JP3101694B2 - 軟ｘ線多層膜反射鏡 - Google Patents
軟ｘ線多層膜反射鏡Info
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- JP3101694B2 JP3101694B2 JP08075668A JP7566896A JP3101694B2 JP 3101694 B2 JP3101694 B2 JP 3101694B2 JP 08075668 A JP08075668 A JP 08075668A JP 7566896 A JP7566896 A JP 7566896A JP 3101694 B2 JP3101694 B2 JP 3101694B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＸ線リソグラフィ
ーなどに用いられるＸ線反射鏡に関し、特にＸ線リソグ
ラフィーで使用される１２５Å〜１３５Åの波長領域の
軟Ｘ線に対し、高い反射率を示す多層膜反射鏡に関す
る。
ーなどに用いられるＸ線反射鏡に関し、特にＸ線リソグ
ラフィーで使用される１２５Å〜１３５Åの波長領域の
軟Ｘ線に対し、高い反射率を示す多層膜反射鏡に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線リソグラフィーでは１２５Å〜１３
５Åの波長領域の軟Ｘ線が使用されている。ところが、
このような波長領域においては、全ての物質の屈折率は
１に近いため、単一の物質だけでは反射率の高い反射鏡
を構成することができず、そこでごくわずかに屈折率が
異なる物質を層状に交互に多数重ねて多層膜構造を形成
し、この多層膜構造における各層の厚さを適切に設定す
ることにより、各層の境界で起こるほんのわずかな反射
波の位相を互いに一致させて比較的高い反射率の反射鏡
を得ている。
５Åの波長領域の軟Ｘ線が使用されている。ところが、
このような波長領域においては、全ての物質の屈折率は
１に近いため、単一の物質だけでは反射率の高い反射鏡
を構成することができず、そこでごくわずかに屈折率が
異なる物質を層状に交互に多数重ねて多層膜構造を形成
し、この多層膜構造における各層の厚さを適切に設定す
ることにより、各層の境界で起こるほんのわずかな反射
波の位相を互いに一致させて比較的高い反射率の反射鏡
を得ている。
【０００３】この多層膜構造における反射率は多層膜を
構成する高屈折率物質と低屈折率物質とをどのように組
み合わせるかに依存し、比較的高い反射率が得られる物
質の組み合わせが種々提案されている。それらのうちの
一つに、高屈折率物質としてＳｉ，低屈折率物質として
Ｍｏをそれぞれ用いるＭｏ／Ｓｉの組み合わせがあり、
このＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡は広く利用されている。
構成する高屈折率物質と低屈折率物質とをどのように組
み合わせるかに依存し、比較的高い反射率が得られる物
質の組み合わせが種々提案されている。それらのうちの
一つに、高屈折率物質としてＳｉ，低屈折率物質として
Ｍｏをそれぞれ用いるＭｏ／Ｓｉの組み合わせがあり、
このＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡は広く利用されている。
【０００４】図３はそのＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡を示す
断面図であり、基板１１上にＭｏ層１２とＳｉ層１３と
が交互に積層されて多層膜構造が形成されている。
断面図であり、基板１１上にＭｏ層１２とＳｉ層１３と
が交互に積層されて多層膜構造が形成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したＭ
ｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡では、Ｍｏ層１２とＳｉ層１３と
の界面において、Ｓｉ化合物が形成され、そのＳｉ化合
物の存在によって反射率が低下してしまうという問題が
ある。このＳｉ化合物の形成は、多層膜反射鏡の作製時
にＭｏ層１２とＳｉ層１３とが反応して生じ、またＭｏ
層１２とＳｉ層１３とが高温になることによっても生じ
るものであり、通常の使用状態においても、入射したＸ
線の一部が吸収されて熱エネルギに変換され、その発熱
によってＳｉ化合物が生成されてしまうため、反射率の
低下は避けられず、よって従来使用されているＭｏ／Ｓ
ｉ多層膜反射鏡は高い反射率を安定して得ることができ
ず、つまり熱的耐久性に劣るものとなっていた。
ｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡では、Ｍｏ層１２とＳｉ層１３と
の界面において、Ｓｉ化合物が形成され、そのＳｉ化合
物の存在によって反射率が低下してしまうという問題が
ある。このＳｉ化合物の形成は、多層膜反射鏡の作製時
にＭｏ層１２とＳｉ層１３とが反応して生じ、またＭｏ
層１２とＳｉ層１３とが高温になることによっても生じ
るものであり、通常の使用状態においても、入射したＸ
線の一部が吸収されて熱エネルギに変換され、その発熱
によってＳｉ化合物が生成されてしまうため、反射率の
低下は避けられず、よって従来使用されているＭｏ／Ｓ
ｉ多層膜反射鏡は高い反射率を安定して得ることができ
ず、つまり熱的耐久性に劣るものとなっていた。
【０００６】この発明の目的は従来の欠点を除去し、熱
的耐久性に優れ、かつ高い反射率を得ることができる軟
Ｘ線多層膜反射鏡を提供することにある。
的耐久性に優れ、かつ高い反射率を得ることができる軟
Ｘ線多層膜反射鏡を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明によれば、Ｘ線
に対して互いに屈折率が異なる高屈折率層と低屈折率層
とが交互に積層されてなる軟Ｘ線多層膜反射鏡におい
て、高屈折率層がＳｉ層により構成され、低屈折率層が
ＺｒＭｏ2 層により構成される。
に対して互いに屈折率が異なる高屈折率層と低屈折率層
とが交互に積層されてなる軟Ｘ線多層膜反射鏡におい
て、高屈折率層がＳｉ層により構成され、低屈折率層が
ＺｒＭｏ2 層により構成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を実施例に
より説明する。図１はこの発明の実施例を示したもので
ある。基板１１上にＺｒＭｏ2 層１４とＳｉ層１３とが
交互に積層されて多層膜構造が形成される。これらＺｒ
Ｍｏ2層１４及びＳｉ層１３は例えばスパッタリングに
より順次積層されて形成され、この例では合計１０１層
形成されている。ＺｒＭｏ2 層１４は低屈折率層をな
し、Ｓｉ層１３は高屈折率層をなす。
より説明する。図１はこの発明の実施例を示したもので
ある。基板１１上にＺｒＭｏ2 層１４とＳｉ層１３とが
交互に積層されて多層膜構造が形成される。これらＺｒ
Ｍｏ2層１４及びＳｉ層１３は例えばスパッタリングに
より順次積層されて形成され、この例では合計１０１層
形成されている。ＺｒＭｏ2 層１４は低屈折率層をな
し、Ｓｉ層１３は高屈折率層をなす。
【０００９】軟Ｘ線はこれらＺｒＭｏ2 層１４及びＳｉ
層１３のわずかな屈折率の差により、それら両層の各界
面でわずかに反射される。ＺｒＭｏ2 層１４及びＳｉ層
１３の各厚さは各界面で反射された軟Ｘ線の位相が揃
い、それら反射波が互いに強め合う値に選定され、軟Ｘ
線の波長とその入射角に応じて設定される。この発明で
は多層膜構造における低屈折率層を構成する物質とし
て、ＺｒＭｏ 2 を用いる。このＺｒＭｏ2 は金属間化合
物であり、予め化合物を形成している。従って、ＺｒＭ
ｏ2 層１４とＳｉ層１３との界面におけるＳｉ化合物の
形成を抑えることができ、即ち高温下においてもＺｒＭ
ｏ2 層１４及びＳｉ層１３はその物性が変化しないた
め、熱的耐久性に優れたものとなる。
層１３のわずかな屈折率の差により、それら両層の各界
面でわずかに反射される。ＺｒＭｏ2 層１４及びＳｉ層
１３の各厚さは各界面で反射された軟Ｘ線の位相が揃
い、それら反射波が互いに強め合う値に選定され、軟Ｘ
線の波長とその入射角に応じて設定される。この発明で
は多層膜構造における低屈折率層を構成する物質とし
て、ＺｒＭｏ 2 を用いる。このＺｒＭｏ2 は金属間化合
物であり、予め化合物を形成している。従って、ＺｒＭ
ｏ2 層１４とＳｉ層１３との界面におけるＳｉ化合物の
形成を抑えることができ、即ち高温下においてもＺｒＭ
ｏ2 層１４及びＳｉ層１３はその物性が変化しないた
め、熱的耐久性に優れたものとなる。
【００１０】図２はこの実施例によるＺｒＭｏ2 ／Ｓｉ
多層膜反射鏡と、図３に示した従来のＭｏ／Ｓｉ多層膜
反射鏡について、数値計算により得られた波長と反射率
との関係を比較して示したものである。なお、計算はＸ
線が反射面に対し８０°の角度で入射するものとし、ま
た従来のＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡においても積層数は上
記したＺｒＭｏ2 ／Ｓｉ多層膜反射鏡と同じく１０１層
として計算した。
多層膜反射鏡と、図３に示した従来のＭｏ／Ｓｉ多層膜
反射鏡について、数値計算により得られた波長と反射率
との関係を比較して示したものである。なお、計算はＸ
線が反射面に対し８０°の角度で入射するものとし、ま
た従来のＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡においても積層数は上
記したＺｒＭｏ2 ／Ｓｉ多層膜反射鏡と同じく１０１層
として計算した。
【００１１】図２から明らかなように、ＺｒＭｏ2 ／Ｓ
ｉ多層膜反射鏡は１３０Å前後の波長領域で従来のＭｏ
／Ｓｉ多層膜反射鏡よりも高い反射率を得ることがで
き、実際の使用時においてはＳｉ化合物の形成により従
来のＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡はこの図２に示した反射率
より例えば１０％以上低下するため、反射率の差はさら
に拡大する。
ｉ多層膜反射鏡は１３０Å前後の波長領域で従来のＭｏ
／Ｓｉ多層膜反射鏡よりも高い反射率を得ることがで
き、実際の使用時においてはＳｉ化合物の形成により従
来のＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡はこの図２に示した反射率
より例えば１０％以上低下するため、反射率の差はさら
に拡大する。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
軟Ｘ線用反射鏡として従来知られているＭｏ／Ｓｉ多層
膜反射鏡より高い反射率を得ることができ、しかも優れ
た熱的耐久性を有する多層膜反射鏡を得ることができ
る。
軟Ｘ線用反射鏡として従来知られているＭｏ／Ｓｉ多層
膜反射鏡より高い反射率を得ることができ、しかも優れ
た熱的耐久性を有する多層膜反射鏡を得ることができ
る。
【図１】この発明の実施例を示す断面図。
【図２】図１の実施例及び従来の軟Ｘ線多層膜反射鏡に
おける波長と反射率との関係を示す特性図。
おける波長と反射率との関係を示す特性図。
【図３】従来の軟Ｘ線多層膜反射鏡の一例を示す断面
図。
図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−167599（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−62393（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−249297（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−203798（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−273596（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−230195（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G21K 1/06 G02B 5/08 G02B 5/26 G02B 5/28
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線に対し互いに屈折率が異なる高屈折
率層と低屈折率層とが交互に積層されてなる軟Ｘ線多層
膜反射鏡において、 上記高屈折率層がＳｉ層よりなり、上記低屈折率層がＺ
ｒＭｏ2 層よりなることを特徴とする軟Ｘ線多層膜反射
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08075668A JP3101694B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08075668A JP3101694B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09264998A JPH09264998A (ja) | 1997-10-07 |
| JP3101694B2 true JP3101694B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=13582827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08075668A Expired - Fee Related JP3101694B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 軟ｘ線多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3101694B2 (ja) |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP08075668A patent/JP3101694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09264998A (ja) | 1997-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000704 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |