JPH0241677A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0241677A JPH0241677A JP63191951A JP19195188A JPH0241677A JP H0241677 A JPH0241677 A JP H0241677A JP 63191951 A JP63191951 A JP 63191951A JP 19195188 A JP19195188 A JP 19195188A JP H0241677 A JPH0241677 A JP H0241677A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- stator
- cylindrical member
- ultrasonic motor
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 abstract 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明はステータに発生する振動を駆動源とした超音波
モータに関するものである。
モータに関するものである。
(従来の技術)
従来よりステータに発生する伸縮を利用してロータを回
転させる超音波モータが知られている。
転させる超音波モータが知られている。
これらの超音波モータでは、ステータに発生した振動エ
ネルギーが摩擦力によってロータに伝達され、ロータが
回転する。それゆえに、超音波モータから安定した出力
を得るためには、ロータがステータに安定して接触して
いる必要がある。
ネルギーが摩擦力によってロータに伝達され、ロータが
回転する。それゆえに、超音波モータから安定した出力
を得るためには、ロータがステータに安定して接触して
いる必要がある。
第4図、第5図に従来の超音波モータを示す。
従来装置においては、ステータ51番こロータ52く2
) をできるだけ安定して接触させるために、皿バネ53の
弾性変形によってロータ52とステータ51の間の加圧
力が適当な値に保持されている。
) をできるだけ安定して接触させるために、皿バネ53の
弾性変形によってロータ52とステータ51の間の加圧
力が適当な値に保持されている。
ロータ52が回転している間、ロータ52はステータ5
1から高い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向と
接線方向に振動する(第5図参照)。この時、ロータ5
2に生じる振動はステータ51の振動と同じ周波数をを
有している。ロータ52の振動とステータ51の振動が
同じ周波数を有している状態では、超音波モータの出力
はステータ51に供給される電力の大きさに応じて増大
する。
1から高い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向と
接線方向に振動する(第5図参照)。この時、ロータ5
2に生じる振動はステータ51の振動と同じ周波数をを
有している。ロータ52の振動とステータ51の振動が
同じ周波数を有している状態では、超音波モータの出力
はステータ51に供給される電力の大きさに応じて増大
する。
(発明が解決しようとした課題)
ところが、ステータ51に供給する電力がある限界値を
越えると、超音波モータの出力は殆ど増大しなくなる。
越えると、超音波モータの出力は殆ど増大しなくなる。
この状態では、ロータ52に独自の固有振動が発生し、
ステータ51と同じ周波数有する振動が弱められている
。
ステータ51と同じ周波数有する振動が弱められている
。
多くの実験の結果、発明者らは、ステータ51とロータ
52との間に加えられている加圧力の分布が一様であれ
ばあるほどロータ52に独自の固有振動が発生しにくい
ことを発見した。このことは、ステータ51とロータ5
2との間に加えられている加圧力の分布を一様にすれば
、ステータ51に供給できる電力の限界値が高く設定で
き、大出力の超音波モータが構成できることを意味する
。
52との間に加えられている加圧力の分布が一様であれ
ばあるほどロータ52に独自の固有振動が発生しにくい
ことを発見した。このことは、ステータ51とロータ5
2との間に加えられている加圧力の分布を一様にすれば
、ステータ51に供給できる電力の限界値が高く設定で
き、大出力の超音波モータが構成できることを意味する
。
そこで、本発明では従来の超音波モータの問題点を解消
し、ステータとロータとの間に加えられている加圧力の
分布を一様にし、ロータに独自の固有振動を発生させな
いようにすることを技術的課題とした。
し、ステータとロータとの間に加えられている加圧力の
分布を一様にし、ロータに独自の固有振動を発生させな
いようにすることを技術的課題とした。
(課題を解決するだめの手段)
前述した技術的課題を達成するために講じた技術的手段
は、バネ手段によってロータをステータに向かって押さ
えつけた超音波モータにおいて、ロータとバネ手段の間
に、少なくとも一端面にリング状突起を有し、この突起
がロータに当接した円筒状部材を配設したことである。
は、バネ手段によってロータをステータに向かって押さ
えつけた超音波モータにおいて、ロータとバネ手段の間
に、少なくとも一端面にリング状突起を有し、この突起
がロータに当接した円筒状部材を配設したことである。
(作用)
前述した技術的手段によれば、ロータとバネ手段の間に
円筒状部材が配設されている。円筒状部材が配設されて
いることによって、ステータとロータとの間に加えられ
ている加圧力がリング状突起の周方向に沿って一様に分
布し、ロータに独自の固有振動が発生しにくくなる。
円筒状部材が配設されている。円筒状部材が配設されて
いることによって、ステータとロータとの間に加えられ
ている加圧力がリング状突起の周方向に沿って一様に分
布し、ロータに独自の固有振動が発生しにくくなる。
(実施例)
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい一実施例
を説明する。
を説明する。
第1図に本実施例の超音波モータ100の縦断面図を示
す。また、第2図に本実施例の超音波モータ100の要
部分解斜視図を示す。略円板状のベース4の中心部には
開口部4aが開けられている。開口部4aには、軸受け
16が圧入されている。
す。また、第2図に本実施例の超音波モータ100の要
部分解斜視図を示す。略円板状のベース4の中心部には
開口部4aが開けられている。開口部4aには、軸受け
16が圧入されている。
ベース4には、リング状のステーク3の内孔が嵌合して
いる。ステータ3は螺子11によってベース4に固定さ
れている。ステータ3はリング状の弾性体1の一面にリ
ング状の圧電素子2を導電性の接着剤によって貼り付け
たものである。
いる。ステータ3は螺子11によってベース4に固定さ
れている。ステータ3はリング状の弾性体1の一面にリ
ング状の圧電素子2を導電性の接着剤によって貼り付け
たものである。
弾性体1は大径リング部と小径リング部1bの間が薄肉
部ICを介して連続となった形状を有している。弾性体
1は、小径リング部1bが螺子11で支持されることに
よりベース4に固定されている。大径リング部1aの上
面には全周に渡って定ピツチの突部1eが多数形成され
ている。弾性体1は導電性の金属材料(りん青銅)で作
られているので、電気的には弾性体1がベース4に接続
されていることになる。
部ICを介して連続となった形状を有している。弾性体
1は、小径リング部1bが螺子11で支持されることに
よりベース4に固定されている。大径リング部1aの上
面には全周に渡って定ピツチの突部1eが多数形成され
ている。弾性体1は導電性の金属材料(りん青銅)で作
られているので、電気的には弾性体1がベース4に接続
されていることになる。
圧電素子2は、超音波モータ100の進行波発生用の公
知の素子である。圧電素子2とベース4の間には引出電
極17が配設されている。引出電極17は圧電素子2に
電気的に接続されている。
知の素子である。圧電素子2とベース4の間には引出電
極17が配設されている。引出電極17は圧電素子2に
電気的に接続されている。
引出電極17には電気リード18が接続されており、引
出電極17とベース4の間に交流電圧を印加することに
より圧電素子2が伸縮し、弾性体1に進行波振動が生起
される。
出電極17とベース4の間に交流電圧を印加することに
より圧電素子2が伸縮し、弾性体1に進行波振動が生起
される。
ベース4には略円筒状の側部材12が螺子により固定さ
れている。また、側部材12の内周側には蓋部材5が配
設されている。蓋部材5と側部材12の間には螺子が切
られており、蓋部材5を回転させると、蓋部材5が回転
軸9の長手方向に移動する。従って、蓋部材5を回転さ
せることにより、ステータ3とロータ6の間の加圧力を
調整することができる。ベース部材4と側部材12、及
び蓋部材5は超音波モータ100の外部を取り囲むハウ
ジング部材を構成する。
れている。また、側部材12の内周側には蓋部材5が配
設されている。蓋部材5と側部材12の間には螺子が切
られており、蓋部材5を回転させると、蓋部材5が回転
軸9の長手方向に移動する。従って、蓋部材5を回転さ
せることにより、ステータ3とロータ6の間の加圧力を
調整することができる。ベース部材4と側部材12、及
び蓋部材5は超音波モータ100の外部を取り囲むハウ
ジング部材を構成する。
蓋部材5には、ベアリング部材15が固定されている。
回転軸9はベアリング15と軸受け16によって支承さ
れる。ベアリング15は回転軸9のフランジ部9aに当
接しており、回転軸9が蓋部材5に向かって移動するこ
とを防止する。
れる。ベアリング15は回転軸9のフランジ部9aに当
接しており、回転軸9が蓋部材5に向かって移動するこ
とを防止する。
ベアリング15と弾性体1の間にはロータ6と円筒状部
材10および皿バネ13等が挿入されている。ロータ6
と円筒状部材10は皿ばね13の弾性力によってステー
タ3に押さえつけられている。
材10および皿バネ13等が挿入されている。ロータ6
と円筒状部材10は皿ばね13の弾性力によってステー
タ3に押さえつけられている。
皿ばね13は、回転軸9に形成されたフランジ部9aに
よって拘束されており、蓋部材5に向かう移動が制限さ
れている。また、皿ばね13はフランジ部9aによって
ベアリング部材15と同軸に保持されている。
よって拘束されており、蓋部材5に向かう移動が制限さ
れている。また、皿ばね13はフランジ部9aによって
ベアリング部材15と同軸に保持されている。
ロータ6と円筒状部材10の間には、ゴムシート14が
介在する。ゴムシート14は、ロータ6の振動によって
ロータ6と円筒状部材10の間から音が発生することを
防止する。また、円筒状部材10と皿バネ13の間にも
ゴムシート19が介在する。ゴムシート19は、ローク
ロの振動によって円筒状部材10と皿バネ13の間から
音が発生することを防止する。
介在する。ゴムシート14は、ロータ6の振動によって
ロータ6と円筒状部材10の間から音が発生することを
防止する。また、円筒状部材10と皿バネ13の間にも
ゴムシート19が介在する。ゴムシート19は、ローク
ロの振動によって円筒状部材10と皿バネ13の間から
音が発生することを防止する。
円筒状部材10の形状を第3図に示す。本実施例の円筒
状部材10は鉄材で作られており、アルミ材で作られた
ロータ6よりも大きな質量を有している。円筒状部材1
0は必ずしもロークロよりも大きな質量を有している必
要はない。しかしながら、円筒状部材10の質量をロー
タ6よりも大きくすれば、ロータ6の振動が皿バネ13
に伝わりにくくなる。
状部材10は鉄材で作られており、アルミ材で作られた
ロータ6よりも大きな質量を有している。円筒状部材1
0は必ずしもロークロよりも大きな質量を有している必
要はない。しかしながら、円筒状部材10の質量をロー
タ6よりも大きくすれば、ロータ6の振動が皿バネ13
に伝わりにくくなる。
また、円筒状部材10は剛性の高い材料で作ることが好
ましい。なぜならば、円筒状部材10の剛性が低いと、
ロータ6の振動が抑えられてしまうからである。
ましい。なぜならば、円筒状部材10の剛性が低いと、
ロータ6の振動が抑えられてしまうからである。
円筒状部材10の外周縁にはリング状の突起10aが形
成されている。この突起10.aはロータ6とステータ
3の当接面よりも内周側に位置し、ゴムシート14を通
してロータ6を押さえつける。
成されている。この突起10.aはロータ6とステータ
3の当接面よりも内周側に位置し、ゴムシート14を通
してロータ6を押さえつける。
この突起10aの高さhは一定の精度で構成されている
ので、皿バネ13の加圧力は突起10aの円周に沿って
一様に分布する。
ので、皿バネ13の加圧力は突起10aの円周に沿って
一様に分布する。
ロータ6の外周縁部には厚肉部6aが形成されている。
厚肉部6aの下面は弾性体1の大径リング部1aに対向
している。また、厚肉部6aと弾性体1の間には摩擦材
フィルム7が挿入される。
している。また、厚肉部6aと弾性体1の間には摩擦材
フィルム7が挿入される。
ロータ6は円筒状部材10を介して皿ばね13の加圧力
により下方に押さえつけられているので、厚肉部6aの
下面は大径リング部1aに形成された突部1eに摩擦材
フィルム7を介して当接する。
により下方に押さえつけられているので、厚肉部6aの
下面は大径リング部1aに形成された突部1eに摩擦材
フィルム7を介して当接する。
電気リード18とベース4の間に交流電力を印加すると
、電歪振動子2が振動して弾性体1に進行波が発生する
。この進行波は、弾性体1の大径リング部1aを進行(
周回)する。この時、大径リング部1aに形成された突
部1eによって進行波の振幅が拡大される。ロータ6が
摩擦材フィルム7を介して大径リング部1aの突部1e
に当接しているので、大径リング部1aの進行波がロー
タ6に回転モーメントを与える。これによりロータ6お
よび回転軸9が回転する。
、電歪振動子2が振動して弾性体1に進行波が発生する
。この進行波は、弾性体1の大径リング部1aを進行(
周回)する。この時、大径リング部1aに形成された突
部1eによって進行波の振幅が拡大される。ロータ6が
摩擦材フィルム7を介して大径リング部1aの突部1e
に当接しているので、大径リング部1aの進行波がロー
タ6に回転モーメントを与える。これによりロータ6お
よび回転軸9が回転する。
ロータ6が回転している間、ロータ6は弾性体1から高
い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向と接線方向
に振動する。この時、ロータ6に生じる振動は弾性体1
の振動と同じ周波数を有している。ロータ6の振動と弾
性体1の振動が同じ周波数を有している状態では、超音
波モータ100の出力は圧電素子2に供給される電力の
大きさに応じて増大する。
い周波数を有する振動圧力を受け、法線方向と接線方向
に振動する。この時、ロータ6に生じる振動は弾性体1
の振動と同じ周波数を有している。ロータ6の振動と弾
性体1の振動が同じ周波数を有している状態では、超音
波モータ100の出力は圧電素子2に供給される電力の
大きさに応じて増大する。
圧電素子2に供給される電力を徐々に大きくして行くと
、ロータ6に生じる振動が徐々に大きくなる。本実施例
装置では、円筒状部材10が弾性体1とロータ3の間に
加えられている加圧力をリング状突起10aの周方向に
沿って一様に分布させるので、圧電素子2に供給される
電力がかなり大きくなっても、ロータ6に独自の固有振
動が発生しない。それゆえに、圧電素子2に大電力を供
給し、超音波モータ100から大出力を得ることができ
る。
、ロータ6に生じる振動が徐々に大きくなる。本実施例
装置では、円筒状部材10が弾性体1とロータ3の間に
加えられている加圧力をリング状突起10aの周方向に
沿って一様に分布させるので、圧電素子2に供給される
電力がかなり大きくなっても、ロータ6に独自の固有振
動が発生しない。それゆえに、圧電素子2に大電力を供
給し、超音波モータ100から大出力を得ることができ
る。
一例として、ロータ6の直径が約80(m)の超音波モ
ータ100を使用して円筒状部材10の効果を確認した
ところ、直径が約65(tm)の円筒状部材を使用した
場合、円筒状部材が無い場合に比べて約1.5倍の出力
を得ることができた。
ータ100を使用して円筒状部材10の効果を確認した
ところ、直径が約65(tm)の円筒状部材を使用した
場合、円筒状部材が無い場合に比べて約1.5倍の出力
を得ることができた。
本発明によれば、ロータとバネ手段の間に配設された円
筒状部材によって、ステータとロータとの間に加えられ
ている加圧力がリング状突起の周方向に沿って一様に分
布するので、ロータに独自の固有振動が発生しにくくな
る。従って、ステータに大電力を供給することができ、
大出力の超音波モータを構成することができる。
筒状部材によって、ステータとロータとの間に加えられ
ている加圧力がリング状突起の周方向に沿って一様に分
布するので、ロータに独自の固有振動が発生しにくくな
る。従って、ステータに大電力を供給することができ、
大出力の超音波モータを構成することができる。
第1図は本発明の弾性体を適用した好ましい超音波モー
タの断面図である。 第2図は第1図に示した超音波モータの要部分解斜視図
である。 第3図は本発明の円筒状部材を描いた斜視図である。 第4図は従来の超音波モータを描いた断面図である。 第5図は従来の超音波モータを描いた斜視図である。 1・・・弾性体、2・・・圧電素子、3・・・ステータ
。 4・・・ベース、5・・・蓋部材、6・・・ロータ。 7・・・摩擦材、9・・・回転軸、10・・・円筒状部
材11・・・螺子、12・・・側部材、13・・・皿ば
ね。 14・・・ゴムシート、15・・・ベアリング部材。 16・・・軸受け、17・・・引出電極。 18・・・電気リード、19・・・ゴムシート100・
・・超音波モータ。
タの断面図である。 第2図は第1図に示した超音波モータの要部分解斜視図
である。 第3図は本発明の円筒状部材を描いた斜視図である。 第4図は従来の超音波モータを描いた断面図である。 第5図は従来の超音波モータを描いた斜視図である。 1・・・弾性体、2・・・圧電素子、3・・・ステータ
。 4・・・ベース、5・・・蓋部材、6・・・ロータ。 7・・・摩擦材、9・・・回転軸、10・・・円筒状部
材11・・・螺子、12・・・側部材、13・・・皿ば
ね。 14・・・ゴムシート、15・・・ベアリング部材。 16・・・軸受け、17・・・引出電極。 18・・・電気リード、19・・・ゴムシート100・
・・超音波モータ。
Claims (5)
- (1)ステータと、 該ステータに当接し、該ステータの振動によつて駆動さ
れ回転するロータと、 前記振動体に向かつて前記ロータを押さえつけるバネ手
段と、 前記ロータと前記バネ手段の間に配設され、少なくとも
一端面にリング状突起を有し、該リング状突起が前記ロ
ータに当接した円筒状部材と、を有する超音波モータ。 - (2)前記円筒状部材は、ロータよりも大きな質量を
有していることを特徴とした請求項(1)記載の超音波
モータ。 - (3)前記円筒状部材は、ロータよりも剛性が高い材
料で作られていることを特徴とした請求項(1)記載の
超音波モータ。 - (4)前記ステータは、電歪素子と弾性体を備えるこ
とを特徴とした請求項(1)記載の超音波モータ。 - (5)前記円筒状部材のリング状突起が、前記ロータ
と前記弾性体の当接面よりも内周側で当接していること
を特徴とした請求項(4)記載の超音波モータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63191951A JPH0241677A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 超音波モータ |
US07/381,949 US4959579A (en) | 1988-07-29 | 1989-07-19 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63191951A JPH0241677A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0241677A true JPH0241677A (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=16283168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63191951A Pending JPH0241677A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 超音波モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4959579A (ja) |
JP (1) | JPH0241677A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5299422A (en) * | 1991-07-26 | 1994-04-05 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Energy converter |
WO2022176560A1 (ja) * | 2021-02-17 | 2022-08-25 | 株式会社村田製作所 | 超音波モータ |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0336969A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-18 | Aisin Seiki Co Ltd | 超音波モータ |
JPH03155375A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-03 | Canon Inc | リニアモータ装置 |
US5225734A (en) * | 1990-03-01 | 1993-07-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
US5352950A (en) * | 1990-03-30 | 1994-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
JP2862634B2 (ja) * | 1990-05-25 | 1999-03-03 | アスモ株式会社 | 超音波モータ |
JP2962861B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1999-10-12 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
DE4130065C2 (de) * | 1991-09-11 | 1993-12-02 | Licentia Gmbh | Elektrischer Scheibenwischerantrieb |
EP0543360B1 (en) * | 1991-11-20 | 2000-05-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration driven motor |
JP3287614B2 (ja) * | 1992-10-01 | 2002-06-04 | キヤノン株式会社 | 超音波モータ |
US5557486A (en) * | 1993-12-02 | 1996-09-17 | Hitachi, Ltd. | Thin external memory unit with hard disk |
JP3276100B2 (ja) * | 1995-05-15 | 2002-04-22 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
US5765774A (en) * | 1996-04-05 | 1998-06-16 | Takata Corporation | Seat belt retractor employing ultrasonic motor |
JPH11191970A (ja) | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Asmo Co Ltd | 超音波モータ |
JP4704537B2 (ja) * | 2000-01-31 | 2011-06-15 | セイコーインスツル株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 |
US7063236B2 (en) * | 2002-03-14 | 2006-06-20 | Homax Products, Inc. | Aerosol systems and methods for mixing and dispensing two-part materials |
JP5144065B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2013-02-13 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | 超音波モータ |
KR20110101766A (ko) * | 2010-03-09 | 2011-09-16 | 삼성전자주식회사 | 압전 모터 |
JP5769380B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2015-08-26 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4736129A (en) * | 1985-05-30 | 1988-04-05 | Marcon Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
JPS62247775A (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-28 | Shinsei Kogyo:Kk | 超音波モ−タの回転子支持体の改良 |
JPS6373887A (ja) * | 1986-09-17 | 1988-04-04 | Shinsei Kogyo:Kk | 進行波型超音波モ−タ |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP63191951A patent/JPH0241677A/ja active Pending
-
1989
- 1989-07-19 US US07/381,949 patent/US4959579A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5299422A (en) * | 1991-07-26 | 1994-04-05 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Energy converter |
WO2022176560A1 (ja) * | 2021-02-17 | 2022-08-25 | 株式会社村田製作所 | 超音波モータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4959579A (en) | 1990-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0241677A (ja) | 超音波モータ | |
JP2935504B2 (ja) | モータ | |
JPH01502384A (ja) | 圧電モータ | |
JPH0336969A (ja) | 超音波モータ | |
JPH02123974A (ja) | 超音波モータ | |
US5055732A (en) | Ultrasonic motor | |
US5107163A (en) | Ultrasonic motor | |
JPH0352573A (ja) | 超音波モータ | |
JPH0588073B2 (ja) | ||
JPH1066362A (ja) | 圧電形の加圧部材を備える振動波モータ | |
JPS63262069A (ja) | 圧電振動モ−タ | |
KR100376137B1 (ko) | 원환형 압전초음파 모터 | |
JPS63242185A (ja) | 圧電モ−タ | |
JP2769151B2 (ja) | 超音波モータ | |
JP2549310B2 (ja) | 超音波モータ | |
JPS63277482A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH056428B2 (ja) | ||
JP2968669B2 (ja) | 超音波モータのステータ及び超音波モータ | |
JPS62225187A (ja) | 超音波モ−タ | |
JPH01255484A (ja) | 超音波モータ用弾性体 | |
JPH02303377A (ja) | 超音波モータ | |
JPH0780793A (ja) | 多自由度アクチュエータ | |
JPH01315270A (ja) | 超音波モータ | |
JPH02303372A (ja) | 超音波モータ | |
JP2885802B2 (ja) | 超音波モータ |