JP2849697B2 - ２自由度振動型マイクロアクチュエータ - Google Patents
２自由度振動型マイクロアクチュエータInfo
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- JP2849697B2 JP2849697B2 JP5078915A JP7891593A JP2849697B2 JP 2849697 B2 JP2849697 B2 JP 2849697B2 JP 5078915 A JP5078915 A JP 5078915A JP 7891593 A JP7891593 A JP 7891593A JP 2849697 B2 JP2849697 B2 JP 2849697B2
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電力または電磁力に
よる２自由度振動型マイクロアクチュエータに関するも
のであり、さらに詳しくは、光スキャナーのミラー駆動
機構、振動型の雰囲気センサ、ディスプレイの光シャッ
ター等に有効に利用できる２自由度振動型マイクロアク
チュエータに関するものである。
よる２自由度振動型マイクロアクチュエータに関するも
のであり、さらに詳しくは、光スキャナーのミラー駆動
機構、振動型の雰囲気センサ、ディスプレイの光シャッ
ター等に有効に利用できる２自由度振動型マイクロアク
チュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６に示すような、平行平板状に電極を
配置した１自由度のねじり振動子は、その構造が簡単な
ことから、マイクロアクチュエータの研究初期から提案
されている（一例として K.E.Petersen:"Silicon Torsi
onal Scanning Mirror",IBM J.Res.Develop.,vol.24(19
80)P.631参照）。また、上記ねじり振動子をカンチレバ
ー方式とした１自由度静電駆動型振動子も提案されてい
る（河村他：”Ｓｉを用いたマイクロメカニクスの研
究”、昭和６１年度精密工学会秋季大会学術講演会論文
集、P.753 ）。
配置した１自由度のねじり振動子は、その構造が簡単な
ことから、マイクロアクチュエータの研究初期から提案
されている（一例として K.E.Petersen:"Silicon Torsi
onal Scanning Mirror",IBM J.Res.Develop.,vol.24(19
80)P.631参照）。また、上記ねじり振動子をカンチレバ
ー方式とした１自由度静電駆動型振動子も提案されてい
る（河村他：”Ｓｉを用いたマイクロメカニクスの研
究”、昭和６１年度精密工学会秋季大会学術講演会論文
集、P.753 ）。
【０００３】上記図６の１自由度静電駆動型ねじり振動
子は、ガラス基板１上の両端部にスぺーサ２を介してシ
リコンの単結晶板からなる可動電極板３の両端固定部３
ａを固定し、この可動電極板３の両端固定部３ａ間に、
細巾のトーションバー３ｂを介して可動電極部３ｃを支
持させ、また、その可動電極部３ｃに電極間隔を置いて
対向させる固定電極４を、ガラス基板１上において上記
可動電極部３ｃに対し平行配置している。可動電極板３
と固定電極４との間にはスイッチ６を介して電源５が接
続される。
子は、ガラス基板１上の両端部にスぺーサ２を介してシ
リコンの単結晶板からなる可動電極板３の両端固定部３
ａを固定し、この可動電極板３の両端固定部３ａ間に、
細巾のトーションバー３ｂを介して可動電極部３ｃを支
持させ、また、その可動電極部３ｃに電極間隔を置いて
対向させる固定電極４を、ガラス基板１上において上記
可動電極部３ｃに対し平行配置している。可動電極板３
と固定電極４との間にはスイッチ６を介して電源５が接
続される。
【０００４】上記構成を有するねじり振動子は、可動電
極部３ｃと固定電極４との間に電圧を印加すると、静電
引力によりトーションバー３ｂを軸として可動電極部３
ｃが回転するものである。しかるに、静電引力は電極間
隔の二乗に反比例するため、この種の静電アクチュエー
タにおいては電極間隔を小さくすることが望まれる。し
かし、上述した１自由度の構造では、可動電極部３ｃが
電極と可動部を兼ねるため、電極間隔を狭くすると変位
（回転角）に制約が生じ、また可動範囲を大きくとるた
めには電極間隔を大きくする必要がある。このため、低
電圧駆動と大振幅の両立が困難であるという問題があ
る。
極部３ｃと固定電極４との間に電圧を印加すると、静電
引力によりトーションバー３ｂを軸として可動電極部３
ｃが回転するものである。しかるに、静電引力は電極間
隔の二乗に反比例するため、この種の静電アクチュエー
タにおいては電極間隔を小さくすることが望まれる。し
かし、上述した１自由度の構造では、可動電極部３ｃが
電極と可動部を兼ねるため、電極間隔を狭くすると変位
（回転角）に制約が生じ、また可動範囲を大きくとるた
めには電極間隔を大きくする必要がある。このため、低
電圧駆動と大振幅の両立が困難であるという問題があ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、電圧印加等により駆動する駆動部分と可動部分を分
離して、２自由度の振動系を構成させることにより、電
極間隔（電磁力伝達間隔）を狭くして低電圧駆動を可能
にすると同時に、可動部分の可動範囲を確保して大振幅
を得られるようにした２自由度振動型マイクロアクチュ
エータを提供することにある。
は、電圧印加等により駆動する駆動部分と可動部分を分
離して、２自由度の振動系を構成させることにより、電
極間隔（電磁力伝達間隔）を狭くして低電圧駆動を可能
にすると同時に、可動部分の可動範囲を確保して大振幅
を得られるようにした２自由度振動型マイクロアクチュ
エータを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の２自由度振動型マイクロアクチュエータは、
周期的な静電力が外力として与えられる駆動板を、第１
の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持させ、上記駆
動板に第２の弾性連結部材を介して可動板を弾性的に結
合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材に
おいて弾性的に変位する２自由度の振動系を形成し、上
記外力による励振振動数を上記駆動板系の固有振動数に
等しく設定して２自由度振動系の***振振動数で駆動さ
れる振動系を形成することによって構成される。
の本発明の２自由度振動型マイクロアクチュエータは、
周期的な静電力が外力として与えられる駆動板を、第１
の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持させ、上記駆
動板に第２の弾性連結部材を介して可動板を弾性的に結
合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材に
おいて弾性的に変位する２自由度の振動系を形成し、上
記外力による励振振動数を上記駆動板系の固有振動数に
等しく設定して２自由度振動系の***振振動数で駆動さ
れる振動系を形成することによって構成される。
【０００７】
【作用】上記構成を有する２自由度振動型マイクロアク
チュエータにおいては、駆動板と可動板がそれぞれ振動
系を構成し、駆動板に外部から作用させる周期的な静電
力または電磁力の周波数を適切に設定すると、駆動板の
振幅をほぼ０とし、可動板の振幅を有限の値に設定する
ことができる。ここで、駆動板を駆動する静電力や電磁
力は、それを伝達する距離の二乗に反比例するので、駆
動板の振幅が小さい程、上記距離を短縮し、より低電圧
（低電力）で可動板の可動範囲を確保し、大振幅を得る
ことができる。
チュエータにおいては、駆動板と可動板がそれぞれ振動
系を構成し、駆動板に外部から作用させる周期的な静電
力または電磁力の周波数を適切に設定すると、駆動板の
振幅をほぼ０とし、可動板の振幅を有限の値に設定する
ことができる。ここで、駆動板を駆動する静電力や電磁
力は、それを伝達する距離の二乗に反比例するので、駆
動板の振幅が小さい程、上記距離を短縮し、より低電圧
（低電力）で可動板の可動範囲を確保し、大振幅を得る
ことができる。
【０００８】
【実施例】図１及び図２は、本発明に係るマイクロアク
チュエータの実施の一例を示している。図１に示す２自
由度静電駆動型マイクロアクチュエータは、表面にエッ
チングによる所要の加工を施したガラス基板１０上に固
定電極１８を設けると共に、単結晶シリコンウエハから
異方性エッチングにより所要形状に形成した可動電極板
２０を取付けることにより構成したものである。
チュエータの実施の一例を示している。図１に示す２自
由度静電駆動型マイクロアクチュエータは、表面にエッ
チングによる所要の加工を施したガラス基板１０上に固
定電極１８を設けると共に、単結晶シリコンウエハから
異方性エッチングにより所要形状に形成した可動電極板
２０を取付けることにより構成したものである。
【０００９】上記ガラス基板１０は、実質的に長方形状
をなし、上記エッチングにより、その表面における長手
方向両端部に可動電極板２０の両端固定部２１を支持す
るためのスぺーサ１１を形成すると共に、上記長手方向
の中心線Ｌに沿って、図２に明瞭に示す刃型エッジ１２
を形成し、さらに、その他の部分を掘削薄肉化し、その
際、特に可動電極板２０における後記可動板２５に対向
する部分１４を一層深くし、これによって、可動電極板
２０を全体的にガラス基盤１０の表面から離間させた状
態で、その両端固定部２１をスぺーサ１１上に支持させ
ている。
をなし、上記エッチングにより、その表面における長手
方向両端部に可動電極板２０の両端固定部２１を支持す
るためのスぺーサ１１を形成すると共に、上記長手方向
の中心線Ｌに沿って、図２に明瞭に示す刃型エッジ１２
を形成し、さらに、その他の部分を掘削薄肉化し、その
際、特に可動電極板２０における後記可動板２５に対向
する部分１４を一層深くし、これによって、可動電極板
２０を全体的にガラス基盤１０の表面から離間させた状
態で、その両端固定部２１をスぺーサ１１上に支持させ
ている。
【００１０】一方、上記可動電極板２０は、その両端に
設けた固定部２１間において、両側に上記中心線Ｌに沿
う細巾の第１のトーションバー２２を介して電極板２３
を連設し、その電極板２３内を部分的に切除することに
より、上記中心線Ｌに沿う第２のトーションバー２４を
形成すると共に、それらの第２のトーションバー２４を
介して可動板２５を連設している。この可動電極板２０
における電極板２３及び可動板２５は、中心線Ｌの両側
において対称形をなすものである。
設けた固定部２１間において、両側に上記中心線Ｌに沿
う細巾の第１のトーションバー２２を介して電極板２３
を連設し、その電極板２３内を部分的に切除することに
より、上記中心線Ｌに沿う第２のトーションバー２４を
形成すると共に、それらの第２のトーションバー２４を
介して可動板２５を連設している。この可動電極板２０
における電極板２３及び可動板２５は、中心線Ｌの両側
において対称形をなすものである。
【００１１】上記可動電極板２０は、その両端の固定部
２１をガラス基板１０上のスぺーサ１１上にホットワッ
クス等で接着して支持させ、その中心線Ｌに沿うトーシ
ョンバー２２，２４をガラス基板１０上の刃型エッジ１
２に接触状態で載置（図２）することにより、ガラス基
板１０に固定されるものである。また、上記ガラス基板
１０上には、中心線Ｌの一側において、電極板２３に対
して電極間隔を置いて固定電極１８を対向配置してい
る。この固定電極１８は、ガラス基板１０上にＴｉを蒸
着するなどの手段により形成することができるものであ
る。なお、図示を省略しているが、この固定電極１８と
上記電極板２３とは、電源に接続される。
２１をガラス基板１０上のスぺーサ１１上にホットワッ
クス等で接着して支持させ、その中心線Ｌに沿うトーシ
ョンバー２２，２４をガラス基板１０上の刃型エッジ１
２に接触状態で載置（図２）することにより、ガラス基
板１０に固定されるものである。また、上記ガラス基板
１０上には、中心線Ｌの一側において、電極板２３に対
して電極間隔を置いて固定電極１８を対向配置してい
る。この固定電極１８は、ガラス基板１０上にＴｉを蒸
着するなどの手段により形成することができるものであ
る。なお、図示を省略しているが、この固定電極１８と
上記電極板２３とは、電源に接続される。
【００１２】上記構成を有する２自由度振動型マイクロ
アクチュエータにおいては、電極板２３と可動板２５が
それぞれ振動系を構成し、固定電極１８と電極板２３と
の間に周期的な電圧を印加すると、静電力により電極板
２３が駆動されてトーションバー２２，２４がねじり振
動し、その周期的な静電力の周波数を適切に設定する
と、電極板２３の振幅をほぼ０とし、可動板２５の振幅
を有限の値に設定することができる。ここで、電極板２
３を駆動する静電力は電極間隔の二乗に反比例するの
で、駆動板の振幅が小さい程、上記電極間隔を短縮し、
より低電圧で可動板２５の可動範囲を確保し、大振幅を
得ることができる。
アクチュエータにおいては、電極板２３と可動板２５が
それぞれ振動系を構成し、固定電極１８と電極板２３と
の間に周期的な電圧を印加すると、静電力により電極板
２３が駆動されてトーションバー２２，２４がねじり振
動し、その周期的な静電力の周波数を適切に設定する
と、電極板２３の振幅をほぼ０とし、可動板２５の振幅
を有限の値に設定することができる。ここで、電極板２
３を駆動する静電力は電極間隔の二乗に反比例するの
で、駆動板の振幅が小さい程、上記電極間隔を短縮し、
より低電圧で可動板２５の可動範囲を確保し、大振幅を
得ることができる。
【００１３】図３は、上記２自由度振動型マイクロアク
チュエータの構成を力学モデルによって示すもので、上
記実施例との対応部分に同一の符号を付している。この
力学モデルにおいては、電極板２３が第１のトーション
バー２２により固定部２１に対して弾性支持され、可動
板２５が第２のトーションバー２４により電極板２３と
弾性的に結合されている。従って、電極板２３と可動板
２５とはそれぞれトーションバー２２，２４を中心に回
転し、２自由度のねじり振動系を形成している。
チュエータの構成を力学モデルによって示すもので、上
記実施例との対応部分に同一の符号を付している。この
力学モデルにおいては、電極板２３が第１のトーション
バー２２により固定部２１に対して弾性支持され、可動
板２５が第２のトーションバー２４により電極板２３と
弾性的に結合されている。従って、電極板２３と可動板
２５とはそれぞれトーションバー２２，２４を中心に回
転し、２自由度のねじり振動系を形成している。
【００１４】この力学モデルにおいて、Ｉ1 、θ1 をそ
れぞれ電極板２３の慣性モーメント及び変位とし、Ｉ
2 、θ2 を可動板２５の慣性モーメント及び変位とし、
さらにｋ1 、ｋ2 を第１のトーションバー２２及び第２
のトーションバー２４のねじりばね定数とすると、電極
板２３に周期的外力Ｔ・ｓｉｎωｔが働くときの運動方
程式は、次式で与えられる。
れぞれ電極板２３の慣性モーメント及び変位とし、Ｉ
2 、θ2 を可動板２５の慣性モーメント及び変位とし、
さらにｋ1 、ｋ2 を第１のトーションバー２２及び第２
のトーションバー２４のねじりばね定数とすると、電極
板２３に周期的外力Ｔ・ｓｉｎωｔが働くときの運動方
程式は、次式で与えられる。
【００１５】
【数１】
【００１６】また、電極板系の固有振動数ω1 及び可動
板系の固有振動数ω2 は、それぞれ、
板系の固有振動数ω2 は、それぞれ、
【数２】 によって与えられる。
【００１７】ここで、θｓｔを電極板の静的変位とすれ
ば、周期的外力による振幅は、電極板及び可動板のそれ
ぞれについて次式で与えられる。
ば、周期的外力による振幅は、電極板及び可動板のそれ
ぞれについて次式で与えられる。
【数３】
【００１８】上式より、ω＝ω1 において周期的外力に
よる電極板２３の振幅は０となる。このとき、可動板２
５の振幅は（４）式で示される有限な値となる。可動板
２５の振幅は、電極板２３と可動板２５及び２つのトー
ションバーを適当に設計することにより所定値に設定で
きる。
よる電極板２３の振幅は０となる。このとき、可動板２
５の振幅は（４）式で示される有限な値となる。可動板
２５の振幅は、電極板２３と可動板２５及び２つのトー
ションバーを適当に設計することにより所定値に設定で
きる。
【００１９】本発明者の試作においては、上記可動電極
板２０を、厚さ０．３ｍｍで、外形寸法が約２０ｍｍ×
２０ｍｍの単結晶シリコンウエハから、異方性エッチン
グにより一体形成した。また、固定電極１８と電極板２
３との間隔は８μｍ、可動板２５とガラス基板１０との
間隔は３８μｍとした。
板２０を、厚さ０．３ｍｍで、外形寸法が約２０ｍｍ×
２０ｍｍの単結晶シリコンウエハから、異方性エッチン
グにより一体形成した。また、固定電極１８と電極板２
３との間隔は８μｍ、可動板２５とガラス基板１０との
間隔は３８μｍとした。
【００２０】この試作した２自由度ねじり振動型アクチ
ュエータにおいて、電極板２３と可動板２５の変位（ね
じれ角）を光てこ法により測定した。はじめに、静的に
１００Ｖの電圧を加えたところ、電極板２３と可動板２
５の変位は一致し、θst＝０．０２°であった。つぎ
に、周期的に変動する電圧を加えて励振した。図４は、
正弦波状の電圧（１００Ｖp-p ）を加えたときの電極板
２３と可動板２５の共振曲線を示す。縦軸は変位を示
し、予め測定した静的変位θstで除している。
ュエータにおいて、電極板２３と可動板２５の変位（ね
じれ角）を光てこ法により測定した。はじめに、静的に
１００Ｖの電圧を加えたところ、電極板２３と可動板２
５の変位は一致し、θst＝０．０２°であった。つぎ
に、周期的に変動する電圧を加えて励振した。図４は、
正弦波状の電圧（１００Ｖp-p ）を加えたときの電極板
２３と可動板２５の共振曲線を示す。縦軸は変位を示
し、予め測定した静的変位θstで除している。
【００２１】この共振曲線から、試作したねじり振動型
アクチュエータでは、２４１Ｈｚと５８０Ｈｚに共振点
を有しているが、二つの共振点の中間付近で電極板２３
の変位が０となり、電極板２３を殆んど変位させること
なく可動板２５の大きい変位を得るという目的を達成で
きることがわかる。従って、電極板２３、可動板２５及
びトーションバー２２，２４を最適化することにより、
可動板２５の変位のみを拡大することができる。その結
果、電極板２３の変位が小さくなるため、電極板２３と
固定電極１８の間隔を狭くとり、電源電圧を従来のもの
より低くとっても、可動板２５の変位を大きくした効率
のよいマイクロアクチュエータを得ることができる。
アクチュエータでは、２４１Ｈｚと５８０Ｈｚに共振点
を有しているが、二つの共振点の中間付近で電極板２３
の変位が０となり、電極板２３を殆んど変位させること
なく可動板２５の大きい変位を得るという目的を達成で
きることがわかる。従って、電極板２３、可動板２５及
びトーションバー２２，２４を最適化することにより、
可動板２５の変位のみを拡大することができる。その結
果、電極板２３の変位が小さくなるため、電極板２３と
固定電極１８の間隔を狭くとり、電源電圧を従来のもの
より低くとっても、可動板２５の変位を大きくした効率
のよいマイクロアクチュエータを得ることができる。
【００２２】図５は、２自由度振動型マイクロアクチュ
エータの他の実施例の構成を力学モデルによって示すも
ので、前記実施例ではトーションバーのねじり振動を利
用しているのに対し、この力学モデルにおいては、上記
トーションバーと実質的に同構造を有する弾性連結部材
の曲げ振動を利用している。即ち、電極板３３を第１の
弾性連結部材３２により固定部３１に対して弾性支持さ
せ、可動板３５を第２の弾性連結部材３４により電極板
３３と弾性的に結合している。従って、電極板３３と可
動板３５とはそれぞれ弾性連結部材３２，３４の曲がり
により傾動し、２自由度の曲げ振動系を形成している。
なお、この振動系における動作は、前記図３の力学モデ
ルの場合と実質的に変わるところがないため、その説明
を省略する。
エータの他の実施例の構成を力学モデルによって示すも
ので、前記実施例ではトーションバーのねじり振動を利
用しているのに対し、この力学モデルにおいては、上記
トーションバーと実質的に同構造を有する弾性連結部材
の曲げ振動を利用している。即ち、電極板３３を第１の
弾性連結部材３２により固定部３１に対して弾性支持さ
せ、可動板３５を第２の弾性連結部材３４により電極板
３３と弾性的に結合している。従って、電極板３３と可
動板３５とはそれぞれ弾性連結部材３２，３４の曲がり
により傾動し、２自由度の曲げ振動系を形成している。
なお、この振動系における動作は、前記図３の力学モデ
ルの場合と実質的に変わるところがないため、その説明
を省略する。
【００２３】上記両実施例では、電極板２３，３３と固
定電極との間に電圧を印加して電極板に静電力を作用さ
せる場合について説明したが、上記電極板側を磁性材料
からなる駆動板とし、ガラス基板１０上の固定電極側を
コイルによって構成することにより、前記電極板に対応
する駆動板を電磁力で駆動するなどの手段を採用し、周
期的外力を与えるようにしてもよい。
定電極との間に電圧を印加して電極板に静電力を作用さ
せる場合について説明したが、上記電極板側を磁性材料
からなる駆動板とし、ガラス基板１０上の固定電極側を
コイルによって構成することにより、前記電極板に対応
する駆動板を電磁力で駆動するなどの手段を採用し、周
期的外力を与えるようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上に詳述したように、本発明の２自由
度振動型マイクロアクチュエータによれば、電圧印加等
により駆動する駆動部分と可動部分を分離して、２自由
度の振動系を構成して２自由度振動系の***振振動数で
駆動されるようにしているため、駆動板の変位を十分小
さくして低電圧駆動を可能にすると同時に、可動板の変
位を大きくすることができる。即ち、２自由度の振動系
においては、駆動部分によって可動部分の振幅変位の大
きさが制約されず、１自由度の振動系に比し、可動部分
の振幅変位を大きくすることができ、可動範囲の大きい
マイクロアクチュエータを得ることができる。
度振動型マイクロアクチュエータによれば、電圧印加等
により駆動する駆動部分と可動部分を分離して、２自由
度の振動系を構成して２自由度振動系の***振振動数で
駆動されるようにしているため、駆動板の変位を十分小
さくして低電圧駆動を可能にすると同時に、可動板の変
位を大きくすることができる。即ち、２自由度の振動系
においては、駆動部分によって可動部分の振幅変位の大
きさが制約されず、１自由度の振動系に比し、可動部分
の振幅変位を大きくすることができ、可動範囲の大きい
マイクロアクチュエータを得ることができる。
【図１】本発明の２自由度振動型マイクロアクチュエー
タの実施例を示す分解斜視図である。
タの実施例を示す分解斜視図である。
【図２】同実施例の要部横断面図である。
【図３】同実施例の力学モデルを示す斜視図である。
【図４】同実施例のものにおける電極板と可動板の共振
曲線を示すグラフである。
曲線を示すグラフである。
【図５】本発明の他の実施例の力学モデルを示す斜視図
である。
である。
【図６】従来の１自由度のねじり振動子の構成を示す斜
視図である。
視図である。
１８ 固定電極、 ２１，３１ 固定部、 ２２，２４ トーションバー、 ２３，３３ 電極板、 ２５，３５ 可動板、 ３２，３４ 弾性連結部材。
Claims (1)
- 【請求項１】周期的な静電力が外力として与えられる駆
動板を、第１の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持
させ、上記駆動板に第２の弾性連結部材を介して可動板
を弾性的に結合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾
性連結部材において弾性的に変位する２自由度の振動系
を形成し、上記外力による励振振動数を上記駆動板系の
固有振動数に等しく設定して２自由度振動系の***振振
動数で駆動される振動系を形成したことを特徴とする２
自由度振動型マイクロアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (4)
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