JP3138995B2 - 静圧空気軸受 - Google Patents
静圧空気軸受Info
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- JP3138995B2 JP3138995B2 JP05002869A JP286993A JP3138995B2 JP 3138995 B2 JP3138995 B2 JP 3138995B2 JP 05002869 A JP05002869 A JP 05002869A JP 286993 A JP286993 A JP 286993A JP 3138995 B2 JP3138995 B2 JP 3138995B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は静圧空気軸受に係り、特
に直角度測定機等の測定物固定用のテーブルを回転自在
に支持する静圧空気軸受に関する。
に直角度測定機等の測定物固定用のテーブルを回転自在
に支持する静圧空気軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の静圧空気軸受は図6に示
すように、回転軸1と軸受部2とから構成される。前記
軸受部2には、回転軸1と軸受部2との隙間3に圧力エ
アを供給する複数のエア供給孔4A、4A…、4B、4
B…が回転軸1の軸方向における上部・下部の円周上に
形成される。
すように、回転軸1と軸受部2とから構成される。前記
軸受部2には、回転軸1と軸受部2との隙間3に圧力エ
アを供給する複数のエア供給孔4A、4A…、4B、4
B…が回転軸1の軸方向における上部・下部の円周上に
形成される。
【0003】これにより、回転軸1は、エア供給孔4
A、4A…、4B、4B…から供給される圧力エアの圧
力によって、モーメント剛性F(回転軸1の倒れに対す
る剛性)と、ラジアル剛性R(軸受部2に対する回転軸
1の求心力剛性)とが所定の強度で保持される。また、
軸受部2の上端部2A、及び下端部2Bには、それぞれ
エア供給孔5A、5A…、5B、5B…が形成される。
前記エア供給孔5A、5A…からの圧力エアは、上スラ
スト板6Aと上端部2Aとの隙間7に供給される。ま
た、エア供給孔5B、5B…からの圧力エアは、下スラ
スト板6Bと下端部2Bとの隙間8に供給される。
A、4A…、4B、4B…から供給される圧力エアの圧
力によって、モーメント剛性F(回転軸1の倒れに対す
る剛性)と、ラジアル剛性R(軸受部2に対する回転軸
1の求心力剛性)とが所定の強度で保持される。また、
軸受部2の上端部2A、及び下端部2Bには、それぞれ
エア供給孔5A、5A…、5B、5B…が形成される。
前記エア供給孔5A、5A…からの圧力エアは、上スラ
スト板6Aと上端部2Aとの隙間7に供給される。ま
た、エア供給孔5B、5B…からの圧力エアは、下スラ
スト板6Bと下端部2Bとの隙間8に供給される。
【0004】これにより、回転軸1は、エア供給孔5
A、5A…、5B、5B…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性Fが所定の強度で保持され、軸
受部2に対して非接触で回転自在に支持される。また、
前記静圧空気軸受が真円度測定機に適用された場合に
は、前記スラスト板6Aの上部に測定物固定用の図中二
点鎖線で示すテーブル9が搭載される。
A、5A…、5B、5B…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性Fが所定の強度で保持され、軸
受部2に対して非接触で回転自在に支持される。また、
前記静圧空気軸受が真円度測定機に適用された場合に
は、前記スラスト板6Aの上部に測定物固定用の図中二
点鎖線で示すテーブル9が搭載される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
静圧空気軸受は、軸受部2の上部・下部に形成されたエ
ア供給孔4A、4A…、4B、4B…から供給される圧
力エアで回転軸1を支持しているので、回転軸1の円筒
度、及び直角度が悪い場合には、回転軸1の上部・下部
においてエア圧のバランスが崩れる。これにより、回転
軸1は振れながら回転するという欠点がある。
静圧空気軸受は、軸受部2の上部・下部に形成されたエ
ア供給孔4A、4A…、4B、4B…から供給される圧
力エアで回転軸1を支持しているので、回転軸1の円筒
度、及び直角度が悪い場合には、回転軸1の上部・下部
においてエア圧のバランスが崩れる。これにより、回転
軸1は振れながら回転するという欠点がある。
【0006】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっ
ても回転軸が円滑に回転する静圧空気軸受を提供するこ
とを目的とする。
もので、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっ
ても回転軸が円滑に回転する静圧空気軸受を提供するこ
とを目的とする。
【0007】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、回転軸と軸受部との隙間に圧力エアを供給し
て回転軸を非接触で回転自在に支持する静圧空気軸受に
於いて、前記軸受部には、前記回転軸の軸方向における
中央部の円周上のみに、回転軸と軸受部との隙間に圧力
エアを供給する第1のエア供給孔と、前記軸受部の上端
部に、回転軸の上端部に固着された上スラスト板と軸受
部の上端部との隙間に圧力エアを供給する第2のエア供
給孔と、前記軸受部の下端部に、回転軸の下端部に固着
された下スラスト板と軸受部の下端部との隙間に圧力エ
アを供給する第3のエア供給孔と、がそれぞれ所定の間
隔で複数形成され、第1のエア供給孔から供給される圧
力エアの圧力によって回転軸のラジアル剛性を保持し、
前記第2のエア供給孔と第3のエア供給孔とから供給さ
れる圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛性を
保持するようにしたことを特徴とする。
する為に、回転軸と軸受部との隙間に圧力エアを供給し
て回転軸を非接触で回転自在に支持する静圧空気軸受に
於いて、前記軸受部には、前記回転軸の軸方向における
中央部の円周上のみに、回転軸と軸受部との隙間に圧力
エアを供給する第1のエア供給孔と、前記軸受部の上端
部に、回転軸の上端部に固着された上スラスト板と軸受
部の上端部との隙間に圧力エアを供給する第2のエア供
給孔と、前記軸受部の下端部に、回転軸の下端部に固着
された下スラスト板と軸受部の下端部との隙間に圧力エ
アを供給する第3のエア供給孔と、がそれぞれ所定の間
隔で複数形成され、第1のエア供給孔から供給される圧
力エアの圧力によって回転軸のラジアル剛性を保持し、
前記第2のエア供給孔と第3のエア供給孔とから供給さ
れる圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛性を
保持するようにしたことを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明によれば、軸受部に形成された第1のエ
ア供給孔から供給される圧力エアの圧力によって回転軸
のラジアル剛性(求心力剛性)のみを保持するように
し、また軸受部に形成された第2のエア供給孔から供給
される圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛性
(倒れ剛性)を保持するようにした。
ア供給孔から供給される圧力エアの圧力によって回転軸
のラジアル剛性(求心力剛性)のみを保持するように
し、また軸受部に形成された第2のエア供給孔から供給
される圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛性
(倒れ剛性)を保持するようにした。
【0009】即ち、本発明の特徴は、前記第1のエア供
給孔を回転軸の軸方向における略中央部の円周上に形成
することにより、従来の静圧空気軸受用回転軸の上部・
下部において生じるエア圧のバランスの崩れを防止し
た。これにより、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場
合であっても回転軸は円滑に回転する。
給孔を回転軸の軸方向における略中央部の円周上に形成
することにより、従来の静圧空気軸受用回転軸の上部・
下部において生じるエア圧のバランスの崩れを防止し
た。これにより、回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場
合であっても回転軸は円滑に回転する。
【0010】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る静圧空気
軸受の好ましい実施例について詳説する。図1は本発明
に係る静圧空気軸受10の断面図であり、この静圧空気
軸受10は回転軸12と軸受部14とから構成される。
軸受部14には、回転軸12と軸受部14との隙間16
に圧力エアを供給する複数のエア供給孔18、18…が
回転軸12の軸方向における略中央部の円周上に形成さ
れる。また、前記エア供給孔18、18…は図2に示す
ように、回転軸12の回転中心軸20に向けて放射状
に、且つ所定の間隔で形成されている。
軸受の好ましい実施例について詳説する。図1は本発明
に係る静圧空気軸受10の断面図であり、この静圧空気
軸受10は回転軸12と軸受部14とから構成される。
軸受部14には、回転軸12と軸受部14との隙間16
に圧力エアを供給する複数のエア供給孔18、18…が
回転軸12の軸方向における略中央部の円周上に形成さ
れる。また、前記エア供給孔18、18…は図2に示す
ように、回転軸12の回転中心軸20に向けて放射状
に、且つ所定の間隔で形成されている。
【0011】これにより、回転軸12は、エア供給孔1
8、18…から供給される圧力エアの圧力によって、ラ
ジアル剛性R(回転軸12の求心力剛性)が所定の強度
で保持されている。また、図1に示すように軸受部14
の上端部14A、及び下端部14Bには、それぞれエア
供給孔22、22…、24、24…が形成される。エア
供給孔22(24)、22(24)…は図3に示すよう
に、回転軸12を囲むように所定の間隔で形成される。
一方、エア供給孔22、22…からの圧力エアは図1に
示すように、回転軸12の上端部12Aに固着された上
スラスト板26と軸受部14の上端部14Aとの隙間2
8に供給される。また、エア供給孔24、24…からの
圧力エアは、回転軸12の下端部12Bに固着された下
スラスト板30と軸受部14の下端部14Bとの隙間3
2に供給される。
8、18…から供給される圧力エアの圧力によって、ラ
ジアル剛性R(回転軸12の求心力剛性)が所定の強度
で保持されている。また、図1に示すように軸受部14
の上端部14A、及び下端部14Bには、それぞれエア
供給孔22、22…、24、24…が形成される。エア
供給孔22(24)、22(24)…は図3に示すよう
に、回転軸12を囲むように所定の間隔で形成される。
一方、エア供給孔22、22…からの圧力エアは図1に
示すように、回転軸12の上端部12Aに固着された上
スラスト板26と軸受部14の上端部14Aとの隙間2
8に供給される。また、エア供給孔24、24…からの
圧力エアは、回転軸12の下端部12Bに固着された下
スラスト板30と軸受部14の下端部14Bとの隙間3
2に供給される。
【0012】これにより、回転軸12は、エア供給孔2
2、22…、24、24…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性F(回転軸12の倒れに対する
剛性)が所定の強度で保持され、軸受部14に対して非
接触で回転自在に支持される。一方、前記上スラスト板
26の上部には、テーブル34の水平位置及び傾斜角度
を調整する装置36が搭載されている。この装置36に
よれば、水平調整ねじ38、及び傾斜調整ねじ40を適
宜に回すことにより、テーブル34上に固定された図中
二点鎖線で示すワークピース42の水平位置及び傾斜角
度を調整すことができる。
2、22…、24、24…から供給される圧力エアの圧
力によりモーメント剛性F(回転軸12の倒れに対する
剛性)が所定の強度で保持され、軸受部14に対して非
接触で回転自在に支持される。一方、前記上スラスト板
26の上部には、テーブル34の水平位置及び傾斜角度
を調整する装置36が搭載されている。この装置36に
よれば、水平調整ねじ38、及び傾斜調整ねじ40を適
宜に回すことにより、テーブル34上に固定された図中
二点鎖線で示すワークピース42の水平位置及び傾斜角
度を調整すことができる。
【0013】次に、前記の如く構成された静圧空気軸受
10の作用について説明する。この静圧空気軸受10の
回転軸12は図1に示したように、軸受部14に形成さ
れたエア供給孔18、18…から供給される圧力エアの
圧力によってラジアル剛性Rのみが保持され、また、軸
受部14に形成されたエア供給孔22、22…とエア供
給孔24、24…とから供給される圧力エアの圧力によ
ってモーメント剛性Fが保持されて回転する。
10の作用について説明する。この静圧空気軸受10の
回転軸12は図1に示したように、軸受部14に形成さ
れたエア供給孔18、18…から供給される圧力エアの
圧力によってラジアル剛性Rのみが保持され、また、軸
受部14に形成されたエア供給孔22、22…とエア供
給孔24、24…とから供給される圧力エアの圧力によ
ってモーメント剛性Fが保持されて回転する。
【0014】本実施例の静圧空気軸受10によれば、回
転軸12の円筒度、及び直角度が悪い場合であっても、
エア供給孔18、18…からのエア圧を求心力を保持さ
せるためだけに用いるようにしたので、従来の静圧空気
軸受用回転軸のように回転軸の円筒度、直角度が悪い場
合に上下のエア圧のバランスが崩れて回転軸が振れて回
転するようなことはない。
転軸12の円筒度、及び直角度が悪い場合であっても、
エア供給孔18、18…からのエア圧を求心力を保持さ
せるためだけに用いるようにしたので、従来の静圧空気
軸受用回転軸のように回転軸の円筒度、直角度が悪い場
合に上下のエア圧のバランスが崩れて回転軸が振れて回
転するようなことはない。
【0015】これにより、回転軸12の円筒度、及び直
角度が悪い場合でも、回転軸12は円滑に回転する。図
4、図5は、エア供給孔18(22、24)の周りに形
成されたエア通過溝44、46の実施例を示す。図4に
示したエア通過溝44は、環状溝部48と、この環状溝
部48とエア供給孔18(22、24)とを連通する放
射状溝部50、50…とから形成される。また、図5に
示したエア通過溝46は、「王」字状に形成される。
角度が悪い場合でも、回転軸12は円滑に回転する。図
4、図5は、エア供給孔18(22、24)の周りに形
成されたエア通過溝44、46の実施例を示す。図4に
示したエア通過溝44は、環状溝部48と、この環状溝
部48とエア供給孔18(22、24)とを連通する放
射状溝部50、50…とから形成される。また、図5に
示したエア通過溝46は、「王」字状に形成される。
【0016】図4、図5のようにエア供給孔18(2
2、24)の周りにエア通過溝44、46を形成するこ
とにより、エア供給孔18(22、24)から供給され
る圧力エアの圧力分布を広い範囲で略均等にすることが
できるので、エア供給孔18(22、24)から圧力エ
アを直接供給するよりも、回転軸12とスラスト板2
6、30とを安定して非接触で保持することができる。
2、24)の周りにエア通過溝44、46を形成するこ
とにより、エア供給孔18(22、24)から供給され
る圧力エアの圧力分布を広い範囲で略均等にすることが
できるので、エア供給孔18(22、24)から圧力エ
アを直接供給するよりも、回転軸12とスラスト板2
6、30とを安定して非接触で保持することができる。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る静圧空
気軸受によれば、軸受部に形成された第1のエア供給孔
から供給される圧力エアの圧力によって回転軸のラジア
ル剛性を保持するようにし、また回転軸のモーメント剛
性は、第2のエア供給孔、第3のエア供給孔から供給さ
れる圧力エアの圧力によって保持するようにしたので、
回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっても回転
軸は円滑に回転する。
気軸受によれば、軸受部に形成された第1のエア供給孔
から供給される圧力エアの圧力によって回転軸のラジア
ル剛性を保持するようにし、また回転軸のモーメント剛
性は、第2のエア供給孔、第3のエア供給孔から供給さ
れる圧力エアの圧力によって保持するようにしたので、
回転軸の円筒度、及び直角度が悪い場合であっても回転
軸は円滑に回転する。
【図1】本発明に係る静圧空気軸受の実施例を示す断面
図
図
【図2】図1におけるA−A矢視図
【図3】図1におけるB−B線上に沿う断面図
【図4】本発明に係る静圧空気軸受のエア供給孔の第1
実施例を示す平面図
実施例を示す平面図
【図5】本発明に係る静圧空気軸受のエア供給孔の第2
実施例を示す平面図
実施例を示す平面図
【図6】従来の静圧空気軸受の実施例を示す断面図
10…静圧空気軸受 12…回転軸 14…軸受部 16、28、32…隙間 18、22、24…エア供給孔 20…回転中心軸 26、30…スラスト板
Claims (2)
- 【請求項1】 回転軸と軸受部との隙間に圧力エアを供
給して回転軸を非接触で回転自在に支持する静圧空気軸
受に於いて、前記軸受部には、前記回転軸の軸方向にお
ける中央部の円周上のみに、回転軸と軸受部との隙間に
圧力エアを供給する第1のエア供給孔と、前記軸受部の
上端部に、回転軸の上端部に固着された上スラスト板と
軸受部の上端部との隙間に圧力エアを供給する第2のエ
ア供給孔と、前記軸受部の下端部に、回転軸の下端部に
固着された下スラスト板と軸受部の下端部との隙間に圧
力エアを供給する第3のエア供給孔と、がそれぞれ所定
の間隔で複数形成され、第1のエア供給孔から供給され
る圧力エアの圧力によって回転軸のラジアル剛性を保持
し、前記第2のエア供給孔と第3のエア供給孔とから供
給される圧力エアの圧力によって回転軸のモーメント剛
性を保持するようにしたことを特徴とする静圧空気軸
受。 - 【請求項2】 前記エア供給孔の周りにエア通過溝を形
成し、該エア通過溝は環状溝部と放射状溝部とから形成
されてなる請求項1記載の静圧空気軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05002869A JP3138995B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 静圧空気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05002869A JP3138995B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 静圧空気軸受 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06207617A JPH06207617A (ja) | 1994-07-26 |
JP3138995B2 true JP3138995B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=11541369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05002869A Expired - Fee Related JP3138995B2 (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 静圧空気軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3138995B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4629256B2 (ja) * | 2001-03-27 | 2011-02-09 | 学校法人東京理科大学 | 可変絞り形静圧軸受 |
JP5617229B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-11-05 | 株式会社東京精密 | エアスピンドル及びエア供給装置 |
CN103542241B (zh) * | 2013-09-25 | 2016-06-29 | 广州市昊志机电股份有限公司 | 一种气浮转台 |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP05002869A patent/JP3138995B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06207617A (ja) | 1994-07-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |