JP2781787B2 - 半導体チップのボンディングパッド配置構成及びその最適化方法 - Google Patents
半導体チップのボンディングパッド配置構成及びその最適化方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体チップのボン
ディングパッド配置構造及びその最適化方法に関する。
ディングパッド配置構造及びその最適化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図８を参照して、特開平４−３６４０５
１号公報の記載例について説明する。パッド配置領域６
２に２列にパッド６３を千鳥状に配置し、第１列と第２
列のパッド６３が互いに隣接する部分を任意の角度で傾
斜状に切除する。その結果、第１列と第２列パッド辺間
隔が拡大する為、設計基準で定義される最小パッド辺間
隔５２まで、第１列、第２列の間隔を縮小することが出
来る。第２列と第１列の隣接するパッドの角の切除角度
８３ｂの決定方法については、記述されていないが、特
開平４−３６４０５１号公報の記載例では、パッドの角
の切除角度８３ｂα＝１３５（度）、パッドの一辺が９
６（μｍ）、適用するｘ方向のパッド中心間隔５７Ｐｘ
＝１５０（μｍ）、最小パッド辺間隔ｄｐｐ＝２０（μ
ｍ）とした場合、従来の第２列−第１列の間の適用する
ｙ方向のパッドの中心間隔５８ｂ距離を１１６（μｍ）
から約９０（μｍ）と、２０（μｍ）も小さくすること
が出来ると、記述されている。
１号公報の記載例について説明する。パッド配置領域６
２に２列にパッド６３を千鳥状に配置し、第１列と第２
列のパッド６３が互いに隣接する部分を任意の角度で傾
斜状に切除する。その結果、第１列と第２列パッド辺間
隔が拡大する為、設計基準で定義される最小パッド辺間
隔５２まで、第１列、第２列の間隔を縮小することが出
来る。第２列と第１列の隣接するパッドの角の切除角度
８３ｂの決定方法については、記述されていないが、特
開平４−３６４０５１号公報の記載例では、パッドの角
の切除角度８３ｂα＝１３５（度）、パッドの一辺が９
６（μｍ）、適用するｘ方向のパッド中心間隔５７Ｐｘ
＝１５０（μｍ）、最小パッド辺間隔ｄｐｐ＝２０（μ
ｍ）とした場合、従来の第２列−第１列の間の適用する
ｙ方向のパッドの中心間隔５８ｂ距離を１１６（μｍ）
から約９０（μｍ）と、２０（μｍ）も小さくすること
が出来ると、記述されている。
【０００３】特公平３−４２４９６号公報の記載例につ
いて説明する。特公平３−４２４９６号公報の記載例に
よれば、パッド形状は、五角形以上の多角形を用いて
も、パッド列数については、３列以上のパッド配置にも
適用出来ることが記述されている。これら従来技術を用
いて、千鳥状パッド配置を求める。図８に示すように、
２列の千鳥状パッド配置を行い、パッド配置領域幅方向
（以下、ｘ方向と記す）のパッド領域幅６２に配置出来
ていたが、図９に示す様に、ｘ方向のパッド領域幅６２
が小さくなった場合、ｘ方向のパッド領域幅６２に収ま
らなくなる。そこで図１０に示す様に、奇数例、偶数列
のｘ方向のパッド中心座標をそれぞれ合わせ、３列にす
れば入出力バッファ列幅内に納めることが出来る。この
パッド配置構成について、図５，図６，図７を参照して
説明する。図５の１の第１の工程は、半導体チップのパ
ッド設計基準よりパッド配置に関する制限値と、半導体
チップの製品条件よりデバイスに関する設定値を格納す
る。
いて説明する。特公平３−４２４９６号公報の記載例に
よれば、パッド形状は、五角形以上の多角形を用いて
も、パッド列数については、３列以上のパッド配置にも
適用出来ることが記述されている。これら従来技術を用
いて、千鳥状パッド配置を求める。図８に示すように、
２列の千鳥状パッド配置を行い、パッド配置領域幅方向
（以下、ｘ方向と記す）のパッド領域幅６２に配置出来
ていたが、図９に示す様に、ｘ方向のパッド領域幅６２
が小さくなった場合、ｘ方向のパッド領域幅６２に収ま
らなくなる。そこで図１０に示す様に、奇数例、偶数列
のｘ方向のパッド中心座標をそれぞれ合わせ、３列にす
れば入出力バッファ列幅内に納めることが出来る。この
パッド配置構成について、図５，図６，図７を参照して
説明する。図５の１の第１の工程は、半導体チップのパ
ッド設計基準よりパッド配置に関する制限値と、半導体
チップの製品条件よりデバイスに関する設定値を格納す
る。
【０００４】図５の２の第２の工程は、半導体チップの
パッド設計基準よりパッド配置に関する制限値と、半導
体チップの製品条件よりデバイスに関する設定値を格納
する。
パッド設計基準よりパッド配置に関する制限値と、半導
体チップの製品条件よりデバイスに関する設定値を格納
する。
【０００５】図５の２の第２の工程は、第１の工程で得
た条件を考慮して、半導体チップ内のパッド配置領域６
２に設定値より指定されるパッド数を配置可能とするよ
うに、パッド列数ｎと、１列当たりに配置可能な最大パ
ッド数及び隣り合うパッドとのパッドの中心間隔を求め
る。適用するパッドの中心間隔は、第ｎ列のパッドとパ
ッドの間に、配線ｎ−１本を通さなければならない為、
パッド列数ｎの値により変化する場合がある。図５の３
ｂの第３の工程は、第２の工程で求めたパッド列数ｎの
第ｎ列から第１列までの起点となるパッド配置位置と、
第ｍ列と第ｍ−１列の隣接するパッドの角の切除角度を
求める。図５の第４の工程は、第２の工程で求めたパッ
ドの中心間隔で、第ｎ列から第１列までの起点となるパ
ッド配置位置より順次パッド配置する。
た条件を考慮して、半導体チップ内のパッド配置領域６
２に設定値より指定されるパッド数を配置可能とするよ
うに、パッド列数ｎと、１列当たりに配置可能な最大パ
ッド数及び隣り合うパッドとのパッドの中心間隔を求め
る。適用するパッドの中心間隔は、第ｎ列のパッドとパ
ッドの間に、配線ｎ−１本を通さなければならない為、
パッド列数ｎの値により変化する場合がある。図５の３
ｂの第３の工程は、第２の工程で求めたパッド列数ｎの
第ｎ列から第１列までの起点となるパッド配置位置と、
第ｍ列と第ｍ−１列の隣接するパッドの角の切除角度を
求める。図５の第４の工程は、第２の工程で求めたパッ
ドの中心間隔で、第ｎ列から第１列までの起点となるパ
ッド配置位置より順次パッド配置する。
【０００６】図６の２１，２２，２３，２３１，２３
２，２３３，２３４，２３５，２３６，２３７，２３
８，２３９，２４は、第２の工程（図５の２）の具体的
内容、図７は、図５の３３ｂの具体的内容であり、３３
２ｂ，３３３ｂは、第ｍ列の起点となるパッドの中心点
から、隣接する第ｍ−１列の起点となるパッドの中心点
との距離を求める第２１の手順、３３６ｂは、ｘ方向
と、第２の手順で求めた距離が形成する角度を求める第
２２の手順、３３８ｂは、第２２の手順で求めた角度か
ら第ｍ列と第ｍ−１列の隣接するパッドの角の切除角度
で示される、パッドの角の切除線分は、第２１の手順で
求めた、第ｍ列と第ｍ−１列のパッド中心点の距離の線
分と、パッド内接円との交点を接点とする、パッド内接
円の接線である。後述する式（１）から式（１１）で用
いている変数名は、図５，図６，図７，図８，図９，図
１０を参照して説明する。
２，２３３，２３４，２３５，２３６，２３７，２３
８，２３９，２４は、第２の工程（図５の２）の具体的
内容、図７は、図５の３３ｂの具体的内容であり、３３
２ｂ，３３３ｂは、第ｍ列の起点となるパッドの中心点
から、隣接する第ｍ−１列の起点となるパッドの中心点
との距離を求める第２１の手順、３３６ｂは、ｘ方向
と、第２の手順で求めた距離が形成する角度を求める第
２２の手順、３３８ｂは、第２２の手順で求めた角度か
ら第ｍ列と第ｍ−１列の隣接するパッドの角の切除角度
で示される、パッドの角の切除線分は、第２１の手順で
求めた、第ｍ列と第ｍ−１列のパッド中心点の距離の線
分と、パッド内接円との交点を接点とする、パッド内接
円の接線である。後述する式（１）から式（１１）で用
いている変数名は、図５，図６，図７，図８，図９，図
１０を参照して説明する。
【０００７】ｒｐは最小パッド半径５１、ｄppは最小パ
ッド辺間隔５２、ｄphは最小パッド辺−配線間隔５３、
ｄhhは最小配線間隔５４、Ｗh は最小配線幅５５、Ｐx0
は同列の最小パッド中心間隔、Ｐx は適用するｘ方向の
パッド中心間隔５７、Ｐy は適用するｙ方向のパッド中
心間隔５８、ｎは適用するパッド列数、Ｕは配置する総
パッド数、Ｕmax は１列当たり配置可能な最大パッド
数、ｍは着目するパッド列数、Ｗx はｘ方向のパッド配
置領域幅６２、Ｐxyは第ｍ列と第ｍ−１列とのパッドの
中心間隔８１ａ、８１ｂ、θはｘ方向とＰxyが形成する
角度８２ａ、８２ｂ、αは第ｍ列と第ｍ−１列の隣接す
るパッドの角の切除角度８３ａ、８３ｂを示している。
ッド辺間隔５２、ｄphは最小パッド辺−配線間隔５３、
ｄhhは最小配線間隔５４、Ｗh は最小配線幅５５、Ｐx0
は同列の最小パッド中心間隔、Ｐx は適用するｘ方向の
パッド中心間隔５７、Ｐy は適用するｙ方向のパッド中
心間隔５８、ｎは適用するパッド列数、Ｕは配置する総
パッド数、Ｕmax は１列当たり配置可能な最大パッド
数、ｍは着目するパッド列数、Ｗx はｘ方向のパッド配
置領域幅６２、Ｐxyは第ｍ列と第ｍ−１列とのパッドの
中心間隔８１ａ、８１ｂ、θはｘ方向とＰxyが形成する
角度８２ａ、８２ｂ、αは第ｍ列と第ｍ−１列の隣接す
るパッドの角の切除角度８３ａ、８３ｂを示している。
【０００８】式（１）から式（１１）は、図５，図６，
図７の各機能を表現したものであり、式（１）は図６の
２３２、式（２）は図６の２３６、式（３）、式
（４）、式（５）は図６の２３、式（６）は図６の２
４、式（７）は図７の３３２ｂ、式（８）は図７の３３
ｂ、式（９）は図７の３３６ｂ、式（１０）は図７の３
３８ｂ、式（１１）は図７の３３９ｂに対応している。
図７の各機能を表現したものであり、式（１）は図６の
２３２、式（２）は図６の２３６、式（３）、式
（４）、式（５）は図６の２３、式（６）は図６の２
４、式（７）は図７の３３２ｂ、式（８）は図７の３３
ｂ、式（９）は図７の３３６ｂ、式（１０）は図７の３
３８ｂ、式（１１）は図７の３３９ｂに対応している。
【０００９】 Ｐx1＝ｒｐ×２＋ｄPP …（１） Ｐx2＝ｒｐ×２＋Ｗh ×（ｎ−１） ＋ｄhh×（ｎ−２）＋ｄph×２ …（２） Ｐx2＞Ｐx0 且つＰx2＞Ｐx1の時、 Ｐx ＝Ｐx2 …（３） Ｐx0＞Ｐx2 且つＰx0＞Ｐx1の時、 Ｐx ＝Ｐx2 …（４） Ｐx1＞Ｐx2 且つＰx1＞Ｐx0の時、 Ｐx ＝Ｐx1 …（５） Ｗx ／（（Ｕ／ｎ）×（Ｐx ＋ｒｐ））≧１の時、 Ｕmax ＝Ｕ／ｎ …（６） Ｐxy（ｍ≧３）＝ｒｐ×２＋Ｗh ×（ｍ−２）＋ ｄhh×（ｍ−３）＋ｄPh×２ …（７） Ｐxy（ｍ＝２）＝ｒｐ×２＋ｄpp …（８） θ＝ｃｏｓ-1・Ｐx ／２・Ｐxy …（９） α＝９０（度）＋θ …（１０） Ｐy ＝ｓｉｎθ×Ｐxy …（１１） 従来例のパッド列数ｎ＝２について図５，図６，図７を
参照し、具体的数値を設定して説明する。図５の１で、
設計基準より制限値、パッドの一辺が９６（μｍ）より
パッドに内接する円の最小パッド半径５１はｒｐ＝４８
（μｍ）、最小パッド辺間隔５２はｄpp２０（μｍ）、
最小パッド辺−配線間隔５３はｄph＝１５（μｍ）、最
小配線間隔５４はｄhh＝１０（μｍ）、製品最小配線幅
５５はＷh ＝２４（μｍ）、同列の最小パッド中心間隔
はＰx0＝１２０（μｍ）、製品条件より設定値、配置す
る総パッド数はＵ＝９０、ｘ方向のパッド配置領域６２
はＷx ＝９０００（μｍ）として入手する。図６の２１
で、パッド列数を０に初期化する。図６の２２で適用す
るパッド列数に１加算し、パッド列数ｎ＝１に設定す
る。図６の２３１で、適用するｘ方向のパッドの中心間
隔５７を、同列の最小パッドの中心間隔のＰx0＝１２０
（μｍ）に初期化する。図６の２３２で、設計基準の制
限値から求められる最小パッドの中心間隔を式（１）を
用いて求める。
参照し、具体的数値を設定して説明する。図５の１で、
設計基準より制限値、パッドの一辺が９６（μｍ）より
パッドに内接する円の最小パッド半径５１はｒｐ＝４８
（μｍ）、最小パッド辺間隔５２はｄpp２０（μｍ）、
最小パッド辺−配線間隔５３はｄph＝１５（μｍ）、最
小配線間隔５４はｄhh＝１０（μｍ）、製品最小配線幅
５５はＷh ＝２４（μｍ）、同列の最小パッド中心間隔
はＰx0＝１２０（μｍ）、製品条件より設定値、配置す
る総パッド数はＵ＝９０、ｘ方向のパッド配置領域６２
はＷx ＝９０００（μｍ）として入手する。図６の２１
で、パッド列数を０に初期化する。図６の２２で適用す
るパッド列数に１加算し、パッド列数ｎ＝１に設定す
る。図６の２３１で、適用するｘ方向のパッドの中心間
隔５７を、同列の最小パッドの中心間隔のＰx0＝１２０
（μｍ）に初期化する。図６の２３２で、設計基準の制
限値から求められる最小パッドの中心間隔を式（１）を
用いて求める。
【００１０】 Ｐx1＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（１２） 図６の２３３で、分岐条件は“Ｎｏ”の為、適用するｘ
方向のパッド中心間隔５７はＰx ＝１２０（μｍ）とな
り、図６の２３５へ移行し、図６の２３５でパッド列数
ｎ＝１の為、図６の２４へ移行する。図６の２４は、式
（６）を適用し結果、 ９０００／（（９０／１）×（１２０＋４８））＝１．５９５＜１ …（１３） 全パッド配置不可能の為、図６の２２で適用するパッド
列数に１加算し、パッド列数ｎ＝２に設定する。図６の
２３１，２３２，２３３はパッド列数ｎ＝１の時と同様
の結果となり、図６の２３５に移行し、パッド列数ｎ＝
２の為、図６の２３６に移行する。図６の２３６で、第
ｎ列の隣接する、パッドとパッド関に配線１本を等す条
件を見たす最小パッド中心間隔を、式（２）を用いて求
める。
方向のパッド中心間隔５７はＰx ＝１２０（μｍ）とな
り、図６の２３５へ移行し、図６の２３５でパッド列数
ｎ＝１の為、図６の２４へ移行する。図６の２４は、式
（６）を適用し結果、 ９０００／（（９０／１）×（１２０＋４８））＝１．５９５＜１ …（１３） 全パッド配置不可能の為、図６の２２で適用するパッド
列数に１加算し、パッド列数ｎ＝２に設定する。図６の
２３１，２３２，２３３はパッド列数ｎ＝１の時と同様
の結果となり、図６の２３５に移行し、パッド列数ｎ＝
２の為、図６の２３６に移行する。図６の２３６で、第
ｎ列の隣接する、パッドとパッド関に配線１本を等す条
件を見たす最小パッド中心間隔を、式（２）を用いて求
める。
【００１１】 Ｐx2＝４８×２＋２４×（２−１） ＋１０×（２−２）＋１５×２ ＝１５０（μｍ） …（１４） 図６の２３７で、分岐条件は“Ｙｅｓ”の為、図６の２
３８で、適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７をＰx2
＝１５０（μｍ）に設定し、図６の２４へ移行する。
３８で、適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７をＰx2
＝１５０（μｍ）に設定し、図６の２４へ移行する。
【００１２】図６の２４は、式（６）を適用し結果、 ９０００／（（９０／２）×（１５０＋４８）） ＝１．０１０≧１ Ｕmax ＝９０／２＝４５ …（１５） 全パッド配置可能の為、１列当たりの配置可能な最大パ
ッド数Ｕmax ＝４５となり、図５の３１へ移行し、分岐
条件のパッド列数ｎ＝２の為、図５の３２へ移行し、着
目するパッド列数ｍ＝２に設定する。図５の３３ｂから
図７を参照する。図７の３３１で、分岐条件はｍ＝２の
為、図７の３３３ｂで、第２列と第１列とのパッド中心
間隔８１ｂを、式（８）を用いて求める。。
ッド数Ｕmax ＝４５となり、図５の３１へ移行し、分岐
条件のパッド列数ｎ＝２の為、図５の３２へ移行し、着
目するパッド列数ｍ＝２に設定する。図５の３３ｂから
図７を参照する。図７の３３１で、分岐条件はｍ＝２の
為、図７の３３３ｂで、第２列と第１列とのパッド中心
間隔８１ｂを、式（８）を用いて求める。。
【００１３】 Ｐxy＝４８×２＋２０ ＝１１６（μｍ） …（１６） 図７の３３６ｂで、ｘ方向とＰxyが形成する角度８２ｂ
を式（９）を用いて求める。
を式（９）を用いて求める。
【００１４】 θ＝ｃｏｓ-1・１５０／２・１１６＝４９．７（度） …（１７） 図７の３３８ｂで、第２列と第１列の隣接するパッドの
角の切除角度８３ｂを式（１０）を用いて求める。
角の切除角度８３ｂを式（１０）を用いて求める。
【００１５】 α＝９０＋４９．７＝１３９．７（度） …（１８） 図７の３３９ｂで、適用するｙ方向のパッド中心間隔５
８ｄを式（１１）を用いて求める。。
８ｄを式（１１）を用いて求める。。
【００１６】 Ｐy ＝ｓｉｎ４９．７（度）×１１６ ＝８８．５（μｍ） …（１９） 図５の３４で、着目するパッド列数ｍを１減算し、パッ
ド列数ｍ＝１とし、図５の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図５の４へ移行し、図５の４で、第２列から第１列
までの起点となるパッド中心点より、ｘ方向に、適用す
べきｘ方向のパッド中心間隔５７で順次配置する。この
結果、ｙ方向のパッドの中心間隔の最小値は式（１９）
より、８８．５（μｍ）である事が分かり、その時のパ
ッドの角の切除角度８３ｂは式（１８）より、１３９．
７（度）となる。よって、パッドの角の切除角度の最適
値を求めれば、特開平４−３６４０５１号公報の実施例
より、更に１．５（μｍ）小さく出来る。
ド列数ｍ＝１とし、図５の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図５の４へ移行し、図５の４で、第２列から第１列
までの起点となるパッド中心点より、ｘ方向に、適用す
べきｘ方向のパッド中心間隔５７で順次配置する。この
結果、ｙ方向のパッドの中心間隔の最小値は式（１９）
より、８８．５（μｍ）である事が分かり、その時のパ
ッドの角の切除角度８３ｂは式（１８）より、１３９．
７（度）となる。よって、パッドの角の切除角度の最適
値を求めれば、特開平４−３６４０５１号公報の実施例
より、更に１．５（μｍ）小さく出来る。
【００１７】同様にパッド列数ｎ＝３について図５，図
６，図７を参照し、具体的数値を設定して説明する。図
５の１で、設計基準より制限値、最小パッド半径５１は
ｒｐ＝４８（μｍ）、最小パッド辺間隔５２はｄpp＝２
０（μｍ）、最小パッド辺−配線間隔５３はｄph＝１５
（μｍ）、最小配線間隔５４はｄhh＝１０（μｍ）、最
小配線幅５５はＷh ＝２４（μｍ）、同列の最小パッド
の中心間隔はＰx0＝１２０（μｍ）、製品条件より設定
値、配置する総パッド数はＵ＝９０、ｘ方向のパッド配
置領域幅６２はＷx ＝７０００（μｍ）として入手す
る。図６の２１で、パッド列数を０に初期化する。適用
するパッド列数に１加算し、パッド列数ｎ＝１に設定す
る。図６の２３１で、適用するｘ方向のパッドの中心間
隔５７を同列の最小パッドの中心間隔のＰx0＝１２０
（μｍ）に初期化する。図６の２３２で、設計基準の制
限値から求められる最小パッド中心間隔を、式（１）を
用いて求める。
６，図７を参照し、具体的数値を設定して説明する。図
５の１で、設計基準より制限値、最小パッド半径５１は
ｒｐ＝４８（μｍ）、最小パッド辺間隔５２はｄpp＝２
０（μｍ）、最小パッド辺−配線間隔５３はｄph＝１５
（μｍ）、最小配線間隔５４はｄhh＝１０（μｍ）、最
小配線幅５５はＷh ＝２４（μｍ）、同列の最小パッド
の中心間隔はＰx0＝１２０（μｍ）、製品条件より設定
値、配置する総パッド数はＵ＝９０、ｘ方向のパッド配
置領域幅６２はＷx ＝７０００（μｍ）として入手す
る。図６の２１で、パッド列数を０に初期化する。適用
するパッド列数に１加算し、パッド列数ｎ＝１に設定す
る。図６の２３１で、適用するｘ方向のパッドの中心間
隔５７を同列の最小パッドの中心間隔のＰx0＝１２０
（μｍ）に初期化する。図６の２３２で、設計基準の制
限値から求められる最小パッド中心間隔を、式（１）を
用いて求める。
【００１８】 Ｐx1＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（２０） 図６の２３３で、分岐条件は“Ｎｏ”の為、適用するｘ
方向のパッドの中心間隔５７はＰx ＝１２０（μｍ）と
なり、図６の２３５へ移行し、図６の２３５でパッド列
数ｎ＝１の為、図６の２４へ移行する。図６の２４は、
（式６）を適用し結果、 ７０００／（（９０／１）×（１２０＋４８）） ＝０．４６２＜１ …（２１） 全パッド配置不可能の為、図６の２２で適用するパッド
列数に１加算し、パッド列数ｎ＝２に設定する。図６の
２３１，２３２，２３３はパッド列数ｎ＝１の時と同様
の結果となり、図６の２３５に移行し、パッド列数ｎ＝
２の為、図６の２３６に移行する。図６の２３６で、第
２列の隣接する、パッドとパッド間に配線１本を通す条
件を満たす最小パッドの中心間隔を式（２）を用いて求
める。
方向のパッドの中心間隔５７はＰx ＝１２０（μｍ）と
なり、図６の２３５へ移行し、図６の２３５でパッド列
数ｎ＝１の為、図６の２４へ移行する。図６の２４は、
（式６）を適用し結果、 ７０００／（（９０／１）×（１２０＋４８）） ＝０．４６２＜１ …（２１） 全パッド配置不可能の為、図６の２２で適用するパッド
列数に１加算し、パッド列数ｎ＝２に設定する。図６の
２３１，２３２，２３３はパッド列数ｎ＝１の時と同様
の結果となり、図６の２３５に移行し、パッド列数ｎ＝
２の為、図６の２３６に移行する。図６の２３６で、第
２列の隣接する、パッドとパッド間に配線１本を通す条
件を満たす最小パッドの中心間隔を式（２）を用いて求
める。
【００１９】 Ｐx2＝４８×２＋２４×（２−１） ＋１０×（２−２）＋１５×２ ＝１５０（μｍ） …（２２） 図６の２３７で、分岐条件は“Ｙｅｓ”の為、図６の２
３８で、適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７をＰx2
＝１５０（μｍ）に設定し、図６の２４へ移行する。図
６の２４は、式（６）を適用し結果、 ７０００／（（９０／２）×（１５０＋４８）） ＝０．７８６＜１ …（２３） 全パッド配置不可能の為、図６の２２で適用するパッド
列数に１加算し、パッド列数ｎ＝３に設定する。図６の
２３１，２３２，２３３はパッド列数ｎ＝１の時と同様
の結果となり、図６の２３５に移行し、パッド列数ｎ＝
３の為、図６の２３６に移行する。図６の２３６で、第
３列の隣接する、パッドとパッド間に配線２本を通す条
件を満たす最小の中心間隔を、式（２）を用いて求め
る。
３８で、適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７をＰx2
＝１５０（μｍ）に設定し、図６の２４へ移行する。図
６の２４は、式（６）を適用し結果、 ７０００／（（９０／２）×（１５０＋４８）） ＝０．７８６＜１ …（２３） 全パッド配置不可能の為、図６の２２で適用するパッド
列数に１加算し、パッド列数ｎ＝３に設定する。図６の
２３１，２３２，２３３はパッド列数ｎ＝１の時と同様
の結果となり、図６の２３５に移行し、パッド列数ｎ＝
３の為、図６の２３６に移行する。図６の２３６で、第
３列の隣接する、パッドとパッド間に配線２本を通す条
件を満たす最小の中心間隔を、式（２）を用いて求め
る。
【００２０】 Ｐx2＝４８×２＋２４×（３−１） ＋１０×（３−２）＋１５×２ ＝１８４（μｍ） …（２４） 図６の２３７で、分岐条件は“Ｙｅｓ”の為、図６の２
３８で、適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７をＰx2
＝１８４（μｍ）に設定し、図６の２４へ移行する。図
６の２４は、式（６）を適用し結果、 ７０００／（（９０／３）×（１８４＋４８）） ＝１．００６≧１ Ｕmax ＝９０／３＝３０ …（２５） 全パッド配置可能の為、１列当たり配置可能な最大パッ
ド数Ｕmax ＝３０となり、図５の３１へ移行し、分岐条
件のパッド列数ｎ＝３の為、図５の３２へ移行し、着目
するパッド列数ｍ＝３に設定する。図５の３３ｂから図
７を参照する。図７の３３１で、分岐条件はｍ＝３の
為、図７の３３２ｂで、第３列と第２列とのパッド中心
間隔８１ａを、式（７）を用いて求める。
３８で、適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７をＰx2
＝１８４（μｍ）に設定し、図６の２４へ移行する。図
６の２４は、式（６）を適用し結果、 ７０００／（（９０／３）×（１８４＋４８）） ＝１．００６≧１ Ｕmax ＝９０／３＝３０ …（２５） 全パッド配置可能の為、１列当たり配置可能な最大パッ
ド数Ｕmax ＝３０となり、図５の３１へ移行し、分岐条
件のパッド列数ｎ＝３の為、図５の３２へ移行し、着目
するパッド列数ｍ＝３に設定する。図５の３３ｂから図
７を参照する。図７の３３１で、分岐条件はｍ＝３の
為、図７の３３２ｂで、第３列と第２列とのパッド中心
間隔８１ａを、式（７）を用いて求める。
【００２１】 Ｐxy＝４８×２＋２４×（３−２） ＋１０×（３−３）＋１５×２ ＝１５０（μｍ） …（２６） 図７の３３６ｂで、Ｘ方向とＰxyが形成する角度８２ａ
を式（９）を用いて求める。
を式（９）を用いて求める。
【００２２】 θ＝ｃｏｓ-1・１８４／２・１５０ ＝５２．２（度） …（２７） 図７の３３８ｂで、パッドの角の切除角度８３ａを、式
（１０）を用いて求める。
（１０）を用いて求める。
【００２３】 α＝９０＋５２．２＝１４２．２（度） …（２８） 図７の３３９ｂで、適用するｙ方向のパッドの中心間隔
５８ｃを式（１１）を用いて求める。
５８ｃを式（１１）を用いて求める。
【００２４】 Ｐy ＝ｓｉｎ５２．２（度）×１５０ ＝１１８．５（μｍ） …（２９） 図５の３４で、着目するパッド列数ｍを１減算し、パッ
ド列数ｍ＝２とし、図５の３５で、分岐条件ｍ＝２の
為、図５の３３ｂへ移行し、図７を参照する。図７の３
３１で、分岐条件はｍ＝２の為、図７の３３３ｂで、第
２列と第１列とのパッドの中心間隔８１ｂを、式（８）
を用いて求める。
ド列数ｍ＝２とし、図５の３５で、分岐条件ｍ＝２の
為、図５の３３ｂへ移行し、図７を参照する。図７の３
３１で、分岐条件はｍ＝２の為、図７の３３３ｂで、第
２列と第１列とのパッドの中心間隔８１ｂを、式（８）
を用いて求める。
【００２５】 Ｐxy＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（３０） 図７の３３６ｂで、ｘ方向とＰxyが形成する角度８２ｂ
を、式（９）を用いて求める。
を、式（９）を用いて求める。
【００２６】 θ＝ｃｏｓ-1・１８４／２・１１６＝３７．５（度） …（３１） 図７の３３８ｂで、パッドの角の切除角度８３ｂを、式
（１０）を用いて求める。
（１０）を用いて求める。
【００２７】 α＝９０＋３７．５＝１２７．５（度） …（３２） 図７の３３９ｂで、適用するｙ方向のパッド中心間隔５
８ｄを、式（１１）を用いて求める。
８ｄを、式（１１）を用いて求める。
【００２８】 Ｐy ＝ｓｉｎ３７．５（度）×１１６＝７０．６（μｍ）…（３３） 図５の３４で、着目するパッド列数ｍを１減算し、パッ
ド列数ｍ＝１とし、図５の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図５の４へ移行し、図５の４で、第３列から第１列
までの起点となるパッドの中心点より、ｘ方向に、適用
すべきｘ方向のパッドの中心間隔５７で順次配置する。
ド列数ｍ＝１とし、図５の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図５の４へ移行し、図５の４で、第３列から第１列
までの起点となるパッドの中心点より、ｘ方向に、適用
すべきｘ方向のパッドの中心間隔５７で順次配置する。
【００２９】以上説明したように、パッド列数ｎ＝４以
上の場合にも、同等の処理を繰り返す。従来例の最適値
を求めることにより、パッド配置領域６２を小さく出来
るが、式（２９）より第３列−第２列間のｙ方向の距離
５８ｃは１１８．５（μｍ）、式（３３）より第２列−
第１列間のｙ方向の距離５８ｄは７０．６（μｍ）であ
り、第３列−第２列間と、第２列−第１列間とで、４
７．９（μｍ）も差が出てしまう。
上の場合にも、同等の処理を繰り返す。従来例の最適値
を求めることにより、パッド配置領域６２を小さく出来
るが、式（２９）より第３列−第２列間のｙ方向の距離
５８ｃは１１８．５（μｍ）、式（３３）より第２列−
第１列間のｙ方向の距離５８ｄは７０．６（μｍ）であ
り、第３列−第２列間と、第２列−第１列間とで、４
７．９（μｍ）も差が出てしまう。
【００３０】
【発明が解決しようとする課題】第１の問題点は、従来
技術の規則性で３列の千鳥状にパッドを配置する場合、
ｙ方向のパッド占有領域が第２列−第１列間と比べ、第
３列−第２列間が大きく広がってしまう。その理由は、
図１０に示すように、第１列のパッドと入出力バッファ
を接続する配線を、第３列−第２列のパッド間に通さな
ければならないが、第３列のパッドと隣接する一方の第
２列のパッド間に配線を通した場合、第３列のパッドと
隣接する他方の第２列のパッド間には配線を通す必要が
なく、更に、奇数列、偶数列で、それぞれｘ方向のパッ
ド配置位置が同じ為、第３列のパッドと隣接する他方の
第２列のパッドを、更に接近させることが可能であるか
らである。
技術の規則性で３列の千鳥状にパッドを配置する場合、
ｙ方向のパッド占有領域が第２列−第１列間と比べ、第
３列−第２列間が大きく広がってしまう。その理由は、
図１０に示すように、第１列のパッドと入出力バッファ
を接続する配線を、第３列−第２列のパッド間に通さな
ければならないが、第３列のパッドと隣接する一方の第
２列のパッド間に配線を通した場合、第３列のパッドと
隣接する他方の第２列のパッド間には配線を通す必要が
なく、更に、奇数列、偶数列で、それぞれｘ方向のパッ
ド配置位置が同じ為、第３列のパッドと隣接する他方の
第２列のパッドを、更に接近させることが可能であるか
らである。
【００３１】第２の問題点は、第１列のパッドと隣接す
る第２列のパッドとにおいてあい対するパッドの角の部
分を任意の角度で傾斜状に切除するが、パッドの角の切
除角度により第１列と第２列の距離があまり縮小出来な
い、つまり効果が減少する。その理由は、パッド占有領
域を最小にするには、パッド形状だけでなく、切除する
角度、パッドの配置位置、つまり各パッド相互間の距離
及び角度を定めなければならないからである。
る第２列のパッドとにおいてあい対するパッドの角の部
分を任意の角度で傾斜状に切除するが、パッドの角の切
除角度により第１列と第２列の距離があまり縮小出来な
い、つまり効果が減少する。その理由は、パッド占有領
域を最小にするには、パッド形状だけでなく、切除する
角度、パッドの配置位置、つまり各パッド相互間の距離
及び角度を定めなければならないからである。
【００３２】本発明の目的は、パッド占有領域が小さ
く、パッド占有領域の最小値及びそのパッド配置位置を
求めることができる半導体チップのボンディングパッド
配置構成及びその最適化方法を提供することにある。
く、パッド占有領域の最小値及びそのパッド配置位置を
求めることができる半導体チップのボンディングパッド
配置構成及びその最適化方法を提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体チップの
ボンディングパッド配置構成及びその最適化方法は、半
導体チップのパッド設計基準よりパッド配置に関する制
限値と、半導体チップの製品条件よりデバイスに関する
設定値を格納する第１の工程（図１の１）と、半導体チ
ップ内のパッド配置領域に設定値より指定されるパッド
数を配置可能とするように、パッド列数と、１列当たり
に配置可能な最大パッド数及び隣り合うパッドとのパッ
ドの中心間隔を求める第２の工程（図１の２）と、パッ
ド列数の第１列から第ｎ列（ｎは性の整数）の任意のパ
ッド列に起点となる起点パッド位置を決め、第ｍ列（ｍ
はｎ＜ｍ＜１）のパッドと隣接する第ｍ−１列のパッド
とにおいてあい対するパッドの角の切除角度を求める第
３の工程（図１の３ａ）と、パッド配置領域に第ｎ列か
ら第１列までの各列に１列当たり配置可能な最大パッド
数をパッド中心間隔で順次パッドを配置する第４の工程
（図１の４）とを有することを特徴とする。
ボンディングパッド配置構成及びその最適化方法は、半
導体チップのパッド設計基準よりパッド配置に関する制
限値と、半導体チップの製品条件よりデバイスに関する
設定値を格納する第１の工程（図１の１）と、半導体チ
ップ内のパッド配置領域に設定値より指定されるパッド
数を配置可能とするように、パッド列数と、１列当たり
に配置可能な最大パッド数及び隣り合うパッドとのパッ
ドの中心間隔を求める第２の工程（図１の２）と、パッ
ド列数の第１列から第ｎ列（ｎは性の整数）の任意のパ
ッド列に起点となる起点パッド位置を決め、第ｍ列（ｍ
はｎ＜ｍ＜１）のパッドと隣接する第ｍ−１列のパッド
とにおいてあい対するパッドの角の切除角度を求める第
３の工程（図１の３ａ）と、パッド配置領域に第ｎ列か
ら第１列までの各列に１列当たり配置可能な最大パッド
数をパッド中心間隔で順次パッドを配置する第４の工程
（図１の４）とを有することを特徴とする。
【００３４】本発明によれば、第１の工程で、半導体チ
ップのパッド設計基準よりパッド配置に関する制限値
と、半導体チップの製品条件よりデバイスに関する設定
値を格納し、第２の工程で、半導体チップ内のパッド配
置領域に設定値より指定されるパッド数を配置可能とす
るように、パッドの列数と、１列当たりに配置可能な最
大パッド数及び隣り合うパッドとのパッドの中心間隔を
求め、第３の工程において、第１の手順で、第ｍ列の起
点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の一方
のパッド中心点との距離を求め、第２の手順で、第ｍ列
の起点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の
他方のパッド中心点との距離を求め、第３の手順で、第
ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点を結ぶ
線分に、第ｍ列の起点となるパッドの中心点から垂線を
引き交点を求め、一方のパッド中心点または他方のパッ
ド中心点から交点までの距離を求め、第４の手順で、第
ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点を結ぶ
線分に、第１の手順で求めた距離の線分とが形成する角
度を求め、第５の手順で、第ｍ−１列の一方のパッドと
他方のパッドの中心点を結ぶ線分に、第２の手順で求め
た距離の線分とが形成する角度を求め、第６の手順で、
第４の手順と第５の手順で求めた角度から、第ｍ列のパ
ッドと第ｍ−１列のパッドとのあい対するパッドの角の
切除角度を求め、第４の工程で、パッド配置領域に第ｎ
から第１列までの各列に１列当たり配置可能な最大パッ
ド数を、第２の工程で求めたパッド中心間隔で順次パッ
ドを配置する。
ップのパッド設計基準よりパッド配置に関する制限値
と、半導体チップの製品条件よりデバイスに関する設定
値を格納し、第２の工程で、半導体チップ内のパッド配
置領域に設定値より指定されるパッド数を配置可能とす
るように、パッドの列数と、１列当たりに配置可能な最
大パッド数及び隣り合うパッドとのパッドの中心間隔を
求め、第３の工程において、第１の手順で、第ｍ列の起
点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の一方
のパッド中心点との距離を求め、第２の手順で、第ｍ列
の起点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の
他方のパッド中心点との距離を求め、第３の手順で、第
ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点を結ぶ
線分に、第ｍ列の起点となるパッドの中心点から垂線を
引き交点を求め、一方のパッド中心点または他方のパッ
ド中心点から交点までの距離を求め、第４の手順で、第
ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点を結ぶ
線分に、第１の手順で求めた距離の線分とが形成する角
度を求め、第５の手順で、第ｍ−１列の一方のパッドと
他方のパッドの中心点を結ぶ線分に、第２の手順で求め
た距離の線分とが形成する角度を求め、第６の手順で、
第４の手順と第５の手順で求めた角度から、第ｍ列のパ
ッドと第ｍ−１列のパッドとのあい対するパッドの角の
切除角度を求め、第４の工程で、パッド配置領域に第ｎ
から第１列までの各列に１列当たり配置可能な最大パッ
ド数を、第２の工程で求めたパッド中心間隔で順次パッ
ドを配置する。
【００３５】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００３６】図１は本発明の実施の形態の半導体チップ
のボンディングパッド配置構成の最適化方法を説明する
フローチャート、図２は図１の３３ａのフローチャー
ト、図３は図１のフローチャートを適用したパッド２列
の千鳥状に配置されたパッドの平面図、図４は図１のフ
ローチャートを適用したパッド３列の千鳥状に配置され
たパッドの平面図である。
のボンディングパッド配置構成の最適化方法を説明する
フローチャート、図２は図１の３３ａのフローチャー
ト、図３は図１のフローチャートを適用したパッド２列
の千鳥状に配置されたパッドの平面図、図４は図１のフ
ローチャートを適用したパッド３列の千鳥状に配置され
たパッドの平面図である。
【００３７】図１のフローチャートに示す第１の工程
（図１の１）、第２の工程（図１の２）は、従来技術と
同様である。第３の工程（図１の３ａ）は、第２の工程
で求めたパッド列数ｎの第ｎ列から第１列までの起点と
なるパッド配置位置と、第ｍ列のパッドと第ｍ−１列の
パッドとのあい対するパッドの角の切除角度を求める。
第４の工程（図１の４）は、第２の工程で求めたパッド
の中心間隔で、第ｎ列から第１列までの起点となるパッ
ド配置位置より順次パッド配置する。図２は、図１の３
３ａの第３の工程の具体的内容であり、第ｍ列の起点と
なるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の一方のパ
ッドの中心点との距離を求める第１の手順と、第ｍ列の
起点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の他
方のパッドの中心点との距離を求める第２の手順と、第
ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点を結ぶ
線分に、第ｍ列の起点となるパッドの中心点から垂線を
引き交点を求め、一方のパッドの中心点または他方のパ
ッドの中心点から交点までの距離を求める第３の手順
と、第ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点
を結ぶ線分に、第１の手順で求めた距離の線分とが形成
する角度を求める第４の手順と、第ｍ−１列の一方のパ
ッドと他方のパッドの中心点を結ぶ線分に、第２の手順
で求めた距離の線分とが形成する角度を求める第５の手
順と、第４の手順と第５の手順で求めた角度から、第ｍ
列のパッドと第ｍ−１列のパッドとのあい対するパッド
の角の切除角度を求める第６の手順が記載されている。
パッドの角の切除角度で示される、パッドの角の切除線
分は、第１の手順及び第２の手順で求めた、第ｍ列と第
ｍ−１列のパッドの中心点の距離の線分と、パッド内接
円との交点を節点とする、パッド内接円の接線である。
（図１の１）、第２の工程（図１の２）は、従来技術と
同様である。第３の工程（図１の３ａ）は、第２の工程
で求めたパッド列数ｎの第ｎ列から第１列までの起点と
なるパッド配置位置と、第ｍ列のパッドと第ｍ−１列の
パッドとのあい対するパッドの角の切除角度を求める。
第４の工程（図１の４）は、第２の工程で求めたパッド
の中心間隔で、第ｎ列から第１列までの起点となるパッ
ド配置位置より順次パッド配置する。図２は、図１の３
３ａの第３の工程の具体的内容であり、第ｍ列の起点と
なるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の一方のパ
ッドの中心点との距離を求める第１の手順と、第ｍ列の
起点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１列の他
方のパッドの中心点との距離を求める第２の手順と、第
ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点を結ぶ
線分に、第ｍ列の起点となるパッドの中心点から垂線を
引き交点を求め、一方のパッドの中心点または他方のパ
ッドの中心点から交点までの距離を求める第３の手順
と、第ｍ−１列の一方のパッドと他方のパッドの中心点
を結ぶ線分に、第１の手順で求めた距離の線分とが形成
する角度を求める第４の手順と、第ｍ−１列の一方のパ
ッドと他方のパッドの中心点を結ぶ線分に、第２の手順
で求めた距離の線分とが形成する角度を求める第５の手
順と、第４の手順と第５の手順で求めた角度から、第ｍ
列のパッドと第ｍ−１列のパッドとのあい対するパッド
の角の切除角度を求める第６の手順が記載されている。
パッドの角の切除角度で示される、パッドの角の切除線
分は、第１の手順及び第２の手順で求めた、第ｍ列と第
ｍ−１列のパッドの中心点の距離の線分と、パッド内接
円との交点を節点とする、パッド内接円の接線である。
【００３８】式（１）から式（６）、及び、後述する式
（３４）から式（４２）で用いている変数名は、図１，
図２，図３，図４，図６を参照して説明する。ｒｐは最
小パ半径５１、ｄppは最小パッド辺間隔５２、ｄphは最
小パッド辺−配線間隔５３、ｄhhは最小配線間隔５４、
Ｗh は最小配線幅５５、Ｐx0は同列の最小パッドの中心
間隔、Ｐx は適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７、
Ｐy は適用するｙ方向のパッドの中心間隔５８ａ、５８
ｂ、ｎは適用するパッド列数、Ｕは配置する総パッド
数、ｍは着目するパッド列数、Ｗx はｘ方向のパッド配
置領域幅６２、Ｐxy2 は配線を挟む第ｍ列と第ｍ−１列
とのパッドの中心間隔７１ａ、７１ｂ、Ｐxy1 は配線を
挟まない第ｍ列と第ｍ−１列とのパッドの中心間隔７２
ａ、７２ｂΔＰx は配線を挟まない第ｍ列と第ｍ−１列
のｘ方向のパッドの中心間隔７３ａ、７３ｂ、θ１はｘ
方向とＰxy1 が形成する角度７４ａ、７４ｂ、θ２はｘ
方向とＰxy2 が形成する角度７５ａ、７５ｂ、α１はＰ
xy1 と交差するパッドの角の切除角度７６ａ、７６ｂ、
α２はＰxy2 と交差するパッドの角の切除角度７７ａ、
７７ｂを示している。
（３４）から式（４２）で用いている変数名は、図１，
図２，図３，図４，図６を参照して説明する。ｒｐは最
小パ半径５１、ｄppは最小パッド辺間隔５２、ｄphは最
小パッド辺−配線間隔５３、ｄhhは最小配線間隔５４、
Ｗh は最小配線幅５５、Ｐx0は同列の最小パッドの中心
間隔、Ｐx は適用するｘ方向のパッドの中心間隔５７、
Ｐy は適用するｙ方向のパッドの中心間隔５８ａ、５８
ｂ、ｎは適用するパッド列数、Ｕは配置する総パッド
数、ｍは着目するパッド列数、Ｗx はｘ方向のパッド配
置領域幅６２、Ｐxy2 は配線を挟む第ｍ列と第ｍ−１列
とのパッドの中心間隔７１ａ、７１ｂ、Ｐxy1 は配線を
挟まない第ｍ列と第ｍ−１列とのパッドの中心間隔７２
ａ、７２ｂΔＰx は配線を挟まない第ｍ列と第ｍ−１列
のｘ方向のパッドの中心間隔７３ａ、７３ｂ、θ１はｘ
方向とＰxy1 が形成する角度７４ａ、７４ｂ、θ２はｘ
方向とＰxy2 が形成する角度７５ａ、７５ｂ、α１はＰ
xy1 と交差するパッドの角の切除角度７６ａ、７６ｂ、
α２はＰxy2 と交差するパッドの角の切除角度７７ａ、
７７ｂを示している。
【００３９】式（３４）から式（４２）は、図２のフロ
ー各機能を表現した物であり、式（３４）は図２の３３
２ａ、式（３５）は図２の３３３ａ、式（３６）は図２
の３３４ａ、式（３７）は図２の３３５ａ、式（３８）
は図２の３３６ａ、式（３９）は図２の３３７ａ、式
（４０）及び式（４１）は図２の３３８ａ、式（４２）
は図２の３３９ａに対応している。
ー各機能を表現した物であり、式（３４）は図２の３３
２ａ、式（３５）は図２の３３３ａ、式（３６）は図２
の３３４ａ、式（３７）は図２の３３５ａ、式（３８）
は図２の３３６ａ、式（３９）は図２の３３７ａ、式
（４０）及び式（４１）は図２の３３８ａ、式（４２）
は図２の３３９ａに対応している。
【００４０】 Ｐxy2 （ｎ≧３）＝ｒｐ×２＋Ｗh ×（ｎ−２）＋ ｄhh×（ｎ−３）＋ｄph×２ …（３４） Ｐxy2 （ｎ＝２）＝ｒｐ×２＋ｄpp …（３５） Ｐxy1 （ｎ≧２）＝ｒｐ×２＋ｄpp …（３６）
【００４１】
【００４２】 α2 ＝９０（度）＋θ2 …（４０） α1 ＝９０（度）＋θ1 …（４１） Ｐy ＝ｓｉｎθ1 ×Ｐxy1 ＝ｓｉｎθ2 ×Ｐxy2 …（４２） 本発明の第１の実施の形態について、パッド列数ｎ＝２
について図１，図２を参照し、具体的数値を設定して説
明する。図１の１で、設計基準より制限値及び製品条件
より設定値を格納し、図１の２で、適用するｘ方向のパ
ッドの中心間隔５７、適用するパッド列数の求めかた
は、従来技術のパッド列数ｎ＝２の説明と同じである。
図１の３１で、分岐条件のパッド列数ｎ＝２の為、図１
の３２へ移行し、着目するパッド列数ｍ＝２に設定す
る。図１の３３ａから図２を参照する。図２の３３１
で、分岐条件はｍ＝２の為、図２の３３３ａで、配線を
挟まない第２列と第１列とのパッド中心間隔７１ｂを、
式（３５）を用いて求める。
について図１，図２を参照し、具体的数値を設定して説
明する。図１の１で、設計基準より制限値及び製品条件
より設定値を格納し、図１の２で、適用するｘ方向のパ
ッドの中心間隔５７、適用するパッド列数の求めかた
は、従来技術のパッド列数ｎ＝２の説明と同じである。
図１の３１で、分岐条件のパッド列数ｎ＝２の為、図１
の３２へ移行し、着目するパッド列数ｍ＝２に設定す
る。図１の３３ａから図２を参照する。図２の３３１
で、分岐条件はｍ＝２の為、図２の３３３ａで、配線を
挟まない第２列と第１列とのパッド中心間隔７１ｂを、
式（３５）を用いて求める。
【００４３】 Ｐxy2 ＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（４３） 図２の３３４ａで、配線を挟まない第２列と第１列との
パッド中心間隔７２ｂを、式（３６）を用いて求める。
パッド中心間隔７２ｂを、式（３６）を用いて求める。
【００４４】 Ｐxy1 ＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（４４） 図２の３３５ａで、図２の３３４ａで求めた、Ｐxy1 の
配線を挟まない第２列と第１列のｘ方向のパッド中心間
隔７３ｂを、式（３７）を用いて求める。
配線を挟まない第２列と第１列のｘ方向のパッド中心間
隔７３ｂを、式（３７）を用いて求める。
【００４５】
【００４６】図２の３３６ａで、ｘ方向とＰxy2 が形成
する角度７４ｂ、図２の３３７ａで、ｘ方向とＰxy1 が
形成する角度７５ｂを、それぞれ式（３８）、式（３
９）を用いて求める。
する角度７４ｂ、図２の３３７ａで、ｘ方向とＰxy1 が
形成する角度７５ｂを、それぞれ式（３８）、式（３
９）を用いて求める。
【００４７】 θ２＝ｃｏｓ-1（１５０−７５．０）／１１６ ＝４９．７ …（４６） θ１＝ｃｏｓ-1７５．０／１１６＝４９．７ …（４７） 図２の３３８ａで、パッド中心間隔Ｐxy2 と交差するパ
ッドの角の切除角度７６ｂ、パッド中心間隔Ｐxy2 と交
差するパッドの角の切除角度７７ｂを、それぞれ、式
（４０）、式（４１）を用いて求める。
ッドの角の切除角度７６ｂ、パッド中心間隔Ｐxy2 と交
差するパッドの角の切除角度７７ｂを、それぞれ、式
（４０）、式（４１）を用いて求める。
【００４８】 α２＝９０＋４９．７＝１３９．７（度） …（４８） α１＝９０＋４９．７＝１３９．７（度） …（４９） 図２の３３９ａで、適用するｙ方向パッド中心間隔５８
ｂを、式（４２）を用いて求める。
ｂを、式（４２）を用いて求める。
【００４９】 Ｐy ＝ｓｉｎ４９．７（度）×１１６＝８８．５（μｍ）…（５０） 図１の３４で、着目するパッド列数ｍを１減算し、パッ
ド列数ｍ＝１とし、図１の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図１の４へ移行し、図１の４で、第２列から第１列
までの起点となるパッドの中心点より、ｘ方向に、適用
すべきｘ方向のパッド中心間隔５７で順次配置する。
ド列数ｍ＝１とし、図１の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図１の４へ移行し、図１の４で、第２列から第１列
までの起点となるパッドの中心点より、ｘ方向に、適用
すべきｘ方向のパッド中心間隔５７で順次配置する。
【００５０】本発明の第２の実施の形態は、パッド列数
ｎ＝３について図１，図２を参照し、具体的数値を設定
して説明する。図１の１で、設計基準より制限値及び製
品条件より設定値を入手、図１の２で、適用するｘ方向
のパッドの中心間隔５７、適用するパッド列数の求めか
たは、従来技術のパッド列数ｎ＝３の説明と同じであ
る。図１の３１で、分岐条件のパッド列数ｎ＝３の為、
図１の３２へ移行し、着目するパッド列数ｍ＝３に設定
する。図１の３３ａから図２を参照する。図２の３３１
で、分岐条件ｍ＝３の為、図２の３３２ａで、図４に示
す配線を挟む第３列と第２列とのパッドの中心間隔７１
ａを、式（３４）を用いて求める。
ｎ＝３について図１，図２を参照し、具体的数値を設定
して説明する。図１の１で、設計基準より制限値及び製
品条件より設定値を入手、図１の２で、適用するｘ方向
のパッドの中心間隔５７、適用するパッド列数の求めか
たは、従来技術のパッド列数ｎ＝３の説明と同じであ
る。図１の３１で、分岐条件のパッド列数ｎ＝３の為、
図１の３２へ移行し、着目するパッド列数ｍ＝３に設定
する。図１の３３ａから図２を参照する。図２の３３１
で、分岐条件ｍ＝３の為、図２の３３２ａで、図４に示
す配線を挟む第３列と第２列とのパッドの中心間隔７１
ａを、式（３４）を用いて求める。
【００５１】 Ｐxy2 ＝４８×２＋２４×（３−２） ＋１０×（３−３）＋１５×２ ＝１５０（μｍ） …（５１） 図２の３３４ａで、配線を挟まない第３列と第２列との
パッド中心間隔７２ａを、式（３６）を用いて求める。
パッド中心間隔７２ａを、式（３６）を用いて求める。
【００５２】 Ｐxy1 ＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（５２） 図２の３３５ａで、図２の３３４ａで求めた、Ｐxy1 の
配線を挟まない第３列と第２列のｘ方向のパッドの中心
間隔７３ａを、式（３７）を用いて求める。
配線を挟まない第３列と第２列のｘ方向のパッドの中心
間隔７３ａを、式（３７）を用いて求める。
【００５３】
【００５４】図２の３３６ａで、ｘ方向とＰxy2 が形成
する角度７４ａ、図２の３３７ａで、ｘ方向とＰxy1 が
形成する角度７５ａを、それぞれ、式（３８）、式（３
９）を用いて求める。
する角度７４ａ、図２の３３７ａで、ｘ方向とＰxy1 が
形成する角度７５ａを、それぞれ、式（３８）、式（３
９）を用いて求める。
【００５５】 θ２＝ｃｏｓ-1（１８４−６７．４）／１５０ ＝３９．０（度） …（５４） θ１＝ｃｏｓ-1６７．４／１１６＝５４．５（度） …（５５） 図２の３３８ａで、パッドの中心間隔Ｐxy2 と交差する
パッドの角の切除角度７６ａ、パッド中心間隔Ｐxy1 と
交差するパッドの角の切除角度７７ａを、それぞれ、式
（４０）、式（４１）を用いて求める。
パッドの角の切除角度７６ａ、パッド中心間隔Ｐxy1 と
交差するパッドの角の切除角度７７ａを、それぞれ、式
（４０）、式（４１）を用いて求める。
【００５６】 α２＝９０＋３９．０＝１２９．０（度） …（５６） α１＝９０＋５４．５＝１４４．５（度） …（５７） 図２の３３９ａで、適用するｙ方向のパッドの中心間隔
５８ａを、式（４２）を用いて求める。
５８ａを、式（４２）を用いて求める。
【００５７】 Ｐy ＝ｓｉｎ５４．５（度）×１１６ ＝ｓｉｎ３９．０（度）×１５０ ＝９４．４（μｍ） …（５８） 図１の３４で、着目するパッド列数ｍを１減算し、パッ
ド列数ｍ＝２とし、図１の３５で、分岐条件ｍ＝２の
為、図１の３３ａへ移行し、図２を参照する。図２の３
３１で、分岐条件はｍ＝２の為、図２の３３３ａで、配
線を挟まない第２列と第１列とのパッドの中心間隔７１
ｂを、式（３５）を用いて求める。
ド列数ｍ＝２とし、図１の３５で、分岐条件ｍ＝２の
為、図１の３３ａへ移行し、図２を参照する。図２の３
３１で、分岐条件はｍ＝２の為、図２の３３３ａで、配
線を挟まない第２列と第１列とのパッドの中心間隔７１
ｂを、式（３５）を用いて求める。
【００５８】 Ｐxy2 ＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（５９） 図２の３３４ａで、配線を挟まない第２列と第１列との
パッドの中心間隔７２ｂを、式（３６）を用いて求め
る。
パッドの中心間隔７２ｂを、式（３６）を用いて求め
る。
【００５９】 Ｐxy1 ＝４８×２＋２０＝１１６（μｍ） …（６０） 図２の３３５ａで、図２の３３４ａで求めた、Ｐxy1 の
配線を挟まない第２列と第１列のｘ方向のパッドの中心
間隔７３ｂを、式（３７）を用いて求める。
配線を挟まない第２列と第１列のｘ方向のパッドの中心
間隔７３ｂを、式（３７）を用いて求める。
【００６０】
【００６１】図２の３３６ａで、ｘ方向とＰxy2 が形成
する角度７４ｂ、図２の３３７ａで、ｘ方向とＰxy1 が
形成する角度７５ｂを、それぞれ、式（３８）、式（３
９）を用いて求める。
する角度７４ｂ、図２の３３７ａで、ｘ方向とＰxy1 が
形成する角度７５ｂを、それぞれ、式（３８）、式（３
９）を用いて求める。
【００６２】 θ２＝ｃｏｓ-1（１８４−９２．０）／１１６ ＝３７．５（度） …（６２） θ１＝ｃｏｓ-1９２．０／１１６＝３７．５（度） …（６３） 図２の３３８ａで、パッドの中心間隔Ｐxy2 と交差する
パッドの角の切除角度７６ｂ、パッド中心間隔Ｐxy1 と
交差するパッドの角の切除角度７７ｂを、それぞれ、式
（４０）、式（４１）を用いて求める。
パッドの角の切除角度７６ｂ、パッド中心間隔Ｐxy1 と
交差するパッドの角の切除角度７７ｂを、それぞれ、式
（４０）、式（４１）を用いて求める。
【００６３】 α2 ＝９０＋３７．５＝１２７．５（度） …（６４） α1 ＝９０＋３７．５＝１２７．５（度） …（６５） 図２の３３９ａで、適用するｙ方向のパッドの中心間隔
５８ｂを、式（４２）を用いて求める。
５８ｂを、式（４２）を用いて求める。
【００６４】 Ｐy ＝ｓｉｎ３７．５（度）×１１６＝７０．６（μｍ）…（６６） 図１の３４で、着目するパッド列数ｍを１源算し、パッ
ド列数ｍ＝１とし、図１の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図１の４へ移行し、図１の４で、第３列から第１列
までの起点となるパッド中心点より、ｘ方向に、適用す
べきｘ方向のパッド中心間隔５７で順次配置する。式
（５８）より第３列−第２列間のｙ方向の距離５８ａは
９４．４（μｍ）、式（６６）より第２列−第１列間の
ｙ方向の距離５８ｂは７０．６（μｍ）であり、従来例
で４７．９（μｍ）の差が２３．８（μｍ）まで小さく
なり、また、式（３３）と式（６６）の結果は同じであ
るが、第３列−第２列間以上の列間において効果があ
る。以上説明したように、パッド列数ｎ＝４以上の場合
にも、同等の処理を繰り返すことで、パッド位置領域を
最小とする、パッド配置位置を求めることが出来る。
ド列数ｍ＝１とし、図１の３５で、分岐条件ｍ＝１の
為、図１の４へ移行し、図１の４で、第３列から第１列
までの起点となるパッド中心点より、ｘ方向に、適用す
べきｘ方向のパッド中心間隔５７で順次配置する。式
（５８）より第３列−第２列間のｙ方向の距離５８ａは
９４．４（μｍ）、式（６６）より第２列−第１列間の
ｙ方向の距離５８ｂは７０．６（μｍ）であり、従来例
で４７．９（μｍ）の差が２３．８（μｍ）まで小さく
なり、また、式（３３）と式（６６）の結果は同じであ
るが、第３列−第２列間以上の列間において効果があ
る。以上説明したように、パッド列数ｎ＝４以上の場合
にも、同等の処理を繰り返すことで、パッド位置領域を
最小とする、パッド配置位置を求めることが出来る。
【００６５】
【発明の効果】第１の効果は、パッド占有領域が従来例
より小さく出来、特に第３列−第２列間以上の列間にお
いて顕著である。その理由は、奇数列、偶数列、それぞ
れｘ方向のパッド配置位置を同一とせずに、パッドと入
出力バッファを接続する配線を通さない第ｎ列のパッド
と隣接する第ｎ−１列のパッド間を、設計基準で許容さ
れるパッドの中心間隔まで接近させる為である。
より小さく出来、特に第３列−第２列間以上の列間にお
いて顕著である。その理由は、奇数列、偶数列、それぞ
れｘ方向のパッド配置位置を同一とせずに、パッドと入
出力バッファを接続する配線を通さない第ｎ列のパッド
と隣接する第ｎ−１列のパッド間を、設計基準で許容さ
れるパッドの中心間隔まで接近させる為である。
【００６６】第２の効果は、パッド占有領域の最小値及
びそのパッド配置位置を求めることが出来る。その理由
は、パッド列数、パッドの角の切除角度、隣接するパッ
ド相互の中心間隔、をパッド列毎に設定し、第ｎ列と隣
接する第ｎ−１列のパッド中心点を結ぶ線分のｘ方向に
対する角度を、パッド列間毎に設定する為である。
びそのパッド配置位置を求めることが出来る。その理由
は、パッド列数、パッドの角の切除角度、隣接するパッ
ド相互の中心間隔、をパッド列毎に設定し、第ｎ列と隣
接する第ｎ−１列のパッド中心点を結ぶ線分のｘ方向に
対する角度を、パッド列間毎に設定する為である。
【図１】本発明の実施の形態の半導体チップのボンディ
ングパッド配置構成の最適化方法を説明するフローチャ
ートである。
ングパッド配置構成の最適化方法を説明するフローチャ
ートである。
【図２】図１の３３ａのフローチャートである。
【図３】図１のフローチャートを適用したパッド２列の
千鳥状に配置されたパッドの平面図である。
千鳥状に配置されたパッドの平面図である。
【図４】図１のフローチャートを適用したパッド３列の
千鳥状に配置されたパッドの平面図である。
千鳥状に配置されたパッドの平面図である。
【図５】従来の半導体チップのボンディングパッド配置
構成の最適化方法の一例を説明するフローチャートであ
る。
構成の最適化方法の一例を説明するフローチャートであ
る。
【図６】図１及び図５の２のフローチャートである。
【図７】図５の３３ｂのフローチャートである。
【図８】従来のパッド２列の千鳥状に配置されたパッド
の平面図である。
の平面図である。
【図９】従来の入出力バッファの列幅に納まらなくなっ
たパッド２列の千鳥状配置のパッドの平面図である。
たパッド２列の千鳥状配置のパッドの平面図である。
【図１０】従来のパッド３列の千鳥状に配置されたパッ
ドの平面図である。
ドの平面図である。
１ 第１の工程 ２ 第２の工程 ３ａ 第３の工程 ３ｂ 従来の第３の工程 ４ 第４の工程 ３３２ａ，３３３ａ 第１の手順 ３３４ａ 第２の手順 ３３５ａ 第３の手順 ３３６ａ 第４の手順 ３３７ａ 第５の手順 ３３８ａ 第６の手順 ３３２ｂ，３３３ｂ 第２１の手順 ３３６ｂ 第２２の手順 ３３８ｂ 第２３の手順 ５１ 最小パッド半径ｒｐ ５２ 最小パッド辺間隔ｄｐｈ ５３ 最小パッド辺−配線間隔 ５４ 最小配線間隔 ５５ 最小配線幅 ５７ 適用するｘ方向のパッドの中心間隔 ５８ａ，５８ｂ 第３列−第２列間，第２列−第１列
間の適用するｙ方向のパッドの中心間隔 ５８ｃ，５８ｄ 従来の第３列−第２列間，第２列−
第１列間の適用するｙ方向のパッドの中心間隔 ６１ 入出力バッファ ６２ ｘ方向のパッド配置領域幅 ６３ パッド ６４ 入出力バッファとパッドを接続する配線 ７１ａ，７１ｂ 配線を挟む第３列と第２列，第２列
の第１列とのパッドの中心間隔 ７２ａ，７２ｂ 配線を挟まない第３列と第２列，第
２列と第１列とのパッドの中心間隔 ７３ａ，７３ｂ 配線を挟まない第３列と第２列，第
２列と第１列のｘ方向のパッドの中心間隔 ７４ａ，７４ｂ ｘ方向と配線を挟む第３列と第２
列，第２列と第１列とのパッド中心間隔７１ａの線分と
が形成する角度 ７５ａ，７５ｂ ｘ方向と配線を挟まない第３列と第
２列とのパッドの中心間隔７２ａ，７２ｂの線分とが形
成する角度 ７６ａ 配線を挟む第３列と第２列とのパッドの中心
間隔７１ａの線分と交差するパッドの角の切除角度 ７６ｂ 配線を挟まない第２列と第１列とのパッド中
心間隔ｂの線分と交差するパッドの角の切除角度 ７７ａ 配線を挟まない第３列と第２列とのパッドの
中心間隔７２ｂの線分と交差するパッドの角の切除角度 ８１ａ 第３列と第２列，第２列と第１列とのパッド
の中心間隔の線分とが形成する角度 ８３ａ，８３ｂ 第３列と第２列，第２列と第１列の
隣接するパッドの角の切除角度
間の適用するｙ方向のパッドの中心間隔 ５８ｃ，５８ｄ 従来の第３列−第２列間，第２列−
第１列間の適用するｙ方向のパッドの中心間隔 ６１ 入出力バッファ ６２ ｘ方向のパッド配置領域幅 ６３ パッド ６４ 入出力バッファとパッドを接続する配線 ７１ａ，７１ｂ 配線を挟む第３列と第２列，第２列
の第１列とのパッドの中心間隔 ７２ａ，７２ｂ 配線を挟まない第３列と第２列，第
２列と第１列とのパッドの中心間隔 ７３ａ，７３ｂ 配線を挟まない第３列と第２列，第
２列と第１列のｘ方向のパッドの中心間隔 ７４ａ，７４ｂ ｘ方向と配線を挟む第３列と第２
列，第２列と第１列とのパッド中心間隔７１ａの線分と
が形成する角度 ７５ａ，７５ｂ ｘ方向と配線を挟まない第３列と第
２列とのパッドの中心間隔７２ａ，７２ｂの線分とが形
成する角度 ７６ａ 配線を挟む第３列と第２列とのパッドの中心
間隔７１ａの線分と交差するパッドの角の切除角度 ７６ｂ 配線を挟まない第２列と第１列とのパッド中
心間隔ｂの線分と交差するパッドの角の切除角度 ７７ａ 配線を挟まない第３列と第２列とのパッドの
中心間隔７２ｂの線分と交差するパッドの角の切除角度 ８１ａ 第３列と第２列，第２列と第１列とのパッド
の中心間隔の線分とが形成する角度 ８３ａ，８３ｂ 第３列と第２列，第２列と第１列の
隣接するパッドの角の切除角度
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−340017（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−172109（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−252434（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−22460（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−308137（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/60 301
Claims (6)
- 【請求項１】 半導体チップのボンディングパッド（以
下、パッドと記す）設計基準よりパッド配置に関する制
限値と、前記半導体チップの製品条件よりデバイスに関
する設定値を格納する第１の工程と、前記半導体チップ
内のパッド配置領域に前記設定値より指定されるパッド
数を配置可能とするように、パッド列数と、１列当たり
に配置可能な最大パッド数及び隣り合うパッドとのパッ
ドの中心間隔を求める第２の工程と、前パッド列数の第
１列から第ｎ列（ｎは正の整数）の任意のパッド列に起
点となる起点パッド位置を決め、第ｍ列（ｍはｎ＜ｍ＜
１）の起点となるパッドの中心点から隣接する第ｍ−１
列のパッドとにおいてあい対する前記パッドの角の切除
角度を求める第３の工程と、前記パッド配置領域に前記
第ｎ列から前記第１列までの各列に前記１列当り配置可
能な最大パッド数を前記パッドの中心間隔で順次パッド
を配置する第４の工程とを有することを特徴とする半導
体チップのボンディングパッド配置の最適化方法。 - 【請求項２】 前記第３の工程は、第ｍ列の起点となる
パッドの中心点から隣接する前記第ｍ−１列の一方のパ
ッドの中心点との距離を求める第１の手順と、前記第ｍ
列の起点となるパッドの中心点から隣接する前記第ｍ−
１列の他方のパッドの中心点との距離を求める第２の手
段と、前記ｍ−１列の前記一方のパッドの中心点と前記
他方のパッドの中心点を結ぶ線分に、前記第ｍ列の起点
となるパッドの中心点から垂線を引き交点を求め、前記
一方のパッドの中心点または前記他方のパッドの中心点
から前記交点までの距離を求める第３の手順と、前記第
ｍ−１列の前記一方のパッドの中心点と前記他方のパッ
ドの中心点を結ぶ線分に、前記第１の手順で求めた距離
の線分が形成する角度を求める第４の手順と、前記第ｍ
−１列の前記一方のパッドの中心点と前記他方のパッド
の中心点を結ぶ線分に、前記第２の手順で求めた距離の
線分とが形成する角度を求める第５の手順と、前記第４
の手順と前記第５の手順で求めた角度から前記第ｍ列の
パッドと前記第ｍ−１列のパッドとのあい対するパッド
の角の切除角度を求める第６の手順とを有することを特
徴とする請求項１記載の半導体チップのボンディングパ
ッド配置の最適化方法。 - 【請求項３】 前記第ｍ列の起点となるパッドの中心点
から隣接する第ｍ−１列の一方のパッドの中心点との距
離と、前記第ｍ列の起点となるパッドの中心点から隣接
する前記ｍ−列の他方のパッドの距離が請求項２により
求められた懲以内であることを特徴とする半導体チップ
のボンディングパッドの配置構造。 - 【請求項４】 前記ｍ列の起点となるパッドと隣接する
第ｍ−１列のパッドとの間に通すパッド引き出し配線
（以下、配線と記す）は、請求項１により求められたパ
ッドの角の切除角度と平行に配線されていることを特徴
とする半導体チップのボンディングパッド配置構造。 - 【請求項５】 前記パッド列数の第１列から第ｎ列の全
パッドは、前記請求項１により求められパッドの角の切
除角度で切除されたパッド形状であることを特徴とする
半導体チップのボンディングパッド配置構造。 - 【請求項６】 前記請求項１により求められたパッドの
形状がこのパッドの角の切除角度により各パッドの内接
円の接線で切除されたパッド形状であることを特徴とす
る半導体チップのボンディングパッドの配置構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228929A JP2781787B2 (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 半導体チップのボンディングパッド配置構成及びその最適化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228929A JP2781787B2 (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 半導体チップのボンディングパッド配置構成及びその最適化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1074790A JPH1074790A (ja) | 1998-03-17 |
| JP2781787B2 true JP2781787B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=16884077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8228929A Expired - Lifetime JP2781787B2 (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 半導体チップのボンディングパッド配置構成及びその最適化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2781787B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5027605B2 (ja) | 2007-09-25 | 2012-09-19 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
| JP6118652B2 (ja) | 2013-02-22 | 2017-04-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体チップ及び半導体装置 |
| JP2015088576A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
| JP6266185B2 (ja) | 2015-10-01 | 2018-01-24 | オリンパス株式会社 | 撮像素子、内視鏡、及び内視鏡システム |
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| US20230217591A1 (en) * | 2022-01-03 | 2023-07-06 | Mediatek Inc. | Board-level pad pattern for multi-row qfn packages |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP8228929A patent/JP2781787B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1074790A (ja) | 1998-03-17 |
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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