JP2913876B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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Description
特に各画素毎に増幅素子を有する増幅型固体撮像装置に
関する。
upled Device) 型固体撮像装置では、各画素の光電変換
部に入射光に応じて蓄積された信号電荷を、CCDを用
いて電荷のまま出力部に転送する構成となっているが、
CCDによる電荷転送中に雑音成分が混入することによ
り、S/Nが劣化し易いという不具合があった。
像装置として、入射光に応じて信号電荷を蓄積する光電
変換部と、この光電変換部に蓄積された信号電荷を増幅
して垂直信号線に出力する増幅用MOSトランジスタ
と、この増幅用MOSトランジスタの入力をリセットす
るリセット手段とを有するフォトセンサ部を、2次元配
列された複数画素の各画素毎に設けた構成の増幅型固体
撮像装置が知られている(例えば、特開平1−1546
78号公報参照)。この増幅型固体撮像装置において
は、通常、各画素毎に増幅用MOSトランジスタを持つ
他、各垂直信号線に1個の負荷用MOSトランジスタが
接続された構成となっている。
は、アルミニウム線等によってパターン配線されること
になるが、開口率を高めるためにはできるだけ細い方が
良い。しかし、垂直信号線があまり細すぎると、垂直信
号線に電流が流れたとき、垂直信号線内で電圧降下が起
き、負荷用MOSトランジスタに近い画素と遠い画素
で、同じ出力電圧でも電圧差が生じることになる。
m、画素領域の全長が4mmのアルミニウム線の両端で
は、線抵抗Rが450Ω程度になる。このとき、負荷用
MOSトランジスタの定電流特性が良いと、画素にかか
る電圧は負荷用MOSトランジスタの定電流源でコント
ロールされるから、垂直信号線の抵抗値の大小にかかわ
らず常に同じ電圧が画素にかかることになるため、画素
間でゲイン変化は生じなくなる。
良くするには、負荷用MOSトランジスタのチャネル長
Lを長くし、ゲート電圧をVg 、スレッショルド電圧
(閾値電圧)をVthとした場合、Vg −Vthを小さくす
れば良い。このとき、電流ILは、電子の移動度を
μn 、酸化膜の単位面積当りの容量をCox、ソース電圧
をVs とすると、 IL = 1/2 μn Cox(Vg −Vth−Vs )2 で表される。そして、この電流I L は、Vs =0で(V
g −Vth)が小さいと、スレッショルド電圧Vthのバラ
ツキ(以下、Vthムラと称する)が2乗されることによ
って大きくなるという問題がある。
る負荷用MOSトランジスタのVthムラを低減し、垂直
信号線の細線化に伴う開口率の向上を可能とした固体撮
像装置を提供することを目的とする。
めに、本発明は、2次元配列された複数画素の各画素毎
に、光電変換された信号電荷を増幅して垂直信号線に出
力する増幅用トランジスタを有し、各垂直信号線には負
荷用トランジスタが接続された構成の固体撮像装置にお
いて、定電流特性の良好な領域で動作する第1のFET
と、リニア領域で動作する第2のFETとを有し、これ
ら第1,第2のFETが互いに直列接続された構成とな
っている。
ETは定電流特性の良好な領域で動作することから、定
電流源として機能し、負荷用トランジスタに対して定電
流特性を持たせる。一方、第2のFETはリニア領域で
動作することから、定電流源として機能する第1のFE
Tと直列に接続されることで、負帰還による抵抗作用を
なす。これにより、第1のFETにVthムラがあったと
しても、第2のFETの負帰還による抵抗作用によって
どの垂直信号線にも一定の電流I L を流すことができ
る。
電流特性に優れ、かつVthムラに強いものを用いること
で、垂直信号線の抵抗値の大小にかかわらず常に同じ電
圧が画素にかかることになるため、画素間でゲイン変化
は生じない。その結果、垂直信号線をより細線化でき、
これに伴って開口率をより向上できる。
に説明する。図1は、本発明による固体撮像装置の一実
施例の要部を示す回路図である。この図では、説明の都
合上、水平及び垂直方向においてマトリクス状に2次元
配列された複数画素のうち、隣り合うn番目及びn+1
番目の2ラインの各1画素のみの回路構成を示している
が、残りの画素も全て同じ回路構成となっているものと
する。
その入射光に応じた信号電荷がストレージ(ST)1に
蓄えられる。このストレージ1及びその出力ゲート(O
G)スイッチ2により1ビットのCCDが構成されてい
る。また、このCCDと同一チップ上にリセット用MO
S‐FET3とソースホロワの増幅用MOS‐FET4
が作られ、増幅用MOS‐FET4のゲートがFD(Flo
ating Diffusion)に接続されてフローティング・ディフ
ュージョン・アンプ(FDA)5を構成している。
アンプ5において、出力ゲートスイッチ2のゲート電極
が出力ゲート(OG)信号線6に接続され、またリセッ
ト用MOS‐FET3のゲート電極がリセットゲート
(RG)信号線7aに、リセット電極がリセットドレイ
ン(RD)信号線7bにそれぞれ接続されている。そし
て、垂直走査回路8から、出力ゲートスイッチ2のゲー
ト電極に出力ゲートパルスφOGが、またリセット用MO
S‐FET3のゲート電極にリセットゲートパルスφRG
が、ドレイン電極にリセットドレインパルスφRDがそれ
ぞれ印加されることによって水平ラインの選択を行うよ
うに構成されている。
電極には電源電圧VDDが印加され、そのソース電極が出
力端Vout として垂直信号線9に接続されている。そし
て、1の水平ラインが選択されると、その選択された水
平ラインの全画素の信号電荷が増幅用MOS‐FET4
によって増幅されて垂直信号線9に出力される。
スタ10及びP型MOS‐FETからなる転送ゲートス
イッチ11が接続されており、この垂直信号線9に出力
された各画素の増幅出力はノイズ除去用コンデンサC0
に蓄えられる。このコンデンサC0 の出力端にはクラン
プスイッチ12が接続されており、クランプスイッチ1
2がそのゲート電極にクランプパルスφCLP が印加され
ることによってオン状態となることにより、コンデンサ
C0 の出力端の電位がクランプレベルVCLP にクランプ
される。このノイズ除去用コンデンサC0 及びクランプ
スイッチ12により、増幅用MOS‐FET4のソース
出力に含まれるリセット雑音等の雑音を低減するための
CDS(相関二重サンプリング)回路15が構成されて
いる。
号線9と接地間に互いに直列接続されたMOS‐FET
10a及びMOS‐FET10bによって構成されてい
る。ところで、画素の増幅用MOS‐FET4を正常に
動作させるためには、一定の電流(従来と同じ電流)を
流すことが前提となる。この前提のもとに、MOS‐F
ET10aについては、チャネル幅Wとチャネル長Lと
の比W/Lを大きく設定する。例えば、チャネル幅Wを
大きく設定することで、MOS‐FET10aには電流
が多く流れやすくなり、低いゲート電圧Vg でも多くの
電流が流れることになる。このとき、(Vg −Vth)を
小さく設定することで、MOS‐FET10aは、図2
に実線Aで示すように、定電流特性の良好な領域で動作
することになる。
W/Lを小さく設定する。例えば、チャネル幅Wを小さ
く設定することで、MOS‐FET10bには電流が流
れにくくなる。この状態では、ゲート電圧Vg を非常に
高くして使用することになり、(Vg −Vth)を大きく
設定することで、MOS‐FET10bは、図2に一点
鎖線Bで示すように、リニア領域で動作することにな
る。
イン電圧をVD とすると、その電流Iは、 I=μn Cox(W/L)(Vg −Vth)VD で決まることになり、MOS‐FET10bは負帰還に
よる抵抗作用をなすことになる。このMOS‐FET1
0bで主として電流が決まるようにパラメータを設定す
る。ここで、Vg ≫Vthとすると、Vthムラに対して強
いものとなる。
ッファアンプ13を経た後切替えスイッチ14によって
サンプル/ホールド用コンデンサC1 ,C2 に択一的に
供給され、これらコンデンサC1 ,C2 によってサンプ
ル/ホールドされる。切替えスイッチ14の切替え制御
は、水平ブランキング期間において発生されるサンプル
/ホールドパルスφSHによって1ライン毎に行われる。
力がコンデンサC1 に、奇数ラインの画素出力がコンデ
ンサC2 にそれぞれホールドされることになる。コンデ
ンサC1 ,C2 のホールド出力は、バッファアンプ16
-1,16-2を経た後、水平ゲートスイッチ17-1,17
-2によるスイッチングによって水平信号線18-1,18
-2に導出される。水平ゲートスイッチ16-1,16-2の
スイッチング制御は、水平走査回路19から出力される
水平シフトパルスφH によって行われる。
れる負荷用MOSトランジスタ10を、定電流特性の良
好な領域で動作するMOS‐FET10aと、リニア領
域で動作するMOS‐FET10bとを直列接続して構
成したことにより、負荷用MOSトランジスタ10に対
して定電流特性を持たせることができ、MOS‐FET
10aにVthムラがあったとしても、MOS‐FET1
0bの負帰還による抵抗作用によってどの垂直信号線9
にも一定の電流を流すように動作する。
0の定電流特性を良くし、かつVthムラに対して強いも
のとすることにより、垂直信号線9の抵抗値の大小にか
かわらず常に同じ電圧が画素にかかることになるため、
画素間でゲイン変化は生じない。その結果、垂直信号線
9のより細線化が可能となり、これに伴い開口率をより
向上できることになる。
の適用に限定されるものではなく、各垂直信号線9に接
続された負荷用MOSトランジスタ10を有する増幅型
固体撮像装置全般に適用し得るものである。
増幅型固体撮像装置において、各垂直信号線に接続され
る負荷用トランジスタを、定電流特性の良好な領域で動
作する第1のFETと、リニア領域で動作する第2のF
ETとを直列接続した構成としたことにより、負荷用ト
ランジスタとして定電流特性に優れ、かつVthムラに対
して強いものを使用することができる。これにより、垂
直信号線の抵抗値の大小にかかわらず常に同じ電圧が画
素にかかることになり、画素間でゲイン変化は生じない
ため、垂直信号線をより細線化でき、これに伴い開口率
をより向上できる効果がある。
示す回路図である。
ET、5…FDA(フローティング・ディフュージョン
・アンプ)、10…負荷用MOSトランジスタ、10a
…定電流特性を有するMOS‐FET、10b…負帰還
による抵抗作用をなすMOS‐FET、12…クランプ
スイッチ、15…CDS(相関二重サンプルホールド)
回路
Claims (1)
- 【請求項1】 2次元配列された複数画素の各画素毎
に、光電変換された信号電荷を増幅して垂直信号線に出
力する増幅用トランジスタを有し、各垂直信号線には負
荷用トランジスタが接続された構成の固体撮像装置にお
いて、 前記負荷用トランジスタは、定電流特性の良好な領域で
動作する第1のFETと、リニア領域で動作する第2の
FETとを有し、前記第1のFETと前記第2のFET
とが互いに直列接続されてなることを特徴とする固体撮
像装置。
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