JPH0674584A - 極低温冷凍機およびその運転方法 - Google Patents
極低温冷凍機およびその運転方法Info
- Publication number
- JPH0674584A JPH0674584A JP22978992A JP22978992A JPH0674584A JP H0674584 A JPH0674584 A JP H0674584A JP 22978992 A JP22978992 A JP 22978992A JP 22978992 A JP22978992 A JP 22978992A JP H0674584 A JPH0674584 A JP H0674584A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerator
- cylinder
- refrigerant gas
- cryogenic refrigerator
- regenerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 極低温冷凍機の冷凍効率をさらに向上させた
極低温冷凍機およびその運転方法を提供することを目的
とする。 【構成】 圧縮したヘリウムガスを蓄冷式冷凍機のシリ
ンダ７の冷却ステージ９部分で予冷した後にジュール・
トムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温
冷凍機において、シリンダ７は、冷却ステージ９部分が
冷媒ガスを通流させて予冷するための流路８１が一体的
に形成された良熱伝導熱性のブロック８０からなり、こ
のブロック８０をシリンダの残りの部分に一体的に接合
して構成されてなることを特徴としている。また、蓄冷
式冷凍機の蓄冷器にほぼ１０乃至１５Ｋの温度域内に磁
気転移点を有する磁性材を蓄冷材として備えてなること
を特徴としている。また、前記蓄冷式冷凍機の運転速度
を制御する運転速度制御手段と、前記冷媒ガスの圧力を
制御する圧力制御手段とを具備することを特徴としてい
る。
極低温冷凍機およびその運転方法を提供することを目的
とする。 【構成】 圧縮したヘリウムガスを蓄冷式冷凍機のシリ
ンダ７の冷却ステージ９部分で予冷した後にジュール・
トムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温
冷凍機において、シリンダ７は、冷却ステージ９部分が
冷媒ガスを通流させて予冷するための流路８１が一体的
に形成された良熱伝導熱性のブロック８０からなり、こ
のブロック８０をシリンダの残りの部分に一体的に接合
して構成されてなることを特徴としている。また、蓄冷
式冷凍機の蓄冷器にほぼ１０乃至１５Ｋの温度域内に磁
気転移点を有する磁性材を蓄冷材として備えてなること
を特徴としている。また、前記蓄冷式冷凍機の運転速度
を制御する運転速度制御手段と、前記冷媒ガスの圧力を
制御する圧力制御手段とを具備することを特徴としてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、極低温冷凍機に係り、
特にジュール・トムソン冷凍ループと予冷用の蓄冷式冷
凍機とを組合わせて構成される極低温冷凍機およびその
運転方法に関する。
特にジュール・トムソン冷凍ループと予冷用の蓄冷式冷
凍機とを組合わせて構成される極低温冷凍機およびその
運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、ＭＲＩや磁気浮上列車等に超電導
磁石が応用されているが、これらの超電導磁石を用いた
システムでは液体ヘリウムで冷却する必要がある。
磁石が応用されているが、これらの超電導磁石を用いた
システムでは液体ヘリウムで冷却する必要がある。
【０００３】この液体ヘリウムは効果であるため、蒸発
を抑制するために液体ヘリウム温度まで冷却できる極低
温冷凍機が使用されている。極低温冷凍機の一つとして
ギフォード・マクマホン（ＧＭ）冷凍機などの蓄冷式冷
凍機で予冷したヘリウムガスをジュール・トムソン（Ｊ
Ｔ）膨脹させるＪＴ冷凍機がある。以下では両冷凍機を
組合せたＧＭ＋ＪＴ冷凍機を例にして述べる。
を抑制するために液体ヘリウム温度まで冷却できる極低
温冷凍機が使用されている。極低温冷凍機の一つとして
ギフォード・マクマホン（ＧＭ）冷凍機などの蓄冷式冷
凍機で予冷したヘリウムガスをジュール・トムソン（Ｊ
Ｔ）膨脹させるＪＴ冷凍機がある。以下では両冷凍機を
組合せたＧＭ＋ＪＴ冷凍機を例にして述べる。
【０００４】これらのシステムでは冷凍機の効率を上
げ、ランニングコストをいかに減らすかが重要になる。
特に磁気浮上列車などでは電力が限定されているため効
率を高くすることが重要になる。
げ、ランニングコストをいかに減らすかが重要になる。
特に磁気浮上列車などでは電力が限定されているため効
率を高くすることが重要になる。
【０００５】ＧＭ＋ＪＴ冷凍機の効率を上げる方法とし
てまず予冷温度を下げることが考えられる。発明者の先
願特許にあるように予冷温度を下げることにより冷凍能
力が向上することが分かっている。先の発明では予冷温
度を下げる方法としてＥｒ3Ｎｉなどの磁性蓄冷材を用
いている。また予冷温度を下げた時にＪＴ冷却ループの
圧力を各々の予冷温度での最適圧力にすることにより効
率が向上することも示している。
てまず予冷温度を下げることが考えられる。発明者の先
願特許にあるように予冷温度を下げることにより冷凍能
力が向上することが分かっている。先の発明では予冷温
度を下げる方法としてＥｒ3Ｎｉなどの磁性蓄冷材を用
いている。また予冷温度を下げた時にＪＴ冷却ループの
圧力を各々の予冷温度での最適圧力にすることにより効
率が向上することも示している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の改良により冷凍
効率は向上するが、応用面からはさらに効率を上げるこ
とが必要とされている。冷凍効率が落ちる原因として、
ＧＭ冷凍機の冷却ステージでの温度差が大きいために冷
凍機の温度を下げても、ヘリウムガスの温度が十分下が
らない問題があった。またＧＭ冷凍機の能力を上げるう
えで従来は４Ｋでの冷凍能力向上に主眼が置かれていた
が、ＧＭ＋ＪＴ冷凍機で使用する際にはＧＭ冷凍機単体
とは異なる温度帯域での冷凍能力が重要になる。従来は
蓄冷材を選択する時にこのことが考慮されていない問題
があった。本発明では上記の問題点を考慮した改良を行
い、ＧＭ＋ＪＴ冷凍機の冷凍効率をさらに向上させるこ
とを目的としている。
効率は向上するが、応用面からはさらに効率を上げるこ
とが必要とされている。冷凍効率が落ちる原因として、
ＧＭ冷凍機の冷却ステージでの温度差が大きいために冷
凍機の温度を下げても、ヘリウムガスの温度が十分下が
らない問題があった。またＧＭ冷凍機の能力を上げるう
えで従来は４Ｋでの冷凍能力向上に主眼が置かれていた
が、ＧＭ＋ＪＴ冷凍機で使用する際にはＧＭ冷凍機単体
とは異なる温度帯域での冷凍能力が重要になる。従来は
蓄冷材を選択する時にこのことが考慮されていない問題
があった。本発明では上記の問題点を考慮した改良を行
い、ＧＭ＋ＪＴ冷凍機の冷凍効率をさらに向上させるこ
とを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
おいては、圧縮した冷媒ガスを蓄冷式冷凍機のシリンダ
の冷却ステージ部分で予冷した後にジュール・トムソン
膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷凍機に
おいて、前記シリンダは、前記冷却ステージ部分が前記
冷媒ガスを通流させて予冷するための流路が一体的に形
成された良熱伝導熱性のブロックからなり、このブロッ
クを前記シリンダの残りの部分に一体的に接合して構成
されてなることを特徴としている。
おいては、圧縮した冷媒ガスを蓄冷式冷凍機のシリンダ
の冷却ステージ部分で予冷した後にジュール・トムソン
膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷凍機に
おいて、前記シリンダは、前記冷却ステージ部分が前記
冷媒ガスを通流させて予冷するための流路が一体的に形
成された良熱伝導熱性のブロックからなり、このブロッ
クを前記シリンダの残りの部分に一体的に接合して構成
されてなることを特徴としている。
【０００８】請求項２に記載の発明においては、圧縮し
たヘリウムガスを蓄冷式冷凍機で予冷した後にジュール
・トムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低
温冷凍機において、前記蓄冷式冷凍機の蓄冷器にほぼ１
０乃至１５Ｋの温度域内に磁気転移点を有する磁性材を
蓄冷材として備えてなることを特徴としている。
たヘリウムガスを蓄冷式冷凍機で予冷した後にジュール
・トムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低
温冷凍機において、前記蓄冷式冷凍機の蓄冷器にほぼ１
０乃至１５Ｋの温度域内に磁気転移点を有する磁性材を
蓄冷材として備えてなることを特徴としている。
【０００９】請求項３に記載の発明においては、圧縮し
た冷媒ガスを蓄冷式冷凍機で予冷した後にジュール・ト
ムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷
凍機において、前記蓄冷式冷凍機の運転速度を制御する
運転速度制御手段と、前記冷媒ガスの圧力を制御する圧
力制御手段とを具備することを特徴としている。
た冷媒ガスを蓄冷式冷凍機で予冷した後にジュール・ト
ムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷
凍機において、前記蓄冷式冷凍機の運転速度を制御する
運転速度制御手段と、前記冷媒ガスの圧力を制御する圧
力制御手段とを具備することを特徴としている。
【００１０】請求項４に記載の発明においては、圧縮し
た冷媒ガスを蓄冷式冷凍機で予冷した後にジュール・ト
ムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷
凍機の運転方法において、前記蓄冷式冷凍機の運転速度
を前記冷媒ガスの冷却温度が最も低くなる運転速度に制
御するとともに、前記冷媒ガス圧力をこの冷却温度に対
して最も効率の良くなる圧力に制御することを特徴とし
ている。
た冷媒ガスを蓄冷式冷凍機で予冷した後にジュール・ト
ムソン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷
凍機の運転方法において、前記蓄冷式冷凍機の運転速度
を前記冷媒ガスの冷却温度が最も低くなる運転速度に制
御するとともに、前記冷媒ガス圧力をこの冷却温度に対
して最も効率の良くなる圧力に制御することを特徴とし
ている。
【００１１】
【作用】請求項１に記載の発明においては、シリンダー
とブロックとは、電子ビーム溶接や摩擦接合等により、
ハンダ等を介すこと無くダイレクトに一体的に接合され
ている。つまり、異種金属接合されている。そして、ブ
ロックには、ＪＴ冷凍機のヘリウムガスを予冷するため
のヘリウムガス流路が一体的に形成されている。したが
って、このように構成されることにより、熱抵抗を大幅
に減少させて冷凍能力を大幅に向上させることが可能と
なる。
とブロックとは、電子ビーム溶接や摩擦接合等により、
ハンダ等を介すこと無くダイレクトに一体的に接合され
ている。つまり、異種金属接合されている。そして、ブ
ロックには、ＪＴ冷凍機のヘリウムガスを予冷するため
のヘリウムガス流路が一体的に形成されている。したが
って、このように構成されることにより、熱抵抗を大幅
に減少させて冷凍能力を大幅に向上させることが可能と
なる。
【００１２】請求項２記載の発明においては、蓄冷式冷
凍機の蓄冷器にほぼ１０乃至１５Ｋの温度域内に磁気転
移点を有する磁性材を蓄冷材として備えている。磁気転
移点が１５Ｋよりも高いとＪＴ冷凍機の効率が悪くな
り、また１０Ｋよりも低いと蓄冷式冷凍機の効率が悪く
なる。したがって、１０〜１５Ｋに磁気転移点を有する
磁性材、例えばＥｒＮｉ、Ｅｒ3 Ｃｏ、Ｎｄ3 Ｎｉ等の
中から選ばれた少なくとも一種を用いることにより蓄冷
式冷凍機およびＪＴ冷凍機の個々の効率を向上させるこ
とができるため、極低温冷凍機のトータル性能を向上さ
せることができる。
凍機の蓄冷器にほぼ１０乃至１５Ｋの温度域内に磁気転
移点を有する磁性材を蓄冷材として備えている。磁気転
移点が１５Ｋよりも高いとＪＴ冷凍機の効率が悪くな
り、また１０Ｋよりも低いと蓄冷式冷凍機の効率が悪く
なる。したがって、１０〜１５Ｋに磁気転移点を有する
磁性材、例えばＥｒＮｉ、Ｅｒ3 Ｃｏ、Ｎｄ3 Ｎｉ等の
中から選ばれた少なくとも一種を用いることにより蓄冷
式冷凍機およびＪＴ冷凍機の個々の効率を向上させるこ
とができるため、極低温冷凍機のトータル性能を向上さ
せることができる。
【００１３】請求項３および請求項４に記載の発明によ
れば、蓄冷式冷凍機には、各温度領域により、最適運転
速度が存在し、また、ＪＴ冷凍機の高圧側のガス圧力
も、最適なガス圧力が存在する。したがって、蓄冷式冷
凍機の運転速度の前記冷媒ガスの冷却温度が最も低くな
る運転速度に制御するとともに、前記冷媒ガス圧力をこ
の冷却温度に対して最も効率の良くなる圧力に制御する
ことで、極低温冷凍機の冷凍効率を飛躍的に向上させる
ことができる。
れば、蓄冷式冷凍機には、各温度領域により、最適運転
速度が存在し、また、ＪＴ冷凍機の高圧側のガス圧力
も、最適なガス圧力が存在する。したがって、蓄冷式冷
凍機の運転速度の前記冷媒ガスの冷却温度が最も低くな
る運転速度に制御するとともに、前記冷媒ガス圧力をこ
の冷却温度に対して最も効率の良くなる圧力に制御する
ことで、極低温冷凍機の冷凍効率を飛躍的に向上させる
ことができる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図１には本発明の一実施例に係る極低温冷凍機が示
されている。
る。図１には本発明の一実施例に係る極低温冷凍機が示
されている。
【００１５】この極低温冷凍機は、大きく分けて、予冷
用の蓄冷式冷凍機、この例では、ＧＭ冷凍機Ａと、この
ＧＭ冷凍機Ａによって予冷されるジュール・トムソン冷
凍ループ（以下、ＪＴ冷凍機と略称する。）Ｂとで構成
されている。
用の蓄冷式冷凍機、この例では、ＧＭ冷凍機Ａと、この
ＧＭ冷凍機Ａによって予冷されるジュール・トムソン冷
凍ループ（以下、ＪＴ冷凍機と略称する。）Ｂとで構成
されている。
【００１６】ＧＭ冷凍機Ａは、大きく別けて、コールド
ヘッド１と、冷媒ガス導排出系２とで構成されている。
コールドヘッド１は、図２に示されるように閉じられた
シリンダ３と、このシリンダ３内に往復自在に収容され
たピストン、すなわち断熱材で形成されたディスプレー
サ４と、このディスプレーサ４に往復動に必要な動力を
与えるモータ５とで構成されている。
ヘッド１と、冷媒ガス導排出系２とで構成されている。
コールドヘッド１は、図２に示されるように閉じられた
シリンダ３と、このシリンダ３内に往復自在に収容され
たピストン、すなわち断熱材で形成されたディスプレー
サ４と、このディスプレーサ４に往復動に必要な動力を
与えるモータ５とで構成されている。
【００１７】シリンダ３は、大径の第１シリンダ６と、
この第１シリンダ６に同軸的に接続された小径の第２シ
リンダ７とで構成されている。そして、第１シリンダ６
と第２シリンダ７との境界壁部分で第１段冷却ステージ
８が構成され、また第２シリンダ７の先端壁部分で第１
段冷却ステージ６より低温の第２段冷却ステージ９が構
成されている。
この第１シリンダ６に同軸的に接続された小径の第２シ
リンダ７とで構成されている。そして、第１シリンダ６
と第２シリンダ７との境界壁部分で第１段冷却ステージ
８が構成され、また第２シリンダ７の先端壁部分で第１
段冷却ステージ６より低温の第２段冷却ステージ９が構
成されている。
【００１８】ディスプレーサ４は、第１シリンダ６内を
往復動する第１ディスプレーサ１０と、第２シリンダ７
内を往復動する第２ディスプレーサ１１とで構成されて
いる。第１ディスプレーサ１０と第２ディスプレーサ１
１とは、連結機構１２によって軸方向に連結されてい
る。第１ディスプレーサ１０の内部には、軸方向に延び
る流体通路１３が形成されており、この流体通路１３に
は銅メッシュ等で形成された蓄冷材１５が収容されてい
る。同様に、第２ディスプレーサ１１の内部にも軸方向
に延びる流体通路１４が形成されており、この流体通路
１４には１０〜１５Ｋに磁気転移点を持つ磁性材である
Ｅｒ3 Ｃｏ，ＥｒＮｉの中から選ばれた少なくとも一
種、たとえばＥｒＮｉの球で形成された蓄冷材１６が収
容されている。第１ディスプレーサ１０の外周面と第１
シリンダ６の内周面との間および第２ディスプレーサ１
１の外周面と第２シリンダ７の内周面との間には、それ
ぞれシール装置１７，１８が装着されている。
往復動する第１ディスプレーサ１０と、第２シリンダ７
内を往復動する第２ディスプレーサ１１とで構成されて
いる。第１ディスプレーサ１０と第２ディスプレーサ１
１とは、連結機構１２によって軸方向に連結されてい
る。第１ディスプレーサ１０の内部には、軸方向に延び
る流体通路１３が形成されており、この流体通路１３に
は銅メッシュ等で形成された蓄冷材１５が収容されてい
る。同様に、第２ディスプレーサ１１の内部にも軸方向
に延びる流体通路１４が形成されており、この流体通路
１４には１０〜１５Ｋに磁気転移点を持つ磁性材である
Ｅｒ3 Ｃｏ，ＥｒＮｉの中から選ばれた少なくとも一
種、たとえばＥｒＮｉの球で形成された蓄冷材１６が収
容されている。第１ディスプレーサ１０の外周面と第１
シリンダ６の内周面との間および第２ディスプレーサ１
１の外周面と第２シリンダ７の内周面との間には、それ
ぞれシール装置１７，１８が装着されている。
【００１９】第１ディスプレーサ１０の図中上端は、連
結ロッド２０、スコッチヨークあるいはクランク軸２１
を介してモータ５の回転軸に連結されている。したがっ
て、モータ５が回転すると、この回転に同期してディス
プレーサ４が図中実線矢印２２で示す方向に往復動す
る。
結ロッド２０、スコッチヨークあるいはクランク軸２１
を介してモータ５の回転軸に連結されている。したがっ
て、モータ５が回転すると、この回転に同期してディス
プレーサ４が図中実線矢印２２で示す方向に往復動す
る。
【００２０】第１シリンダ６の側壁上部には冷媒ガスの
導入口２３と排出口２４とが設けてあり、これら導入口
２３と排出口２４は冷媒ガス導排出系２に接続されてい
る。冷媒ガス導排出系２は、シリンダ３を経由するヘリ
ウムガス循環系を構成するもので、排出口２４を低圧弁
２５、圧縮機２６、高圧弁２７を介して導入口２３に接
続したものとなっている。すなわち、この冷媒ガス導排
出系２は、低圧のヘリウムガスを圧縮機２６で高圧に圧
縮してシリンダ３内に送り込むものである。
導入口２３と排出口２４とが設けてあり、これら導入口
２３と排出口２４は冷媒ガス導排出系２に接続されてい
る。冷媒ガス導排出系２は、シリンダ３を経由するヘリ
ウムガス循環系を構成するもので、排出口２４を低圧弁
２５、圧縮機２６、高圧弁２７を介して導入口２３に接
続したものとなっている。すなわち、この冷媒ガス導排
出系２は、低圧のヘリウムガスを圧縮機２６で高圧に圧
縮してシリンダ３内に送り込むものである。
【００２１】ＪＴ冷凍機Ｂは、大きく別けて、ヘリウム
ガスを圧縮する圧縮機４０と、一端が圧縮機４０のガス
吐出口４８に接続され、他端が圧縮機４０のガス吸込口
４９に接続されたガス案内管５０と、このガス案内管５
０に挿設されたジュール・トムソン膨脹弁（以下、ＪＴ
弁と略称する。）４４と、このＪＴ弁４４と圧縮機４０
との間のガス案内管５０に設けられた第１，第２，第３
の熱交換器４１，４２，４３とで構成されている。第１
の熱交換器４１は圧縮機４０側に、第３の熱交換４３は
ＪＴ弁４４側に、そして第２の熱交換器４２は熱交換器
４１と熱交換器４３との間に配置されている。
ガスを圧縮する圧縮機４０と、一端が圧縮機４０のガス
吐出口４８に接続され、他端が圧縮機４０のガス吸込口
４９に接続されたガス案内管５０と、このガス案内管５
０に挿設されたジュール・トムソン膨脹弁（以下、ＪＴ
弁と略称する。）４４と、このＪＴ弁４４と圧縮機４０
との間のガス案内管５０に設けられた第１，第２，第３
の熱交換器４１，４２，４３とで構成されている。第１
の熱交換器４１は圧縮機４０側に、第３の熱交換４３は
ＪＴ弁４４側に、そして第２の熱交換器４２は熱交換器
４１と熱交換器４３との間に配置されている。
【００２２】第１の熱交換器４１と第２の熱交換器４２
との間のガス案内管５０で高圧側配管は、前述したＧＭ
冷凍機Ａの第１冷却ステージ８に熱的に接続されてい
る。また、第２の熱交換器４２と第３の熱交換器４３と
の間のガス案内管５０で高圧側配管は、ＧＭ冷凍機Ａの
第２冷却ステージ９に熱的に接続されている。なお、こ
の冷凍機は、第１図中５１で示す線より下に位置する部
分がクライオスッタト内に収容されている。次に、上記
のように構成された冷凍機の動作を説明する。
との間のガス案内管５０で高圧側配管は、前述したＧＭ
冷凍機Ａの第１冷却ステージ８に熱的に接続されてい
る。また、第２の熱交換器４２と第３の熱交換器４３と
の間のガス案内管５０で高圧側配管は、ＧＭ冷凍機Ａの
第２冷却ステージ９に熱的に接続されている。なお、こ
の冷凍機は、第１図中５１で示す線より下に位置する部
分がクライオスッタト内に収容されている。次に、上記
のように構成された冷凍機の動作を説明する。
【００２３】ＧＭ冷凍機Ａにおいて、モータ５が回転を
開始すると、ディスプレーサ４が下死点と上死点との間
を往復動する。ディスプレーサ４が下死点にあるとき、
高圧弁２７が開いて高圧に圧縮されたヘリウムガス（約
１８ａｔｍ）がコールドヘッド１内に流入する。次に、
ディスプレーサ４が上死点へと移動すると、高圧のヘリ
ウムガスは第１ディスプレーサ１０に形成された流体通
路１３、１段膨脹室２８、および第２ディスプレーサ１
１に形成された流体通路１４を通って、２段膨脹室２９
へと流れる。この流れに伴って、高圧のヘリウムガスは
蓄冷材１５、１６によって冷却される。
開始すると、ディスプレーサ４が下死点と上死点との間
を往復動する。ディスプレーサ４が下死点にあるとき、
高圧弁２７が開いて高圧に圧縮されたヘリウムガス（約
１８ａｔｍ）がコールドヘッド１内に流入する。次に、
ディスプレーサ４が上死点へと移動すると、高圧のヘリ
ウムガスは第１ディスプレーサ１０に形成された流体通
路１３、１段膨脹室２８、および第２ディスプレーサ１
１に形成された流体通路１４を通って、２段膨脹室２９
へと流れる。この流れに伴って、高圧のヘリウムガスは
蓄冷材１５、１６によって冷却される。
【００２４】ここで、高圧弁１７が閉じ、低圧弁２５が
開く。その結果、１段膨脹室２８内および２段膨脹室２
９内のヘリウムガスが低圧（約５ａｔｍ）に膨脹して寒
冷を発生し、この寒冷によって第１段冷却ステージ８お
よび第２段冷却ステージ９はそれぞれ４０Ｋ以下，１５
Ｋ以下程度に冷却される。ディスプレーサ４が再び下死
点へ移動し、これに伴い１段膨脹室２８内および２段膨
脹室２９内のヘリウムガスが排除される。膨脹したヘリ
ウムガスは流体通路１３，１４内を通る間に蓄冷材１
５，１６を冷却し、常温となって排出される。以下、上
述したサイクルが繰返される。
開く。その結果、１段膨脹室２８内および２段膨脹室２
９内のヘリウムガスが低圧（約５ａｔｍ）に膨脹して寒
冷を発生し、この寒冷によって第１段冷却ステージ８お
よび第２段冷却ステージ９はそれぞれ４０Ｋ以下，１５
Ｋ以下程度に冷却される。ディスプレーサ４が再び下死
点へ移動し、これに伴い１段膨脹室２８内および２段膨
脹室２９内のヘリウムガスが排除される。膨脹したヘリ
ウムガスは流体通路１３，１４内を通る間に蓄冷材１
５，１６を冷却し、常温となって排出される。以下、上
述したサイクルが繰返される。
【００２５】一方、ＪＴ冷凍機Ｂの圧縮機４０を動作さ
せると、高圧に圧縮されたヘリウムガスが第１，第２，
第３の熱交換器４１，４２，４３の高圧側を経由してＪ
Ｔ弁４４へと流れる。この途中で第１段冷却ステージ８
において冷却され、また、第２段冷却ステージ９でさら
に低温に冷却される。そして、ＪＴ弁４４を介して低圧
（約１ａｔｍ）に膨脹される。このとき、ジュール・ト
ムソン効果によりヘリウムガスは、１ａｔｍにおける飽
和温度である４．２Ｋ程度にまで冷却されて気液二相流
となる。この気液二相流で発生した寒冷により超電導マ
グネット，ヘリウムガス等の被冷却体４５が冷却され
る。被冷却体４５を冷却したヘリウムガスは、第３，第
２，第１の熱交換器４３，４２，４１の低圧側を順次通
過し、各熱交換器４３，４２，４１の高圧側を流れてい
る高圧ヘリウムガスを冷却した後に圧縮機４０に流入し
て再び圧縮される。
せると、高圧に圧縮されたヘリウムガスが第１，第２，
第３の熱交換器４１，４２，４３の高圧側を経由してＪ
Ｔ弁４４へと流れる。この途中で第１段冷却ステージ８
において冷却され、また、第２段冷却ステージ９でさら
に低温に冷却される。そして、ＪＴ弁４４を介して低圧
（約１ａｔｍ）に膨脹される。このとき、ジュール・ト
ムソン効果によりヘリウムガスは、１ａｔｍにおける飽
和温度である４．２Ｋ程度にまで冷却されて気液二相流
となる。この気液二相流で発生した寒冷により超電導マ
グネット，ヘリウムガス等の被冷却体４５が冷却され
る。被冷却体４５を冷却したヘリウムガスは、第３，第
２，第１の熱交換器４３，４２，４１の低圧側を順次通
過し、各熱交換器４３，４２，４１の高圧側を流れてい
る高圧ヘリウムガスを冷却した後に圧縮機４０に流入し
て再び圧縮される。
【００２６】上記のように構成された冷凍機の性能は、
圧縮機４０のガス吐出口４８でのヘリウムガス圧力と第
３の熱交換器４３の高圧側へ流入するヘリウムガスの温
度とに大きく依存する。
圧縮機４０のガス吐出口４８でのヘリウムガス圧力と第
３の熱交換器４３の高圧側へ流入するヘリウムガスの温
度とに大きく依存する。
【００２７】図３には第３の熱交換器４３の高圧側に流
入するヘリウムガスの圧力をパラメータとして、ヘリウ
ムガス１ｇ当たり４．２Ｋにおける寒冷発生量と第３の
熱交換器４３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度と
の関係を計算で求めた結果が示されている。なお、ここ
では第３の熱交換器４３の熱交換効率を便宜上、９９％
としている。図中曲線ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆは、それ
ぞれ圧力１０，１２，１４，１６，１８，２０（ａｔ
ｍ）の場合を示している。この図から判るように、第３
の熱交換器４３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度
が高い（たとえば１８Ｋ以上）ときは、第３の熱交換器
４３の高圧側に流入するヘリウムガスの圧力が高いほど
寒冷発生量は多くなる。しかし、逆に第３の熱交換器４
３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度が低い（たと
えば９Ｋ以下）ときには、第３の熱交換器４３の高圧側
に流入するヘリウムガスの圧力が低いほど寒冷発生量が
多くなる。このことから判るように、第３の熱交換器４
３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度が低ければ、
第３の熱交換器４３の高圧側に流入するヘリウムガスの
圧力が低くても、必要な寒冷発生量が得られ、圧縮機４
０の入力を減らすことができる。つまり、ＧＭ冷凍機Ａ
の能力を向上させて、第２の冷却ステージ９の冷却温度
を低下させれば、ＪＴ冷凍機Ｂの予冷温度を低くでき、
性能が向上する。本発明では、ＧＭ＋ＪＴ極低温冷凍機
のトータル性能を向上させることを目的としており、以
下、具体的な発明項目を３つ説明する。第１の発明は、
ＧＭ冷凍機Ａの運転速度と、ＪＴ冷凍機Ｂの高圧側のガ
ス圧力とを各々最適制御することである。
入するヘリウムガスの圧力をパラメータとして、ヘリウ
ムガス１ｇ当たり４．２Ｋにおける寒冷発生量と第３の
熱交換器４３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度と
の関係を計算で求めた結果が示されている。なお、ここ
では第３の熱交換器４３の熱交換効率を便宜上、９９％
としている。図中曲線ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆは、それ
ぞれ圧力１０，１２，１４，１６，１８，２０（ａｔ
ｍ）の場合を示している。この図から判るように、第３
の熱交換器４３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度
が高い（たとえば１８Ｋ以上）ときは、第３の熱交換器
４３の高圧側に流入するヘリウムガスの圧力が高いほど
寒冷発生量は多くなる。しかし、逆に第３の熱交換器４
３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度が低い（たと
えば９Ｋ以下）ときには、第３の熱交換器４３の高圧側
に流入するヘリウムガスの圧力が低いほど寒冷発生量が
多くなる。このことから判るように、第３の熱交換器４
３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度が低ければ、
第３の熱交換器４３の高圧側に流入するヘリウムガスの
圧力が低くても、必要な寒冷発生量が得られ、圧縮機４
０の入力を減らすことができる。つまり、ＧＭ冷凍機Ａ
の能力を向上させて、第２の冷却ステージ９の冷却温度
を低下させれば、ＪＴ冷凍機Ｂの予冷温度を低くでき、
性能が向上する。本発明では、ＧＭ＋ＪＴ極低温冷凍機
のトータル性能を向上させることを目的としており、以
下、具体的な発明項目を３つ説明する。第１の発明は、
ＧＭ冷凍機Ａの運転速度と、ＪＴ冷凍機Ｂの高圧側のガ
ス圧力とを各々最適制御することである。
【００２８】ＧＭ冷凍機Ａでは、冷凍能力がその運転速
度により異なる。図４は、ＧＭ冷凍機Ａにおいて、本発
明者等が各温度での冷凍能力を運転速度を種々変化させ
て測定した結果である。
度により異なる。図４は、ＧＭ冷凍機Ａにおいて、本発
明者等が各温度での冷凍能力を運転速度を種々変化させ
て測定した結果である。
【００２９】図４は、ＧＭ冷凍機Ａの運転速度を１８ｒ
ｐｍ，２４ｒｐｍ，３６ｒｐｍ，４８ｒｐｍ，６０ｒｐ
ｍの５通りについて各々変化させて、各温度における冷
凍能力を測定した結果を、横軸に温度（Ｋ）、縦軸に冷
凍能力（Ｗ）を各々とって示した特性図である。図４か
ら明らからように、ほぼ５．８Ｋよりも温度が高い領域
では４８ｒｐｍ、ほぼ５．８Ｋからほぼ４．３Ｋの間は
３６ｒｐｍ、ほぼ４．３からほぼ３．１Ｋの間は２４ｒ
ｐｍ、そして３．１Ｋ以下は１８ｒｐｍと温度が低下す
るにつれて、最適運転速度が低下することが理解でき
る。この運転速度の具体的な回転数はＧＭ冷凍機Ａの諸
条件により異なるが、ＧＭ冷凍機Ａには、各温度領域に
より、最適運転速度が存在すること、そして低温になる
ほど回転数を低下させたほうが性能が向上することは、
本発明者等の他の多くの実験から確認されている。
ｐｍ，２４ｒｐｍ，３６ｒｐｍ，４８ｒｐｍ，６０ｒｐ
ｍの５通りについて各々変化させて、各温度における冷
凍能力を測定した結果を、横軸に温度（Ｋ）、縦軸に冷
凍能力（Ｗ）を各々とって示した特性図である。図４か
ら明らからように、ほぼ５．８Ｋよりも温度が高い領域
では４８ｒｐｍ、ほぼ５．８Ｋからほぼ４．３Ｋの間は
３６ｒｐｍ、ほぼ４．３からほぼ３．１Ｋの間は２４ｒ
ｐｍ、そして３．１Ｋ以下は１８ｒｐｍと温度が低下す
るにつれて、最適運転速度が低下することが理解でき
る。この運転速度の具体的な回転数はＧＭ冷凍機Ａの諸
条件により異なるが、ＧＭ冷凍機Ａには、各温度領域に
より、最適運転速度が存在すること、そして低温になる
ほど回転数を低下させたほうが性能が向上することは、
本発明者等の他の多くの実験から確認されている。
【００３０】そして、ＪＴ冷凍機Ｂの高圧側のガス圧力
も、図３から明らかなように第３熱交換器４３の高圧側
の入口温度に応じて最適なガス圧力が存在するわけであ
る。これらの最適ガス圧力もＪＴ冷凍機の諸条件により
異なるわけであるが、これらの傾向は、本発明者等の他
の多くの実験により確認されている。
も、図３から明らかなように第３熱交換器４３の高圧側
の入口温度に応じて最適なガス圧力が存在するわけであ
る。これらの最適ガス圧力もＪＴ冷凍機の諸条件により
異なるわけであるが、これらの傾向は、本発明者等の他
の多くの実験により確認されている。
【００３１】したがって、本発明では、図５に示すよう
に、ＧＭ＋ＪＴ冷凍機のＧＭ冷凍機Ａの最適運転速度
と、ＪＴ冷凍機Ｂの最適高圧側圧力を各々の温度におい
て、予め測定し、これらの最適条件を例えば、ＲＯＭあ
るいはＲＡＭ等の記憶装置６０、６１に記憶させる。な
お、図５において図１と同一部分には同一符号を付して
その説明は省略する。
に、ＧＭ＋ＪＴ冷凍機のＧＭ冷凍機Ａの最適運転速度
と、ＪＴ冷凍機Ｂの最適高圧側圧力を各々の温度におい
て、予め測定し、これらの最適条件を例えば、ＲＯＭあ
るいはＲＡＭ等の記憶装置６０、６１に記憶させる。な
お、図５において図１と同一部分には同一符号を付して
その説明は省略する。
【００３２】そして、実際に本発明の極低温冷凍機の運
転時に、ＧＭ冷凍機Ａの第２段冷却ステージ９の温度を
温度センサー６４で、ＪＴ冷凍機Ｂの第３の熱交換器４
３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度を温度センサ
ー６５で各々測定する。
転時に、ＧＭ冷凍機Ａの第２段冷却ステージ９の温度を
温度センサー６４で、ＪＴ冷凍機Ｂの第３の熱交換器４
３の高圧側に流入するヘリウムガスの温度を温度センサ
ー６５で各々測定する。
【００３３】そして、温度センサー６４の測定結果を記
憶装置６０を内蔵した速度制御装置６８にフィードバッ
クし、ＧＭ冷凍機Ａのモータ５の回転数を上述した最適
回転数になるように制御する。一方、温度センサー６５
の測定結果を記憶装置６１を内蔵した圧力制御装置６９
にフィードバックし、ＪＴ冷凍機ＢのＪＴ弁４４の開度
を制御し、上述した最適な圧力になるように制御する。
憶装置６０を内蔵した速度制御装置６８にフィードバッ
クし、ＧＭ冷凍機Ａのモータ５の回転数を上述した最適
回転数になるように制御する。一方、温度センサー６５
の測定結果を記憶装置６１を内蔵した圧力制御装置６９
にフィードバックし、ＪＴ冷凍機ＢのＪＴ弁４４の開度
を制御し、上述した最適な圧力になるように制御する。
【００３４】なお、ＧＭ冷凍機Ａの最適運転速度と、Ｊ
Ｔ冷凍機Ｂの高圧側最適ガス圧力は、予めその特性さ
え、把握しておけばこれらの最適制御は上記実施例に限
定されること無く、例えば、オペレータが直接制御して
も良い。以上、第１の発明によれば極低温冷凍機トータ
ルの性能を最大限に発揮させることができる。次に、第
２の発明について説明する。
Ｔ冷凍機Ｂの高圧側最適ガス圧力は、予めその特性さ
え、把握しておけばこれらの最適制御は上記実施例に限
定されること無く、例えば、オペレータが直接制御して
も良い。以上、第１の発明によれば極低温冷凍機トータ
ルの性能を最大限に発揮させることができる。次に、第
２の発明について説明する。
【００３５】前述したようにＧＭ冷凍機Ａの第２ディス
プレーサ１１内部の流体通路１４には１０〜１５Ｋに磁
気転移点を有する磁性材、例えばＥｒＮｉやＥｒ3 Ｃｏ
等の球で形成された蓄冷材１６が収容されている。ここ
で、磁気転移点が１５Ｋよりも高いとＪＴ冷凍機Ｂの効
率が悪くなり、また１０Ｋよりも低いとＧＭ冷凍機Ａの
効率が悪くなるためである。
プレーサ１１内部の流体通路１４には１０〜１５Ｋに磁
気転移点を有する磁性材、例えばＥｒＮｉやＥｒ3 Ｃｏ
等の球で形成された蓄冷材１６が収容されている。ここ
で、磁気転移点が１５Ｋよりも高いとＪＴ冷凍機Ｂの効
率が悪くなり、また１０Ｋよりも低いとＧＭ冷凍機Ａの
効率が悪くなるためである。
【００３６】したがって、図６に示すように１０〜１５
Ｋに磁気転移点を有する磁性材、例えばＥｒＮｉ、Ｅｒ
3 Ｃｏ、Ｎｄ3 Ｎｉ等の中から選ばれた少なくとも一種
を用いることによりＧＭおよびＪＴ冷凍機の個々の効率
を向上させることができるため、ＧＭ＋ＪＴ極低温冷凍
機のトータル性能を向上させることができる。次に、第
３の発明について図７を参照して説明する。本発明で
は、ＧＭ冷凍機Ａの第２シリンダー７の一部でＪＴ冷凍
機Ｂの予冷のための第２段冷却ステージ９を構成してい
る。
Ｋに磁気転移点を有する磁性材、例えばＥｒＮｉ、Ｅｒ
3 Ｃｏ、Ｎｄ3 Ｎｉ等の中から選ばれた少なくとも一種
を用いることによりＧＭおよびＪＴ冷凍機の個々の効率
を向上させることができるため、ＧＭ＋ＪＴ極低温冷凍
機のトータル性能を向上させることができる。次に、第
３の発明について図７を参照して説明する。本発明で
は、ＧＭ冷凍機Ａの第２シリンダー７の一部でＪＴ冷凍
機Ｂの予冷のための第２段冷却ステージ９を構成してい
る。
【００３７】まず、第３の発明を理解し易くするため
に、比較例として図８に従来の冷却ステージを示す。従
来は、第２シリンダー７の先端部に銅製のブロック１０
０を第２シリンダー７の先端を覆うように挿入取着して
ハンダで固定している。そして、銅製のブロック１００
の外周に銅製のバイプ１０１をハンダにより固定し、こ
の銅製のパイプ１０１内にＪＴ冷凍機Ｂのヘリウムガス
を導き冷却している。このような構成によると、第２シ
リンダー７と銅製のブロック１００および銅製のブロッ
ク１００と銅製のパイプ１０１とを各々ハンダにより接
合しているため、各々の接合部分において、熱抵抗が大
きく、この熱抵抗により両面間に大きな温度差が生じ、
これが冷凍能力を低下させる一因となっていた。
に、比較例として図８に従来の冷却ステージを示す。従
来は、第２シリンダー７の先端部に銅製のブロック１０
０を第２シリンダー７の先端を覆うように挿入取着して
ハンダで固定している。そして、銅製のブロック１００
の外周に銅製のバイプ１０１をハンダにより固定し、こ
の銅製のパイプ１０１内にＪＴ冷凍機Ｂのヘリウムガス
を導き冷却している。このような構成によると、第２シ
リンダー７と銅製のブロック１００および銅製のブロッ
ク１００と銅製のパイプ１０１とを各々ハンダにより接
合しているため、各々の接合部分において、熱抵抗が大
きく、この熱抵抗により両面間に大きな温度差が生じ、
これが冷凍能力を低下させる一因となっていた。
【００３８】本発明では、図７に示すようにステンレス
銅やチタン、チタン合金等からなる第２シリンダー７の
先端部分に銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合
金等の良熱伝導性の材料から成るブロック８０を図中丸
印で囲んだＡの部分で直接接合している。つまり、第２
シリンダー７のヘッド壁の近くまでは熱伝導性の良くな
いステンレス銅等で、そして、第２シリンダー７の先端
部分は、良熱伝導性の銅等からなるブロックで構成され
ており、これらは第２シリンダー７とブロック８０と
は、電子ビーム溶接や摩擦接合等により、ハンダ等を介
すこと無くダイレクトに接合されている。つまり、異種
金属接合されている。そして、ブロック８０には、ＪＴ
冷凍機Ｂのヘリウムガスを予冷するためのヘリウムガス
流路８１が一体的に形成されている。このように構成さ
れることにより、熱抵抗を大幅に減少させて冷凍能力を
大幅に向上させることが可能となる。
銅やチタン、チタン合金等からなる第２シリンダー７の
先端部分に銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合
金等の良熱伝導性の材料から成るブロック８０を図中丸
印で囲んだＡの部分で直接接合している。つまり、第２
シリンダー７のヘッド壁の近くまでは熱伝導性の良くな
いステンレス銅等で、そして、第２シリンダー７の先端
部分は、良熱伝導性の銅等からなるブロックで構成され
ており、これらは第２シリンダー７とブロック８０と
は、電子ビーム溶接や摩擦接合等により、ハンダ等を介
すこと無くダイレクトに接合されている。つまり、異種
金属接合されている。そして、ブロック８０には、ＪＴ
冷凍機Ｂのヘリウムガスを予冷するためのヘリウムガス
流路８１が一体的に形成されている。このように構成さ
れることにより、熱抵抗を大幅に減少させて冷凍能力を
大幅に向上させることが可能となる。
【００３９】なお、図９に本発明の図７に示す構成と、
比較例としての従来構成の図８に示すものとの伝熱量と
温度差との比較特性を示した。この図からも、図７に示
した本発明の構成が有効であることが明白である。
比較例としての従来構成の図８に示すものとの伝熱量と
温度差との比較特性を示した。この図からも、図７に示
した本発明の構成が有効であることが明白である。
【００４０】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではない。つまり、予冷用の蓄冷式冷凍機として
ギフォード・マクマホンサイクル（ＧＭ冷凍機）を用い
ているが、スターリングサイクル等の他の蓄冷式冷凍機
を使用しても良い。その他、本発明の要旨を逸脱しない
範囲で、種々変形して実施できる。
るものではない。つまり、予冷用の蓄冷式冷凍機として
ギフォード・マクマホンサイクル（ＧＭ冷凍機）を用い
ているが、スターリングサイクル等の他の蓄冷式冷凍機
を使用しても良い。その他、本発明の要旨を逸脱しない
範囲で、種々変形して実施できる。
【００４１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、特
に極低温冷凍機の冷凍効率を向上させ、エネルギ効率の
高い極低温冷凍機およびその運転方法を得ることができ
る。
に極低温冷凍機の冷凍効率を向上させ、エネルギ効率の
高い極低温冷凍機およびその運転方法を得ることができ
る。
【図１】 本発明の前提となる極低温冷凍機の概略構成
を示す図。
を示す図。
【図２】 図１に示す極低温冷凍機に組み込まれた蓄冷
式冷凍機の一例を示す図。
式冷凍機の一例を示す図。
【図３】 ヘリウムガス１ｇ当たりの４．２Ｋにおける
寒冷発生量と第３熱交換器の高圧側に流入するヘリウム
ガスとの関係を示す図。
寒冷発生量と第３熱交換器の高圧側に流入するヘリウム
ガスとの関係を示す図。
【図４】 本発明に係る蓄冷式冷凍機を各々の温度での
冷凍能力を運転速度を変えて測定した結果を示す特性
図。
冷凍能力を運転速度を変えて測定した結果を示す特性
図。
【図５】 本発明の極低温冷凍機を示す概略構成図。
【図６】 本発明に係る１０〜１５Ｋに磁気転移点を有
する磁性材の特性図。
する磁性材の特性図。
【図７】 本発明に係る蓄冷式冷凍機の冷却ステージを
示す部分断面図。
示す部分断面図。
【図８】 図７に示すものの比較例として示す従来の蓄
冷式冷凍機の冷却ステージを示す部分断面図。
冷式冷凍機の冷却ステージを示す部分断面図。
【図９】 図７と図８に示す構成の冷凍機の伝熱量と温
度差との関係を示す特性図。
度差との関係を示す特性図。
Ａ ＧＭ冷凍機 Ｂ ＪＴ冷凍機 ３ シリンダ ４ ディスプレーサ ５ モータ ６ 第１シリンダ ７ 第２シリンダ ８ 第１段冷却ステージ ９ 第２段冷却ステージ １０ 第１ディスプレーサ １１ 第２ディスプレーサ １５ 蓄冷材 １６ 蓄冷材 ４４ ジュール・トムソン膨脹弁 ６８ 速度制御装置 ６９ 圧力制御装置 ８０ ブロック ８１ 流路
Claims (4)
- 【請求項１】圧縮した冷媒ガスを蓄冷式冷凍機のシリン
ダの冷却ステージ部分で予冷した後にジュール・トムソ
ン膨脹させて寒冷を発生させるようにした極低温冷凍機
において、前記シリンダは、前記冷却ステージ部分が前
記冷媒ガスを通流させて予冷するための流路が一体的に
形成された良熱伝導熱性のブロックからなり、このブロ
ックを前記シリンダの残りの部分に一体的に接合して構
成されてなることを特徴とする極低温冷凍機。 - 【請求項２】圧縮したヘリウムガスを蓄冷式冷凍機で予
冷した後にジュール・トムソン膨脹させて寒冷を発生さ
せるようにした極低温冷凍機において、前記蓄冷式冷凍
機の蓄冷器にほぼ１０乃至１５Ｋの温度域内に磁気転移
点を有する磁性材を蓄冷材として備えてなることを特徴
とする極低温冷凍機。 - 【請求項３】圧縮した冷媒ガスを蓄冷式冷凍機で予冷し
た後にジュール・トムソン膨脹させて寒冷を発生させる
ようにした極低温冷凍機において、前記蓄冷式冷凍機の
運転速度を制御する運転速度制御手段と、前記冷媒ガス
の圧力を制御する圧力制御手段とを具備することを特徴
とする極低温冷凍機。 - 【請求項４】圧縮した冷媒ガスを蓄冷式冷凍機で予冷し
た後にジュール・トムソン膨脹させて寒冷を発生させる
ようにした極低温冷凍機の運転方法において、前記蓄冷
式冷凍機の運転速度を前記冷媒ガスの冷却温度が最も低
くなる運転速度に制御するとともに、前記冷媒ガス圧力
をこの冷却温度に対して最も効率の良くなる圧力に制御
することを特徴とする極低温冷凍機の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22978992A JP2941575B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 極低温冷凍機およびその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22978992A JP2941575B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 極低温冷凍機およびその運転方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674584A true JPH0674584A (ja) | 1994-03-15 |
| JP2941575B2 JP2941575B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=16897703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22978992A Expired - Fee Related JP2941575B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 極低温冷凍機およびその運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2941575B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9476654B2 (en) | 2011-03-31 | 2016-10-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Aircraft/spacecraft fluid cooling system and aircraft/spacecraft fluid cooling method |
| WO2019009019A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| JP2019128065A (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷却システム |
| US11149993B2 (en) | 2017-07-07 | 2021-10-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryocooler with heat transfer blocks having fins |
| WO2024014117A1 (ja) * | 2022-07-13 | 2024-01-18 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温システムおよび極低温システムの制御方法 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP22978992A patent/JP2941575B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9476654B2 (en) | 2011-03-31 | 2016-10-25 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Aircraft/spacecraft fluid cooling system and aircraft/spacecraft fluid cooling method |
| WO2019009019A1 (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機 |
| US11149993B2 (en) | 2017-07-07 | 2021-10-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryocooler with heat transfer blocks having fins |
| JP2019128065A (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷却システム |
| CN111615609A (zh) * | 2018-01-23 | 2020-09-01 | 住友重机械工业株式会社 | 超低温冷却*** |
| WO2024014117A1 (ja) * | 2022-07-13 | 2024-01-18 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温システムおよび極低温システムの制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2941575B2 (ja) | 1999-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3347870B2 (ja) | 超電導マグネット並びに該マグネット用の蓄冷型冷凍機 | |
| US7594406B2 (en) | Regenerator and cryogenics pump | |
| JP2941575B2 (ja) | 極低温冷凍機およびその運転方法 | |
| JP2609327B2 (ja) | 冷凍機 | |
| JPH03117855A (ja) | 蓄冷型極低温冷凍機 | |
| JP2001272126A (ja) | パルス管冷凍機およびパルス管冷凍機を用いた超電導磁石装置 | |
| JPH0452468A (ja) | 極低温冷凍装置 | |
| JP2723342B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JP6087168B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JP3648265B2 (ja) | 超電導磁石装置 | |
| JP3284484B2 (ja) | 蓄冷式冷凍機による冷凍液化方法および装置 | |
| JP3029341B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JPH10132405A (ja) | 蓄冷式冷凍機およびその運転方法 | |
| KR100785745B1 (ko) | 축냉기 및 크라이오 펌프 | |
| JPH08313095A (ja) | 蓄冷式冷凍機 | |
| JP2567196B2 (ja) | 極低温冷凍機の運転方法 | |
| JP2980461B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JPH11108479A (ja) | 蓄冷式冷凍機及びその運転方法 | |
| JPH0727434A (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JP2885529B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JPH0678857B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JPH11257769A (ja) | 蓄冷式冷凍機 | |
| JP2845724B2 (ja) | 極低温冷凍機用蓄冷器 | |
| JP2549861Y2 (ja) | 極低温冷凍機用蓄冷器 | |
| JP2004347175A (ja) | パルス管冷凍機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090618 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090618 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100618 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |