JP2989215B2 - 回転塗布装置およびその洗浄方法 - Google Patents
回転塗布装置およびその洗浄方法Info
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- JP2989215B2 JP2989215B2 JP2107095A JP10709590A JP2989215B2 JP 2989215 B2 JP2989215 B2 JP 2989215B2 JP 2107095 A JP2107095 A JP 2107095A JP 10709590 A JP10709590 A JP 10709590A JP 2989215 B2 JP2989215 B2 JP 2989215B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は、レジストなどを塗布するための回転塗布
装置及びその洗浄方法に関するものである。
装置及びその洗浄方法に関するものである。
＜従来の技術＞ 従来のスピンチャックを第５図（ａ）に示す断面図と
第５図（ｂ）に示す平面図とにより説明する。
第５図（ｂ）に示す平面図とにより説明する。
図に示すスピンチャック51は、被塗布体10を装着する
ための装着部52と、装着部52の下面に形成した回転軸53
とにより構成される。
ための装着部52と、装着部52の下面に形成した回転軸53
とにより構成される。
前記装着部52の上面側には、溝54が形成される。この
溝54は、中央部に設けた中央溝54aと、中央溝54aに対し
て同心円状に設けた複数の同心円溝54bと、中央溝54aと
各同心円溝54bとをつないだ複数の接続溝54cとにより形
成される。
溝54は、中央部に設けた中央溝54aと、中央溝54aに対し
て同心円状に設けた複数の同心円溝54bと、中央溝54aと
各同心円溝54bとをつないだ複数の接続溝54cとにより形
成される。
また、前記回転軸53には、前記中央溝54aに通じる排
気通路55が設けられる。
気通路55が設けられる。
次に、上記したスピンチャック51の動作を前記第５図
（ａ）により説明する。
（ａ）により説明する。
被塗布体10は、スピンチャック51の上面に吸着され
る。吸着するには、排気通路55を通じて溝54内を排気
し、溝54内の気圧を負圧にする。
る。吸着するには、排気通路55を通じて溝54内を排気
し、溝54内の気圧を負圧にする。
この状態で、スピンチャック51と吸着された被塗布体
10とが、回転軸53に接続されたモータ（図示せず）によ
って回転する。
10とが、回転軸53に接続されたモータ（図示せず）によ
って回転する。
回転する被塗布体10の上面中央部には、液状の塗布物
（図示せず）が滴下される。滴下された塗布物は、回転
による遠心力によって、被塗布体10の上面に沿って広が
る。このとき、膜形成に不必要な塗布物が被塗布体10の
外方に飛び散る。また、被塗布体10上に塗布される塗布
物の膜厚は、スピンチャック51の回転数によって決定さ
れる。
（図示せず）が滴下される。滴下された塗布物は、回転
による遠心力によって、被塗布体10の上面に沿って広が
る。このとき、膜形成に不必要な塗布物が被塗布体10の
外方に飛び散る。また、被塗布体10上に塗布される塗布
物の膜厚は、スピンチャック51の回転数によって決定さ
れる。
＜発明が解決しようとする課題＞ 上記した従来のスピンチャックでは、モータより発生
した熱が回転軸より装着部に伝わる。また、装着部の中
央部の周速度より周辺部の周速度が速いために、周辺部
の冷却作用が高い。そのために、装着部には、中央部と
周辺部とで温度差が生じる。この場合、装着部に装着さ
れた被塗布体にも、装着部と同様に温度差が生じる。よ
って、塗布物の膜厚が不均一になる。
した熱が回転軸より装着部に伝わる。また、装着部の中
央部の周速度より周辺部の周速度が速いために、周辺部
の冷却作用が高い。そのために、装着部には、中央部と
周辺部とで温度差が生じる。この場合、装着部に装着さ
れた被塗布体にも、装着部と同様に温度差が生じる。よ
って、塗布物の膜厚が不均一になる。
また、被塗布体の上面より外方に飛び散った塗布物
は、スピンチャックの外周の設けられたスピンカップに
付着する。この付着した塗布物が塵埃になって、スピン
カップ内の清浄度を下げる。
は、スピンチャックの外周の設けられたスピンカップに
付着する。この付着した塗布物が塵埃になって、スピン
カップ内の清浄度を下げる。
この発明は、上記課題を解決するために成されたもの
で、塗布物の膜厚の均一性に優れていて、しかも液槽付
きスピンチャックを有するものでスピンカップ内の清浄
度が高い回転塗布装置を提供することを目的とする。
で、塗布物の膜厚の均一性に優れていて、しかも液槽付
きスピンチャックを有するものでスピンカップ内の清浄
度が高い回転塗布装置を提供することを目的とする。
＜課題を解決するための手段＞ この発明は、上記目的を達成するために成されたもの
で、被塗布体を装着するための装着部と、自体が回転す
ることにより該装着部を回転させる回転軸とを有する回
転塗布装置において、前記装着部の下面と対向するよう
に配置され、外側壁が前記装着部の外周面より前記装着
部の中心から離れて位置し、液体を貯えることが可能な
液槽部を有することを特徴としている。前記装着部は、
該装着部の外周面から該装着部の下面まで貫通した複数
の貫通孔を有することを特徴としている。
で、被塗布体を装着するための装着部と、自体が回転す
ることにより該装着部を回転させる回転軸とを有する回
転塗布装置において、前記装着部の下面と対向するよう
に配置され、外側壁が前記装着部の外周面より前記装着
部の中心から離れて位置し、液体を貯えることが可能な
液槽部を有することを特徴としている。前記装着部は、
該装着部の外周面から該装着部の下面まで貫通した複数
の貫通孔を有することを特徴としている。
又、回転塗布装置の洗浄方法は、被塗布体を装着する
ための装着部と、自体が回転することにより該装着部を
回転させる回転軸と、該装着部の外周を覆うように形成
されたスピンカップとを有する回転塗布装置の洗浄方法
において、前記装着部の外周面より前記装着部の中心か
ら離れて位置することで、前記装着部の下面との間にす
き間を有して位置する外側壁を有し、前記装着部の下面
と対向するように配置され、液体を貯えることが可能な
液槽部を有し、前記装着部を回転することによって、前
記液槽部に貯えられた液体を遠心力により前記すき間か
ら前記スピンカップの方向に飛び出させることを特徴と
している。前記装着部に該装着部の外周面から該装着部
の下面に貫通した複数の貫通孔を有するものを用い、前
記装着部を回転させた際に、前記液槽部に貯えられた液
体を前記貫通孔を通して前記スピンカップの方向に飛び
出させることを特徴としている。
ための装着部と、自体が回転することにより該装着部を
回転させる回転軸と、該装着部の外周を覆うように形成
されたスピンカップとを有する回転塗布装置の洗浄方法
において、前記装着部の外周面より前記装着部の中心か
ら離れて位置することで、前記装着部の下面との間にす
き間を有して位置する外側壁を有し、前記装着部の下面
と対向するように配置され、液体を貯えることが可能な
液槽部を有し、前記装着部を回転することによって、前
記液槽部に貯えられた液体を遠心力により前記すき間か
ら前記スピンカップの方向に飛び出させることを特徴と
している。前記装着部に該装着部の外周面から該装着部
の下面に貫通した複数の貫通孔を有するものを用い、前
記装着部を回転させた際に、前記液槽部に貯えられた液
体を前記貫通孔を通して前記スピンカップの方向に飛び
出させることを特徴としている。
＜作用＞ 上記構成の回転塗布装置では、装着部の下面と対向す
るように配置され、外側壁が装着部の外周面より装着部
の中心から離れて位置し、液体を貯えることが可能な液
槽部を有することから、液槽部内に貯えた液体と装着部
とを接触させることが可能となる。それによって、装着
部が吸熱または発熱してもその液体により装着部の温度
が一定になるので、装着部に生じた温度差が解消され
る。よって、装着部に装着された被塗布体の温度差も解
消する。
るように配置され、外側壁が装着部の外周面より装着部
の中心から離れて位置し、液体を貯えることが可能な液
槽部を有することから、液槽部内に貯えた液体と装着部
とを接触させることが可能となる。それによって、装着
部が吸熱または発熱してもその液体により装着部の温度
が一定になるので、装着部に生じた温度差が解消され
る。よって、装着部に装着された被塗布体の温度差も解
消する。
又装着部は、その外周面から下面まで貫通した複数の
貫通孔を有することから、装着部を回転した際には、装
着部の下面全体を覆うように配置された液槽部内の液体
は貫通孔を通って外方に飛ばされるようになる。よっ
て、外方に飛ばされた液体で装着部の外方に配置される
スピンカップ内を洗浄することが可能になる。
貫通孔を有することから、装着部を回転した際には、装
着部の下面全体を覆うように配置された液槽部内の液体
は貫通孔を通って外方に飛ばされるようになる。よっ
て、外方に飛ばされた液体で装着部の外方に配置される
スピンカップ内を洗浄することが可能になる。
上記回転塗布装置の洗浄方法では、液槽の外側壁と装
着部の外側面との間にすき間を設けたことにより、装着
部の回転に連動しながら回転する液体が、回転による遠
心力によって、すき間を通って外方に飛ばされる。外方
に飛ばされた液体は、スピンカップの内側に当たって、
その内側を流れる。よって、スピンチャックが効率良く
洗浄される。
着部の外側面との間にすき間を設けたことにより、装着
部の回転に連動しながら回転する液体が、回転による遠
心力によって、すき間を通って外方に飛ばされる。外方
に飛ばされた液体は、スピンカップの内側に当たって、
その内側を流れる。よって、スピンチャックが効率良く
洗浄される。
又装着部に該装着部の外周面から該装着部の下面に貫
通した複数の貫通孔を有するものを用い、装着部を回転
させた際に、前記液槽部に貯えられた液体を前記貫通孔
を通して前記スピンカップの方向に飛び出させるので、
下面全体を覆うように配置された液槽部内の液体が貫通
孔を通って十分に飛散し、スピンカップ内の洗浄効率を
さらに上げることができる。
通した複数の貫通孔を有するものを用い、装着部を回転
させた際に、前記液槽部に貯えられた液体を前記貫通孔
を通して前記スピンカップの方向に飛び出させるので、
下面全体を覆うように配置された液槽部内の液体が貫通
孔を通って十分に飛散し、スピンカップ内の洗浄効率を
さらに上げることができる。
＜実施例＞ この発明の実施例を第１図に示す断面図により説明す
る。
る。
図に示す液槽付きスピンチャック１は、本発明の回転
塗布装置に係わるもので、被塗布体10を装着するための
装着部２と、装着部２の下面2aに形成した回転軸３と、
回転軸３の外周に設けた液槽４と、液槽４に貯えた液体
５とにより構成される。
塗布装置に係わるもので、被塗布体10を装着するための
装着部２と、装着部２の下面2aに形成した回転軸３と、
回転軸３の外周に設けた液槽４と、液槽４に貯えた液体
５とにより構成される。
前記装着部２と前記回転軸３とは、前述した従来の技
術で説明した装着部（52）と回転軸（53）と同様のもの
である。
術で説明した装着部（52）と回転軸（53）と同様のもの
である。
前記液槽４は、この液槽４に対して前記回転軸３を回
転自在にした状態で、回転軸３の外周に設けられる。ま
た、この液槽４の外側壁4aと前記装着部２の外側面2bと
の間には、すき間６が設けられる。このすき間６の幅
は、前記液体５の粘度によって決定される。さらに、液
槽４には、液体５を供給するための供給管28が設けられ
る。
転自在にした状態で、回転軸３の外周に設けられる。ま
た、この液槽４の外側壁4aと前記装着部２の外側面2bと
の間には、すき間６が設けられる。このすき間６の幅
は、前記液体５の粘度によって決定される。さらに、液
槽４には、液体５を供給するための供給管28が設けられ
る。
また、液体５が回転軸３側に流れ出るのを防ぐため
に、回転軸３側の装着面２の下面2aには、回転軸３に対
して同心円状の溝７が形成される。さらに、液槽４に対
して装着部２を回転自在な状態にして、前記溝７には、
液槽４の内側壁4bの上部側が挿入される。
に、回転軸３側の装着面２の下面2aには、回転軸３に対
して同心円状の溝７が形成される。さらに、液槽４に対
して装着部２を回転自在な状態にして、前記溝７には、
液槽４の内側壁4bの上部側が挿入される。
前記供給管28より液槽４に供給された液体５は、装着
部２の下面2aに対して、常に接触状態に保たれる。この
液体５には、被塗布体10に塗布される塗布物の溶媒を所
定の温度にして用いる。
部２の下面2aに対して、常に接触状態に保たれる。この
液体５には、被塗布体10に塗布される塗布物の溶媒を所
定の温度にして用いる。
前記液体５を、所定の温度にするには、一例として第
２図に示すような供給系21が用いられる。
２図に示すような供給系21が用いられる。
この供給系21は、液体５を貯蔵するための容器22と、
流量調節バルブ23と、流量計24と、開閉バルブ25と、熱
交換器26と、供給管28とを順に連通したものである。熱
交換器26には温調器27により所定温度の温調水が循環さ
れる。液体５は、流量調節バルブ23によって流量が調節
されて、熱交換器26によって所定の温度に温調され、供
給管28より液槽（４）へ供給される。
流量調節バルブ23と、流量計24と、開閉バルブ25と、熱
交換器26と、供給管28とを順に連通したものである。熱
交換器26には温調器27により所定温度の温調水が循環さ
れる。液体５は、流量調節バルブ23によって流量が調節
されて、熱交換器26によって所定の温度に温調され、供
給管28より液槽（４）へ供給される。
次に、上記した液槽付きスピンチャック１の動作を第
３図により説明する。
３図により説明する。
被塗布体10を装着部２に装着して、塗布物11を塗布す
る動作は、前述した従来の技術と同様にして行われる。
る動作は、前述した従来の技術と同様にして行われる。
このとき、液槽４には、供給管28より所定温度の液体
５が供給される。そして、液体５と装着部２の下面2aと
が接触する。そのために、装着部２は、液体５と比較し
て、高温の部分が冷やされ、低温の部分が温められて、
全体の温度が一定になる。さらに、装着部２に装着され
た被塗布体10も全体の温度が一定になる。よって、被塗
布体10に塗布された塗布物11の膜厚が均一化される。
５が供給される。そして、液体５と装着部２の下面2aと
が接触する。そのために、装着部２は、液体５と比較し
て、高温の部分が冷やされ、低温の部分が温められて、
全体の温度が一定になる。さらに、装着部２に装着され
た被塗布体10も全体の温度が一定になる。よって、被塗
布体10に塗布された塗布物11の膜厚が均一化される。
さらに、装着部２に接触した液体５は、装着部２の回
転に連動して回転し、遠心力を受ける。遠心力を受けた
液体５は、すき間６を通って、液槽４の外方へ飛び散
る。飛び散った液体5aは、液槽付きスピンチャック１の
外周に設けられたスピンカップ15の内側に当たり、内側
に沿って流れ落ちる。よって、この液体５がスピンカッ
プ15に付着した塗布物11aを洗い流すので、スピンカッ
プ15内が清浄に保たれる。
転に連動して回転し、遠心力を受ける。遠心力を受けた
液体５は、すき間６を通って、液槽４の外方へ飛び散
る。飛び散った液体5aは、液槽付きスピンチャック１の
外周に設けられたスピンカップ15の内側に当たり、内側
に沿って流れ落ちる。よって、この液体５がスピンカッ
プ15に付着した塗布物11aを洗い流すので、スピンカッ
プ15内が清浄に保たれる。
さらに、スピンカップ15の内側の洗浄効果を高める手
段を第４図（ａ）に示す正面図と第４図（ｂ）に示す背
面図とにより説明する。
段を第４図（ａ）に示す正面図と第４図（ｂ）に示す背
面図とにより説明する。
図に示すように、装着部２には、複数の貫通孔12が設
けられる。各貫通孔12は、装着部２の下面2aより外側面
2bに向けて形成される。さらに、下面2a側の貫通孔12の
開口部12aは、外側面2bの貫通孔12の開口12bより装着部
２の回転の中心より回転方向にずらして形成される。
けられる。各貫通孔12は、装着部２の下面2aより外側面
2bに向けて形成される。さらに、下面2a側の貫通孔12の
開口部12aは、外側面2bの貫通孔12の開口12bより装着部
２の回転の中心より回転方向にずらして形成される。
また、下面2a側の開口12aにおいて、装着部２の回転
方向とは反対側にフード（図示せず）を設けても良い。
方向とは反対側にフード（図示せず）を設けても良い。
上記した貫通孔12を設けた装着部２が回転することに
よって、液体（５）が貫通孔12を通って、外方に飛ばさ
れ易くなる。よって、スピンカップ（15）の洗浄が効果
的に行える。
よって、液体（５）が貫通孔12を通って、外方に飛ばさ
れ易くなる。よって、スピンカップ（15）の洗浄が効果
的に行える。
＜発明の効果＞ 以上、説明したようにこの発明によれば、装着部の下
面と対向するように配置され、外側壁が装着部の外周面
より装着部の中心から離れて位置し、液体を貯えること
が可能な液槽部を有するので、液体と装着部とを接触さ
せることができ、、それによって、装着部の温度を一定
に保つことができる。よって、装着部に装着された被塗
布体の温度差も解消することができるので、被塗布体に
塗布される塗布物の膜厚を均一に形成することができ
る。また、装着部は、その外周面から下面まで貫通した
複数の貫通孔を有するので、装着部を回転した際には、
液槽部内の液体が貫通孔を通って外方に飛ばされるよう
になる。よって、外方に飛ばされた液体で装着部の外方
に配置されるスピンカップ内を洗浄することができるの
で、スピンカップの清浄度を高めることができる。
面と対向するように配置され、外側壁が装着部の外周面
より装着部の中心から離れて位置し、液体を貯えること
が可能な液槽部を有するので、液体と装着部とを接触さ
せることができ、、それによって、装着部の温度を一定
に保つことができる。よって、装着部に装着された被塗
布体の温度差も解消することができるので、被塗布体に
塗布される塗布物の膜厚を均一に形成することができ
る。また、装着部は、その外周面から下面まで貫通した
複数の貫通孔を有するので、装着部を回転した際には、
液槽部内の液体が貫通孔を通って外方に飛ばされるよう
になる。よって、外方に飛ばされた液体で装着部の外方
に配置されるスピンカップ内を洗浄することができるの
で、スピンカップの清浄度を高めることができる。
第１図は、実施例を接触する断面図、 第２図は、供給系の説明図、 第３図は、実施例の動作説明図、 第４図（ａ）は、装着部の正面図、 第４図（ｂ）は、装着部の背面図、 第５図（ａ）は、従来例の断面図、 第５図（ｂ）は、従来例の平面図である。 １……液槽付きスピンチャック,2……装着部， 2a……下面,2b……外側壁,3……回転軸， ４……液槽,4a……外側壁,5……液槽， ６……すき間。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B05C 11/00,11/08 B05D 1/40 B05D 3/00 - 3/10 G03F 7/16 502 H01L 21/027
Claims (4)
- 【請求項１】被塗布体を装着するための装着部と、自体
が回転することにより該装着部を回転させる回転軸とを
有する回転塗布装置において、 前記装着部の下面と対向するように配置され、外側壁が
前記装着部の外周面より前記装着部の中心から離れて位
置し、液体を貯えることが可能な液槽部を有することを
特徴とする回転塗布装置。 - 【請求項２】請求項１記載の回転塗布装置において、 前記装着部は、該装着部の外周面から該装着部の下面ま
で貫通した複数の貫通孔を有することを特徴とする回転
塗布装置。 - 【請求項３】被塗布体を装着するための装着部と、自体
が回転することにより該装着部を回転させる回転軸と、
該装着部の外周を覆うように形成されたスピンカップと
を有する回転塗布装置の洗浄方法において、 前記装着部の外周面より前記装着部の中心から離れて位
置することで、前記装着部の下面との間にすき間を有し
て位置する外側壁を有し、前記装着部の下面と対向する
ように配置され、液体を貯えることが可能な液槽部を有
し、 前記装着部を回転することによって、前記液槽部に貯え
られた液体を遠心力により前記すき間から前記スピンカ
ップの方向に飛び出させることを特徴とする回転塗布装
置の洗浄方法。 - 【請求項４】請求項３記載の回転塗布装置の洗浄方法に
おいて、 前記装着部に該装着部の外周面から該装着部の下面に貫
通した複数の貫通孔を有するものを用い、 前記装着部を回転させた際に、前記液槽部に貯えられた
液体を前記貫通孔を通して前記スピンカップの方向に飛
び出させることを特徴とする回転塗布装置の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107095A JP2989215B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 回転塗布装置およびその洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107095A JP2989215B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 回転塗布装置およびその洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047060A JPH047060A (ja) | 1992-01-10 |
| JP2989215B2 true JP2989215B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=14450332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2107095A Expired - Fee Related JP2989215B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 回転塗布装置およびその洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989215B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5816468B2 (ja) * | 2011-06-15 | 2015-11-18 | 東京応化工業株式会社 | 基板収容装置 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP2107095A patent/JP2989215B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047060A (ja) | 1992-01-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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