。そして励磁コイル４と測定コイ
ル５は、それぞれの層内において、励磁コイル４と測定
コイル５の直線状で平行な導体からなる４分の１部分が
少なくとも一部重なるように配置される。

【００２６】強磁性コア３は薄くて、ほぼ一定の厚みを
有する。図３において、強磁性コアは第２の絶縁層１４
によって電気的に絶縁されて、２つの層のうち測定コイ
ル５を有する層上の平行な第３の層に配置されている。
強磁性コア３は、この場合、少なくとも一部が励磁コイ
ル４と測定コイル５の重なり合う部分に重なるように配
置されている。図３において励磁コイル４は、担体１２
上の第１の絶縁層１３内に形成され、一方、測定コイル
５は絶縁層１３上の第２の絶縁層１４内に形成されてい
る。コア３は第２の絶縁層１４上の第３の層内に形成さ
れている。磁気回路２、３のエアギャップ２は、強磁性
コア３の外側でコア３の上方と下方の平行な平面間に横
たわる空間を通って形成される。

【００２７】図４に示すコアの第１実施例においては、
強磁性コア３はその層内で、即ち上から見てＨ状の形状
を有する。

【００２８】図５に示すコアの第２実施例では、強磁性
コア３は矩形の８の形状を有し、その上部と下部にはそ
れぞれ更に互いに平行なエアギャップ１５ないし１６が
形成されている。紙幣がエアギャップ１５、１６に沿っ
て通過すると、両者はそれぞれ動作エアギャップとな
り、紙幣上に設けられた磁性材の２トラックのそれぞれ
から情報内容を読み取るのに用いることができる。

【００２９】コア３のＨ状あるいは８の字状の形状は磁
束を集中させる作用がある。コア３の中央をできるだけ
強く絞ること、すなわちＨ字あるいは８の字状のコア３
の中央のブリッジ部をできるだけ細くすることにより、
減磁率Ｎをできるだけ小さくするようにしている。中央
のブリッジ部の幅は例えば０．５ｍｍであって、その長
さは例えば４ｍｍである。前記と同じ理由から、コア厚
ｔをできるだけ小さくすることも必要であり、これは、
センサをプレーナマイクロ技術で形成する場合に、特に
良好に達成できる。コア３は、好ましくは最小コア厚ｔ
として、ハイブリッド技術によりほぼ０．０２５ｍｍ、
ないしはプレーナ技術により０．５μｍを有する。強磁
性コア３の材料は、好ましくは英語圏では磁気ガラスと
呼ばれるアモルファス磁性金属からなる。Ｈ字状のコア
３の主辺部の幅は例えばそれぞれ５ｍｍ、その長さは例
えばそれぞれ４０〜６０ｍｍである。

【００３０】８の字状のコア３を使用する場合には、磁
性物質の存在を検出するだけでなく、その形状を読み取
ることも可能である。というのは、８の字状のコア３の
外側の２つの横断部分によって紙幣の２トラックを読み
取ることができるので、紙幣の値をより確実に検出でき
るからである。

【００３１】図６に示すコアの第３実施例では、強磁性
コア３はその層内で図５に示された矩形の８の半分の形
状を有している。即ち、その形状は図５に示された矩形
の８の上半分に対応している。この場合、強磁性コア３
はその層内で１つのエアギャップ１５を有する矩形のリ
ング形状をしている。

【００３２】上記コアの第２と第３の実施例では、検出
すべき微弱な磁束の磁場Ｈ0の方向はエアギャップ１
５、１６ないしエアギャップ１５のギャップ長に対し平
行である（図５及び図６参照）。

【００３３】図７及び図８に示した本発明装置の第２お
よび第３実施例においては、２つの同じセンサ１、１ａ
が設けられ、これらは一緒にダブルセンサ１、１ａを構
成し、それぞれ分離された強磁性コア３ないし３ａを有
する。センサ１ａは励磁コイル４ａと測定コイル５ａを
有する。両センサ１、１ａの励磁コイル４、４ａは同方
向に直列に接続されており、これに対し両センサ１、１
ａの測定コイル５、５ａは、駆動時にそれぞれの出力電
圧ｕ1［ｔ］、ｕ1a［ｔ］の差がダブルセンサ１、１ａ
の出力の電圧ｕ［ｔ］として発生するように互いに接続
されている。第２実施例（図７参照）では、このために
両センサ１、１ａの測定コイル５、５ａは逆方向に接続
されている。これに対し第３実施例（図８参照）では、
両センサ１、１ａの測定コイル５、５ａは同方向に直列
に接続され、共通の極が基準電位、例えばフレームない
しグランドに接続されている。そして、両センサ１、１
ａの両測定コイル５、５ａの両極はそれぞれ増幅器９の
反転入力と非反転入力に接続されている。

【００３４】第２、第３実施例では、駆動電流発生器６
からコア３、３ａを同時にある時間飽和させる周期的に
変化する電流ｉ［ｔ］が直列抵抗７を介して励磁コイル
４、４ａの直列回路４、４ａに供給される。それにより
測定コイル５、５ａの直列回路５、５ａに生じる電圧が
ダブルセンサ１、１ａの出力電圧ｕ［ｔ］となる。出力
電圧ｕ［ｔ］＝ｕ1［ｔ］−ｕ1a［ｔ］は信号検出装置
８の入力に印加される。装置８は第１実施例とほぼ同様
に構成されるが、増幅器９がバンドパス増幅器ではなく
て広帯域増幅器であることが相違する。

【００３５】第２、第３実施例には、地磁気の磁場ＨEr
deが自動的に除去されるという利点がある。というの
は、すべての高調波に対して次の式が当てはまるからで
ある。

【００３６】

【数３】

【００３７】第９図及び第１０図にはダブルセンサ１、
１ａの具体的な構造が示してあり、この場合、コア３に
は上記第２の例のそれと同じ形状が採用されている。両
センサ１、１ａは担体１２上に設けられ、担体１２上で
ほぼ平行に配置されている。紙幣１１はダブルセンサ
１、１ａ上を、エアギャップ１５、１６のギャップ長に
対し平行に一定速度ｖで通過するように移動される。

【００３８】紙幣１１の第１の半分の磁性インクがセン
サ１上を移動し、同時に紙幣１１の第２の半分の磁性イ
ンクがセンサ１ａ上を移動する。この場合、紙幣１１の
両半分により、紙幣１１の移動方向に対して平行に延び
る２つのトラックが形成される。磁性インクは移動方向
に平行に磁化されている。紙幣１１の両半分が同方向に
磁化されていると、ダブルセンサ１、１ａにより磁場の
差が測定される。その差は、希ではあるが紙幣１１の数
カ所の測定部位によって見られるように紙幣の両半分の
磁場が同じ強さの時は、地磁気の磁場ＨErdeを測定する
場合と同様にゼロになる。しかし通常は、センサ１、１
ａにより直接測定される紙幣１１の２部位は異なる強さ
で磁化されている。というのは、そこでは異なる量の磁
性インクが存在するからであり、その結果、測定される
磁場の差も通常ではゼロと異なるようになる。

【００３９】ところで、好ましくは紙幣１１の第１の半
分の磁性インクは正の移動方向に磁化され、一方、紙幣
１１の第２の半分の磁性インクは負の移動方向に磁化さ
れている。言い換えれば、センサ１は磁場Ｈ0,1、セン
サ１ａは磁場Ｈ0,2を測定し、その場合両磁場は方向が
逆になっている。

【００４０】式（１）の最後のサインの項は次のように
変換できる。

【００４１】

【数４】

【００４２】ここで、偶数高調波については、式（１）
の最後のサインの項は、以下のようになる。

【００４３】

【数５】

【００４４】ｕ［ｔ］＝ｕ1［ｔ］−ｕ1a［ｔ］である
ので、ダブルセンサ１、１ａの出力電圧ｕ［ｔ」の偶数
高調波の振幅は、ｓｉｎ（−α）＝−ｓｉｎαであり、
Ｈ0,1並びにＨ0,2はＨmaxよりかなり小さいことから、

【００４５】

【数６】

【００４６】に比例する。即ち、両センサ１、１ａが厳
密に同一であることを前提として、両センサ１、１ａの
偶数高調波の測定出力は加算される。

【００４７】これに対し、奇数高調波については、式
（１）の最後のサインの項は、

【００４８】

【数７】

【００４９】となる。

【００５０】従って、ダブルセンサ１、１ａの出力電圧
ｕ［ｔ」の奇数高調波の振幅は、ｃｏｓ（−α）＝ｃｏ
ｓαであり、Ｈ0,1並びにＨ0,2はＨmaxよりかなり小さ
いことから、

【００５１】

【数８】

【００５２】に比例する。即ち、両センサ１、１ａが厳
密に同一であることを前提として、両センサ１、１ａの
奇数高調波の測定出力は減算される。

【００５３】換言すれば、ダブルセンサ１、１ａの出力
電圧ｕ［ｔ］の全ての奇数高調波の振幅はゼロになり、
後段にフィルタを接続しなくても自動的に除去される。
従って増幅器９はフィルタ作用が不要であり、広帯域増
幅器でなければならない。

【００５４】集積回路技術におけるのと同様に厚膜技術
により、専らバッチ工程により、フォトリソグライフィ
法で製作したマスクを用いて、多数のコアとコイルを１
個のチップ上に形成できるので、センサ１、１ａの製造
は非常に安価に高精度にでき、センサ１、１ａを実質的
に同一に製造できる。というのは、コイルとコアの幾何
学的寸法は非常に厳密に守れるとともに、その３次元的
な組立ては要求されないからである。

【００５５】さらに、ノイズとなる高調波の補償に対し
ては、両センサ１、１ａの強磁性コア３、３ａが同一の
保磁的な磁場強（保持力）を有することが重要である。
これは、強磁性コア３、３ａに磁気ガラスを用いること
により達成される。というのは、磁気ガラスは実質的に
無視できる４ｍＡ／ｃｍの保磁的な磁場強さしか有して
いないからである。

【００５６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、コア飽和原理に従って動作する少なくとも一
つのセンサを有し微弱な磁束の磁場を測定する磁場測定
装置であって、前記センサが励磁コイルと、１層からな
る測定コイルと、薄膜として形成された強磁性コアを有
し、前記測定コイルと強磁性コアが電気的に絶縁されて
担体の外表面上の２つの分離された平行な層に配置され
ている磁場測定装置において、センサが平坦なプレーナ
センサとなるように励磁コイルが形成されている構成を
採用したので、センサはプレーナセンサとしてバッチ工
程、フォトリソグラフィ法などにより非常に安価に高精
度に製造でき、実質的に同一のセンサを製造できるとい
う優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明装置の第１実施例の模式的な構成を示す
電気回路図である。

【図２】コア飽和原理を特性曲線で説明する線図であ
る。

【図３】第１実施例の装置で用いられるセンサと紙幣の
断面図である。

【図４】図３に示した第１実施例の装置のセンサでコア
の第１実施例を備えたセンサを紙幣なしで示す上面図で
ある。

【図５】コアの第２実施例を示す上面図である。

【図６】コアの第３実施例を示す上面図である。

【図７】本発明装置の第２実施例の構成を示す電気回路
図である。

【図８】本発明装置の第３実施例の構成を示す電気回路
図である。

【図９】第２実施例の装置に用いられたセンサと紙幣の
模式的な断面図である。

【図１０】第２実施例の装置に用いられたセンサでコア
の第２実施例を備えたセンサの上面図である。

【符号の説明】

１センサ２、１５、１６エアギャップ３コア４、４ａ励磁コイル５、５ａ測定コイル６駆動電流発生器７直列抵抗９増幅器１０電圧計１１紙幣

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平２−236181（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−226882（ＪＰ，Ａ) 特開平２−213781（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−311184（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 33/00 - 33/18

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】コア飽和原理に従って動作する少なくと
も一つのセンサ（１）を有し、該センサ（１）上のエア
ギャップを通過する磁性体の磁束を感知して微弱な磁束
の磁場を測定する磁場測定装置であって、前記センサが
励磁コイル（４）と、１層からなる測定コイル（５）
と、薄膜として形成された強磁性コア（３）とを有して
おり、前記測定コイル（５）と強磁性コア（３）が電気
的に絶縁されて担体（１２）の外表面上の二つの分離さ
れた平行な層に配置されており、薄膜としての強磁性コ
ア（3）が前記センサ（１）上のエアギャップに直接対
面していることを特徴とする磁場測定装置。
【請求項２】前記励磁コイル（４）が１層からなるよ
うに形成され、また該励磁コイル（４）が、担体（１
２）の外表面上の強磁性コア（３）と測定コイル（５）
に対し平行で分離した電気的に絶縁した層として配置さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の磁場測定装
置。
【請求項３】前記測定コイル（５）及び励磁コイル
（４）はそれぞれ矩形螺旋状であり、該励磁コイル
（４）並びに測定コイル（５）は、平面において、励磁
コイル（４）と測定コイル（５）の直線状で平行な導体
からなる４分の１の部分が、少なくとも一部重なるよう
に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の磁
場測定装置。
【請求項４】前記強磁性コア（３）は、少なくとも一
部が前記励磁コイル（４）と測定コイル（５）の重なり
合う部分に重なるように配置されていることを特徴とす
る請求項３に記載の磁場測定装置。
【請求項５】前記強磁性コア（３）は、平面におい
て、H状の形状を有することを特徴とする請求項1から４
までのいずれか1項に記載の磁場測定装置。
【請求項６】前記強磁性コア（３）は、平面におい
て、矩形の８字状の形状を有し、上端と下端にそれぞれ
エアエアギャップ（１５，１６）を有することを特徴と
する請求項1から４までのいずれか１項に記載の磁場測
定装置。
【請求項７】前記強磁性コア（３）は、平面におい
て、エアギャップ（１５）を有する矩形のリング状の形
状を有することを特徴とする請求項1から４までのいず
れか1項に記載の磁場測定装置。
【請求項８】前記センサ（１）の強磁性コア（３）が
磁気ガラスで作られていることを特徴とする請求項1か
ら７までのいずれか１項に記載の磁場測定装置。
【請求項９】前記センサとして、二つの同じセンサ
（１，１ａ）がダブルセンサを構成するように実質的に
平行に配置され、前記二つのセンサ（１，１ａ）の励磁
コイル（４，４ａ）は同方向に直列に接続されており、
前記二つのセンサ（１，１ａ）の測定コイル（５，５
ａ）は、駆動時にそれぞれの電圧（ｕ１〔ｔ〕，ｕ１ａ
〔ｔ〕）の差が前記ダブルセンサ（１，１ａ）の出力に
発生するように接続されていることを特徴とする請求項
1に記載の磁場測定装置。
【請求項１０】前記二つのセンサ（１，１ａ）の測定
コイル（５，５ａ）が逆方向に直列に接続されているこ
とを特徴とする請求項９に記載の磁場測定装置。
【請求項１１】前記二つの（１，１ａ）の測定コイル
（５，５ａ）は同方向に直列に接続されており、それぞ
れの共通の極が基準電位に接続され、前記測定コイル
（５，５ａ）の直列回路の両極はそれぞれ増幅器（９）
の反転入力と非反転入力に接続されていることを特徴と
する請求項９に記載の磁場測定装置。
【請求項１２】二つの実質的に同じセンサ（１，１
ａ）が配置されており、該二つのセンサ（１，１ａ）の
励磁コイル（４，４ａ）は同方向に接続されていること
を特徴とする請求項１に記載の磁場測定装置。
【請求項１３】二つの実質的に同じセンサ（１，１
ａ）を備えており、該二つのセンサ（１，１ａ）の測定
コイル（５，５ａ）が、それぞれの二つの出力電圧（ｕ
１〔ｔ〕，ｕ１ａ〔ｔ〕）の差を出力するように接続さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の磁場測定装
置。