JP3023184B2 - 連続式トンネル炉 - Google Patents
連続式トンネル炉Info
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- JP3023184B2 JP3023184B2 JP2418032A JP41803290A JP3023184B2 JP 3023184 B2 JP3023184 B2 JP 3023184B2 JP 2418032 A JP2418032 A JP 2418032A JP 41803290 A JP41803290 A JP 41803290A JP 3023184 B2 JP3023184 B2 JP 3023184B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、連続式トンネル
炉に関するものである。
炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】セラミックコンデンサー、フェライト、
サーミスタ等の電子部品用セラミックを焼成するため
に、連続式トンネル炉が用いられている。連続式トンネ
ル炉の加熱方式としては、電気加熱方式と燃焼加熱方式
がある。炉内雰囲気を厳密にコントロールしたい場合に
は電気加熱方式が有利である。一方、エネルギーコスト
や迅速焼成の点からは燃焼加熱方式が有利であり、最近
ではこの型の連続式トンネル炉が多く用いられている。
サーミスタ等の電子部品用セラミックを焼成するため
に、連続式トンネル炉が用いられている。連続式トンネ
ル炉の加熱方式としては、電気加熱方式と燃焼加熱方式
がある。炉内雰囲気を厳密にコントロールしたい場合に
は電気加熱方式が有利である。一方、エネルギーコスト
や迅速焼成の点からは燃焼加熱方式が有利であり、最近
ではこの型の連続式トンネル炉が多く用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、燃焼加熱方式
を用いた従来の連続式トンネル炉においては、被焼成品
近傍の雰囲気を所望の雰囲気に設定することが困難であ
った。例えば、炉内温度が１０００℃以上の場合には酸
素富化等の特別な手段を講じることなしには、１２％以
上の値に酸素濃度を定常的に維持することが困難であっ
た。特に、燃焼負荷容量（例えば処理量や速度、炉温
等）や炉内排気能力（例えば、排気ファンの詰まり、フ
ァンベルトの劣化等）が変動する場合には、酸素濃度及
び炉内圧力を安定させることが困難であった。また、未
燃ガスや不完全燃焼ガスが直接被焼成品に接触して、品
質に悪影響を与えることがあった。以上のような不都合
のため、製品の焼成過程における歩留りが低下してい
た。
を用いた従来の連続式トンネル炉においては、被焼成品
近傍の雰囲気を所望の雰囲気に設定することが困難であ
った。例えば、炉内温度が１０００℃以上の場合には酸
素富化等の特別な手段を講じることなしには、１２％以
上の値に酸素濃度を定常的に維持することが困難であっ
た。特に、燃焼負荷容量（例えば処理量や速度、炉温
等）や炉内排気能力（例えば、排気ファンの詰まり、フ
ァンベルトの劣化等）が変動する場合には、酸素濃度及
び炉内圧力を安定させることが困難であった。また、未
燃ガスや不完全燃焼ガスが直接被焼成品に接触して、品
質に悪影響を与えることがあった。以上のような不都合
のため、製品の焼成過程における歩留りが低下してい
た。
【０００４】本発明の目的は、処理雰囲気を精密に制御
できる連続式トンネル炉を提供することである。
できる連続式トンネル炉を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の連続式トンネル
炉は、予熱部（１１）、本焼部（１２）及び冷却部（１
３）から構成されている連続式トンネル炉において、予
熱部（１１）は、ガス燃焼加熱装置（４２）によって炉
壁（１４）の内側に形成された複数の燃焼室（１７）内
から耐火物製のマッフル（１６）を介して被処理物（４
１）を間接的に加熱できる構成にし、雰囲気ガスをマッ
フル（１６）内に供給するための多数の配管（２４）を
配置したガス供給装置（２２）を設け、マッフル（１
６）内を排気するための多数の配管（２７）を配置した
第１の排気装置（２６）をマッフル（１６）内へのガス
供給と関連づけて設け、燃焼室（１７）内を排気するた
めの多数の配管（３２）を配置した第２の排気装置（３
１）をマッフル（１６）内へのガス供給と関連づけて設
けたことを特徴とする連続式トンネル炉を要旨としてい
る。
炉は、予熱部（１１）、本焼部（１２）及び冷却部（１
３）から構成されている連続式トンネル炉において、予
熱部（１１）は、ガス燃焼加熱装置（４２）によって炉
壁（１４）の内側に形成された複数の燃焼室（１７）内
から耐火物製のマッフル（１６）を介して被処理物（４
１）を間接的に加熱できる構成にし、雰囲気ガスをマッ
フル（１６）内に供給するための多数の配管（２４）を
配置したガス供給装置（２２）を設け、マッフル（１
６）内を排気するための多数の配管（２７）を配置した
第１の排気装置（２６）をマッフル（１６）内へのガス
供給と関連づけて設け、燃焼室（１７）内を排気するた
めの多数の配管（３２）を配置した第２の排気装置（３
１）をマッフル（１６）内へのガス供給と関連づけて設
けたことを特徴とする連続式トンネル炉を要旨としてい
る。
【０００６】バインダ燃焼装置を第１の排気装置に接続
して、マッフル内で揮発したバインダを完全に灰化でき
るようにすることが望ましい。マッフルの内側及び外側
に圧力検出手段を設けることが望ましく、この場合に
は、マッフル内側の圧力をマッフルの外側（特に燃焼室
内）の圧力よりも大きくなるように制御することが望ま
しい。
して、マッフル内で揮発したバインダを完全に灰化でき
るようにすることが望ましい。マッフルの内側及び外側
に圧力検出手段を設けることが望ましく、この場合に
は、マッフル内側の圧力をマッフルの外側（特に燃焼室
内）の圧力よりも大きくなるように制御することが望ま
しい。
【０００７】
【実施例】図１は本発明による連続式トンネル炉の１つ
の実施例を示す長手方向断面図であり、簡単のため炉の
概略のみを示している。図２は炉の一部を概念的に示す
長手方向断面図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿った横方向
断面図である。
の実施例を示す長手方向断面図であり、簡単のため炉の
概略のみを示している。図２は炉の一部を概念的に示す
長手方向断面図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿った横方向
断面図である。
【０００８】連続式トンネル炉１０は予熱部１１、本焼
部１２、冷却部１３から構成されている。予熱部１１は
ガス炉形式、本焼部１２は電気炉形式を採用している。
被熱処理物４１は、炉内に設けられた処理室１８内を図
１の右方向に連続的に又は間欠的に送られる。その過程
で、所定の加熱処理が被熱処理物４１に施される構成に
なっている。連続式トンネル炉１０は全体的に細長い角
筒形の炉壁１４を有する。炉壁１４の内部には炉の長手
方向に沿って形成された処理室１８が設けてあり、その
底部にはレール１５が配置されている。被熱処理物４１
は台板４０に載置され、台板４０と共にレール１５上を
移動する。
部１２、冷却部１３から構成されている。予熱部１１は
ガス炉形式、本焼部１２は電気炉形式を採用している。
被熱処理物４１は、炉内に設けられた処理室１８内を図
１の右方向に連続的に又は間欠的に送られる。その過程
で、所定の加熱処理が被熱処理物４１に施される構成に
なっている。連続式トンネル炉１０は全体的に細長い角
筒形の炉壁１４を有する。炉壁１４の内部には炉の長手
方向に沿って形成された処理室１８が設けてあり、その
底部にはレール１５が配置されている。被熱処理物４１
は台板４０に載置され、台板４０と共にレール１５上を
移動する。
【０００９】予熱部１１における炉壁１４の内側には複
数の燃焼室１７が形成されている。燃焼室１７には燃焼
加熱装置４２としてガスバーナが設けられている。燃焼
室１７の内側には、処理室１８内を移動する被熱処理物
を囲むようにマッフル１６が設置されている。マッフル
１６は耐火物で形成する。炉の用途によってはステンレ
ス等で形成してもよい。予熱部１１ではマッフル１６と
レール１５によって処理室１８の外壁が形成される。処
理室１８（マッフル１６）の内側は気密に構成してもよ
く、この場合には処理室１８と燃焼室１７との間で高温
ガスが流通しない。一方、マッフル１６を気密に構成し
ない場合には、マッフル内の雰囲気を所定の雰囲気に保
つために燃焼室からのガスの流入を防止することが必要
である。このためには、後述する排気装置２６と３１を
制御して、マッフル１６内の圧力を燃焼室内圧力と同
等、好ましくは燃焼室内圧力よりも大きく保つようにす
る。換言すれば、燃焼室内圧力をマッフル内圧力に対し
負圧に保つのである。圧力を検出するために、マッフル
１６（処理室１８）内及び燃焼室内に圧力計２０及び２
１を設置する。そして、圧力をモニターしつつ排気装置
２６と３１を制御するのである。場合によっては、前述
の排気装置２６，３１と共に給気装置２２も制御する。
数の燃焼室１７が形成されている。燃焼室１７には燃焼
加熱装置４２としてガスバーナが設けられている。燃焼
室１７の内側には、処理室１８内を移動する被熱処理物
を囲むようにマッフル１６が設置されている。マッフル
１６は耐火物で形成する。炉の用途によってはステンレ
ス等で形成してもよい。予熱部１１ではマッフル１６と
レール１５によって処理室１８の外壁が形成される。処
理室１８（マッフル１６）の内側は気密に構成してもよ
く、この場合には処理室１８と燃焼室１７との間で高温
ガスが流通しない。一方、マッフル１６を気密に構成し
ない場合には、マッフル内の雰囲気を所定の雰囲気に保
つために燃焼室からのガスの流入を防止することが必要
である。このためには、後述する排気装置２６と３１を
制御して、マッフル１６内の圧力を燃焼室内圧力と同
等、好ましくは燃焼室内圧力よりも大きく保つようにす
る。換言すれば、燃焼室内圧力をマッフル内圧力に対し
負圧に保つのである。圧力を検出するために、マッフル
１６（処理室１８）内及び燃焼室内に圧力計２０及び２
１を設置する。そして、圧力をモニターしつつ排気装置
２６と３１を制御するのである。場合によっては、前述
の排気装置２６，３１と共に給気装置２２も制御する。
【００１０】予熱部１１の炉壁には排気装置３１が設け
てあり、燃焼室１７内の排気を行う。排気装置３１は、
配管３２、バルブ３３、ファン３４から構成される。バ
ルブ３３が個々の燃焼室にそれぞれ設けてあるため、排
気強度を燃焼室毎に設定できる。
てあり、燃焼室１７内の排気を行う。排気装置３１は、
配管３２、バルブ３３、ファン３４から構成される。バ
ルブ３３が個々の燃焼室にそれぞれ設けてあるため、排
気強度を燃焼室毎に設定できる。
【００１１】マッフル１６には給気装置２２と排気装置
２６が設けてあり、処理室１８内への給気と排気を行
う。排気装置２６は燃焼室１７用の排気装置３１とは独
立関係に設けられている。給気装置２２は、供給手段２
５、配管２３、バルブ２４から構成されている。排気装
置２６は配管２７、バルブ３０、ファン２９そしてバイ
ンダ燃焼器２８から構成される。バインダ燃焼装置２８
は、マッフル１６によって間接加熱され揮発したバイン
ダを完全に灰化するためのものである。
２６が設けてあり、処理室１８内への給気と排気を行
う。排気装置２６は燃焼室１７用の排気装置３１とは独
立関係に設けられている。給気装置２２は、供給手段２
５、配管２３、バルブ２４から構成されている。排気装
置２６は配管２７、バルブ３０、ファン２９そしてバイ
ンダ燃焼器２８から構成される。バインダ燃焼装置２８
は、マッフル１６によって間接加熱され揮発したバイン
ダを完全に灰化するためのものである。
【００１２】給気装置２２（及び排気装置２６）によっ
て例えば処理室１８（マッフル１６）内の酸素を高濃度
にしかも安定させて保つことができる。例えば表１に示
したように、実施例では酸素濃度を最大で２０．６％に
設定でき、これを２０．２〜２０．６％の範囲に制御す
ることができた。一方従来の炉においては、設定可能な
最高酸素濃度は１２％程度であり、制御範囲は８〜１２
％程度であった。
て例えば処理室１８（マッフル１６）内の酸素を高濃度
にしかも安定させて保つことができる。例えば表１に示
したように、実施例では酸素濃度を最大で２０．６％に
設定でき、これを２０．２〜２０．６％の範囲に制御す
ることができた。一方従来の炉においては、設定可能な
最高酸素濃度は１２％程度であり、制御範囲は８〜１２
％程度であった。
【００１３】本焼部１２には通常の電気式ヒータ（図示
せず）が設けられている。図４はサーミスタを焼成する
ための熱処理温度のパターンの１例を示したものであ
る。図中Ｘ，Ｙ，Ｚが予熱、加熱、冷却領域である。
せず）が設けられている。図４はサーミスタを焼成する
ための熱処理温度のパターンの１例を示したものであ
る。図中Ｘ，Ｙ，Ｚが予熱、加熱、冷却領域である。
【００１４】
【発明の効果】本発明の連続式トンネル炉によれば、被
熱処理物近傍の雰囲気、例えば、焼成雰囲気を、製品処
理量に関係無く所定の雰囲気に安定して維持できる。例
えば酸素濃度を定常的にしかも高濃度で維持できる。
熱処理物近傍の雰囲気、例えば、焼成雰囲気を、製品処
理量に関係無く所定の雰囲気に安定して維持できる。例
えば酸素濃度を定常的にしかも高濃度で維持できる。
【００１５】更にマッフル内と燃焼室を独立して排気し
ているため、予熱帯より本焼帯への揮発バインダ・未燃
ガスの流入を防ぐことができる。従って、製品の焼成品
質歩留りを大幅に向上できる。例えばサーミスタを本発
明の炉で製造した場合には、従来８９％の歩留りであっ
たものを９８％にすることができた。
ているため、予熱帯より本焼帯への揮発バインダ・未燃
ガスの流入を防ぐことができる。従って、製品の焼成品
質歩留りを大幅に向上できる。例えばサーミスタを本発
明の炉で製造した場合には、従来８９％の歩留りであっ
たものを９８％にすることができた。
【００１６】また、本発明の実施例では、バインダ燃焼
装置を設けているため、処理物から揮発したバインダ成
分は完全に燃焼した状態で炉外へ排出され、環境をクリ
ーンに維持することができた。
装置を設けているため、処理物から揮発したバインダ成
分は完全に燃焼した状態で炉外へ排出され、環境をクリ
ーンに維持することができた。
【００１７】
【表１】
【図１】連続式トンネル炉の１つの実施例の概略を示す
長手方向断面図である。
長手方向断面図である。
【図２】連続式トンネル炉の一部を概念的に示す長手方
向断面図である。
向断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った横方向断面図である。
【図４】熱処理温度のパターンの１例を示すグラフであ
る。
る。
１６ マッフル ２２ 雰囲気ガス供給装置 ２７ 排気装置 ３１ 排気装置 ４２ 燃焼加熱装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭62−55092（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F27B 9/04
Claims (1)
- 【請求項１】 予熱部（１１）、本焼部（１２）及び冷
却部（１３）から構成されている連続式トンネル炉にお
いて、予熱部（１１）は、ガス燃焼加熱装置（４２）に
よって炉壁（１４）の内側に形成された複数の燃焼室
（１７）内から耐火物製のマッフル（１６）を介して被
処理物（４１）を間接的に加熱できる構成にし、雰囲気
ガスをマッフル（１６）内に供給するための多数の配管
（２４）を配置したガス供給装置（２２）を設け、マッ
フル（１６）内を排気するための多数の配管（２７）を
配置した第１の排気装置（２６）をマッフル（１６）内
へのガス供給と関連づけて設け、燃焼室（１７）内を排
気するための多数の配管（３２）を配置した第２の排気
装置（３１）をマッフル（１６）内へのガス供給と関連
づけて設けたことを特徴とする連続式トンネル炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2418032A JP3023184B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 連続式トンネル炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2418032A JP3023184B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 連続式トンネル炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04222387A JPH04222387A (ja) | 1992-08-12 |
| JP3023184B2 true JP3023184B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=18525997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2418032A Expired - Fee Related JP3023184B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 連続式トンネル炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3023184B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5483272B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2014-05-07 | 東海高熱工業株式会社 | 連続熱処理炉 |
| KR101353584B1 (ko) * | 2012-07-06 | 2014-01-22 | 허혁재 | 연속식 열처리로 및 분리가능한 연속식 열처리로용 급·배기장치 |
-
1990
- 1990-12-21 JP JP2418032A patent/JP3023184B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04222387A (ja) | 1992-08-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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