JP2980359B2 - 感光性耐熱樹脂組成物とそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
感光性耐熱樹脂組成物とそれを用いたパターン形成方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 フィルム形成性感光性耐熱樹脂組成物に関し、 マルチチップモジュールなどを含む高密度実装用の印
刷回路、プリント板、配線板、電子部品などの回路基板
や半導体装置の製造において有用であり、成膜時に膜減
りが少なく、かつ低コストなフィルム形成性感光性耐熱
樹脂組成物を提供することを目的とし、 自体感光性を有しないポリイミド前駆体のワニスと、
該ワニスと相溶可能でありかつ得られる重合体が耐熱性
の良い重合性モノマ又はオリゴマと、該モノマ又はオリ
ゴマの重合開始剤とを含んでなり、そして、重合プロセ
スとして、前記モノマ又はオリゴマが最初に重合せしめ
られかつ、この重合と同時かもしくはそれに続けて、前
記ポリイミド前駆体が熱処理により重合せしめられるよ
うに設計されているように、構成する。
刷回路、プリント板、配線板、電子部品などの回路基板
や半導体装置の製造において有用であり、成膜時に膜減
りが少なく、かつ低コストなフィルム形成性感光性耐熱
樹脂組成物を提供することを目的とし、 自体感光性を有しないポリイミド前駆体のワニスと、
該ワニスと相溶可能でありかつ得られる重合体が耐熱性
の良い重合性モノマ又はオリゴマと、該モノマ又はオリ
ゴマの重合開始剤とを含んでなり、そして、重合プロセ
スとして、前記モノマ又はオリゴマが最初に重合せしめ
られかつ、この重合と同時かもしくはそれに続けて、前
記ポリイミド前駆体が熱処理により重合せしめられるよ
うに設計されているように、構成する。
本発明は、フィルム形成性感光性耐熱樹脂組成物、そ
して該組成物を用いて耐熱絶縁樹脂パターンを形成する
方法に関する。本発明の感光性耐熱樹脂組成物から形成
されるフィルム（本願明細書では、種々のコーティン
グ、被膜、薄膜等を指す広義な語としてこの“フィル
ム”なる語を用いる）は、基材との密着性にすぐれ、耐
熱性、耐湿性、絶縁性、靭性、耐摩耗性、耐候性等が良
好であるばかりでなく、低コストで成膜できる。また、
本発明のパターン形成方法はマスキング用のフォトレジ
ストの助けを借りなくても済むばかりか、この方法によ
って形成される耐熱絶縁樹脂フィルムのパターンは回路
基板、半導体装置等の１成分として有用であり、例え
ば、高密度実装用の印刷回路、プリント板、配線板、電
子部品などにおける保護膜、絶縁膜（層間絶縁膜、他）
などとして利用することができる。したがって、本願明
細書において“基材”あるいは“被処理基材”なる語を
用いた場合、その語は半導体基板、セラミック基板、金
属基板、各種の層膜、配線などを含めた下地一般を意味
する。
して該組成物を用いて耐熱絶縁樹脂パターンを形成する
方法に関する。本発明の感光性耐熱樹脂組成物から形成
されるフィルム（本願明細書では、種々のコーティン
グ、被膜、薄膜等を指す広義な語としてこの“フィル
ム”なる語を用いる）は、基材との密着性にすぐれ、耐
熱性、耐湿性、絶縁性、靭性、耐摩耗性、耐候性等が良
好であるばかりでなく、低コストで成膜できる。また、
本発明のパターン形成方法はマスキング用のフォトレジ
ストの助けを借りなくても済むばかりか、この方法によ
って形成される耐熱絶縁樹脂フィルムのパターンは回路
基板、半導体装置等の１成分として有用であり、例え
ば、高密度実装用の印刷回路、プリント板、配線板、電
子部品などにおける保護膜、絶縁膜（層間絶縁膜、他）
などとして利用することができる。したがって、本願明
細書において“基材”あるいは“被処理基材”なる語を
用いた場合、その語は半導体基板、セラミック基板、金
属基板、各種の層膜、配線などを含めた下地一般を意味
する。
マルチチップモジュール（一例を第１図、第２図に示
す）などを含む高密度実装用の印刷回路、プリント板、
配線板、電子部品などでは、ICチップの搭載のために半
田接合を利用している。そのため、かかる回路基板に用
いる絶縁膜には半田耐熱が必要とされる。また、大量の
情報を迅速に処理する必要から、情報処理装置は小型化
と大容量化が行われており、この装置の主体を構成する
半導体装置は単位素子の小型化による集積化が進んで、
LSIやVLSIが実用化されている。また、このような単位
素子の集積化と共に、半導体装置から放出される熱量
（発熱量）も急激に増加する傾向にあり、LSIの場合、
チップの発熱量は10W程度にまで達している。
す）などを含む高密度実装用の印刷回路、プリント板、
配線板、電子部品などでは、ICチップの搭載のために半
田接合を利用している。そのため、かかる回路基板に用
いる絶縁膜には半田耐熱が必要とされる。また、大量の
情報を迅速に処理する必要から、情報処理装置は小型化
と大容量化が行われており、この装置の主体を構成する
半導体装置は単位素子の小型化による集積化が進んで、
LSIやVLSIが実用化されている。また、このような単位
素子の集積化と共に、半導体装置から放出される熱量
（発熱量）も急激に増加する傾向にあり、LSIの場合、
チップの発熱量は10W程度にまで達している。
こゝで、集積化は回路の多層化により行われており、
半導体集積回路素子の形成に当たっては層間絶縁や表面
保護のために絶縁物が必要であり、燐硅酸ガラス（略称
PSG）、二酸化硅素（SiO2）、窒素硅素（Si3N4）のよう
な無機絶縁物が使用されている。
半導体集積回路素子の形成に当たっては層間絶縁や表面
保護のために絶縁物が必要であり、燐硅酸ガラス（略称
PSG）、二酸化硅素（SiO2）、窒素硅素（Si3N4）のよう
な無機絶縁物が使用されている。
然し、これらの無機絶縁物は絶縁耐力、耐熱性などの
物性は優れているものゝ、絶縁膜は気相成長法（略称CV
D法）で形成されるために厚く形成することは困難であ
る。
物性は優れているものゝ、絶縁膜は気相成長法（略称CV
D法）で形成されるために厚く形成することは困難であ
る。
また、絶縁膜が被着されるべき半導体基板面は多層化
に伴ってアスペクト比の大きな微細な凹凸が多く、これ
らの無機絶縁膜は基板面上と相似形に膜形成されること
から平坦化は不可能であり、また表面被覆性（Coverag
e）も充分でないと云う問題がある。
に伴ってアスペクト比の大きな微細な凹凸が多く、これ
らの無機絶縁膜は基板面上と相似形に膜形成されること
から平坦化は不可能であり、また表面被覆性（Coverag
e）も充分でないと云う問題がある。
そこで、スピンコート法で被覆でき、且つ耐熱性の優
れたポリイミドが注目され、半導体集積回路素子の表面
保護膜だけに止まらず、層間絶縁膜としても実用化が進
んでいる。この表面保護膜又は層間絶縁膜としてのポリ
イミド膜は、ポリアミド酸やその誘導体のようなポリイ
ミド前駆体をＮ−メチル・２ピロリドン（略称NMP）の
ような溶剤に溶解し、これを半導体基板上にスピンコー
トなどの方法で塗布した後、150〜400℃の温度に加熱
し、脱水閉環反応を起こさせ硬化させることにより作る
ことができる。しかし、ここで用いられるポリイミド前
駆体は本来自体感光性をもたないので、ポリイミドの微
細パターンの形成には、ポリイミド前駆体膜の上にフォ
トレジストを被覆し、写真蝕刻技術（フォトリソグラフ
ィ）によりレジスタパターンを作り、さらにこのレジス
トターンをウェットエッチングやプラズマエッチングな
どにより下層に転写してポリイミド前駆体からなるパタ
ーンを作り、これを熱処理して脱水閉環反応を行わせる
ことによりポリイミドパターンを作ることが行われてい
た。
れたポリイミドが注目され、半導体集積回路素子の表面
保護膜だけに止まらず、層間絶縁膜としても実用化が進
んでいる。この表面保護膜又は層間絶縁膜としてのポリ
イミド膜は、ポリアミド酸やその誘導体のようなポリイ
ミド前駆体をＮ−メチル・２ピロリドン（略称NMP）の
ような溶剤に溶解し、これを半導体基板上にスピンコー
トなどの方法で塗布した後、150〜400℃の温度に加熱
し、脱水閉環反応を起こさせ硬化させることにより作る
ことができる。しかし、ここで用いられるポリイミド前
駆体は本来自体感光性をもたないので、ポリイミドの微
細パターンの形成には、ポリイミド前駆体膜の上にフォ
トレジストを被覆し、写真蝕刻技術（フォトリソグラフ
ィ）によりレジスタパターンを作り、さらにこのレジス
トターンをウェットエッチングやプラズマエッチングな
どにより下層に転写してポリイミド前駆体からなるパタ
ーンを作り、これを熱処理して脱水閉環反応を行わせる
ことによりポリイミドパターンを作ることが行われてい
た。
一方、このような煩雑な処理を削減し、任意の形状に
ポリイミド膜をパターン形成する方法を可能にするもの
として、自体感光性を有するポリイミドが開発され、各
メーカーから市販されている。すなわち、この感光性ポ
リイミドは、ポリイミド前駆体の分子内に感光性の官能
基を導入し、露光された部分だけを光反応させ、重合さ
せることにより、未露光部分と露光部分との間の溶解性
を変え、溶媒を用いて現像することにより露光部分だけ
を残して溶解除去しようとするものである。
ポリイミド膜をパターン形成する方法を可能にするもの
として、自体感光性を有するポリイミドが開発され、各
メーカーから市販されている。すなわち、この感光性ポ
リイミドは、ポリイミド前駆体の分子内に感光性の官能
基を導入し、露光された部分だけを光反応させ、重合さ
せることにより、未露光部分と露光部分との間の溶解性
を変え、溶媒を用いて現像することにより露光部分だけ
を残して溶解除去しようとするものである。
そして、熱処理を行うと、耐熱性の劣る感光性の基は
熱分解して除去され、一方、脱水閉環反応が進行するこ
とから、耐熱性の良いポリイミド部分だけが残るもので
ある。こゝで、ポリイミド前駆体への感光性の官能基の
導入方法には共有結合タイプやイオン結合タイプなどが
あり、各種の感光性ポリイミドが市販されている。
熱分解して除去され、一方、脱水閉環反応が進行するこ
とから、耐熱性の良いポリイミド部分だけが残るもので
ある。こゝで、ポリイミド前駆体への感光性の官能基の
導入方法には共有結合タイプやイオン結合タイプなどが
あり、各種の感光性ポリイミドが市販されている。
然し、このような感光性ポリイミドを使用すると感光
性の基の分解により膜減りが大きい以外に、感光性ポリ
イミド自体のコストが高いことが問題であった。また、
非感光性ポリイミド、感光性ポリイミドのどちらも耐湿
性が悪い等の問題もあった。
性の基の分解により膜減りが大きい以外に、感光性ポリ
イミド自体のコストが高いことが問題であった。また、
非感光性ポリイミド、感光性ポリイミドのどちらも耐湿
性が悪い等の問題もあった。
参考までに、ポリイミドを用いたパターン形成方法に
ついて記載した特許文献の一例として、次のようなもの
をあげることができる： 特開昭56−22428号公報…（１）基板上に感光性ポリ
イミド前駆体の膜を形成する；（２）パターン状の光を
照射し、ついで現像する；（３）現像して得たポリイミ
ド前駆体のパターンを加熱することによりポリイミドの
パターンに変換する；（４）得られたポリイミドパター
ンをポリイミドのエッチング剤で処理する；の各工程か
らなることを特徴とするポリイミドパターンの形成方
法。感光性ポリイミド前駆体として、感光性基を化学結
合を介して結合したか、あるいは感光性化合物（重クロ
ム酸塩など）を混合したポリイミド前駆体が用いられ
る。この方法では、未露光部の現像残渣を容易に除去す
ることが可能で、不良のないスルーホールが得られる。
ついて記載した特許文献の一例として、次のようなもの
をあげることができる： 特開昭56−22428号公報…（１）基板上に感光性ポリ
イミド前駆体の膜を形成する；（２）パターン状の光を
照射し、ついで現像する；（３）現像して得たポリイミ
ド前駆体のパターンを加熱することによりポリイミドの
パターンに変換する；（４）得られたポリイミドパター
ンをポリイミドのエッチング剤で処理する；の各工程か
らなることを特徴とするポリイミドパターンの形成方
法。感光性ポリイミド前駆体として、感光性基を化学結
合を介して結合したか、あるいは感光性化合物（重クロ
ム酸塩など）を混合したポリイミド前駆体が用いられ
る。この方法では、未露光部の現像残渣を容易に除去す
ることが可能で、不良のないスルーホールが得られる。
特開昭59−107346号公報…次式で表される構造単位を
含む感光性ポリイミド前駆体からなる耐熱性感光材料。
含む感光性ポリイミド前駆体からなる耐熱性感光材料。
（但し、式中R1,R2は芳香族環基を示し、R3はチエタン
環を示す。また、COOR3はアミド基に対してオルト位に
結合している）。この感光材料をパターン形成に用いる
と、半導体基板への接着性にすぐれた絶縁性、耐熱性ポ
リイミドパターンが得られる。
環を示す。また、COOR3はアミド基に対してオルト位に
結合している）。この感光材料をパターン形成に用いる
と、半導体基板への接着性にすぐれた絶縁性、耐熱性ポ
リイミドパターンが得られる。
使用時にかなりの発熱を伴う集積回路の製造におい
て、層間絶縁膜として感光性ポリイミドの使用が望まれ
ている。然し、この感光性ポリイミドは、前記したよう
に、感光性ポリイミド前駆体を熱処理してポリイミドと
する段階で感光性の基の分解による膜減りがあり、これ
によるパターンの精度低下が問題であり、また、これ以
外に材料自体のコストが高いことが問題であった。
て、層間絶縁膜として感光性ポリイミドの使用が望まれ
ている。然し、この感光性ポリイミドは、前記したよう
に、感光性ポリイミド前駆体を熱処理してポリイミドと
する段階で感光性の基の分解による膜減りがあり、これ
によるパターンの精度低下が問題であり、また、これ以
外に材料自体のコストが高いことが問題であった。
本発明の目的は、したがって、マルチチップモジュー
ルなどを含む高密度実装用の印刷回路、プリント板、配
線板、電子部品などの回路基板や半導体装置の製造にお
いて有用であり、成膜時に膜減りが少なく、かつ低コス
トをフィルム形成性感光性耐熱樹脂組成物を提供するこ
とにある。
ルなどを含む高密度実装用の印刷回路、プリント板、配
線板、電子部品などの回路基板や半導体装置の製造にお
いて有用であり、成膜時に膜減りが少なく、かつ低コス
トをフィルム形成性感光性耐熱樹脂組成物を提供するこ
とにある。
本発明のもう１つの目的は、本発明の感光性耐熱樹脂
組成物を使用して、但しフォトレジストの助けを借りな
いで、耐熱絶縁樹脂パターンを形成するための改良され
たパターン形成方法を提供することにある。
組成物を使用して、但しフォトレジストの助けを借りな
いで、耐熱絶縁樹脂パターンを形成するための改良され
たパターン形成方法を提供することにある。
本発明者らは、上記した目的を達成すべく鋭意研究の
結果、自体感光性を有しないポリイミド前駆体を特定の
重合性モノマ又はオリゴマと組み合わせて使用すると、
従来の感光性ポリイミドのもつ問題点を解消するととも
に、従来の方法よりもはるかに低コストで表面保護膜、
層間絶縁膜等用のポリイミド膜を形成し得るということ
を見い出した。
結果、自体感光性を有しないポリイミド前駆体を特定の
重合性モノマ又はオリゴマと組み合わせて使用すると、
従来の感光性ポリイミドのもつ問題点を解消するととも
に、従来の方法よりもはるかに低コストで表面保護膜、
層間絶縁膜等用のポリイミド膜を形成し得るということ
を見い出した。
本発明は、その１つの面において、光重合性成分の選
択的露光による光重合工程と、それに引き続いて実施さ
れる、ポリイミド前駆体の加熱による脱水閉環反応工程
によってパターン化されたフィルムを形成可能な感光性
耐熱樹脂組成物であって、 自体感光性を有しておらずかつ加熱により脱水閉環反
応を被ってポリイミドに変換可能なポリイミド前駆体の
ワニスと、 前記ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ
光重合性を有している、 下記の群： （１）1000以下の分子量を有しかつ次式： （上式において、Ａはアクリル酸又はメタクリル酸であ
り、Ｂは多価アルコールであり、Ｃは多塩基酸であり、
そしてｎは１〜10である）により表される、３官能以上
のアクリル−又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、 （２）イソシアヌル酸エステル構造を有するアクリル−
又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、及び （３）次式： （上式において、塩素原子は、アクリレート基、メタク
リレート基、ビニル基又はアリル基で置換されている）
により表されるホスファゼンモノマ、から選ばれる少な
くとも１員である光重合性成分と、 前記光重合性成分の重合を開始させ得る重合開始剤と
を含んでなることを特徴とするフィルム形成性感光性耐
熱樹脂組成物にある。
択的露光による光重合工程と、それに引き続いて実施さ
れる、ポリイミド前駆体の加熱による脱水閉環反応工程
によってパターン化されたフィルムを形成可能な感光性
耐熱樹脂組成物であって、 自体感光性を有しておらずかつ加熱により脱水閉環反
応を被ってポリイミドに変換可能なポリイミド前駆体の
ワニスと、 前記ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ
光重合性を有している、 下記の群： （１）1000以下の分子量を有しかつ次式： （上式において、Ａはアクリル酸又はメタクリル酸であ
り、Ｂは多価アルコールであり、Ｃは多塩基酸であり、
そしてｎは１〜10である）により表される、３官能以上
のアクリル−又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、 （２）イソシアヌル酸エステル構造を有するアクリル−
又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、及び （３）次式： （上式において、塩素原子は、アクリレート基、メタク
リレート基、ビニル基又はアリル基で置換されている）
により表されるホスファゼンモノマ、から選ばれる少な
くとも１員である光重合性成分と、 前記光重合性成分の重合を開始させ得る重合開始剤と
を含んでなることを特徴とするフィルム形成性感光性耐
熱樹脂組成物にある。
また、本発明は、そのもう１つの面において、自体感
光性を有しておらずかつ加熱により脱水閉環反応を被っ
てポリイミドに変換可能なポリイミド前駆体のワニス
と、 前記ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ
光重合性を有している、 下記の群： （１）1000以下の分子量を有しかつ次式： （上式において、Ａはアクリル酸又はメタクリル酸であ
り、Ｂは多価アルコールであり、Ｃは多塩基酸であり、
そしてｎは１〜10である）により表される、３官能以上
のアクリル−又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、 （２）イソシアヌル酸エステル構造を有するアクリル−
又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、及び （３）次式： （上式において、塩素原子は、アクリレート基、メタク
リレート基、ビニル基又はアリル基で置換されている）
により表されるホスファゼンモノマ、 から選ばれる少なくとも１員である光重合性成分と、 前記光重合性成分の重合を開始させ得る重合開始剤と
を含む感光性耐熱樹脂組成物を被処理基板上に塗布し、 形成された感光性耐熱樹脂組成物の被膜を前記光重合
性成分の重合を惹起し得る光のパターンに選択的に露光
して前記被膜のうち露光域に含まれる前記光重合性成分
を重合させ、そして、前記露光後の被膜を現像して非露
光域を除去した後、 現像後の被膜を加熱して前記ポリイミド前駆体を重合
させ、前記ポリイミド前駆体から誘導されたポリイミド
及び前記光重合性成分から誘導された重合体からなるパ
ターン化されたフィルムを形成すること、を特徴とする
耐熱樹脂パターンの形成方法にある。
光性を有しておらずかつ加熱により脱水閉環反応を被っ
てポリイミドに変換可能なポリイミド前駆体のワニス
と、 前記ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ
光重合性を有している、 下記の群： （１）1000以下の分子量を有しかつ次式： （上式において、Ａはアクリル酸又はメタクリル酸であ
り、Ｂは多価アルコールであり、Ｃは多塩基酸であり、
そしてｎは１〜10である）により表される、３官能以上
のアクリル−又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、 （２）イソシアヌル酸エステル構造を有するアクリル−
又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、及び （３）次式： （上式において、塩素原子は、アクリレート基、メタク
リレート基、ビニル基又はアリル基で置換されている）
により表されるホスファゼンモノマ、 から選ばれる少なくとも１員である光重合性成分と、 前記光重合性成分の重合を開始させ得る重合開始剤と
を含む感光性耐熱樹脂組成物を被処理基板上に塗布し、 形成された感光性耐熱樹脂組成物の被膜を前記光重合
性成分の重合を惹起し得る光のパターンに選択的に露光
して前記被膜のうち露光域に含まれる前記光重合性成分
を重合させ、そして、前記露光後の被膜を現像して非露
光域を除去した後、 現像後の被膜を加熱して前記ポリイミド前駆体を重合
させ、前記ポリイミド前駆体から誘導されたポリイミド
及び前記光重合性成分から誘導された重合体からなるパ
ターン化されたフィルムを形成すること、を特徴とする
耐熱樹脂パターンの形成方法にある。
本発明では、自体感光性を有しないポリイミド前駆体
に、例えばアクリル系又はメタクリル系のモノマ又はオ
リゴマ、ホスファゼン系のモノマ又はオリゴマ、その他
の重合性モノマ又はオリゴマ、そして重合開始剤を組み
合わせてフィルム形成性感光性耐熱樹脂組成物を調製す
る。ここで、重合性モノマ又はオリゴマが光重合性であ
るものを例にとって本発明の作用を説明すると、次の通
りである： 本発明者等は、上記した通り、感光性ポリイミドのも
つ問題点を解消すると共に、これよりも遥かに廉価な方
法で層間絶縁層用ポリイミド膜を作る方法について研究
した。その結果、耐熱性の優れた光重合性モノマまたは
オリゴマとポリイミド前駆体ワニスを混合した材料を被
処理基材上に被覆し、マスクなどを用いて選択露光を行
って現像すると、非露光部のポリイミド前駆体ワニスは
モノマまたはオリゴマと共に溶解除去されるが、露光部
のポリイミド前駆体ワニスはモノマまたはオリゴマから
の重合体と共に残留していることを見出した。
に、例えばアクリル系又はメタクリル系のモノマ又はオ
リゴマ、ホスファゼン系のモノマ又はオリゴマ、その他
の重合性モノマ又はオリゴマ、そして重合開始剤を組み
合わせてフィルム形成性感光性耐熱樹脂組成物を調製す
る。ここで、重合性モノマ又はオリゴマが光重合性であ
るものを例にとって本発明の作用を説明すると、次の通
りである： 本発明者等は、上記した通り、感光性ポリイミドのも
つ問題点を解消すると共に、これよりも遥かに廉価な方
法で層間絶縁層用ポリイミド膜を作る方法について研究
した。その結果、耐熱性の優れた光重合性モノマまたは
オリゴマとポリイミド前駆体ワニスを混合した材料を被
処理基材上に被覆し、マスクなどを用いて選択露光を行
って現像すると、非露光部のポリイミド前駆体ワニスは
モノマまたはオリゴマと共に溶解除去されるが、露光部
のポリイミド前駆体ワニスはモノマまたはオリゴマから
の重合体と共に残留していることを見出した。
露光部に残留したポリイミド前駆体ワニスとモノマ又
はオリゴマからの重合体は、次いでこれを熱処理する
と、ポリイミド前駆体の脱水閉環反応が進行してポリイ
ミドに変化させることができる。但し、このようにして
生じたポリイミド樹脂パターンは、ポリイミドと重合体
との混合物であるかもしくは共重合体であるため、耐熱
性はポリイミド単独より劣っている。しかし、もしも光
重合性モノマまたはオリゴマとして耐熱性に優れた光重
合性モノマを使用すれば、電子部品が必要とする耐熱性
および絶縁性などの電気的特性は充分保持することがで
きる。
はオリゴマからの重合体は、次いでこれを熱処理する
と、ポリイミド前駆体の脱水閉環反応が進行してポリイ
ミドに変化させることができる。但し、このようにして
生じたポリイミド樹脂パターンは、ポリイミドと重合体
との混合物であるかもしくは共重合体であるため、耐熱
性はポリイミド単独より劣っている。しかし、もしも光
重合性モノマまたはオリゴマとして耐熱性に優れた光重
合性モノマを使用すれば、電子部品が必要とする耐熱性
および絶縁性などの電気的特性は充分保持することがで
きる。
すなわち、電子部品の耐熱性としてJIS規格では270℃
の半田耐熱性が決められているが、本発明に係る感光性
耐熱性樹脂組成物から導かれる感光性耐熱樹脂は、この
程度の耐熱性は充分に保持することができる。
の半田耐熱性が決められているが、本発明に係る感光性
耐熱性樹脂組成物から導かれる感光性耐熱樹脂は、この
程度の耐熱性は充分に保持することができる。
本発明者等は、実験の結果、本発明に係る感光性耐熱
樹脂の特性はポリイミド前駆体ワニスよりも、むしろ光
重合性モノマまたはオリゴマや光重合開始剤の特性に負
うという知見を得た。
樹脂の特性はポリイミド前駆体ワニスよりも、むしろ光
重合性モノマまたはオリゴマや光重合開始剤の特性に負
うという知見を得た。
本発明の実施において、ポリイミド前駆体としては、
各種のポリイミド（変性物を含む）の前駆体を任意に用
いることができる。本発明者らの知見によると、かかる
ポリイミド前駆体は必要に応じて調製しても、あるいは
市販のものを入手してもよいけれども、いずれの前駆体
にも有意差は認められない。適当なポリイミド前駆体
は、ポリイミドの前駆体、そして変性ポリイミドの前駆
体である。ポリイミド系エンジニアリングプラスチック
も同様に使用できる。これらの前駆体は、単独で使用し
ても、混合物として使用してもよい。
各種のポリイミド（変性物を含む）の前駆体を任意に用
いることができる。本発明者らの知見によると、かかる
ポリイミド前駆体は必要に応じて調製しても、あるいは
市販のものを入手してもよいけれども、いずれの前駆体
にも有意差は認められない。適当なポリイミド前駆体
は、ポリイミドの前駆体、そして変性ポリイミドの前駆
体である。ポリイミド系エンジニアリングプラスチック
も同様に使用できる。これらの前駆体は、単独で使用し
ても、混合物として使用してもよい。
ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ得ら
れる重合体が耐熱性の良い重合性モノマ又はオリゴマ
は、好ましくは、アクリル系又はメタクリル系のモノマ
又はオリゴマ、例えばその分子中に少なくとも２個の官
能性を有しているもの、イソシアヌル酸エステル構造を
有するもの、その分子の末端及び／又は側鎖にアクリロ
イル又はメタアクリロイル基を含有するもの、又はオリ
ゴエステルアクリレート、ホスファゼン系のモノマ又は
オリゴマ、その他である。これらの重合性モノマ又はオ
リゴマは、通常、光、熱、その他の作用を受けて重合可
能であり、好ましくは光重合性又は熱重合性である。
れる重合体が耐熱性の良い重合性モノマ又はオリゴマ
は、好ましくは、アクリル系又はメタクリル系のモノマ
又はオリゴマ、例えばその分子中に少なくとも２個の官
能性を有しているもの、イソシアヌル酸エステル構造を
有するもの、その分子の末端及び／又は側鎖にアクリロ
イル又はメタアクリロイル基を含有するもの、又はオリ
ゴエステルアクリレート、ホスファゼン系のモノマ又は
オリゴマ、その他である。これらの重合性モノマ又はオ
リゴマは、通常、光、熱、その他の作用を受けて重合可
能であり、好ましくは光重合性又は熱重合性である。
本発明者らは、ポリイミド前駆体ワニスと相溶性が良
く、かつ重合後に耐熱性の良い光重合性モノマまたはオ
リゴマについて検討した結果、紫外線硬化型の接着剤と
してよく用いられているアクリル系又はメタクリル系の
モノマまたはオリゴマが適していることを見い出した。
く、かつ重合後に耐熱性の良い光重合性モノマまたはオ
リゴマについて検討した結果、紫外線硬化型の接着剤と
してよく用いられているアクリル系又はメタクリル系の
モノマまたはオリゴマが適していることを見い出した。
具体的には、ポリエステルアクリレート系、エポキシ
アクリレート系、ウレタンアクリレート系、シリコンア
クリレート系などのものがアクリル系又はメタクリル系
モノマ又はオリゴマとして有効であり、特にイソシアヌ
ル酸エステル構造を有する多官能アクリレートモノマま
たはオリゴマ、例えばトリス（アクリロイルオキシエチ
ル）イソシアヌレート、イソシアヌル酸EO（ｎ＝３）・
ε−カプトラクトン変性トリアクリレートなどが有効で
あり、また、メタクリル系モノマまたはオリゴマも光感
度はやゝ低下するものゝ同様に使用できる。特に、絶縁
膜の誘電率の低下を目的とする場合には、弗素含有のア
クリル系又はメタクリル系モノマまたはオリゴマ、例え
ばパーフロロオクチルアクリレートなどを混合すると良
いことが判った。
アクリレート系、ウレタンアクリレート系、シリコンア
クリレート系などのものがアクリル系又はメタクリル系
モノマ又はオリゴマとして有効であり、特にイソシアヌ
ル酸エステル構造を有する多官能アクリレートモノマま
たはオリゴマ、例えばトリス（アクリロイルオキシエチ
ル）イソシアヌレート、イソシアヌル酸EO（ｎ＝３）・
ε−カプトラクトン変性トリアクリレートなどが有効で
あり、また、メタクリル系モノマまたはオリゴマも光感
度はやゝ低下するものゝ同様に使用できる。特に、絶縁
膜の誘電率の低下を目的とする場合には、弗素含有のア
クリル系又はメタクリル系モノマまたはオリゴマ、例え
ばパーフロロオクチルアクリレートなどを混合すると良
いことが判った。
本発明者らは、さらに、紫外線硬化型のコーティング
材に用いられている無機の重合前駆体、なかんずくホス
ファゼン系のモノマ又はオリゴマやシリコン含有重合体
の前駆体（モノマ又はオリゴマ）も重合体モノマ又はオ
リゴマとして適していることを見い出した。
材に用いられている無機の重合前駆体、なかんずくホス
ファゼン系のモノマ又はオリゴマやシリコン含有重合体
の前駆体（モノマ又はオリゴマ）も重合体モノマ又はオ
リゴマとして適していることを見い出した。
ホスファゼン化合物については、それが耐熱性の良い
コーティング材であることが既に知られている（特開昭
63−241075号公報）。しかしながら、この公報に記載さ
れている発明は、化粧板、木材、プラスチック、紙、布
などの表面の保護をするコーティング材としての用途を
目的としている。そのため、このホスファゼン化合物を
仮に充填材として用いるとしても、充填材は無機フィラ
ーやシリカなどの無機物に限られており、有機物と複合
して用いることとは無関係である。さらに、この公報
は、本発明のようにこのホスファゼン化合物をポリイミ
ド前駆体と組み合わせて感光性ポリイミドと同じように
選択性にパターンを形成する感光性絶縁膜として用いる
用途には全く触れていない。
コーティング材であることが既に知られている（特開昭
63−241075号公報）。しかしながら、この公報に記載さ
れている発明は、化粧板、木材、プラスチック、紙、布
などの表面の保護をするコーティング材としての用途を
目的としている。そのため、このホスファゼン化合物を
仮に充填材として用いるとしても、充填材は無機フィラ
ーやシリカなどの無機物に限られており、有機物と複合
して用いることとは無関係である。さらに、この公報
は、本発明のようにこのホスファゼン化合物をポリイミ
ド前駆体と組み合わせて感光性ポリイミドと同じように
選択性にパターンを形成する感光性絶縁膜として用いる
用途には全く触れていない。
ホスファゼン系モノマとしては以下に示す、ヘキサク
ロルシクロトリホスファゼン〔3PNC〕のクロル部分が例
えば、アクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、
およびアリル基などで置換されたものが望ましい。
ロルシクロトリホスファゼン〔3PNC〕のクロル部分が例
えば、アクリレート基、メタクリレート基、ビニル基、
およびアリル基などで置換されたものが望ましい。
具体的な例としては、２−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−
ヒドロキシメチルメタクリレートなどのメタクリレート
類中の水酸基から水素原子を除いた残基（ヒドロキシア
ルキルメタクリレート残基）、ならびに２−ヒドロキシ
エチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、３−ヒドロキシ−２−ｔ−ブチルプロピルアクリレ
ートなどのアクリレート類中の水酸基から水素原子を除
いた残基（ヒドロキシアルキルアクリレート残基）を挙
げることができる。
レート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−
ヒドロキシメチルメタクリレートなどのメタクリレート
類中の水酸基から水素原子を除いた残基（ヒドロキシア
ルキルメタクリレート残基）、ならびに２−ヒドロキシ
エチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、３−ヒドロキシ−２−ｔ−ブチルプロピルアクリレ
ートなどのアクリレート類中の水酸基から水素原子を除
いた残基（ヒドロキシアルキルアクリレート残基）を挙
げることができる。
特に好ましい基は、２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートのその水酸基から水素原子を除いた残基および２−
ヒドロキシエチルアクリレートのその水酸基から水素原
子を除いた残基である。もっとも、前記した各種のヒド
ロキシアルキルメタクリレート残基とヒドロキシアルキ
ルアクリレート残基とを比較した場合、ヒドロキシアル
キルアクリレート残基のほうが好ましいと考えられる。
架橋速度が大きくなるからである。また、硬化後耐熱性
の良い多官能のアクリレート系、メタクリレート系の無
機系材料を含有していないモノマと混合して用いても良
い。
ートのその水酸基から水素原子を除いた残基および２−
ヒドロキシエチルアクリレートのその水酸基から水素原
子を除いた残基である。もっとも、前記した各種のヒド
ロキシアルキルメタクリレート残基とヒドロキシアルキ
ルアクリレート残基とを比較した場合、ヒドロキシアル
キルアクリレート残基のほうが好ましいと考えられる。
架橋速度が大きくなるからである。また、硬化後耐熱性
の良い多官能のアクリレート系、メタクリレート系の無
機系材料を含有していないモノマと混合して用いても良
い。
本発明者らは、さらにまた、紫外線硬化型の接着剤と
して用いられている以下に説明するアクリル系オリゴマ
も重合性オリゴマとして適していることを見い出した。
して用いられている以下に説明するアクリル系オリゴマ
も重合性オリゴマとして適していることを見い出した。
アクリル系オリゴマとしては、なかんずく、分子の末
端や側鎖にメタアクリロイル基を持つオリゴマまたはオ
リゴエステルアクリレートが有効であることがわかっ
た。特殊な場合を除いて通常はメタアクリロイル基より
アクリロイル基を持つオリゴマの方が反応性が良くな
り、感度も向上した。さらに詳しくは、以下に示す構造
をもつ３官能以上のアクリル系オリゴマが特に有効であ
ることがわかった。
端や側鎖にメタアクリロイル基を持つオリゴマまたはオ
リゴエステルアクリレートが有効であることがわかっ
た。特殊な場合を除いて通常はメタアクリロイル基より
アクリロイル基を持つオリゴマの方が反応性が良くな
り、感度も向上した。さらに詳しくは、以下に示す構造
をもつ３官能以上のアクリル系オリゴマが特に有効であ
ることがわかった。
上式において、 Ａはアクリル酸、例えばアクリル酸、メタクリル酸な
どであり、 Ｂは多価アルコール、例えば２−エチル−２−ヒドロ
キシメチル−1,3−プロパンジオール、ペンタエリスリ
トールなどであり、そして Ｃは多塩基酸、例えば３−シクロヘキセン−1,2−ジ
カルボン酸、４−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸
などである。
どであり、 Ｂは多価アルコール、例えば２−エチル−２−ヒドロ
キシメチル−1,3−プロパンジオール、ペンタエリスリ
トールなどであり、そして Ｃは多塩基酸、例えば３−シクロヘキセン−1,2−ジ
カルボン酸、４−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸
などである。
以上に列挙したような重合性モノマ又はオリゴマの重
合は、重合開始剤の存在下、光の作用によって惹起せし
められ、かつ進行する。すなわち、用いられる重合開始
剤に光を照射すると、該重合開始剤からラジカルが発生
せしめられ、このラジカルがモノマ又はオリゴマの重合
を誘起する。本発明者らは、本発明の実施に有効な重合
開始剤を見い出すべく研究の結果、光によりラジカルを
発生し得る化合物としてよく知られている化合物、例え
ばベンゾインエーテル化合物、ケタールインエーテル系
化合物、ケタール系化合物、アセトフェノン系化合物、
ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、有
機過酸化物、Ｎ−フェニルグリシン、トリアジン系化合
物、アレン鉄錯体などが適していることを見い出した。
以下に、これらの重合開始剤の典型例を示す（これらの
例に限定されないことを理解されたい）。
合は、重合開始剤の存在下、光の作用によって惹起せし
められ、かつ進行する。すなわち、用いられる重合開始
剤に光を照射すると、該重合開始剤からラジカルが発生
せしめられ、このラジカルがモノマ又はオリゴマの重合
を誘起する。本発明者らは、本発明の実施に有効な重合
開始剤を見い出すべく研究の結果、光によりラジカルを
発生し得る化合物としてよく知られている化合物、例え
ばベンゾインエーテル化合物、ケタールインエーテル系
化合物、ケタール系化合物、アセトフェノン系化合物、
ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、有
機過酸化物、Ｎ−フェニルグリシン、トリアジン系化合
物、アレン鉄錯体などが適していることを見い出した。
以下に、これらの重合開始剤の典型例を示す（これらの
例に限定されないことを理解されたい）。
ベンゾインエーテル系化合物： イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾイ
ンエーテルなど。
ンエーテルなど。
ケタール系化合物： １−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジ
ルジメチルケタールなど。
ルジメチルケタールなど。
アセトフェノン系化合物： アセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオ
フェノン、４−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メ
チルプロピオフェノンなど。
フェノン、４−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メ
チルプロピオフェノンなど。
ベンゾフェノン系化合物： ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチルなど。
チオキサントン系化合物： ２−メチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン
など。
など。
有機過酸化物： ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロ
パーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシル
パーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカ
ーボネートなど。
パーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシル
パーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカ
ーボネートなど。
トリアジン系化合物： 2,4,6−トリス（トリクロロメチル）−1,3,5−トリアジ
ン、2,4−ビス（トリクロロメチル）−６−フェニル−
1,3,5−トリアジンなどのように、1,3,5−トリアジン構
造と少なくとも１個のトリクロロメチル基を分子中に有
する化合物。
ン、2,4−ビス（トリクロロメチル）−６−フェニル−
1,3,5−トリアジンなどのように、1,3,5−トリアジン構
造と少なくとも１個のトリクロロメチル基を分子中に有
する化合物。
アレン鉄錯体： （η６−ベンゼン）（η５−シクロペンタジエニル）鉄
（II）ヘキサフルオロホスフェィト、（η６−ピレン）
（η５−シクロペンタジエニル）鉄（II）ヘキサフルオ
ロアンチモネイト）、（η６−ナフタレン）（η５−シ
クロペンタジエニル）鉄（II）ヘキサフルオロホスフェ
ィトなど。
（II）ヘキサフルオロホスフェィト、（η６−ピレン）
（η５−シクロペンタジエニル）鉄（II）ヘキサフルオ
ロアンチモネイト）、（η６−ナフタレン）（η５−シ
クロペンタジエニル）鉄（II）ヘキサフルオロホスフェ
ィトなど。
これらの重合開始剤は、単独で使用しても混合物とし
て使用してもよく、また、それぞれの最適波長で露光す
ることにより高感度化をはかることが可能である。
て使用してもよく、また、それぞれの最適波長で露光す
ることにより高感度化をはかることが可能である。
さらに、上記した重合開始剤に増感剤を併用すること
が効果の面で推奨される。適当な増感剤としては、ジ−
ｎブチルアミン、ｎ−ブチルアミン、トリエチルアミ
ン、トリエチレンテトラアミンなど、また、ケトクマリ
ン系色素、クマリン系色素、チオキサンテン系色素、キ
サンテン系色素、チオピリリウム塩系色素などをあげる
ことができる。
が効果の面で推奨される。適当な増感剤としては、ジ−
ｎブチルアミン、ｎ−ブチルアミン、トリエチルアミ
ン、トリエチレンテトラアミンなど、また、ケトクマリ
ン系色素、クマリン系色素、チオキサンテン系色素、キ
サンテン系色素、チオピリリウム塩系色素などをあげる
ことができる。
本発明による感光性耐熱樹脂組成物において、含まれ
るポリイミド前駆体、重合性モノマ又はオリゴマ及び重
合開始剤の混合割合は、それぞれ、所望とする結果等の
ファクタに応じて広く変更することが可能である。本発
明者らの知見によれば、ポリイミド前駆体（ワニスに含
まれるポリイミド前駆体の重量）に対する上記アクリル
系モノマまたはオリゴマの添加量は10〜500重量％、ま
た重合開始剤はモノマ又はオリゴマに対して0.1〜50重
量％が有効であることが判った。こゝで、重合性モノマ
またはオリゴマはポリイミド前駆体より低価格なのでモ
ノマまたはオリゴマの添加量が増大するにつれて得られ
る感光性耐熱樹脂膜又はそのパターン自体のコストは低
下する。また、モノマまたはオリゴマ及び光重合開始剤
の添加量が増大するに従って光感度が上昇する。
るポリイミド前駆体、重合性モノマ又はオリゴマ及び重
合開始剤の混合割合は、それぞれ、所望とする結果等の
ファクタに応じて広く変更することが可能である。本発
明者らの知見によれば、ポリイミド前駆体（ワニスに含
まれるポリイミド前駆体の重量）に対する上記アクリル
系モノマまたはオリゴマの添加量は10〜500重量％、ま
た重合開始剤はモノマ又はオリゴマに対して0.1〜50重
量％が有効であることが判った。こゝで、重合性モノマ
またはオリゴマはポリイミド前駆体より低価格なのでモ
ノマまたはオリゴマの添加量が増大するにつれて得られ
る感光性耐熱樹脂膜又はそのパターン自体のコストは低
下する。また、モノマまたはオリゴマ及び光重合開始剤
の添加量が増大するに従って光感度が上昇する。
本発明による耐熱絶縁樹脂パターンの形成は、上記し
たような感光性耐熱樹脂組成物を被処理基材上に塗布す
ることによってスタートする。この塗布は、感光液等の
形をした樹脂組成物をスピンコート法、ディップコート
法、ドクタブレード法等の常用の塗布法を使用して、選
ばれた基材、例えばマルチチップモジュールなどを含む
高密度実装用の回路基板、プリント板、配線板用にはア
ルミナ（Al2O3）などのセラミック基板、又は金属基
板、半導体基板（例えばシリコン基板又はサファイヤ基
板）などの表面に均一に塗布することによって行う。こ
のようにして形成された感光性耐熱樹脂組成物の塗膜
は、通常、含まれる溶剤をある程度蒸発させるために
（ポリイミド前駆体ワニスには通常約80重量％以上のＮ
−メチル−２−ピロリドンが溶剤として含まれている）
適度に高められた温度でプリベークする。
たような感光性耐熱樹脂組成物を被処理基材上に塗布す
ることによってスタートする。この塗布は、感光液等の
形をした樹脂組成物をスピンコート法、ディップコート
法、ドクタブレード法等の常用の塗布法を使用して、選
ばれた基材、例えばマルチチップモジュールなどを含む
高密度実装用の回路基板、プリント板、配線板用にはア
ルミナ（Al2O3）などのセラミック基板、又は金属基
板、半導体基板（例えばシリコン基板又はサファイヤ基
板）などの表面に均一に塗布することによって行う。こ
のようにして形成された感光性耐熱樹脂組成物の塗膜
は、通常、含まれる溶剤をある程度蒸発させるために
（ポリイミド前駆体ワニスには通常約80重量％以上のＮ
−メチル−２−ピロリドンが溶剤として含まれている）
適度に高められた温度でプリベークする。
プリベーク後、得られた塗膜を、所定のパターン（目
的とする耐熱絶縁樹脂膜のパターンに対応）で、重合性
モノマ又はオリゴマの重合を惹起して得る条件にさら
す。好ましくは、同時に用いられている重合開始剤から
ラジカルを発生させるのに必要な光のパターンを塗膜に
照射するかもしくはそのようなラジカルを発生させるの
に必要な熱のパターンを塗膜に適用する。具体的には、
マスクを介して、紫外線等の光を選択的に照射すること
があげられる。結果として、露光部（あるいは加熱部
等）に含まれる重合性モノマ又はオリゴマのみが選択的
に重合せしめられる。
的とする耐熱絶縁樹脂膜のパターンに対応）で、重合性
モノマ又はオリゴマの重合を惹起して得る条件にさら
す。好ましくは、同時に用いられている重合開始剤から
ラジカルを発生させるのに必要な光のパターンを塗膜に
照射するかもしくはそのようなラジカルを発生させるの
に必要な熱のパターンを塗膜に適用する。具体的には、
マスクを介して、紫外線等の光を選択的に照射すること
があげられる。結果として、露光部（あるいは加熱部
等）に含まれる重合性モノマ又はオリゴマのみが選択的
に重合せしめられる。
次いで、塗膜のうちモノマ又はオリゴマから重合体が
形成された以外の領域を選択的に除去する。この除去処
理のため、ポリイミド前駆体と重合性モノマ又はオリゴ
マを溶解し得る溶剤からなる現像液を用いた現像を有利
に行うことができる。
形成された以外の領域を選択的に除去する。この除去処
理のため、ポリイミド前駆体と重合性モノマ又はオリゴ
マを溶解し得る溶剤からなる現像液を用いた現像を有利
に行うことができる。
引き続いて、現像により溶解除去されなかった塗膜を
熱処理してその塗膜中のポリイミド前駆体を重合させ
る。この工程における熱処理温度（加熱温度）は、それ
により重合性モノマ又はオリゴマの重合体が熱分解せず
にポリイミド前駆体がポリイミドに変換される限り特に
限定されるものではないが、好ましくは一般に約250〜3
50℃の温度が用いられる。
熱処理してその塗膜中のポリイミド前駆体を重合させ
る。この工程における熱処理温度（加熱温度）は、それ
により重合性モノマ又はオリゴマの重合体が熱分解せず
にポリイミド前駆体がポリイミドに変換される限り特に
限定されるものではないが、好ましくは一般に約250〜3
50℃の温度が用いられる。
本発明方法によれば、以上のような一連の工程を経
て、満足すべき特性を有する耐熱絶縁樹脂のパターンを
低コストで得ることができる。また、この方法を使用し
てパターン化されていない感光性耐熱樹脂膜を有利に形
成することもできる。
て、満足すべき特性を有する耐熱絶縁樹脂のパターンを
低コストで得ることができる。また、この方法を使用し
てパターン化されていない感光性耐熱樹脂膜を有利に形
成することもできる。
本発明は、前記したように、マルチチップモジュール
の製造に有利に使用することができる。ここで、マルチ
チップモジュールの一例を示すと、第１図（外観）及び
第２図（断面）の通りである。すなわち、図示のマルチ
チップモジュールは、基板１上にLSIチップ２が搭載さ
れており、かつフレキシブルプリント板３を有してい
る。また、このマルチチップモジュールは、第２図に示
されるように、例えばシリコンウェハ、セラミック基板
等の基板10上に、本発明の層間絶縁膜11、接地層12、信
号層13、電源層14、そして表面電極層15が順次積層され
た層構成を有している。
の製造に有利に使用することができる。ここで、マルチ
チップモジュールの一例を示すと、第１図（外観）及び
第２図（断面）の通りである。すなわち、図示のマルチ
チップモジュールは、基板１上にLSIチップ２が搭載さ
れており、かつフレキシブルプリント板３を有してい
る。また、このマルチチップモジュールは、第２図に示
されるように、例えばシリコンウェハ、セラミック基板
等の基板10上に、本発明の層間絶縁膜11、接地層12、信
号層13、電源層14、そして表面電極層15が順次積層され
た層構成を有している。
次に、本発明のさらなる理解のため、本発明による感
光性耐熱樹脂組成物とそれを用いたパターン形成を実例
をあげて説明する。
光性耐熱樹脂組成物とそれを用いたパターン形成を実例
をあげて説明する。
例 １ 本例では、異なるポリイミド前駆体の使用について説
明する。
明する。
ポリイミド前駆体ワニス：（ワニス中の前駆体含量14.5
重量％） …50.0g 光重合性モノマ：〔トリス（アクリロイルオキシエチ
ル）イソシアヌレート〕 …10.0g 光重合開始剤：ベンゾフェノン …1.0g ポリイミド前駆体ワニス及びポリビスマレイミド前駆
体ワニスについて、その前駆体の含有量を14.5重量％と
したものを用意し、モノマと光重合開始剤を一定として
前駆体相互の有意差を調べた。
重量％） …50.0g 光重合性モノマ：〔トリス（アクリロイルオキシエチ
ル）イソシアヌレート〕 …10.0g 光重合開始剤：ベンゾフェノン …1.0g ポリイミド前駆体ワニス及びポリビスマレイミド前駆
体ワニスについて、その前駆体の含有量を14.5重量％と
したものを用意し、モノマと光重合開始剤を一定として
前駆体相互の有意差を調べた。
上述の組成の感光液を前処理を施した直径３インチの
Siウエハー上にスピンコートして90℃で１時間に亙って
プリベークした。プリベーク後の膜厚は５μｍであっ
た。
Siウエハー上にスピンコートして90℃で１時間に亙って
プリベークした。プリベーク後の膜厚は５μｍであっ
た。
この乾板の上に最少パターン幅30μｍのネガ型のガラ
スマスクを設置し、波長250nmの紫外線を露光量480mJ/c
m2の条件で照射した。
スマスクを設置し、波長250nmの紫外線を露光量480mJ/c
m2の条件で照射した。
次に、Ｎ−メチル−２−ピロリドン液で超音波現像
し、その後エチルアルコール液でリンスすることにより
乾板を現像した。露光されたパターン領域のみを残し未
露光領域は溶出した。
し、その後エチルアルコール液でリンスすることにより
乾板を現像した。露光されたパターン領域のみを残し未
露光領域は溶出した。
次に、残存しているポリイミド前駆体をポリイミド樹
脂にするために270℃で30分間に亙って加熱した。その
結果、パターン領域は、やゝ黄色を増したが、他に変化
は見られなかった。
脂にするために270℃で30分間に亙って加熱した。その
結果、パターン領域は、やゝ黄色を増したが、他に変化
は見られなかった。
このパターンを顕微鏡で観察したところ、総ての試料
について断線部分は発見されなかった。また、パターン
領域の樹脂の熱分解温度を測定したところ、前駆体ワニ
スがちがっても350℃付近まで安定であった。
について断線部分は発見されなかった。また、パターン
領域の樹脂の熱分解温度を測定したところ、前駆体ワニ
スがちがっても350℃付近まで安定であった。
例 ２ 本例では、異なる光重合開始剤の使用について説明す
る。
る。
ポリイミド前駆体ワニスと光重合性モノマの種類を前
記例１のように固定し、光重合開始剤の種類を下記の６
種類に変え、それぞれ適当な露光量で波長250nmの紫外
線を照射し、前記例１と同様な実験を行った。
記例１のように固定し、光重合開始剤の種類を下記の６
種類に変え、それぞれ適当な露光量で波長250nmの紫外
線を照射し、前記例１と同様な実験を行った。
第１表は光重合開始剤の種類とパターン形成可能な露
光量を示している。なお、光重合開始の種類と添加量に
ついては、No.1〜６の略号で示した（No.1は例１と同じ
ベンゾフェノンである。） No.1:ベンゾフェノン（添加量1.0g） No.2:3,3′−4,4′−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキ
シカルボニル）ベンゾフェノン（添加量0.80g） No.3:イソプロピルベンゾインエーテル（添加量2.0
g） No.4:2−ヒドロキシ−メチル−プロピオフェノン（添
加量0.50g） No.5:2−メチルチオキサントン（添加量0.20g） No.6:2,4−ビス（トリクロロメチル）−６−フェニル
−1,3,5−トリアジン（添加量1.50g） 結果として、このパターンを顕微鏡で観察したとこ
ろ、総ての試料について断線部分は発見されなかった。
光量を示している。なお、光重合開始の種類と添加量に
ついては、No.1〜６の略号で示した（No.1は例１と同じ
ベンゾフェノンである。） No.1:ベンゾフェノン（添加量1.0g） No.2:3,3′−4,4′−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキ
シカルボニル）ベンゾフェノン（添加量0.80g） No.3:イソプロピルベンゾインエーテル（添加量2.0
g） No.4:2−ヒドロキシ−メチル−プロピオフェノン（添
加量0.50g） No.5:2−メチルチオキサントン（添加量0.20g） No.6:2,4−ビス（トリクロロメチル）−６−フェニル
−1,3,5−トリアジン（添加量1.50g） 結果として、このパターンを顕微鏡で観察したとこ
ろ、総ての試料について断線部分は発見されなかった。
この結果は前記例１と同様な現像条件で現像した場合
の結果であり、光重合開始剤の感度とは等しくはない。
それで、光重合開始剤の添加量や現像条件を変えると感
度が違ってくることが判った。
の結果であり、光重合開始剤の感度とは等しくはない。
それで、光重合開始剤の添加量や現像条件を変えると感
度が違ってくることが判った。
例 ３ ポリイミド前駆体ワニス：ポリイミド前駆体（14.5重量
％） …50.0g ホスファゼンモノマ:3PNC−HEMA6置換体（２−ヒドロキ
シエチルメタクリレート６置換体） …10.0g 光重合開始剤:2,2−ジメトキシ−２−フェニルアセトフ
ェノン …1.00g 溶剤：メチルエチルケトン …10.0g この組成の感光液を前処理を施した直径３インチのSi
ウエハー上にスピンコートして90℃で１時間プリベーク
した。プリベーク後の膜厚は３μｍであった。
％） …50.0g ホスファゼンモノマ:3PNC−HEMA6置換体（２−ヒドロキ
シエチルメタクリレート６置換体） …10.0g 光重合開始剤:2,2−ジメトキシ−２−フェニルアセトフ
ェノン …1.00g 溶剤：メチルエチルケトン …10.0g この組成の感光液を前処理を施した直径３インチのSi
ウエハー上にスピンコートして90℃で１時間プリベーク
した。プリベーク後の膜厚は３μｍであった。
この乾板の上に最小パターン幅30μｍのネガ型のガラ
スマスクを設置し、高圧水銀ランプ（波長250〜400nm）
の紫外線を露光量500mJ/cm2（波長365nm換算）照射し
た。
スマスクを設置し、高圧水銀ランプ（波長250〜400nm）
の紫外線を露光量500mJ/cm2（波長365nm換算）照射し
た。
次に、Ｎ−メチル−２−ピロリドン液で超音波現象
し、その後エチルアルコール液でリンスすることにより
乾板を現像した。露光されたパターン領域のみを残し未
露光領域は溶出した。
し、その後エチルアルコール液でリンスすることにより
乾板を現像した。露光されたパターン領域のみを残し未
露光領域は溶出した。
次に、残存しているポリイミド前駆体をポリイミド樹
脂にするために、260℃で30分間加熱した。その結果、
パターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見
られなかった。
脂にするために、260℃で30分間加熱した。その結果、
パターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見
られなかった。
このパターンを顕微鏡で観察したところ、断線部分は
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、350℃付近まで安定であった。
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、350℃付近まで安定であった。
例 ４ 前記例３における3PNC−HEMA6置換体に代わり、3PNC
−HEA6置換体（２−ヒドロキシエチルアクリレート６置
換体）を用い、他は前記例３と同様にしてパターンを形
成した。外観の顕微鏡観察では異常部分は発見されなか
った。パターン領域の樹脂の熱分解温度を測定した結果
を次の第２表に示す。
−HEA6置換体（２−ヒドロキシエチルアクリレート６置
換体）を用い、他は前記例３と同様にしてパターンを形
成した。外観の顕微鏡観察では異常部分は発見されなか
った。パターン領域の樹脂の熱分解温度を測定した結果
を次の第２表に示す。
例５〜例９ 前記例３における2,2−ジメトキシ−２−フェニルア
セトフェノンに代わり、3,3′−4,4′−テトラ−（ｔ−
ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンまたはイ
ソプロピルベンゾインエーテルまたは２−ヒドロキシ−
２−メチル−プロピオフェノンまたは２−メチルチオキ
サントンまたは2,4−ビス（トリクロロメチル）−６−
フェニル−1,3,5−トリアジンを用い、パターンを形成
可能な適当な露光量を調べた。結果を次の第３表に示
す。この結果は、前記例３と同様な現像条件で現像した
場合の結果であり、光重合開始剤の感度と全くは同一で
はない。光重合開始剤の添加量や現像条件を変化させる
と感度が異なってくることもわかった。
セトフェノンに代わり、3,3′−4,4′−テトラ−（ｔ−
ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンまたはイ
ソプロピルベンゾインエーテルまたは２−ヒドロキシ−
２−メチル−プロピオフェノンまたは２−メチルチオキ
サントンまたは2,4−ビス（トリクロロメチル）−６−
フェニル−1,3,5−トリアジンを用い、パターンを形成
可能な適当な露光量を調べた。結果を次の第３表に示
す。この結果は、前記例３と同様な現像条件で現像した
場合の結果であり、光重合開始剤の感度と全くは同一で
はない。光重合開始剤の添加量や現像条件を変化させる
と感度が異なってくることもわかった。
例 10 シリコーン変性ポリイミド前駆体ワニス：シリコーン変
性ポリイミド前駆体（13.5重量％） …50.0g ホスファゼンモノマ:3PNC−HEA6置換体（２−ヒドロキ
シエチルアクリレート６置換体） …12.0g 光重合開始剤：過酸化ベンゾイル …2.00g この組成の感光液を前処理を施した70×70×1mmのガ
ラス基板上にスピンコートして120℃で１時間プリベー
クした。プリベーク後の膜厚は５μｍであった。
性ポリイミド前駆体（13.5重量％） …50.0g ホスファゼンモノマ:3PNC−HEA6置換体（２−ヒドロキ
シエチルアクリレート６置換体） …12.0g 光重合開始剤：過酸化ベンゾイル …2.00g この組成の感光液を前処理を施した70×70×1mmのガ
ラス基板上にスピンコートして120℃で１時間プリベー
クした。プリベーク後の膜厚は５μｍであった。
この乾板の上に最小パターン幅30μｍのネガ型のガラ
スマスクを設置し、高圧水銀ランプで60秒間照射した。
スマスクを設置し、高圧水銀ランプで60秒間照射した。
次に、Ｎ−メチル−２−ピロリドン−メチルセロソル
ブ混合液で超音波現像し、その後イソプロピルアルコー
ル液でリンスすることにより乾板を現像した。露光され
たパターン領域のみを残し未露光領域は溶出した。
ブ混合液で超音波現像し、その後イソプロピルアルコー
ル液でリンスすることにより乾板を現像した。露光され
たパターン領域のみを残し未露光領域は溶出した。
次に、残存しているポリイミド前駆体をポリイミド樹
脂にするために、250℃で50分間加熱した。その結果、
パターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見
られなかった。
脂にするために、250℃で50分間加熱した。その結果、
パターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見
られなかった。
このパターンを顕微鏡で観察したところ、断線部分は
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、300℃付近まで安定であった。
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、300℃付近まで安定であった。
例 11 ポリイミド前駆体ワニス：ポリイミド前駆体（14.5重量
％） …50.0g アクリル系オリゴマ：次式のオリゴマ …10.0g A:アクリル酸 B:2−エチル−２−ヒドロキシメチル−1,3−プロパン
ジオール C:3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 :4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 光重合開始剤:2,2ジメトキシ−２−フェニルアセトフェ
ノン …1.00g この組成の感光液を前処理を施した直径３インチのSi
ウエハー上にスピコートして120℃で１時間プリベーク
した。プリベーク後の膜厚は９μｍであった。
％） …50.0g アクリル系オリゴマ：次式のオリゴマ …10.0g A:アクリル酸 B:2−エチル−２−ヒドロキシメチル−1,3−プロパン
ジオール C:3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 :4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 光重合開始剤:2,2ジメトキシ−２−フェニルアセトフェ
ノン …1.00g この組成の感光液を前処理を施した直径３インチのSi
ウエハー上にスピコートして120℃で１時間プリベーク
した。プリベーク後の膜厚は９μｍであった。
この乾板の上に最小パターン幅30μｍのネガ型のガラ
スマスクを設置し、紫外線露光機で紫外線を露光量600m
J/cm2（365nm）で照射した。
スマスクを設置し、紫外線露光機で紫外線を露光量600m
J/cm2（365nm）で照射した。
次に、Ｎ−メチル−２−ピロリドン液で超音波現像
し、その後エチルアルコール液でリンスすることにより
乾板を現像した。露光されたパターン領域のみを残し未
露光領域は溶出した。
し、その後エチルアルコール液でリンスすることにより
乾板を現像した。露光されたパターン領域のみを残し未
露光領域は溶出した。
次に、残存しているポリイミド前駆体をポリイミド樹
脂にするために300℃で30分間加熱した。その結果、パ
ターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見ら
れなかった。
脂にするために300℃で30分間加熱した。その結果、パ
ターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見ら
れなかった。
このパターンを顕微鏡で観察したところ、断線部分は
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、350℃付近まで安定であった。
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、350℃付近まで安定であった。
例12〜例14 前記例11におけるアクリル系オリゴマに代わり、以
下に示すオリゴマまたはオリゴマまたはオリゴマ
とイソシアヌル酸EO変性（ｎ＝３）トリアクリレートの
混合物を用い、他は前記例11と同様にしてパターンを形
成した。外観の顕微鏡観察では異常部分は発見されなか
った。パターン領域の樹脂の熱分解温度を測定した結果
を次の第４表に示す。
下に示すオリゴマまたはオリゴマまたはオリゴマ
とイソシアヌル酸EO変性（ｎ＝３）トリアクリレートの
混合物を用い、他は前記例11と同様にしてパターンを形
成した。外観の顕微鏡観察では異常部分は発見されなか
った。パターン領域の樹脂の熱分解温度を測定した結果
を次の第４表に示す。
アクリル系オリゴマ A:メタクリル酸 B:2−エチル−２−ヒドロキシメチル−1,3−プロパン
ジオール C:4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 アクリル系オリゴマ A:アクリル酸 B:2−エチル−２−ヒドロキシメチル−1,3−プロパン
ジオール :ペンタエリスリトール C:3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 :4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 例15〜例23 前記例11における2,2−ジメトキシ−２−フェニルア
セトフェノンに代わり、3,3′−4,4′−テトラ−（ｔ−
ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンまたはイ
ソブチルベンゾインエーテルまたはベンジルメチルケタ
ールまたは２−メチルチオキサントンまたは2,4,6−ト
リス（トリクロロメチル）−1,3,5−トリアジンまたは
過酸化ベンゾイルまたは、2,4−ビス（トリクロロメチ
ル）−６−フェニル−1,3,5−トリアジンまたは（η６
−ベンゼン）（η５−シクロペンタジエニル）（II）ヘ
キサフルオロホスファイトまたはＮ−フェニルグリシン
を用い、パターンを形成可能な適当な露光量を調べた。
結果を次の第５表に示す。この結果は、前記例11と同様
な現像条件で現像した場合の結果であり、光重合開始剤
の感度と全くは同一ではない。光重合開始剤の添加量や
現像条件を変化させると感度が異なってくることもわか
った。
ジオール C:4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 アクリル系オリゴマ A:アクリル酸 B:2−エチル−２−ヒドロキシメチル−1,3−プロパン
ジオール :ペンタエリスリトール C:3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 :4−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸 例15〜例23 前記例11における2,2−ジメトキシ−２−フェニルア
セトフェノンに代わり、3,3′−4,4′−テトラ−（ｔ−
ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンまたはイ
ソブチルベンゾインエーテルまたはベンジルメチルケタ
ールまたは２−メチルチオキサントンまたは2,4,6−ト
リス（トリクロロメチル）−1,3,5−トリアジンまたは
過酸化ベンゾイルまたは、2,4−ビス（トリクロロメチ
ル）−６−フェニル−1,3,5−トリアジンまたは（η６
−ベンゼン）（η５−シクロペンタジエニル）（II）ヘ
キサフルオロホスファイトまたはＮ−フェニルグリシン
を用い、パターンを形成可能な適当な露光量を調べた。
結果を次の第５表に示す。この結果は、前記例11と同様
な現像条件で現像した場合の結果であり、光重合開始剤
の感度と全くは同一ではない。光重合開始剤の添加量や
現像条件を変化させると感度が異なってくることもわか
った。
例 24 シリコーン変性ポリイミド前駆体ワニス：シリコーン変
性ポリイミド前駆体（13.5重量％） …50.0g アクリル系オリゴマ：オリゴマ …5.0g モノマ：イソシアヌル酸EO（ｎ＝３）ε−カプロラクト
ン変性トリアクリレート …5.0g 光重合開始剤:2−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオフ
ェノン …1.50g この組成の感光液を前処理を施した直径３インチのSi
ウエハー上にスピンコートして100℃で１時間プリベー
クした。プリベーク後の膜厚は８μｍであった。
性ポリイミド前駆体（13.5重量％） …50.0g アクリル系オリゴマ：オリゴマ …5.0g モノマ：イソシアヌル酸EO（ｎ＝３）ε−カプロラクト
ン変性トリアクリレート …5.0g 光重合開始剤:2−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオフ
ェノン …1.50g この組成の感光液を前処理を施した直径３インチのSi
ウエハー上にスピンコートして100℃で１時間プリベー
クした。プリベーク後の膜厚は８μｍであった。
この乾板の上に最小パターン幅３μｍのネガ型のガラ
スマスクを設置し、高圧水銀ランプで40秒間照射した。
スマスクを設置し、高圧水銀ランプで40秒間照射した。
次に、Ｎ−メチル−２−ピロリドン−メチルセロソル
ブ混合液で超音波現像し、その後イソプロピルアルコー
ル液でリンスすることにより乾板を現像した。露光され
たパターン領域のみを残し未露光領域は溶出した。
ブ混合液で超音波現像し、その後イソプロピルアルコー
ル液でリンスすることにより乾板を現像した。露光され
たパターン領域のみを残し未露光領域は溶出した。
次に、残存しているポリイミド前駆体をポリイミド樹
脂にするために280℃で30分間加熱した。その結果、パ
ターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見ら
れなかった。
脂にするために280℃で30分間加熱した。その結果、パ
ターン領域は、やや黄色を増したのみで他に変化は見ら
れなかった。
このパターンを顕微鏡で観察したところ、断線部分は
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、330℃付近まで安定であった。
発見されなかった。また、パターン領域の樹脂の熱分解
温度を測定したところ、330℃付近まで安定であった。
例 25 前記例24と同じ組成の感光液を用いて、３インチのSi
ウエハーに代わり、前処理を施したベルサイズのセラミ
ック基板（Al2O3）、又は、前処理を施した70×70×1mm
のガラス基板、又は、前処理を施した70×70×2mmのア
ルミニウム板、又は、前処理を施した70×70×1mmの銅
板を用い、最小ビアホールφ50μｍのネガ型のガラスマ
スクを用いて、他は例24と同様にしてビアホールを形成
した。キュア後の顕微鏡観察では、φ50μｍのビアホー
ルまで形成できていることがわかった。
ウエハーに代わり、前処理を施したベルサイズのセラミ
ック基板（Al2O3）、又は、前処理を施した70×70×1mm
のガラス基板、又は、前処理を施した70×70×2mmのア
ルミニウム板、又は、前処理を施した70×70×1mmの銅
板を用い、最小ビアホールφ50μｍのネガ型のガラスマ
スクを用いて、他は例24と同様にしてビアホールを形成
した。キュア後の顕微鏡観察では、φ50μｍのビアホー
ルまで形成できていることがわかった。
〔発明の効果〕 本発明の実施により、低コストの感光性耐熱樹脂を提
供することができ、また、この樹脂はマルチチップモジ
ュールなどを含む高密度実装用の回路基板、プリント
板、配線板用の層間絶縁膜または表面保護膜等として必
要な耐熱性は勿論、半田温度以上の耐熱性を備えてお
り、また従来のように感光性基による膜減りがないの
で、寸法精度のよいパターン形成が可能である。
供することができ、また、この樹脂はマルチチップモジ
ュールなどを含む高密度実装用の回路基板、プリント
板、配線板用の層間絶縁膜または表面保護膜等として必
要な耐熱性は勿論、半田温度以上の耐熱性を備えてお
り、また従来のように感光性基による膜減りがないの
で、寸法精度のよいパターン形成が可能である。
さらに、本発明によれば、従来の絶縁膜より基材との
密着性に優れ、耐湿性が良好で、ホスファゼン化合物な
どの無機高分子材料の特長である硬度、耐摩耗性、耐薬
品性などの諸特性に優れ、しかも感光性を有し、半田温
度以上の耐熱性を持ち、ポリイミド樹脂よりかなり低価
格で有用な耐熱絶縁膜を提供することができる。本発明
のその他の効果は先の詳細な説明から容易に理解し得る
であろう。
密着性に優れ、耐湿性が良好で、ホスファゼン化合物な
どの無機高分子材料の特長である硬度、耐摩耗性、耐薬
品性などの諸特性に優れ、しかも感光性を有し、半田温
度以上の耐熱性を持ち、ポリイミド樹脂よりかなり低価
格で有用な耐熱絶縁膜を提供することができる。本発明
のその他の効果は先の詳細な説明から容易に理解し得る
であろう。
第１図及び第２図は、それぞれ、本発明を適用し得るマ
ルチチップモジュールの一構成例を示した斜視図及び断
面図である。 図中、１は基板、２はLSIチップ、そして３はフレキシ
ブルプリント板である。
ルチチップモジュールの一構成例を示した斜視図及び断
面図である。 図中、１は基板、２はLSIチップ、そして３はフレキシ
ブルプリント板である。
フロントページの続き (72)発明者 渡辺 勲 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−109828（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−62661（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−68331（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−206741（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−221109（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−50161（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C08L 79/08 C08G 73/10 C09D 4/02,179/08
Claims (3)
- 【請求項１】光重合性成分の選択的露光による光重合工
程と、それに引き続いて実施される、ポリイミド前駆体
の加熱による脱水閉環反応工程によってパターン化され
たフィルムを形成可能な感光性耐熱樹脂組成物であっ
て、 自体感光性を有しておらずかつ加熱により脱水閉環反応
を被ってポリイミドに変換可能なポリイミド前駆体のワ
ニスと、 前記ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ光
重合性を有している、 下記の群： （１）1000以下の分子量を有しかつ次式： （上式において、Ａはアクリル酸又はメタクリル酸であ
り、Ｂは多価アルコールであり、Ｃは多塩基酸であり、
そしてｎは１〜10である）により表される、３官能以上
のアクリル−又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、 （２）イソシアヌル酸エステル構造を有するアクリル−
又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、及び （３）次式： （上式において、塩素原子は、アクリレート基、メタク
リレート基、ビニル基又はアリル基で置換されている）
により表されるホスファゼンモノマ、 から選ばれる少なくとも１員である光重合性成分と、 前記光重合性成分の重合を開始させ得る重合開始剤とを
含んでなることを特徴とするフィルム形成性感光性耐熱
樹脂組成物。 - 【請求項２】自体感光性を有しておらずかつ加熱により
脱水閉環反応を被ってポリイミドに変換可能なポリイミ
ド前駆体のワニスと、 前記ポリイミド前駆体のワニスと相溶可能でありかつ光
重合性を有している、 下記の群： （１）1000以下の分子量を有しかつ次式： （上式において、Ａはアクリル酸又はメタクリル酸であ
り、Ｂは多価アルコールであり、Ｃは多塩基酸であり、
そしてｎは１〜10である）により表される、３官能以上
のアクリル−又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、 （２）イソシアヌル酸エステル構造を有するアクリル−
又はメタクリルモノマ及びそのオリゴマ、及び （３）次式： （上式において、塩素原子は、アクリレート基、メタク
リレート基、ビニル基又はアリル基で置換されている）
により表されるホスファゼンモノマ、 から選ばれる少なくとも１員である光重合性成分と、 前記光重合性成分の重合を開始させ得る重合開始剤とを
含む感光性耐熱樹脂組成物を被処理基板上に塗布し、 形成された感光性耐熱樹脂組成物の被膜を前記光重合性
成分の重合を惹起し得る光のパターンに選択的に露光し
て前記被膜のうち露光域に含まれる前記光重合性成分を
重合させ、そして、前記露光後の被膜を現像して非露光
域を除去した後、 現像後の被膜を加熱して前記ポリイミド前駆体を重合さ
せ、前記ポリイミド前駆体から誘導されたポリイミド及
び前記光重合性成分から誘導された重合体からなるパタ
ーン化されたフィルムを形成すること、 を特徴とする耐熱樹脂パターンの形成方法。 - 【請求項３】半導体装置の製造において用いられること
を特徴とする請求項２に記載の耐熱樹脂パターンの形成
方法。
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