JP2935504B2

JP2935504B2 - モータ

Info

Publication number: JP2935504B2
Application number: JP1173528A
Authority: JP
Inventors: 淳玉井; 真樹斉藤; 俊一中原
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1989-07-05
Filing date: 1989-07-05
Publication date: 1999-08-16
Anticipated expiration: 2014-08-16
Also published as: KR960007849B1; DE69032746T2; KR910003902A; EP0406843A3; DE69028952T2; EP0406843B1; EP0406843A2; KR970011062B1; JPH0340767A; EP0613195A1; DE69028952D1; US5124611A; US5506462A; EP0613195B1; DE69032746D1

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、電磁力によらず機械的動力を発生するモー
タに係り、詳しくは振動子に励起される円運動を利用
し、振動子と同軸的に嵌合する被駆動体を摩擦駆動によ
り回転させるモータに関するものである。

［従来の技術］従来、この種の振動子としては、例えば特開昭62−14
1980号、特開昭63−214381号がある。

このような振動子は、第10図に示すように、根本部の
外径が先端部に向け漸減するホーン形状を有した金属丸
棒からなる振動体100と、振動体100の大径部と同径の外
径を有する円環形状の金属からなる押え体101との間
に、円環形状に形成した２つの電歪素子板102,103を配
置して、ボルト104により押え体101を振動体100に固定
し、電歪素子板102,103を圧接保持したものである。電
歪素子板102,103は片面側に互いに分極方向が異なる２
つの電極が対称に分割形成されると共に、他面側に共通
電極が形成され、夫々90゜の位置的位相を有して分割電
極側を前側にして配置されている。また、電歪素子板10
2,103の間には、後側の電歪素子板103の各分割電極及び
前側の電歪素子板102の共通電極と接触する電極板106が
配置され、前側の電歪素子板102の分割電極は振動体100
と、後側の電歪素子103の共通電極は共通電極板105と夫
々接触している。

そして、前側の電歪素子板102と後側の電歪素子板103
に振幅及び周波数が共に等しい交流電圧を時間的に位相
差を有して印加することにより、振動子に電歪素子板10
2の振動と電歪素子板103の振動の合成した振動を発生さ
せ、振動子の先端を円運動させるようにしている。

第11図はこのような振動子を駆動源としたモータで、
振動子の先端を円板108の表面側に圧接し、振動子の先
端の円運動により円板108を摩擦駆動して、円板108の中
心に固定した回転軸109から回転力を出力する。

［発明が解決しようとする課題］ところで、このような振動子を利用したモータは、振
動子の先端部の動きを利用しているが、本発明者の実験
では振動子の先端部の回転トルクが弱く、被駆動体であ
る円板に充分な駆動トルクを与えることができない難点
がある。

その理由としては次の２点が考えられた。すなわち、
第１点は先端部は一方に節のない自由端であり剛性が低
いため、充分な振動エネルギーが伝達されない事であ
る。第２点は先端の自由端は円運動を生じる縄飛び振動
の腹になっていると同時に軸方向の振動の腹になってい
るため、前述の特開昭62−141980号、特開昭63−214381
号の主張している、先端が軸心に対して垂直な面内での
円運動、は実際にはしておらず振動の１周期に１回だけ
移動体に接触する円滑でない摩擦駆動形態を呈している
事である。

また、このような振動子は先端部のみが振動するので
はなく、全体が一つの振動系を構成することから、でき
るだけ振動の影響を受けることなく振動子を支持する必
要がある。

本発明の目的は、振動子に充分なトルクを与えて効率
よく回転力を取り出せ、また振動子の振動の影響を極力
受けることなく振動子を支持できるモータを提供するこ
とにある。

［課題を解決するための手段］本発明の目的を達成するための第１の構成は、略棒状
の振動子と、該振動子と同軸に回転中心を有する移動部
材と、を有し、該振動子の摩擦摺動部が軸心と直交する
平面において円運動し、該摩擦摺動部と該移動部材との
摩擦接触により該移動部材を回転させるモータにおい
て、前記移動部材は、中空状に形成され、その内周部に
は前記振動子の軸部の前記摩擦摺動部と接触して摩擦摺
動する接触部と、該接触部とは軸方向に離隔して該軸部
の外周部と接触することにより該移動部材を支持する突
部とが形成されていて、前記突部は前記振動子の振動で
の節位置に対応させて位置設定したものである。

本発明の目的を達成するための第２の構成は、上記し
た第１の構成において、前記振動子は前記振動子の振動
での腹位置を固定部材に対する支持位置にしたものであ
る。

［作用］上記した第１の構成では、中空形状の移動部材の内周
部には、振動子の摩擦接触部と接触する接触部だけでな
く、この接触部とは軸方向に離隔して振動子の軸部の外
周部と接触する突部を設けたので、回転時での移動体の
傾きを小さくでき、且つ前記突部を振動体の振動での節
位置にすることにより、移動体の支持位置での接触が移
動体の駆動力に及ぼす悪影響を少なくすることができ、
それによって駆動効率を向上させて大きいトルクでの移
動体の回転を実現することができる。

上記した第２の構成では、振動子は前記振動子の振動
での腹位置を固定部材に対する支持位置にしたので、振
動子の安定した支持が行える。

［実施例］実施例１第１図は本発明によるモータの実施例１の分解斜視図
である。

１は先端部の小径軸部1aと後端部の大径軸部1bとの間
に径が先端部に向け漸減するホーン形状のホーン部1cを
形成した金属丸棒からなる振動体、２は振動体１の大径
軸部1bと同径の外径に形成された軸心にボルト通し孔を
有する金属丸棒からなる押え体、３及び４は大径軸部1b
と同径の外径に形成された円環形状の圧電素子板、５は
圧電素子板3,4の電極板で、振動体１と押え体２との間
に、電極板５を挟むようにして圧電素子板3,4を配し、
ボルト６により押え体２を振動体１に固定することによ
り、圧電素子板3,4を振動体１と押え体２との間に固定
して、振動子Ａを構成している。ボルト６はその頭部が
円環状の絶縁体７を介して押え体２に接し、且つ軸部が
圧電素子板3,4及び電極板５と非接触状態に保持されて
いる。

圧電素子板3,4は、片面側に分極方向が互いに異な
り、且つ厚み方向に分極された２つの電極（＋電極ａ、
−電極ｂ）が中心軸線位置に形成された絶縁部ｄの両側
に対称に形成されると共に、他面側に＋電極ａ、−電極
ｂの共通電極ｃが形成されていて、振動子Ａの軸線に対
して互いに位置的位相が90゜角度ずれて配置されてい
る。なお、圧電素子板３の分極電極（＋電極ａ、−電極
ｂ）は導電体である振動体１の後端面に接し、また圧電
素子板４は導電体である押え体２の前端面に接してい
る。

そして、電極板５と振動子１との間に交流電圧V₁を、
また電極板５と押え体２との間に交流電圧V₂を印加する
ことにより、圧電素子板３の厚み方向における伸縮変位
による振動と、圧電素子板４の厚み方向における伸縮変
位による振動との合成により振動子Ａを振動させる。

交流電圧V₁と交流電圧V₂とは、第２図に示すように、
振幅及び周波数が共に同じで、時間的、空間的位相が90
゜のずれを有している。

したがって、振動子Ａは、軸心を中心とし、縄飛びの
縄のような円運動（以下縄飛び振動と称す）を行なうこ
とになる。なお、この円運動が生じる原理については、
公知であるので説明は省略する。

ここで、振動子Ａの両端を自由端とした場合、縄飛び
振動の腹の位置は振動子Ａの両端に形成されることにな
り、振動子Ａの形状から振動体１の先端における円運動
の径は押え体２の後端よりも大きいが、前述したよう
に、振動体１の先端の円運動におけるトルクは小さい。

本実施例は、振動子Ａにおける振動体１のホーン部1c
の摺動部Ｂに縄飛び振動の腹の位置がくるように振動子
Ａを設計し、その共振周波数で圧電素子板3,4を駆動し
ている。

すなわち、振動子Ａは、縄飛び振動モードで３節又は
それ以上のモードで振動し、少なくとも振動子Ａの両端
と摺動部Ｂとを該振動モードの腹として振動し、振動体
１は第３図（ａ），（ｂ）に示すように、軸１が軸心ｌ
を中心とし、軸１の縄飛び振動の腹部（H1）中心点Ｐ
が、第３図（ａ）に示すように、真円ｃの円周上を移動
する縄飛び運動を行なうことになる。そして、摺動部Ｂ
における縄飛び運動を利用し、後記するロータ８を軸心
ｌを中心として回転させるようにしており、この摺動部
Ｂで得られるトルクは先端部Ｄで得られるトルクよりも
大きいものであった。

第４図に示す様にロータ８は、振動子Ａの軸心ｌと同
軸に嵌合し、ロータ８の内径部の後端部（以下摩擦接触
部と称す）8bを摺動部Ｂに対応する位置まで延出し、摩
擦接触部8bをホーン部1cの摺動部Ｂに当接させている。
該ホーン部は軸方向の加圧力を受ける事で、摺動部Ｂに
おいて適切な摩擦力を得るため設けられている。そし
て、この摺動部Ｂは振動体１において、縄飛び振動の腹
になっている。

ロータ８の内径部8aの内径は、低摩擦係数の部材8dを
介して、振動体１において縄飛び振動の節の位置に接す
る構造になっており、摺動部Ｂ以外で生じる振動に対し
て接触して音を発生するのを防ぐため、ロータ８には逃
げ8cが設けられている。この事については後述する。

ロータ８の摩擦接触部8bは、摺動部Ｂの外周形状と合
致する内径が漸増する形状に拡開し、振動体１の縄飛び
運動時に摺動部Ｂと面接触する。

ロータ８は、例えば不図示のスラストベアリングを介
して不図示のバネ等により第４図中矢印方向に押され
て、前述の適切な漸増形状を有する摺動部により摩擦接
触部8bと摺動部Ｂとの接触部に所定の摩擦力を発生さ
せ、また該スラストベアリングにより軸方向の変位が許
容されている。

すなわち、振動子Ａが摺動部Ｂを該振動モードの腹の
位置とする、例えば３節のモードで振動すると、前述し
たように振動体１は第３図に示すように、軸心ｌを中心
とした縄飛び運動を行ない、第５図（ａ）に示すよう
に、摺動部Ｂがロータ８の摩擦接触部8bと摩擦接触しな
がら時計方向又は反時計方向に軸心ｌに対し所定の半径
ｒの軌跡を描きながら円運動し、ロータ８を回転させる
こととなる。つまり、公知である遊星ローラと同じ原理
で駆動される。なお、第５図（ａ）は摺動部Ｂがロータ
８の摩擦接触部8bの内周面をこじりながら円運動するこ
とを説明するために、摺動部Ｂの外径をロータ８の摩擦
接触部8bの内径よりもかなり小さくしているが、摺動部
Ｂにおける縄飛び運動の半径は実際は極僅かであるの
で、摺動部Ｂとロータ８の摩擦接触部8bの内周面とは微
小の間隙となっている。そして、この微小の間隙を決め
る要素は、振動体１のホーン形状の鋭角度と摺動部Ｂに
おける軸方向と直交する方向の振動の振幅量である。

そして、遊星ローラの駆動伝達原理と同様に、摺動部
Ｂと摩擦接触部8bとの間にすべりがないと仮定した場
合、振動体１が縄飛び運動で一回転すると、摺動部Ｂの
外周とロータ８の摩擦接触部8bの周長差分だけロータ８
が回転することになる。その原理により、振動体１が20
kHzもの高周期で縄飛び運動していても、ロータ８の回
転数はせいぜい毎分数百回転にすぎない。

すなわち、振動体１の摺動部の任意の点1dに注目する
と、1dは前述した微小な間隙によってその半径が決まる
円運動を行ない、その過程でロータ８の内周部に接触
し、ロータ８に回転運動を行なわせるための摩擦駆動力
を与える。

第５図（ｂ）は第５図（ａ）とは逆に、振動体１は円
筒状で、ロータ８が該円筒状振動体の中空内側面に接触
摩擦しながら回転する場合を示している。この場合は振
動体の振動回転方向とロータの回転方向は逆向きにな
る。

一方、ロータ８には逃げ8cが設けられているが、この
役割は摩擦接触部8bが摺動部1cに対して均一に接触する
様にするためである。つまり、ロータ８の内周部8aが余
りにも長くなり、その結果振動体１の小径軸部1aとのガ
イド部分が長くなると、小径軸部1aと内周部8aのクリア
ランスが小さいため、ロータ８の軸心の振動体１の軸心
ｌに対する許容傾斜角の範囲内で、摩擦接触部8bと摺動
部Ｂが均一に接触することが困難になり、音を発生する
様になる。そこで、クリアランスを大きくしてこの問題
を解決しようとしても、今度はロータ８の軸心は傾きな
がら回転してしまう。つまり、以上の問題点を解決する
ためには、小径軸部1aと突部状のロータの内周部8aの適
切な位置関係が求められる。実験の結果、ロータ内周部
8aは、低摩擦部材8dを小径軸部1aとの間に介して、振動
体１の縄飛び振動の節の位置に設定するのが良いとわか
った。該節の位置ではロータに駆動力を与えず、該節部
にロータ内周部8aを設けるのは単に支持という役割をし
ているため音を発生しない。一方、内周部8aを振動体１
において、縄飛び振動の腹の位置に設定すると、本来必
要な摺動部Ｂにおける駆動力とミスマッチな駆動力をロ
ータ８に与えてしまい、音を発生する場合がある。

ところで、振動子Ａは振動体１のみが振動するのでは
なく、全体が振動することから、このモータＭを機器等
に取り付けする際、振動子Ａの機器等に対する支持方法
が問題となる。

この場合、該振動モードの節の位置で振動子Ａを支持
することが振幅が少ないことから一見最適に思えるが、
振動子Ａは該振動モードの節位置を起点とする縄飛び運
動を行なっているので、この振動モードの節位置におけ
る軸心ｌに対する垂直平面は、軸心ｌ方向に沿って揺動
することになる。

このため、振動子Ａにおいて、該振動モードの節位置
となる個所、例えば振動体１又は押え体２の外周面にモ
ータ取り付け用のフランジを延出したとすると、固定方
法が強固な場合は全く振動しない様になってしまう。一
方、このバネの様なものを間に介して振動減衰をおさえ
た支持方法にするとこのフランジは軸方向に揺動し、機
器等との取付部が最悪の場合には振動により破壊したり
する虞れがあり、該振動モードの節位置では振動子Ａの
支持を行なうのに不適である。

そこで、振動子Ａの振動状態につき種々検討したとこ
ろ、振動子Ａの支持位置として一見不適と思われる該振
動モードの腹の位置が適していることを見出した。

すなわち、該振動モードの腹の位置は振幅が大きい
が、径方向のみしか変位しないので、上述のような揺動
運動による弊害が生じない。また、支持位置となる該振
動モードの腹位置は、モータＭの構造から当然摺動部Ｂ
よりも軸方向後方側に設けられることになり、３節モー
ドにより振動子Ａを振動させる場合には、支持位置とし
て最適な所は１箇所しか存在しない。なぜなら、該振動
モードにおける腹の位置は振動体の両端と、その間の２
箇所の合計４箇所あるが、両端は軸方向の振動も最大と
なっており、固定支持には最悪であり、両端間にある２
箇所の縄飛び振動の腹のうち１箇所は摺動部として使用
されていることである。又、第６図（ａ），（ｂ）に示
す様に振動子Ａにフランジを設けず、先端が球状を呈し
た３本のボルト60等で支持筒61により支持固定する構造
においても、縄飛び振動において腹となる位置が、支持
位置として振動を阻害しない良好な位置である事がわか
った。

つまり、振動子Ａにおける振動の振幅は非常に小さ
く、これらの支持位置となる該振動モードの腹位置の振
幅はロータ８の駆動を行なう摺動部Ｂにおける振幅より
もさらに小さいので、径方向変位は殆ど無視することが
でき、該振動方向の腹位置を振動子Ａの支持位置とする
ことで、振動子Ａを安定に機器等に支持させることが可
能となる。

第７図（ａ）〜第７図（ｅ）は前述した回転の原理が
正しい事を確認した実験結果である。

第７図（ａ）は振動体１の先端を中空にして、その上
に金属球30をのせた時の回転方向を調べたものであり、
下のロータ８とは逆回転している。これは、金属球30は
振動体１の先端の中空部内周面に接触しているからで、
第５図（ｂ）の説明の原理と同じである。第７図（ｂ）
は振動体１の先端に円板状の金属プレート31をのせた時
の回転方向が下のロータ８と逆回転している事を示した
実験結果である。この原理は第７図（ｅ）に示してあ
る。第７図（ｅ）において、振動体１の摺動部Ｂが紙面
に対して向こう側に動く時、振動体１の先端で金属プレ
ート31と接触している点1eは、摺動部Ｂと同じく振動の
腹であるから、紙面を振動の中立面と考えれば逆に紙面
に対して手前側に動くことがわかる。第７図（ｃ）は凸
型円錐形状部を有するロータ32を第７図（ａ）と同じ振
動体１の先端部にのせた時の回転方向を示している。こ
れも、下のロータ８とは逆の方向に回転するが、原理は
第５図（ｂ）と同じである。

第７図（ｄ）は凹型円錐部を有するロータ33を振動体
１の先端部にのせた時の回転方向を示している。これ
は、下のロータ８と同じ方向に回転する。この原理は第
７図（ｆ）に示してある。つまり、振動体１の摺動部Ｂ
が紙面に対して向こう側に動く時、先端部のロータ33と
の接触部1eは紙面に対して手前側に動くことがわかる。

第８図（ａ），（ｂ），（ｃ）において、（ａ）−１
及び（ｂ）−１及び（ｃ）−１はそれぞれホーン形状部
が30゜,45゜,60゜の振動子の側面図で、（ａ）−２と
（ｂ）−２と（ｃ）−２は縄飛びの振動の変位量と振動
子の軸方向の位置との関係を示している。また、（ａ）
−３と（ｂ）−３と（ｃ）−３は軸方向の振動の変位量
と振動子の軸方向の位置との関係を示している。振動条
件は振動子（ａ）−1,（ｂ）−1,（ｃ）−１でそれぞれ
35.0kHz,35.5kHz,35.8kHzで印加電圧はすべて100V_P-Pで
あった。変位量の測定はホトニックセンサーを用いた。
測定の結果、縄飛び振動は３節振動モードになってお
り、軸方向の振動は２節の振動モードになっている。縄
飛び振動の腹の位置はほぼ軸方向の振動の節の位置と一
致した。変位量は振動子の細い所程大きくなり、先端部
の小径部の変位量はどの振動子の場合も、縄飛び振動も
軸方向の振動も変位量が最大値を示した。

軸方向の位置の違いにより、振動の形態の違いは大き
く分けて、３種類存在することがわかった。つまり、第
１には開口端の位置で、これは縄飛び振動においても、
軸方向の振動においても腹になる位置である。第２に
は、縄飛び振動の節の位置で、この位置は軸方向の振動
においてはほぼ腹の位置に一致する。第３には、縄飛び
振動の腹の位置で、この位置は軸方向の振動においては
ほぼ節の位置に一致する。ここで、モータとして必要と
なる機能、すなわち移動体から駆動力を有効に伝達する
事と固定支持位置を設けられる事について、前述の３種
類の振動形態の位置に対して最適な位置を調べた結果、
移動体との摺動部は、縄飛び振動の腹の位置が最適であ
り、一方振動子を振動の外系に対して固定支持する位置
は、縄飛び振動の腹の位置、すなわち軸方向の振動の節
となる位置が最適である事がわかった。振動子の開口端
は縄飛び振動においても、軸方向の振動においてもほぼ
腹の位置となり、固定支持位置としては最悪である事が
わかった。又、前述した通り、該開口端は振動子の軸心
に対して垂直な平面とある傾きをもって円運動している
ため、移動体と振動体の摺動部は接触したり、離れたり
をくり返しており、円滑な摩擦駆動をしていない。さら
に、該開口端を移動体の摺動部に適用しようとすると、
設計上移動体のガイド部は振動体の一部には設けられ
ず、必然的に該振動子の振動に対して外系となる部材に
頼らざるを得なくなる。なぜなら、該振動子の一部に例
えばボルト等を取り付け移動体をガイドしようとする
と、振動子の振動モードが変化してしまうからである。
ここで、ガイド部について補足説明をしておくと、本発
明のモータにおいては振動体の摺動部と、それに最も近
い位置にある振動体の開口端部との間がそのまま移動体
のガイド部に利用できる。つまり、振動体の軸心と同軸
の軸心を移動体に付与し続ける機能を有する事がガイド
部としての条件である。

実施例２第９図（ａ），（ｂ），（ｃ）は実施例２の断面図
で、（ａ），（ｂ），（ｃ）に夫々示すモータは移動体
の振動体への圧接方式を変えたものである。第９図
（ａ）と（ｂ）は基本的には同じ構造で、図中18はスラ
ストベアリング、34はバネガイド部材でバネが軸心に対
して偏心しない様にしている。35はバネで、圧縮された
バネが伸びようとする力でスラストベアリングを介して
ロータ８を振動体に圧接させている。37はワッシャであ
る。（ａ）の方式は振動体１の開口端にボルト36が取り
つけられているため、振動でボルトがゆるみやすい。
（ｂ）はボルト36の取り付け部を振動体の節の位置にも
ってきているため、振動でボルト36がゆるむことがな
い。又、第９図（ｃ）はバネ40をロータの内部に設け
て、省スペース化を計ったもので、バネ40をフックを有
するボルト38,39間に緊張し、伸ばされたバネ40の縮む
力を利用して、ロータ８を振動体１に圧接する構造にな
っている。

［発明の効果］請求項１に係る発明によれば、中空形状の移動部材の
内周部には、振動子の摩擦接触部と接触する接触部だけ
ではなく、この接触部とは軸方向に離隔して振動子の軸
部の外周部と接触する突部を設けたので、回転時での移
動体の傾きを小さくでき、且つ前記突部を振動体の振動
での節位置にすることにより、移動体の支持位置での接
触が移動体の駆動力に及ぼす悪影響を少なくすることが
でき、それによって駆動効率を向上させて大きいトルク
での移動体の回転を実現することができる。

請求項２に係る発明によれば、振動子は前記振動子の
振動での腹位置を固定部材に対する支持位置にしたの
で、振動子の安定した支持が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるモータの実施例１を示す分解斜視
図、第２図は圧電素子板に印加する交流電源の波形図、
第３図（ａ），（ｂ）は３節の縄飛び運動を示す正面図
及び側面図、第４図は実施例１のモータの組み付け状態
を示す図、第５図（ａ），（ｂ）は駆動原理を示す図
で、（ａ）は軸が縄飛び運動をして、中空部材を回転さ
せる原理図、（ｂ）は中空振動体が縄飛び運動して、軸
を回転させる原理図、第６図（ａ），（ｂ）は、フラン
ジのない振動子を先端が球状のボルト３本で支持してい
る正面図及び側面断面図、第７図（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ），（ｅ），（ｆ）は回転原理を確認する
ための図、第８図（ａ），（ｂ），（ｃ）は縄飛び振動
の変位と軸方向の振動の変位について振動子の位置との
関係を示す図、第９図（ａ），（ｂ），（ｃ）は実施例
２の断面図、第10図は従来の振動子を示す断面図、第11
図は従来の振動子を利用したモータの斜視図を示す。Ｍ……モータ、Ａ……振動子Ｂ……摺動部、１……振動体２……押え体、3,4……圧電素子板５……電極板、６……ボルト７……絶縁体、８……ロータ 10……ローラ、11……取付部材 12……低摩擦シート、20……ロータ 24……バネ、30……金属球 31……円板状金属プレート 32……凸型円錐部を有するロータ 33……凹型円錐部を有するロータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−11075（ＪＰ，Ａ) 特開平８−84038（ＪＰ，Ａ) 特開平２−294280（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】略棒状の振動子と、該振動子と同軸に回転
中心を有する移動部材と、を有し、該振動子の摩擦摺動
部が軸心と直交する平面において円運動し、該摩擦摺動
部と該移動部材との摩擦接触により該移動部材を回転さ
せるモータにおいて、前記移動部材は、中空状に形成され、その内周部には前
記振動子の軸部の前記摩擦摺動部と接触して摩擦摺動す
る接触部と、該接触部とは軸方向に離隔して該軸部の外
周部と接触することにより該移動部材を支持する突部と
が形成されていて、前記突部は前記振動子の振動での節
位置に対応させて位置設定したことを特徴とするモー
タ。
【請求項２】前記振動子は前記振動子の振動での腹位置
を固定部材に対する支持位置にしたことを特徴とする請
求項１記載のモータ。