JP3033738B2 - ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法Info
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Description
納した第1カセットからウエハを搬出して、洗浄工程等
において使用される第2カセットへ移し替えるときに用
いるウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法に関するもので
ある。
は、図6に示すように構成されている。すなわち、内部
に駆動源を有する本体42から垂直方向に昇降自在に構
成された軸44が突出形成されており、該軸44の先端
部には図示を省略した水平方向に回転及び伸縮自在なア
ームが取り付けられていて、そのアームの先端部にウエ
ハを下側から支持するフィンガー46が取り付けられて
いる。
ト(搬送カセット)50から洗浄工程等において使用さ
れる第2カセット(中間カセット)60へのウエハの移
し替えは、例えば次のようにして行われる。先ず、軸4
2の昇降いずれかを行い、フィンガー46の高さが第1
カセット50内の最下部のウエハMの位置より若干下側
になるようにする。次に、図示せぬアームを伸張してフ
ィンガー46を第1カセット50内に進入させ、最下部
のウエハMが収納された収納溝の下に位置させる。次
に、軸42を少し上昇させて、フィンガー46の上面に
ウエハMをすくい上げるように当接させ、図7に示すよ
うに、吸着バッド46aにてウエハMを真空吸着してず
れないように支持する。
カセット50から搬出する。続いてアームを水平方向に
回転させ、フィンガー46を第2カセット60側に向
け、かつフィンガー46の高さが第2カセット60内の
最上部のウエハMが入る収納棚と同じ位置になるように
軸42を上昇させる。アームを伸張させてフィンガー4
6を第2カセット60内に進入させ、ウエハMを最上部
の収納棚の上側に位置させる。次に、軸42を少し下降
させるとともに、真空吸着を解除させてウエハを収納棚
に載置させる。最初のウエハMを搬入させた後、アーム
を収縮、回転させて、フィンガーを46を第1カセット
50側に向け、同じ動作を繰り返し行わせてウエハMを
第1カセット50から第2カセット60へと移送させ
る。
エハ搬送装置の場合、第1カセットから1枚ずつウエハ
を取り出して第2カセットへ搬入するようになっている
ので、例えば第1カセットがウエハを25枚収納してい
れば、全てを洗浄工程において使用する第2カセットへ
移し替えるのは、同じ動作を25回繰り返して行わなけ
ればならず、作業時間を大幅に短縮することは困難であ
った。また、ウエハをフィンガー上に載置し搬送する際
に、ウエハが移動しないように真空吸着により固定させ
るので、吸着パッドの後がウエハ下面に付く危険があ
り、ウエハが汚れて十分な洗浄効果を得られない場合が
想定される。またさらに、洗浄効率を上げるために、2
個の第1カセット内に収納されているウエハを全て、洗
浄用の1個の第2カセットに収納しようとすると、ウエ
ハ搬送装置の軸などが通常の倍の伸縮が行えるものでな
くてはならず、一般の洗浄工程では適していないととも
に、第2カセットの寸法も倍になり使用に適さない。
縮でき、かつウエハ面に汚れが付きにくい構造のウエハ
搬送装置の提供にある。
に、本発明は、次のような手段を採用した。請求項1に
記載の発明は、ウエハを下側から支持するように構成さ
れた支持板を、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収
納された第1カセット内に進入させてウエハを支持して
搬出し、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収納され
る第2カセット内へ前記支持板を進入させてウエハを搬
入するようにしたウエハ搬送装置であって、記支持板を
複数枚で構成するとともに、これらの支持板を前記第1
カセットに収納されたウエハの間隔と同一間隔で上下方
向に平行に配置し、かつ前記支持板上の前方側には、ウ
エハ外縁部に当接してウエハを支持する略円錐状の一対
の第1支持ピンを設けるとともに、後方側にもウエハの
外縁部と当接してウエハを支持する略円錐状の一対の第
2支持ピンを設け、かつ前記第1支持ピン及び第2支持
ピンとも、中央部より下側の傾斜角を上側よりなだらか
に形成し、さらに支持板上の後方側にウエアの外縁部と
当接する一対の位置決めピンを設けたことを特徴として
いる。
に進入した支持板は複数枚のウエハを支持して搬出す
る。複数枚のウエハを支持している支持板は、第2カセ
ット内に進入し支持していたウエハを第2カセット内に
移載する。このように、一度に複数枚のウエハを搬送で
きるので、従来に比べて作業時間の大幅な短縮が図れる
とともに、支持板が第1カセット内に進入する際、仮に
第1カセット内に載置されているウエハの一部が外側に
突出して不揃いになっている場合に、そのウエハは支持
板の後方側に設けられた位置決めピンに当たって押し込
められ、他のウエハと位置が揃えられる。続いて、支持
板でウエハを下側から支持するのであるが、先ずウエハ
は第1支持ピンと第2支持ピンの円錐状の斜面を滑り降
りて停止し、その外縁部は各支持ピンの斜面によって支
持される。
側の斜面と下側の斜面の2点で支持されるので、ウエハ
と支持ピンとの接触点が少なく、ウエハへの汚れの付着
を軽減することができる。
の発明において、第1支持ピン及び第2支持ピンは、石
英又はサファイヤで形成されていることを特徴としてい
る。
ンの傾斜面によってウエハの支持を繰り返しても、石英
又はサファイヤは硬度が高いので、摩耗によるパーティ
クルの発生が少なく、ウエハに付着する量を軽減するこ
とができる。このため、後の洗浄作業時間を短縮するこ
とが可能となる。
枚のウエハが上下方向に一定間隔Aで平行に収納された
第1カセット内のウエハ収納棚の上又は下側から、請求
項1又は2記載のウエハ搬送装置の支持板上の第1支持
ピンと第2支持ピンとで、連続した5枚のウエハをその
間隔Aを保った状態でそれぞれ支持して同時に搬出し、
上下方向に一定間隔1/2Aで50枚のウエハを収納す
るように構成された第2カセット内の偶数あるいは奇数
番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平行に搬入
し、この繰り返しにより第1カセット内のウエハが空に
なったとき、後続の第1のカセット内から同様にしてウ
エハを搬出し、第2のカセット内の空いている奇数ある
いは偶数番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平
行に順次搬入するようにした。
を収納する間隔を第1カセットに対して半分、すなわち
ハーフピッチにすることができるので、2個の第1カセ
ットに収納したウエハを同一外形寸法の1個の第2カセ
ットに収納することができる。このため、第2カセット
やウエハ搬送装置の寸法変更を行わずに、第1カセット
2個分の搬送処理ができ、コストの軽減が可能となる。
係るウエハ搬送装置とウエハ搬送方法の実施形態につい
て説明する。なお、従来の技術の項で説明した部材と同
一あるいは相当するものには同一符号を付す。
置の実施の形態を示す。なお、図1はウエハ搬送装置1
0の要部と第1カセット50及び第2カセット30との
関係を示す側面図、図2はウエハ搬送装置10のフィン
ガー(本発明の支持板に該当)を示し、(a)は平面
図、(b)は側面図、図3はフィンガー上に設けられた
第1支持ピンを示し(a)は側面図、(b)は第1支持
ピンとウエハとの接触状態を示す図、図4はフィンガー
上に設けられた第2支持ピンを示し、(a)は側面図、
(b)は第2支持ピンとウエハとの接触状態を示す図、
図5は位置決めピンとウエハ接触状態を示す側面図であ
る。
に、図示せぬ本体から垂直方向に昇降自在に突出形成さ
れた軸14を有しており、該軸14の先端部には水平方
向に回転自在かつ伸縮自在な図示を省略したアームが取
り付けられていて、そのアームの先端部15にはセラミ
ック等の剛性素材からなる5枚のフィンガー16が、上
下方向に同一の間隔A(=10mm)をもって水平に取
り付けられている。なお、この間隔Aは、第1カセット
50内に収納された隣り合うウエハM同士の間隔と同じ
ものである。
示すように、平板の一部に略扇形の切り込みが設けられ
ていて、あたかもVサインのような形状を示し、その上
面の前方側16a、すなわち先端部には、一対の第1支
持ピン18が設けられている。また、フィンガー16の
後方側16bには一対の第2支持ピン20が設けられて
おり、かつ円柱状の位置決めピン22も設けられてい
る。この位置決めピン22は、フィンガー16が第1カ
セット50内に進入する際、仮に第1カセット50内に
載置されているウエハMの一部が外側に突出して不揃い
になっている場合、図5に示すように、そのウエハMに
当たって押し込め、他のウエハMと位置を揃える働きを
する。
ン20とについて説明する。これらは、ウエハMをフィ
ンガー16上に載置したときに、ウエハMが位置ずれし
ないようにしたものである。第1支持ピン18は、図3
(a)に示すように、上面が平坦にカットされた円錐状
の突起部18aとその下側に連続する円錐状の斜面部1
8bとを有しており、フィンガー16に脱着可能に取り
付けられていて、図3(b)に示すように、B点とC点
とで載置したウエハMのエッジ部(外縁部)に当接して
ウエハMを支持するようになっている。また、第2支持
ピン20は、図4(a)に示すように、上面が平坦にカ
ットされた円錐状の突起部20aとその下側に連続する
円錐状の斜面部20bとを有しており、これもフィンガ
ー16に脱着可能に取り付けられていて、図4(b)に
示すように、D点とE点とでウエハMのエッジ部に当接
してウエハMを支持するようになっている。
は、第1支持ピン18の突起部18aよりも高さが有
り、かつ急勾配になっていて、ウエハMがフィンガー1
6上に載置される際に、ウエハMのエッジ部が突起部2
0aと斜面部20bとに案内されて、フィンガー16上
に落ち着くようになっている。なお、これら第1支持ピ
ン18及び第2支持ピン20は、パーティクルの発生を
抑えるために、摩耗しにくい材質の石英又はサファイヤ
が用いられている。
16の取り付けに際し、図2(b)に示すように、これ
らフィンガー16の水平位置を調整するために2本の調
整ボルト24が配置されていて、所定範囲の水平調整が
行えるようになっている。また、フィンガー16の後方
側16bには、反射型の光センサ26が取り付けられて
いて、フィンガー16が第1カセット50内に進入した
時に、ウエハMの有無を検出するようになっている。
ハMの搬送方法について説明する。先ず、図1に示すよ
うに、2個の第1カセット50内のウエハMは、間隔A
=10mmのピッチで収納されており、洗浄工程にて用
いる第2カセットはウエハMの収納間隔は1/2A=5
mmとする。いま、各第1カセット50内には25枚の
ウエハMが収納されているとして、ウエハ搬送装置10
のアームが伸張してフィンガー16が2個の第1カセッ
ト50のうち上側に描かれた第1カセット50内の下部
に進入し、5枚のウエハMu、Mv、Mw、Mx、My
の位置にそれぞれフィンガー16を対向させる。続い
て、軸14が少し上昇して各フィンガー16上にウエハ
Mを5枚同時に載置する。アームが収縮してウエハMを
5枚同時に第1カセット50の外に搬出する。
に軸14が伸びて、対面に位置する第2カセット30の
上方よりウエハMを収納していく。第2カセット30の
ウエハ収納ピッチは5mmとなっており、搬出した5枚
のウエハMu、Mv、Mw、Mx、Myはそれぞれ第2
カセット30の収納棚の1、3、5、7、9番目に収納
する。次に、運ばれてきた5枚のウエハMp、Mq、M
r、Ms、Mtはそれぞれ第2カセット30の11、1
3、15、17、19番目の収納棚に収納する。以下、
同様にして、合計5回の搬送により第1カセット50内
の25枚のウエハMは、第2カセット30の奇数番目の
収納溝に全てが収納される。
内から上部の5枚のウエハMu′、Mv′、Mw′、M
x′、My′を搬出し、第2カセット30の収納棚2、
4、6、8、10番目に収納する。以下、同様にして、
第1カセット50内のウエハMは第2カセット30の偶
数番目の収納棚に収納される。このように、第1カセッ
ト50内から同時に搬出したウエハMを第2カセット3
0内に搬入した後、第1カセットから搬出したウエハ
を、今度は既に第2カセット30に収納されたウエハM
の各間に収納するように下方向に5mmずらして搬入す
るようにしたので、第1カセット50の2個分のウエハ
Mを同一外形寸法の1個の第2カセット30に収納する
ことができる。
たウエハMを第2カセット30に収納するときに、最初
は奇数収納棚へ収納し、その後に間隔1/2A(=5m
m)だけずらして、偶数収納棚に収納するようにしたの
で、従来10mmピッチであった第2カセットを5mm
ピッチのものを使用することができる。このため、第2
カセット30の寸法を大きくすることなく、第1カセッ
ト50の2個分のウエハMを収納して洗浄処理等を行わ
せることができるようになった。また、5枚のウエハを
同時に移送できるので、従来に比べ移送時間が約1/5
倍に短縮することができる。
ガー16上の第1支持ピン18の高さが、第2ガイドピ
ン20よりも低くなっているのは、第2カセット30の
ウエハ収納棚が5mm間隔になっているので、フィンガ
ー16が第2カセット30内に進入するときに、引っか
かりにくいようにしたものである。また、フィンガー1
6が5段になっているのは、5段以上では重量が増大し
て撓んだり、あるいはハンドリングに支障をきたす場合
がある点を考慮したもので、搬送時間の短縮等との兼ね
合いから最良の状態を選択したものである。
50には25枚のウエハMが収納されていたが、13枚
収納するカセットの場合は、第1回目には下部の5枚を
搬送して第2カセットの上部奇数番目の収納棚に収納
し、第2回目にその上の3枚を搬送して第2カセットの
下部の奇数番目の収納棚に収納し、続いて上部の5枚を
搬送して第2カセットの中央部の奇数番目の収納棚に収
納する。同様にして、次の第1カセットから取り出した
ウエハMを第2カセットの偶数番目の収納棚に収納す
る。
ウエハを支持する支持板を複数枚としたので、搬送処理
時間を大幅に短縮することができるとともに、ウエハの
支持を支持ピンで行うので、真空吸着のようなパッド跡
が付かず、後の処理作業を軽減することができる。さら
に、第2カセットのウエハを収納する間隔を第1カセッ
トに対して半分にすることができ、2個の第1カセット
に収納したウエハを同一外形寸法の1個の第2カセット
に収納することができるので、第2カセットやウエハ搬
送装置の寸法変更を行わずに、第1カセット2個分の搬
送処理ができ、コストの軽減が図れる。
カセットとの関係を示す側面図である。
平面図、(b)は側面図である。
(a)は側面図、(b)は第1支持ピンとウエハとの接
触状態を示す図である。
し、(a)は側面図、(b)は第2支持ピンとウエハと
の接触状態を示す図である。
ある。
び第2カセットとの関係を示す側面図である。
載置している側面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 ウエハを下側から支持するように構成さ
れた支持板を、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収
納された第1カセット内に進入させてウエハを支持して
搬出し、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収納され
る第2カセット内へ前記支持板を進入させてウエハを搬
入するようにしたウエハ搬送装置であって、 前記支持板を複数枚で構成するとともに、これらの支持
板を前記第1カセットに収納されたウエハの間隔と同一
間隔で上下方向に平行に配置し、 かつ前記支持板上の前方側には、ウエハ外縁部に当接し
てウエハを支持する略円錐状の一対の第1支持ピンを設
けるとともに、後方側にもウエハの外縁部と当接してウ
エハを支持する略円錐状の一対の第2支持ピンを設け、
かつ前記第1支持ピン及び第2支持ピンとも、中央部よ
り下側の傾斜角を上側よりなだらかに形成し、さらに支
持板上の後方側にウエアの外縁部と当接する一対の位置
決めピンを設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。 - 【請求項2】 前記第1支持ピン及び第2支持ピンは、
石英又はサファイヤで形成されていることを特徴とする
請求項1に記載のウエハ搬送装置。 - 【請求項3】 ウエハが上下方向に一定間隔Aで平行に
収納された第1カセット内のウエハ収納棚の上又は下側
から、請求項1又は2記載のウエハ搬送装置の支持板上
の第1支持ピンと第2支持ピンとで、連続した複数枚の
ウエハをその間隔Aを保った状態でそれぞれ支持して同
時に搬出し、上下方向に一定間隔1/2Aで第1カセッ
トの2倍の枚数のウエハを収納するように構成された第
1カセットと同一外形寸法の第2カセット内の偶数ある
いは奇数番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平
行に搬入し、この繰り返しにより第1カセット内のウエ
ハが空になったとき、後続の第1のカセット内から同様
にしてウエハを搬出し、第2のカセット内の空いている
ウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平行に順次搬入す
るようにしたことを特徴とするウエハ搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21457398A JP3033738B2 (ja) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21457398A JP3033738B2 (ja) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000049209A JP2000049209A (ja) | 2000-02-18 |
JP3033738B2 true JP3033738B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=16657961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21457398A Expired - Fee Related JP3033738B2 (ja) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3033738B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101863474B1 (ko) | 2013-12-26 | 2018-05-31 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 |
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JP6049970B2 (ja) * | 2011-08-10 | 2016-12-21 | 川崎重工業株式会社 | エンドエフェクタ装置及び該エンドエフェクタ装置を備える基板搬送用ロボット |
US20200144086A1 (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-07 | Entegris, Inc. | Reticle support for a container |
-
1998
- 1998-07-29 JP JP21457398A patent/JP3033738B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101863474B1 (ko) | 2013-12-26 | 2018-05-31 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 |
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