JP2910268B2 - パルス管冷凍機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はパルス管冷凍機に関す
る。このパルス管冷凍機は、例えば、赤外線センサなど
の各種センサの冷却装置、クライオポンプ、極低温装置
に利用できる。

【０００２】

【従来の技術】近年、パルス管冷凍機が開発されつつあ
る。このパルス管冷凍機は、蓄冷型閉サイクル冷凍機の
一種であり、他の種類の冷凍機例えば逆スターリングサ
イクル冷凍機、ギフォードマクマホン冷凍機等に比較し
て、冷凍発生部にピストン等の可動部分を要せず、構造
が簡素化でき、価格の低廉に有利であり、しかも耐久性
を向上できるという種々の利点を備えている。パルス管
冷凍機では冷凍理論の解明はまだ充分でないが、その冷
凍性能は実験で確認されている。しかしこのパルス管冷
凍機では、冷凍性能は必ずしも充分ではなく、逆スター
リングサイクル冷凍機、ギフォードマクマホン冷凍機等
に並ぶ冷凍性能を得ることが出来なかった。

【０００３】そこで、逆スターリングサイクル冷凍機、
ギフォードマクマホン冷凍機等に並ぶ冷凍性能が得られ
る様に、図６に示すパルス管冷凍機（オリフィス・パル
ス管冷凍機とも呼ばれる）が提案されている（Ｃｒｙｏ
ｇｅｎｉｃｓ １９９０ Ｖｏｌ３０ Ｓｅｐｔｅｍｂ
ｅｒ Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ ２６７〜２７１、Ｂｕｔ
ｔｅｒｗｏｒｔｈ社発刊））。

【０００４】このパルス管冷凍機は、図６に模式的に示
す様に、ヘリウムなどの作動流体が装填された圧縮室１
００とピストン１０１とをもつ圧縮機１０２と、第１放
熱部１０４と、第１放熱部１０４を経た作動流体を冷却
する蓄冷部１０５、コールドヘッド１０７と、蓄冷部１
０５を経た作動流体が流入するパルス管１０９と、第２
放熱部１１０と、バッファ室１１２をもつバッファタン
ク部１１３と、バッファタンク部１１３とパルス管１０
９との間の通路１１４に介在するオリフィス式の絞り弁
１１９とで構成されたものが開発されている。このパル
ス管冷凍機では、蓄冷部１０５、パルス管１０９、第２
放熱部１１０は真空容器１１７に密閉状態でつまり断熱
状態で配置されている。

【０００５】このパルス管冷凍機では、圧縮機１０２の
ピストン１０１が前進して圧縮室１００が圧縮行程とさ
れると、作動流体は第１放熱部１０４、蓄冷部１０５、
コールドヘッド１０７を経てパルス管１０９に流入す
る。更に、パルス管１０９の作動流体は第２放熱部１１
０、流量絞り用の絞り弁１１５を経てバッファタンク部
１１３に導入される。なお、圧縮機１０２で圧縮された
生じた作動流体の圧縮熱は第１放熱部１０４で取り除か
れる。またパルス管１０９内で断熱圧縮された生じた作
動流体の圧縮熱は第２放熱部１１０で取り除かれる。

【０００６】一方、ピストン１０１が後退して圧縮機１
０２が膨張行程にはいると、パルス管１０９の作動流体
は断熱膨張して温度が低下してコールドヘッド１０７が
冷却されるとともに、作動流体は蓄冷部１０５、第１放
熱部１０４を経て圧縮機１０２に戻る。かかる圧縮行
程、膨張行程を繰り返すことにより、コールドヘッド１
０７から寒冷が取り出される。

【０００７】このパルス管冷凍機では、絞り弁１１５と
バッファタンク部１１３とが設けられているので、絞り
弁１１５、バッファタンク部１１３がないタイプのパル
ス管冷凍機に比較して通常９０〜１００Ｋ程度の低温が
得られることが発見、確認されており、従来からの逆ス
ターリングサイクル冷凍機、ギフォードマクマホン冷凍
機等に並ぶ冷凍性能が得られる。絞り弁１１５とバッフ
ァタンク部１１３とを設けた場合、冷凍性能が向上する
理由は、現在のところ必ずしも明らかでないが、強いて
いうならば、オリフィス式の絞り弁１１５により作動流
体がバッファタンク部１１３内で蓄圧され、バッファタ
ンク部１１３内に蓄圧された作動流体があたかも膨張ピ
ストンの役割を果たすものと推察されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した絞り
弁とバッファタンク部とをもつ構造のパルス管冷凍機の
開発の一環としてなされたものであり、請求項１および
請求項２ともに、その目的は、流量絞り部による流体通
過抵抗、絞り作用の分散化、均一化が得られ、これによ
り作動流体の均一移入を図り、低温を得るのに有利なパ
ルス管冷凍機を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかるパルス
管冷凍機は、作動流体を圧縮する圧縮行程および作動流
体を膨張させる膨張行程とが行われる圧縮室をもつ圧縮
機と、圧縮機で圧縮された作動流体の熱を取り除く第１
放熱部と、第１放熱部を経た作動流体を冷却する蓄冷
部、蓄冷部を経た作動流体が流入するとともに膨張空間
となる管室をもつパルス管と、パルス管と一体的に形成
またはパルス管に連設された寒冷取出部と、パルス管の
管室内の作動流体の熱を取り除く第２放熱部と、パルス
管の管室に連通し作動流体が流入するバッファ室をもつ
バッファタンク部と、バッファタンク部のバッファ室と
パルス管の管室との間に介在する流量絞り部とで構成さ
れ、流量絞り部は、バッファタンク部のバッファ室とパ
ルス管の管室とを連通する多数の細孔からなる細孔群を
もつリング状をなす多孔質体で構成されていることを特
徴とするものである。

【００１０】請求項２にかかるパルス管冷凍機は、作動
流体を圧縮する圧縮行程および作動流体を膨張させる膨
張行程とが行われる圧縮室をもつ圧縮機と、圧縮機で圧
縮された作動流体の熱を取り除く第１放熱部と、第１放
熱部を経た作動流体を冷却する蓄冷部、該蓄冷部を経た
作動流体が流入するとともに膨張空間となる管室をもつ
パルス管と、パルス管と一体的に形成または該パルス管
に連設された寒冷取出部と、パルス管の管室内の作動流
体の熱を取り除く第２放熱部と、パルス管の管室に連通
し作動流体が流入するバッファ室をもつバッファタンク
部と、バッファタンク部のバッファ室とパルス管の管室
との間に介在し作動する流量絞り部とで構成され、流量
絞り部は、バッファタンク部のバッファ室とパルス管の
管室とを連通する開口と、開口を覆いリング状の絞り孔
を形成する多数個の虹彩絞りプレートとで構成されてい
ることを特徴とするものである。

【００１１】圧縮機、第１放熱部、蓄冷部、寒冷取出
部、第２放熱部は従来と同一のものを採用できる。ここ
で、第１放熱部は圧縮機と別体として配置されていて
も、あるいは圧縮機に内蔵されていてもよく、あるい
は、圧縮機のハウジングを第１放熱部として利用しても
よい。パルス管は筒状でもリング筒状でもよい。パルス
管をリング筒状とした場合には、蓄冷部を筒状とし、リ
ング筒状のパルス管の内側に筒状の蓄冷部を配置でき
る。また、パルス管を筒状とした場合には、蓄冷部をリ
ング筒状にし、リング筒状の蓄冷部の内側に筒状のパル
ス管を配置できる。なおパルス管の全長は適宜選択でき
る。バッファタンク部は、パルス管の管室に連通し作動
流体が流入するバッファ室をもつ。バッファ室の容積は
流量絞り部の絞り度合等に応じて適宜選択できる。

【００１２】流量絞り部は、バッファタンク部のバッフ
ァ室とパルス管の管室との間に介在している。請求項１
では、流量絞り部は、多数の細孔からなる細孔群をもつ
リング状をなす多孔質体で構成されている。多孔質体を
構成する母材は後述する様に金属、セラミツクス等と適
宜選択できる。多孔質体の細孔の孔径、気孔率は所望の
絞り度、バッファ室の容積、多孔質体の耐久性等を考慮
して適宜選択できる。多孔質体の細孔は連続空孔のみの
形態、あるいは、連続空孔と独立空孔との双方を含む形
態でも良い。ただし、多孔質体による絞り度合いは、基
本的には、貫通孔である連続空孔で定まる。

【００１３】多孔質体は多孔質金属とすることができ
る。多孔質金属とすれば、熱伝導性がよいので、多孔質
体による放熱性、多孔質体の温度均一性が得られる。多
孔質金属としては、例えば、粉末、繊維等からなる圧密
体を焼結した焼結体、発泡剤を利用した金属発泡体、金
属等の繊維が集積し繊維間を細孔とした繊維集積体を採
用できる。多孔質金属は例えば鉄系、ステンレス鋼系、
ニッケル系、チタン系、アルミニウム系等適宜選択でき
る。また多孔質体は場合によってはセラミツクス製、例
えばセラミツクス焼結体も採用できる。

【００１４】多孔質体は交換可能に配置することが好ま
しい。従って作動流体の流量絞り度合を変更したいとき
には、異なる気孔率や細孔径をもつ多孔質体に交換すれ
ばよい。請求項２では、流量絞り部は、バッファタンク
部のバッファ室とパルス管の管室とを直接又は間接的に
連通する開口と、開口を覆いリング状の絞り孔を形成す
る多数個の虹彩絞りプレートとで構成されている。開口
面積は適宜選択できる。ここで、虹彩絞りプレートは、
リング状の絞り孔の開口面積を可変にする方式でも、開
口面積を固定的に維持する方式でもよい。

【００１５】

【作用】本発明のパルス管冷凍機では、基本的には従来
と同様に、圧縮室が圧縮行程とされると、作動流体は第
１放熱部、蓄冷部、パルス管に流入する。ここで、パル
ス管の作動流体は多孔質体を経てバッファ室に導入され
る。圧縮機で圧縮された生じた作動流体の圧縮熱は第１
放熱部で取り除かれる。またパルス管内で断熱圧縮され
た生じた作動流体の圧縮熱は第２放熱部で取り除かれ
る。

【００１６】一方、圧縮機が膨張行程にはいると、パル
ス管の作動流体は断熱膨張して温度が低下して寒冷取出
部が冷却されるとともに、作動流体は蓄冷部、第１放熱
部を経て圧縮機に戻る。かかる圧縮行程、膨張行程を繰
り返すことにより、寒冷取出部から寒冷が取り出され
る。請求項１のパルス管冷凍機では、流量絞り部は多数
の細孔をもつ多孔質体で構成されているので、図６に示
す従来のオリフィス式の絞り弁１１５を用いた場合に比
較して、流体通過抵抗および絞り作用の分散化、均一化
が図られる。そのため作動流体がパルス管からバッファ
タンク部に移入する際、または、作動流体がバッファタ
ンク部からパルス管に移入する際において、作動流体は
できるだけ分散されて移入される。

【００１７】請求項２のパルス管冷凍機では、流量絞り
部は、開口と、開口を覆いリング状の絞り孔を形成する
多数個の虹彩絞りプレートとで構成されているので、作
動流体がパルス管からバッファタンク部に移入する際、
または、作動流体がバッファタンク部からパルス管に移
入する際において、作動流体はリング状の絞り孔を通過
することになり、流体通過抵抗および絞り作用の分散
化、均一化が図られ、そのため作動流体はできるだけ分
散されて移入される。

【００１８】

【実施例】（第１実施例） （構成）以下、本発明の第１実施例を図１〜図３に基づ
き説明する。このパルス管冷凍機は、圧縮機１と、第１
放熱部２と、蓄冷部３と、パルス管４と、寒冷取出部と
してのコールドヘッド５と、第２放熱部６と、バッファ
タンク部７と、流量絞り部８とで構成されている。

【００１９】圧縮機１はハウジング１０と、圧縮室１１
と、圧縮室１１に配置されたピストン１２と、ピストン
１２を往復移動させるクランク１３と、クランク１３を
作動させ回転軸１４ａをもつ回転体１４ともつ。圧縮室
１１では、ピストン１２の前進後退により、作動流体を
圧縮する圧縮行程および作動流体を膨張させる膨張行程
とが順次行われる。

【００２０】第１放熱部２は、バッファタンク部７を通
る導管１６を介して圧縮室１１に接続されている。第１
放熱部２は作動流体が流れる多数の通路２０をもつ。ま
た、第１放熱部２は冷却水が流れる冷却水通路をもち、
通路２０を流れる作動流体の熱を冷却水により熱交換し
て取り除くものである。蓄冷部３は金属金網や小球など
の蓄冷材を装填したものであり、筒形状に形成されてい
る。蓄冷部３は第１放熱部２に接続されており、第１放
熱部２の通路２０に連通する通路をもつ。蓄冷部３は第
１放熱部２を経た作動流体を冷却するものである。なお
蓄冷部３の外径はＤ１で示される。

【００２１】パルス管４は金属製であり、蓄冷部３の外
周面を覆う様にリング孔４ｃを備えたリング筒形状に形
成されており、蓄冷部３とほぼ同軸的に配置されてい
る。したがってリング筒形状のパルス管４の内周部は蓄
冷部３の外周部に対面している。ここで、パルス管４の
内部はリング状の管室４０とされている。なおパルス管
４の外径はＤ２で示される。

【００２２】コールドヘッド５は蓄冷部３の一端部３ａ
およびパルス管４の一端部４ａを覆う様に配設されてい
る。コールドヘッド５は真空容器９の真空室９０の室部
分９０ａに対面する様に露出している。コールドヘッド
５は通路５０をもつ。通路５０はパルス管４の管室４０
と蓄冷部３の通路とを連通している。第２放熱部６は第
１放熱部２の外周を覆う同軸的なリング状をなし、パル
ス管４の他端部４ｂに接続されている。第２放熱部６は
作動流体が流れる通路６０と、冷却水が流れる通路とを
もつ。第２放熱部６は、通路６０を通る作動流体の熱を
冷却水により熱交換して取り除くものである。

【００２３】本実施例では冷凍性能を高めるために、蓄
冷部３、パルス管４、コールドヘッド５は真空容器９内
に密閉されており、外部に対して実質的に断熱されてい
る。さて本実施例ではバッファタンク部７はバッファ室
７０をもつ。バッファタンク部７は、第２放熱部６及び
第１放熱部２の下方に配置されている。流量絞り部８
は、焼結金属からなるリング状をなす多孔質体８０で構
成されている。焼結金属は具体的にはステンレス、銅、
又は銅合金等であり、多数の細孔８０ａからなる細孔群
をもつ。多孔質体８０を介して第２放熱部６の通路６０
とバッファ室７０とは連通しており、従ってパルス管４
内の作動流体が第２放熱部６の通路６０、細孔８０ａを
通りバッファ室７０に流入するものである。

【００２４】（作用）次に、本実施例にかかるパルス管
冷凍機の作用をその使用方法ともに説明する。このパル
ス管冷凍機では、圧縮行程では、ピストン１２が前進し
て圧縮室１１の作動流体が圧縮される。すると、圧縮室
１１の作動流体は導管１６を通り、第１放熱部２、蓄冷
部３、コールドヘッド５の通路５０を経て、パルス管４
の一端部４ａ側からパルス管４の管室４０に流入する。
更に、圧縮機１による圧縮に伴い、パルス管４内の作動
流体は多孔質体８０の細孔８０ａを経てバッファタンク
部７に導入され、バッファタンク部７内で作動流体は蓄
圧される。なお、圧縮機１で圧縮されて生じた作動流体
の圧縮熱は第１放熱部２で熱交換されて取り除かれる。
またパルス管４内で断熱圧縮された生じた作動流体の圧
縮熱は第２放熱部６で熱交換されて取り除かれる。

【００２５】一方、ピストン１２が後退して圧縮機１が
膨張行程にはいると、パルス管４の作動流体は断熱膨張
して温度が低下してコールドヘッド５が冷却されるとと
もに、パルス管４の作動流体はコールドヘッド５の通路
５０、蓄冷部３、第１放熱部２を経て圧縮室１１に戻
る。かかる圧縮行程、膨張行程を順次繰り返すことによ
り、コールドヘッド５から寒冷（例えば４０〜５０Ｋ）
が取り出される。なお、寒冷となるのは、蓄冷部３とパ
ルス管４との間のコールドヘッド５であり、多孔質体８
０は基本的に常温又は常温に近い温度に維持される。

【００２６】 （効果） 本実施例では、流量絞り部８は多孔質体８０で構成され
ているので、オリフィス式の絞り弁１１５を用いた図６
に示す従来に比較して、流体通過抵抗および絞り作用の
分散化、均一化を図り得る。従って作動流体がパルス管
４からバッファタンク部７に移入する際、また、作動流
体がバッファタンク部７からパルス管４に移入する際に
おいて、作動流体はできるだけ分散されて、つまり図２
に矢印Ｓで示す周方向にできるだけ分散されて移入され
る。そのため低温を得るのに有利となる。殊に、多孔質
体８０はリング状をなすため、多孔質体が同一の投影面
積をもつ円筒状（非リング状）である場合に比較して、
多孔質体８０の外径サイズを大きくでき、作動流体の矢
印Ｓ方向における分散性の向上に一層寄与できる。

【００２７】また絞り部での流体抵抗発熱のため、パル
ス管４の末端側つまり他端部４ｂ側付近では作動流体が
発熱するものであるが、この点本実施例では流量絞り部
８は金属からなる多孔質体８０で構成されているので、
熱伝導性に富み、多孔質体８０による放熱性を高め得、
低温を得るのに一層有利となる。また多孔質体８０のフ
ィルタ作用も期待できるので、作動流体にオイル、シー
ル粉塵などの不純物が含まれている場合であっても、そ
のオイルなどの不純物を多孔質体８０で吸着できるとい
う効果も期待できる。

【００２８】加えて本実施例では、多孔質体８０はリン
グ状に形成されているので、蓄冷部３の外周をリング筒
状のパルス管４で同軸的に覆う二重筒構造を達成でき
る。更に本実施例では蓄冷部３の外周をリング筒状のパ
ルス管４で同軸的に覆う二重筒構造のため、パルス管冷
凍機の全長の短縮化、小型化に有利である。また、輻射
熱による熱侵入を低減できる。更に図１に示す様にバッ
ファタンク部７を第１放熱部２、第２放熱部６に直接取
り付けることができ、パルス管冷凍機の全長の短縮化、
小型化に一層有利である。この点図６に示す従来ではオ
リフィス式の絞り弁１１５を配置するために、導管１１
４を介してバッファタンク部１１３を取付けなければな
らず、導管１１４のぶん全長が長くなりがちであったの
と異なる。更に本実施例では、従来必要とされていた突
起物となる導管１１４を不要にし得るため、コンパクト
化に有利で省スペース化を図り得る。

【００２９】また本実施例では蓄冷部３の外周をリング
筒状のパルス管４で同軸的に覆う二重筒構造のため、コ
ールドヘツド５が真空容器９の真空室９０の室部分９０
ａに対面する形態、つまり露出する形態となりコールド
ヘッド５からの寒冷の取り出しに有利である。更に本実
施例では第１放熱部２の外側をリング状の第２放熱部６
がほぼ同軸的に覆う構造のため、一系統の冷却液回路で
第１放熱部２、第２放熱部６の双方に冷却液を供給でき
る利点が得られる。また蓄冷部３が円筒状であるため、
金網等からなる蓄冷部３を製造し易い利点もある。

【００３０】（第２実施例）第１実施例の構成に加え
て、開口面積可変方式の多数個の虹彩絞りプレートを設
け、第１実施例にかかる多孔質体８０を虹彩絞りプレー
トで覆い、虹彩絞りプレートの絞り開口量を調整するこ
とにより、多孔質体８０を覆う面積を適宜変える構造に
できる。この場合多孔質体８０を通過する作動流体の流
量を制御できる。

【００３１】（第３実施例）本発明の第３実施例を図
４、図５に基づき説明する。第３実施例の構成は基本的
には第１実施例と同じであり、基本的に同じ機能を果た
す部位には同じ符号を付する。ただし、第３実施例では
図４、図５に示す様に流量絞り部８は、第１放熱部２の
まわりのリング状の開口８５と、開口８５を覆いリング
状の絞り孔８５ａを形成する多数個の虹彩絞りプレート
８７と、調節リング８８とで構成されている。図４に示
す様に絞り孔８５ａは、孔幅ｔで第１放熱部２を１周す
る様なリング状をなす。また図５に示す様に絞り孔８５
ａは、バッファタンク部７のバッファ室７０と第２放熱
部６の通路６０とを連通している。

【００３２】第３実施例では、作動流体がパルス管４か
らバッファタンク部７に移入する際、また、作動流体が
バッファタンク部７からパルス管４に移入する際におい
て、作動流体はリング状の絞り孔８５ａを通過すること
になる。そのため図６に示す従来のオリフィス式の絞り
弁１１５を用いた場合に比較して、絞り孔８５ａを通過
する等の流体通過抵抗、絞り作用の分散化、均一化が図
られ、作動流体はできるだけ分散されて、つまり図４に
矢印Ｆで示す周方向にできるだけ分散されて移入され
る。

【００３３】

【００３４】

【発明の効果】本発明のパルス冷凍機によれば、オリフ
ィス式の絞り弁を用いた従来に比較して、作動流体の流
体通過抵抗および絞り作用の分散化、均一化を図り得
る。よって、作動流体がパルス管からバッファタンク部
に移入する際、または作動流体がバッファタンク部から
パルス管に移入する際において、作動流体はできるだけ
分散されて移入することになり、低温を得るのに有利と
なる。

【００３５】また流体絞り部をリング状の多孔質体で形
成した請求項１によれば、多孔質体はリング状をなすた
め、多孔質体が同一の投影面積をもつ円筒状である場合
に比較して、多孔質体の外径サイズを大きくでき、これ
により作動流体の分散性の向上に一層寄与できる。更に
流体絞り部をリング状の多孔質体で形成した請求項１に
よれば、実施例のように、蓄冷部とパルス管とを二重筒
構造にでき、全長の短縮化、小型化に有利であると共
に、従来必要とされていた導管１１４等の突起物を不要
にでき、かかる面からも小形化を図り得る。また蓄冷部
とパルス管とを二重筒構造とした場合には、第１放熱
部、第２放熱部とを軸方向の同位置に設置でき、冷却水
回路を一系統ですませ得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例のパルス管冷凍機を模式的に示した
構成図である。

【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿う矢視図である。

【図３】図２のＹ−Ｙ線に沿う矢視図である。

【図４】第３実施例にかかる流量絞り部付近を模式的に
示した平面図である。

【図５】図４のＷ−Ｗ線に沿う矢視図である。

【図６】従来のパルス管冷凍機を模式的に示した構成図
である。

【符号の説明】

１は圧縮機、２は第１放熱部、３は蓄冷部、４はパルス
管、５はコールドヘッド、６は第２放熱部、７はバッフ
ァタンク部、８は流量絞り部、８０は多孔質体、８７は
虹彩絞りプレートを示す。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】作動流体を圧縮する圧縮行程および作動流
   体を膨張させる膨張行程とが行われる圧縮室をもつ圧縮
   機と、該圧縮機で圧縮された作動流体の熱を取り除く第
   １放熱部と、該第１放熱部を経た作動流体を冷却する蓄
   冷部、該蓄冷部を経た作動流体が流入するとともに膨張
   空間となる管室をもつパルス管と、該パルス管と一体的
   に形成または該パルス管に連設された寒冷取出部と、該
   パルス管の管室内の作動流体の熱を取り除く第２放熱部
   と、該パルス管の管室に連通し作動流体が流入するバッ
   ファ室をもつバッファタンク部と、該バッファタンク部
   のバッファ室と該パルス管の管室との間に介在する流量
   絞り部とで構成され、 該流量絞り部は、該バッファタ
   ンク部のバッファ室と該パルス管の管室とを連通する多
   数の細孔からなる細孔群をもつリング状をなす多孔質体
   で構成されていることを特徴とするパルス管冷凍機。
2. 【請求項２】 作動流体を圧縮する圧縮行程および作動
   流体を膨張させる膨張行程とが行われる圧縮室をもつ圧
   縮機と、該圧縮機で圧縮された作動流体の熱を取り除く
   第１放熱部と、該第１放熱部を経た作動流体を冷却する
   蓄冷部、該蓄冷部を経た作動流体が流入するとともに膨
   張空間となる管室をもつパルス管と、該パルス管と一体
   的に形成または該パルス管に連設された寒冷取出部と、
   該パルス管の管室内の作動流体の熱を取り除く第２放熱
   部と、該パルス管の管室に連通し作動流体が流入するバ
   ッファ室をもつバッファタンク部と、該バッファタンク
   部のバッファ室と該パルス管の管室との間に介在し作動
   する流量絞り部とで構成され、該流量絞り部は、該バッ
   ファタンク部のバッファ室と該パルス管の管室とを連通
   する開口と、開口を覆いリング状の絞り孔を形成する多
   数個の虹彩絞りプレートとで構成されていることを特徴
   とするパルス管冷凍機。