JP2832510B2 - 表示装置の製造方法 - Google Patents
表示装置の製造方法Info
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- JP2832510B2 JP2832510B2 JP6119675A JP11967594A JP2832510B2 JP 2832510 B2 JP2832510 B2 JP 2832510B2 JP 6119675 A JP6119675 A JP 6119675A JP 11967594 A JP11967594 A JP 11967594A JP 2832510 B2 JP2832510 B2 JP 2832510B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
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- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子放出手段と電子放
出手段から放出された電子により発光される発光手段と
を備える表示装置の製造方法に関するものである。
出手段から放出された電子により発光される発光手段と
を備える表示装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の表示装置の製造方法を図７を参照
しながら説明するが、この図に示す装置は真空排気工程
を行うための装置であり、表示装置内を封止できる圧力
になるまで真空排気する作業を行っている。この図に於
て、電子を放出するカソードが形成された、例えばガラ
ス製のカソード基板と、放出された電子を捕集するアノ
ードが形成された、例えばガラス製のアノード基板と
を、互いに所定の間隙を有するよう封着することにより
表示装置１０２は作製されており、表示装置１０２は加
熱ヒータを内蔵するチャンバー１０１内に配設されてい
ると共に、表示装置１０２内を真空にするために設けら
れている排気管が真空排気装置のヘッド１０３に装着さ
れている。この従来例の場合、表示装置１０２を配設で
きるヘッド１０３が設けられている。
しながら説明するが、この図に示す装置は真空排気工程
を行うための装置であり、表示装置内を封止できる圧力
になるまで真空排気する作業を行っている。この図に於
て、電子を放出するカソードが形成された、例えばガラ
ス製のカソード基板と、放出された電子を捕集するアノ
ードが形成された、例えばガラス製のアノード基板と
を、互いに所定の間隙を有するよう封着することにより
表示装置１０２は作製されており、表示装置１０２は加
熱ヒータを内蔵するチャンバー１０１内に配設されてい
ると共に、表示装置１０２内を真空にするために設けら
れている排気管が真空排気装置のヘッド１０３に装着さ
れている。この従来例の場合、表示装置１０２を配設で
きるヘッド１０３が設けられている。
【０００３】前記ヘッド１０３はそれぞれバルブ１０４
を介してマニホールド１０５に連結されており、マニホ
ールド１０５はバルブ１１２及びバルブ１０６を介して
ドライポンプ１０７に連結されている。また、マニホー
ルド１０５はゲートバルブ１０８に連結されており、ゲ
ートバルブ１０８はターボ分子ポンプ１１０に連結され
ている。また、ターボ分子ポンプ１１０はバルブ１１１
を介してドライポンプ１０７に連結されている。
を介してマニホールド１０５に連結されており、マニホ
ールド１０５はバルブ１１２及びバルブ１０６を介して
ドライポンプ１０７に連結されている。また、マニホー
ルド１０５はゲートバルブ１０８に連結されており、ゲ
ートバルブ１０８はターボ分子ポンプ１１０に連結され
ている。また、ターボ分子ポンプ１１０はバルブ１１１
を介してドライポンプ１０７に連結されている。
【０００４】この真空排気を行う装置の動作を説明する
と、カソードとアノードとが収納された表示装置１０２
をチャンバー１０１内に配設し、その排気管をヘッド１
０３に装着する。そして、バルブ１１２を開いてマニホ
ールド１０５にドライポンプ１０７を連結してマニホー
ルド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排気管を介
して表示装置１０２内を真空に荒引きする。荒引きによ
り表示装置１０２内の圧力がある程度下がってきたら、
バルブ１１２を閉じ、ゲートバルブ１０８を開けてター
ボ分子ポンプ１１０をマニホールド１０５に連結して、
マニホールド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排
気管を介して表示装置１０２内を真空に排気する。この
場合、バルブ１１１を開いてドライポンプ１０７により
ターボ分子ポンプ１１０をバックアップしている。
と、カソードとアノードとが収納された表示装置１０２
をチャンバー１０１内に配設し、その排気管をヘッド１
０３に装着する。そして、バルブ１１２を開いてマニホ
ールド１０５にドライポンプ１０７を連結してマニホー
ルド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排気管を介
して表示装置１０２内を真空に荒引きする。荒引きによ
り表示装置１０２内の圧力がある程度下がってきたら、
バルブ１１２を閉じ、ゲートバルブ１０８を開けてター
ボ分子ポンプ１１０をマニホールド１０５に連結して、
マニホールド１０５、バルブ１０４、ヘッド１０３、排
気管を介して表示装置１０２内を真空に排気する。この
場合、バルブ１１１を開いてドライポンプ１０７により
ターボ分子ポンプ１１０をバックアップしている。
【０００５】ゲートバルブ１０８を開けると同時に、加
熱ヒータを作動させてチャンバー１０１内が約３５０℃
になるまで加熱し、チャンバー１０１内の温度が約３５
０℃に達したら、この温度を保つ様にしている。そし
て、この状態のまま数時間排気を続けることにより表示
装置１０２内が約１０-7Torr程度の圧力となるよう排気
し、その後排気管を封止することにより内部が高真空と
された表示装置１０２を得るようにしている。
熱ヒータを作動させてチャンバー１０１内が約３５０℃
になるまで加熱し、チャンバー１０１内の温度が約３５
０℃に達したら、この温度を保つ様にしている。そし
て、この状態のまま数時間排気を続けることにより表示
装置１０２内が約１０-7Torr程度の圧力となるよう排気
し、その後排気管を封止することにより内部が高真空と
された表示装置１０２を得るようにしている。
【０００６】この工程における温度プロファイルは図８
に示すように、荒引き後にチャンバー１０１に内蔵され
た加熱ヒータを作動させて温度を上昇させていき、チャ
ンバー１０１内が約３５０℃となったらこの温度が数時
間持続するようにする。そして、排気を続けながら徐々
に温度を下げていき、所定の圧力となったところで排気
管を封止するのである。このように、表示装置１０２は
ガスが放出されやすくなるようにベーキングされながら
内部の排気が行われている。
に示すように、荒引き後にチャンバー１０１に内蔵され
た加熱ヒータを作動させて温度を上昇させていき、チャ
ンバー１０１内が約３５０℃となったらこの温度が数時
間持続するようにする。そして、排気を続けながら徐々
に温度を下げていき、所定の圧力となったところで排気
管を封止するのである。このように、表示装置１０２は
ガスが放出されやすくなるようにベーキングされながら
内部の排気が行われている。
【０００７】このようにして作成された表示装置におい
ては、ベーキングしながら高真空に引いているものの、
寿命特性（残存率）が余り良くないという欠点がある。
さらに、高真空にするのに長時間を費やすという欠点も
ある。前記寿命特性が悪いのは、表示管１０２内部の放
出ガスの排気が不十分と考えられる。表示装置内には蛍
光体や各種電極材料を用いており、これらの材料がガス
を吸着しているものと考えられる。しかしながら、これ
らの材料に吸着されたガスはベーキングによっても放出
されにくく、封止後に表示装置１０２を作動させたとき
にこれらの材料からガスが放出され、この放出ガスによ
り内部の電子放出源等が汚染されて寿命特性が悪化する
ものと考えられる。
ては、ベーキングしながら高真空に引いているものの、
寿命特性（残存率）が余り良くないという欠点がある。
さらに、高真空にするのに長時間を費やすという欠点も
ある。前記寿命特性が悪いのは、表示管１０２内部の放
出ガスの排気が不十分と考えられる。表示装置内には蛍
光体や各種電極材料を用いており、これらの材料がガス
を吸着しているものと考えられる。しかしながら、これ
らの材料に吸着されたガスはベーキングによっても放出
されにくく、封止後に表示装置１０２を作動させたとき
にこれらの材料からガスが放出され、この放出ガスによ
り内部の電子放出源等が汚染されて寿命特性が悪化する
ものと考えられる。
【０００８】これを改良する表示装置の製造方法が、特
開平２−２９９１２９号公報に提案されている。この製
造方法は真空排気工程時に、表示装置に通電を行うこと
により電子放出源を活性化すると共に、電子放出源から
放出させた電子でアノードを叩くことにより吸着された
ガスを放出させようとするものである。
開平２−２９９１２９号公報に提案されている。この製
造方法は真空排気工程時に、表示装置に通電を行うこと
により電子放出源を活性化すると共に、電子放出源から
放出させた電子でアノードを叩くことにより吸着された
ガスを放出させようとするものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の製造方法においても通電工程のみでは表示装置内の
ガスを十分に放出することができず、特に電界放出型の
表示装置では表示装置の寿命特性を実用段階まで向上す
ることができなかった。そこで、本発明はさらに寿命特
性を向上することができる表示装置の製造方法を提供す
ることを目的としている。
来の製造方法においても通電工程のみでは表示装置内の
ガスを十分に放出することができず、特に電界放出型の
表示装置では表示装置の寿命特性を実用段階まで向上す
ることができなかった。そこで、本発明はさらに寿命特
性を向上することができる表示装置の製造方法を提供す
ることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の表示装置の製造
方法は前記課題を解決するために、 金属モリブデン製の
電子放出手段を備える表示装置の製造方法に際し、前記
表 示装置内を真空排気した後、前記表示装置をベーキン
グしながら前記表示装置内を真空排気し、かつ、前記電
子放出手段に通電する通電排気行程と、前記表示装置を
ベーキングしながら、前記表示装置内に還元性ガスを導
入しホールドする工程と、前記表示装置内をベーキング
しながら前記表示装置内を真空排気する工程とを数回繰
り返し行った後に、前記表示装置をベーキングしなが
ら、前記表示装置内を真空排気し、大気にさらすことな
く封止するようにしたものである。
方法は前記課題を解決するために、 金属モリブデン製の
電子放出手段を備える表示装置の製造方法に際し、前記
表 示装置内を真空排気した後、前記表示装置をベーキン
グしながら前記表示装置内を真空排気し、かつ、前記電
子放出手段に通電する通電排気行程と、前記表示装置を
ベーキングしながら、前記表示装置内に還元性ガスを導
入しホールドする工程と、前記表示装置内をベーキング
しながら前記表示装置内を真空排気する工程とを数回繰
り返し行った後に、前記表示装置をベーキングしなが
ら、前記表示装置内を真空排気し、大気にさらすことな
く封止するようにしたものである。
【００１１】本発明によれば、表示装置に通電して排気
する通電排気工程と、ガスを導入する工程と、続いて真
空排気する工程との３工程を繰り返し行うことにより、
内部に吸着されたガスをさらに容易に放出することがで
き、特に通電によって叩き出された残留ガスを還元性ガ
スと共に排気することにより、吸着されたガスの大部分
を放出することができるため、今までに得られなかった
長寿命の表示装置を製造することができる。また、寿命
が向上するだけでなく、電流−電圧特性が飛躍的に向上
するため、より高輝度の表示装置を得ることができる。
する通電排気工程と、ガスを導入する工程と、続いて真
空排気する工程との３工程を繰り返し行うことにより、
内部に吸着されたガスをさらに容易に放出することがで
き、特に通電によって叩き出された残留ガスを還元性ガ
スと共に排気することにより、吸着されたガスの大部分
を放出することができるため、今までに得られなかった
長寿命の表示装置を製造することができる。また、寿命
が向上するだけでなく、電流−電圧特性が飛躍的に向上
するため、より高輝度の表示装置を得ることができる。
【００１２】
【実施例】本発明の製造方法を図１を参照しながら説明
するが、その前に図１に示す真空排気機構装置の説明を
行う。この図に於て、電子を放出する例えば金属モリブ
デンからなるカソードが形成された、ガラス製のカソー
ド基板と、カソードから放出された電子を捕集するアノ
ードが形成された、例えばガラス製のアノード基板とを
互いに所定の間隙を有するよう封着することにより表示
装置２は作製されており、表示装置２は加熱ヒータを内
蔵するチャンバー１内に配設されていると共に、表示装
置２内を真空にするために設けられている排気管が真空
排気装置のヘッド３に装着されている。この実施例の場
合、表示装置２を２つ同時に真空に排気できるように、
チャンバー１内には表示装置２を複数配設できると共
に、ヘッド３は複数設けられている。
するが、その前に図１に示す真空排気機構装置の説明を
行う。この図に於て、電子を放出する例えば金属モリブ
デンからなるカソードが形成された、ガラス製のカソー
ド基板と、カソードから放出された電子を捕集するアノ
ードが形成された、例えばガラス製のアノード基板とを
互いに所定の間隙を有するよう封着することにより表示
装置２は作製されており、表示装置２は加熱ヒータを内
蔵するチャンバー１内に配設されていると共に、表示装
置２内を真空にするために設けられている排気管が真空
排気装置のヘッド３に装着されている。この実施例の場
合、表示装置２を２つ同時に真空に排気できるように、
チャンバー１内には表示装置２を複数配設できると共
に、ヘッド３は複数設けられている。
【００１３】複数本のヘッド３はそれぞれバルブ４を介
してマニホールド５に連結されており、マニホールド５
は流量調整バルブ６及びバルブ７を介してガスボンベ８
に連結されていると共に、バルブ９を介して第１ドライ
ポンプ１０に連結されている。また、マニホールド５は
ゲートバルブ１１に連結されており、ゲートバルブ１１
はターボ分子ポンプ１３に連結されている。また、ター
ボ分子ポンプ１３はバルブ１４を介して第２ドライポン
プ１５に連結されている。なお、図示されていないがチ
ャンバ１内には内部に収納されている表示装置２を作動
させる電極および配線を備えており、表示装置を駆動す
る状態にすることができる。
してマニホールド５に連結されており、マニホールド５
は流量調整バルブ６及びバルブ７を介してガスボンベ８
に連結されていると共に、バルブ９を介して第１ドライ
ポンプ１０に連結されている。また、マニホールド５は
ゲートバルブ１１に連結されており、ゲートバルブ１１
はターボ分子ポンプ１３に連結されている。また、ター
ボ分子ポンプ１３はバルブ１４を介して第２ドライポン
プ１５に連結されている。なお、図示されていないがチ
ャンバ１内には内部に収納されている表示装置２を作動
させる電極および配線を備えており、表示装置を駆動す
る状態にすることができる。
【００１４】次に、この真空排気を行う装置によって本
発明の製造方法を説明すると、カソード基板とアノード
基板とが収納された容器からなる表示装置２をチャンバ
ー１内に配設し、その排気管をヘッド３に装着する。そ
して、バルブ９を開いてマニホールド５に第１ドライポ
ンプ１０を連結してマニホールド５、バルブ４、ヘッド
３、排気管を介して表示装置２内を真空に荒引きする。
荒引きにより表示装置２内の圧力がある程度下がってき
たら、バルブ９を閉じ、ゲートバルブ１１を開けてター
ボ分子ポンプ１３をマニホールド５に連結して、マニホ
ールド５、バルブ４、ヘッド３、排気管を介して表示装
置２内を真空に排気する。この場合、バルブ１４を開い
て第２ドライポンプ１５によりターボ分子ポンプ１３を
バックアップしている。
発明の製造方法を説明すると、カソード基板とアノード
基板とが収納された容器からなる表示装置２をチャンバ
ー１内に配設し、その排気管をヘッド３に装着する。そ
して、バルブ９を開いてマニホールド５に第１ドライポ
ンプ１０を連結してマニホールド５、バルブ４、ヘッド
３、排気管を介して表示装置２内を真空に荒引きする。
荒引きにより表示装置２内の圧力がある程度下がってき
たら、バルブ９を閉じ、ゲートバルブ１１を開けてター
ボ分子ポンプ１３をマニホールド５に連結して、マニホ
ールド５、バルブ４、ヘッド３、排気管を介して表示装
置２内を真空に排気する。この場合、バルブ１４を開い
て第２ドライポンプ１５によりターボ分子ポンプ１３を
バックアップしている。
【００１５】ゲートバルブ１１を開けると同時に、加熱
ヒータを作動させてチャンバー１内を加熱して約３５０
℃の温度まで上昇させる。そして、この状態のまま排気
を続けることにより表示装置２内を約１０-7Torr程度の
圧力になるまで排気する。
ヒータを作動させてチャンバー１内を加熱して約３５０
℃の温度まで上昇させる。そして、この状態のまま排気
を続けることにより表示装置２内を約１０-7Torr程度の
圧力になるまで排気する。
【００１６】本発明ではこの製造工程において図３に示
すように表示装置２内を約１０-7Torrまで排気した後、
通電排気工程２３に於て表示素子２内を排気しながら数
分間通電を行い、その後還元性ガスを１０-2〜５００To
rrの圧力となるまで導入して、数分間ホールドする工程
２４を経て、導入した還元性ガスを排気工程２５により
約１０-7Torrまで排気している。そして、この通電排気
工程２３ないし排気工程２５を、例えば図２に示すよう
にガス導入期間で数回繰り返す事により、ガスクリーニ
ングを行うようにしている。そして、ガスクリーニング
を終了後、チャンバー１内を約３００℃に保ちながら約
６時間程度排気して、排気管あるいは封止蓋を封止して
大気に触れることなく内部が高真空とされた表示装置２
を完成させている。
すように表示装置２内を約１０-7Torrまで排気した後、
通電排気工程２３に於て表示素子２内を排気しながら数
分間通電を行い、その後還元性ガスを１０-2〜５００To
rrの圧力となるまで導入して、数分間ホールドする工程
２４を経て、導入した還元性ガスを排気工程２５により
約１０-7Torrまで排気している。そして、この通電排気
工程２３ないし排気工程２５を、例えば図２に示すよう
にガス導入期間で数回繰り返す事により、ガスクリーニ
ングを行うようにしている。そして、ガスクリーニング
を終了後、チャンバー１内を約３００℃に保ちながら約
６時間程度排気して、排気管あるいは封止蓋を封止して
大気に触れることなく内部が高真空とされた表示装置２
を完成させている。
【００１７】この製造方法によれば、高真空とされた状
態で表示装置２内の電子放出源であるカソードに通電さ
れるため、カソードが活性化されると共に、カソードか
ら放出された電子がアノードを叩くため、内部に吸着さ
れているガスが放出されやすくなり、さらに続けて還元
性ガスを導入しているためより表示装置２内のガスを放
出することができ、寿命特性をより向上することができ
る。
態で表示装置２内の電子放出源であるカソードに通電さ
れるため、カソードが活性化されると共に、カソードか
ら放出された電子がアノードを叩くため、内部に吸着さ
れているガスが放出されやすくなり、さらに続けて還元
性ガスを導入しているためより表示装置２内のガスを放
出することができ、寿命特性をより向上することができ
る。
【００１８】前記ガスクリーニングによる作用効果を図
４ないし図６を用いて説明するが、この場合の表示装置
は電界放出型カソードを備えるものとしている。図４は
ガスクリーニングを行った場合と、行わなかった場合の
表示装置２内のカソード等を形成しているモリブデン
（Ｍｏ）におけるＥＳＣＡ分析による分析結果を示して
おり、横軸は結合エネルギー（binding energy）、縦軸
は相対強度Ｎ（Ｅ）／Ｅである。図４（ａ）はガスクリ
ーニングを行なわない場合であり、金属モリブデンＭｏ
（Metal ）の結合エネルギー２２８［ｅＶ］のスペクト
ルと、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）のス
ペクトルとが大きい強度となっている事が確認できる。
これは、モリブデンに酸素が吸着されてモリブデンの酸
化物とされた事を示している。
４ないし図６を用いて説明するが、この場合の表示装置
は電界放出型カソードを備えるものとしている。図４は
ガスクリーニングを行った場合と、行わなかった場合の
表示装置２内のカソード等を形成しているモリブデン
（Ｍｏ）におけるＥＳＣＡ分析による分析結果を示して
おり、横軸は結合エネルギー（binding energy）、縦軸
は相対強度Ｎ（Ｅ）／Ｅである。図４（ａ）はガスクリ
ーニングを行なわない場合であり、金属モリブデンＭｏ
（Metal ）の結合エネルギー２２８［ｅＶ］のスペクト
ルと、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）のス
ペクトルとが大きい強度となっている事が確認できる。
これは、モリブデンに酸素が吸着されてモリブデンの酸
化物とされた事を示している。
【００１９】同図（ｂ）はガスクリーニングを行った場
合であり、金属モリブデンＭｏ（Metal ）の結合エネル
ギー２２８［ｅＶ］のスペクトルがより大きい強度とさ
れて、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）のス
ペクトルが小さい強度とされている事から、還元性ガス
にモリブデンを酸化している酸素が吸着される事によ
り、モリブデンの酸化物が還元されて、金属モリブデン
とされた事がわかる。なお、金属モリブデンとモリブデ
ンの酸化物との間のスペクトルはどちらのモリブデンで
も出現するスペクトルであって、この場合特別の意味は
ない。これらの測定結果から、ガスクリーニングにより
モリブデンに吸着されているガスを放出できる事がわか
る。
合であり、金属モリブデンＭｏ（Metal ）の結合エネル
ギー２２８［ｅＶ］のスペクトルがより大きい強度とさ
れて、モリブデンの酸化物（ＭｏＯ2 ，ＭｏＯ3 ）のス
ペクトルが小さい強度とされている事から、還元性ガス
にモリブデンを酸化している酸素が吸着される事によ
り、モリブデンの酸化物が還元されて、金属モリブデン
とされた事がわかる。なお、金属モリブデンとモリブデ
ンの酸化物との間のスペクトルはどちらのモリブデンで
も出現するスペクトルであって、この場合特別の意味は
ない。これらの測定結果から、ガスクリーニングにより
モリブデンに吸着されているガスを放出できる事がわか
る。
【００２０】図５は表示装置の寿命特性（残存率）を示
すが、横軸が動作時間であり、縦軸が相対アノード電流
（Relative anode current）を百分率で示している。こ
の図に於て、上の２本の曲線で示す特性がガスクリーニ
ングを行う本発明の製造方法による表示装置の電子放出
手段の寿命特性（残存率）であり、下の３本の曲線で示
す特性がガスクリーニングを行なわない従来の製造方法
による表示装置の電子放出手段の寿命特性（残存率）で
ある。この寿命特性（残存率）を見ると従来の製造方法
による表示装置では、５時間程度の動作により電子放出
手段の残存率は約２割に減少してしまうが、本発明の製
造方法による表示装置では８０時間の作動によっても約
８割以上の電子放出手段の残存率とすることができ、ガ
スクリーニングを行えば寿命を格段に伸ばせることがわ
かる。
すが、横軸が動作時間であり、縦軸が相対アノード電流
（Relative anode current）を百分率で示している。こ
の図に於て、上の２本の曲線で示す特性がガスクリーニ
ングを行う本発明の製造方法による表示装置の電子放出
手段の寿命特性（残存率）であり、下の３本の曲線で示
す特性がガスクリーニングを行なわない従来の製造方法
による表示装置の電子放出手段の寿命特性（残存率）で
ある。この寿命特性（残存率）を見ると従来の製造方法
による表示装置では、５時間程度の動作により電子放出
手段の残存率は約２割に減少してしまうが、本発明の製
造方法による表示装置では８０時間の作動によっても約
８割以上の電子放出手段の残存率とすることができ、ガ
スクリーニングを行えば寿命を格段に伸ばせることがわ
かる。
【００２１】図６はガスクリーニングによるＩ−Ｖ特性
の変化を示す図であり、横軸はゲート電圧（Gate Volta
ge）縦軸はアノード電流（Anode Current ）である。こ
の図に於て、黒丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリ
ーニングを行う本発明の製造方法による表示装置の特性
であり、白丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリーニ
ングを行なわない従来の製造方法による表示装置の特性
であり、ゲート電圧が電子放出開始電圧を越えてアノー
ド電流が流れ出すと、本発明による製造方法による表示
装置には大きなアノード電流が流れる事がわかる。これ
は、結合エネルギーが小さい金属モリブデンが多くな
り、モリブデン製の電子放出手段から電子が放出されや
すくなったためと考えられる。例えば、ゲート電圧を１
２０［Ｖ］とした時に従来の製造方法による表示装置で
は６００［μＡ］しか流れないアノード電流が、本発明
の製造方法による表示装置では約３倍の１６００［μ
Ａ］を越えるアノード電流とすることができ、このため
本発明に於ては表示装置の輝度を格段に向上できる事が
わかる。
の変化を示す図であり、横軸はゲート電圧（Gate Volta
ge）縦軸はアノード電流（Anode Current ）である。こ
の図に於て、黒丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリ
ーニングを行う本発明の製造方法による表示装置の特性
であり、白丸で連結して示すＩ−Ｖ特性がガスクリーニ
ングを行なわない従来の製造方法による表示装置の特性
であり、ゲート電圧が電子放出開始電圧を越えてアノー
ド電流が流れ出すと、本発明による製造方法による表示
装置には大きなアノード電流が流れる事がわかる。これ
は、結合エネルギーが小さい金属モリブデンが多くな
り、モリブデン製の電子放出手段から電子が放出されや
すくなったためと考えられる。例えば、ゲート電圧を１
２０［Ｖ］とした時に従来の製造方法による表示装置で
は６００［μＡ］しか流れないアノード電流が、本発明
の製造方法による表示装置では約３倍の１６００［μ
Ａ］を越えるアノード電流とすることができ、このため
本発明に於ては表示装置の輝度を格段に向上できる事が
わかる。
【００２２】なお、本発明の製造方法に於て、クリーニ
ング時に表示装置２内に導入するガスは還元性ガスに限
らず、弱還元性のＣＯ，ＣＯ2 等のガスを用いてもよ
い。また、Ａｒ等の不活性ガスを導入しても表示装置内
部のガス放出を行うことができる。さらに、ＣＨ 4 ，Ｃ
2 Ｈ 6 等のガスを導入すると、表示装置が金属モリブデ
ン等の電界放出型カソードを備える場合は、そのエミッ
タコーンの先端にカーボンが付着する事により仕事関数
が低下し、エミッション電流が大きくなる効果がある。
ング時に表示装置２内に導入するガスは還元性ガスに限
らず、弱還元性のＣＯ，ＣＯ2 等のガスを用いてもよ
い。また、Ａｒ等の不活性ガスを導入しても表示装置内
部のガス放出を行うことができる。さらに、ＣＨ 4 ，Ｃ
2 Ｈ 6 等のガスを導入すると、表示装置が金属モリブデ
ン等の電界放出型カソードを備える場合は、そのエミッ
タコーンの先端にカーボンが付着する事により仕事関数
が低下し、エミッション電流が大きくなる効果がある。
【００２３】
【発明の効果】本発明の製造方法は、表示装置に通電し
て放出される電子流により残留ガスを叩き出す工程と、
この叩き出された残留ガスを導入したガスによって吸着
し、続いて真空排気する工程との３つの工程を繰り返し
行うことにより、内部に吸着されたガスをさらに容易に
放出することができ、加えてガスを還元性ガスとするこ
とにより、今までに得られなかった長寿命の表示装置を
製造することができる。また、寿命が向上するだけでな
く、表示装置の電流−電圧特性が飛躍的に向上するた
め、より高輝度の表示装置を得ることができる。
て放出される電子流により残留ガスを叩き出す工程と、
この叩き出された残留ガスを導入したガスによって吸着
し、続いて真空排気する工程との３つの工程を繰り返し
行うことにより、内部に吸着されたガスをさらに容易に
放出することができ、加えてガスを還元性ガスとするこ
とにより、今までに得られなかった長寿命の表示装置を
製造することができる。また、寿命が向上するだけでな
く、表示装置の電流−電圧特性が飛躍的に向上するた
め、より高輝度の表示装置を得ることができる。
【図１】本発明の真空排気工程を行う装置を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明の温度プロファイルを示す図である。
【図３】本発明のガスクリーニングのフローを示す図で
ある。
ある。
【図４】ガスクリーニングの作用効果を説明するための
ＥＳＣＡ分析による分析結果を示す図である。
ＥＳＣＡ分析による分析結果を示す図である。
【図５】ガスクリーニングの作用効果を説明するための
寿命特性（残存率）を示す図である。
寿命特性（残存率）を示す図である。
【図６】ガスクリーニングによるＩ−Ｖ特性の変化を示
す図である。
す図である。
【図７】従来の製造方法を説明するための真空排気工程
を行う装置を示す図である。
を行う装置を示す図である。
【図８】従来の製造方法の温度プロファイルを示す図で
ある。
ある。
１ 加熱ヒータ内蔵チャンバー ２ 表示装置 ３ ヘッド ４，６，７，９，１４ バルブ ５ マニホールド ８ ガスボンベ １０，１５ ドライポンプ １１ ゲートバルブ １３ ターボ分子ポンプ
フロントページの続き (72)発明者 内田 裕治 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (72)発明者 渡辺 照男 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株 式会社内 (56)参考文献 特開 平３−230448（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−299129（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−133892（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 9/39 H01J 9/385
Claims (1)
- 【請求項１】金属モリブデン製の電子放出手段を備える
表示装置の製造方法に際し、前記表示装置内を荒引排気
した後、前記表示装置をベーキングしながら前記表示装
置内を真空排気し、かつ、前記電子放出手段に通電する
通電排気行程と、前記表示装置をベーキングしながら、
前記表示装置内に還元性ガスを導入しホールドする工程
と、前記表示装置内をベーキングしながら前記表示装置
内を真空排気する工程とを数回繰り返し行った後に、前
記表示装置をベーキングしながら前記表示装置内を真空
排気し、大気にさらすことなく封止を行うことを特徴と
する表示装置の製造方法。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP6119675A JP2832510B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 表示装置の製造方法 |
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| FR9505533A FR2719943B1 (fr) | 1994-05-10 | 1995-05-10 | Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage. |
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| JP6119675A JP2832510B2 (ja) | 1994-05-10 | 1994-05-10 | 表示装置の製造方法 |
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| JP2832510B2 true JP2832510B2 (ja) | 1998-12-09 |
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ID=14767275
Family Applications (1)
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| FR (1) | FR2719943B1 (ja) |
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| JP3465634B2 (ja) * | 1998-06-29 | 2003-11-10 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
| US6149483A (en) * | 1998-07-30 | 2000-11-21 | Candescent Technologies Corporation | Cleaning of components of flat panel display |
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| US6116974A (en) | 1998-09-02 | 2000-09-12 | Micron Technology, Inc. | Spacers, display devices containing the same, and methods for making and using the same |
| KR100428970B1 (ko) * | 1998-12-15 | 2004-06-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 소자의 제조방법 및 장치 |
| US6417016B1 (en) * | 1999-02-26 | 2002-07-09 | Micron Technology, Inc. | Structure and method for field emitter tips |
| US6930446B1 (en) * | 1999-08-31 | 2005-08-16 | Micron Technology, Inc. | Method for improving current stability of field emission displays |
| US6692323B1 (en) * | 2000-01-14 | 2004-02-17 | Micron Technology, Inc. | Structure and method to enhance field emission in field emitter device |
| JP3754859B2 (ja) * | 2000-02-16 | 2006-03-15 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置の製造法 |
| FR2805663A1 (fr) * | 2000-02-25 | 2001-08-31 | Pixtech Sa | Procede de nettoyage par plasma d'un ecran plat de visualisation |
| KR100448663B1 (ko) * | 2000-03-16 | 2004-09-13 | 캐논 가부시끼가이샤 | 화상표시장치의 제조방법 및 제조장치 |
| TW509960B (en) | 2000-04-04 | 2002-11-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Highly productive method of producing plasma display panel |
| KR100394060B1 (ko) * | 2001-01-12 | 2003-08-06 | 주식회사 유피디 | 평판 디스플레이 패널용 가스배기장치 및 그 방법 |
| KR100404191B1 (ko) * | 2001-04-04 | 2003-11-03 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널과 그 제조설비 및 제조공정 |
| JP4689404B2 (ja) * | 2005-08-15 | 2011-05-25 | キヤノン株式会社 | 基板処理装置及びこれを用いた基板の処理方法、電子源基板の処理装置及びこれを用いた電子源基板の処理方法 |
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| US3687513A (en) * | 1971-03-24 | 1972-08-29 | Burroughs Corp | Method of aging a display panel |
| US3901573A (en) * | 1973-08-27 | 1975-08-26 | Gen Motors Corp | Method of processing tungsten halogen light bulbs |
| US4018490A (en) * | 1975-07-07 | 1977-04-19 | International Business Machines Corporation | Gas discharge display panel fabrication |
| JPS54133892A (en) * | 1978-04-08 | 1979-10-17 | Toshiba Corp | Exhausting method of x-ray tube |
| JPS5713649A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Fujitsu Ltd | Manufacturing method for gas discharge panel |
| JPS60216428A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | ガス封入型電子管の製造方法 |
| JPH0789470B2 (ja) * | 1985-12-23 | 1995-09-27 | 松下電器産業株式会社 | 画像表示管の製造方法 |
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| JP2727224B2 (ja) * | 1989-05-15 | 1998-03-11 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置の製造方法 |
| US5022880A (en) * | 1990-01-29 | 1991-06-11 | Gte Products Corporation | Method of constructing an electric lamp using carbon monoxide as a forming gas |
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| JP3105275B2 (ja) * | 1991-02-28 | 2000-10-30 | 沖電気工業株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
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1994
- 1994-05-10 JP JP6119675A patent/JP2832510B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-05-09 KR KR1019950011242A patent/KR100188071B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-05-09 US US08/437,786 patent/US5564958A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-05-10 FR FR9505533A patent/FR2719943B1/fr not_active Expired - Fee Related
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