JP2777327B2 - 質量分析用ガス導入バルブ - Google Patents
質量分析用ガス導入バルブInfo
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- JP2777327B2 JP2777327B2 JP6011009A JP1100994A JP2777327B2 JP 2777327 B2 JP2777327 B2 JP 2777327B2 JP 6011009 A JP6011009 A JP 6011009A JP 1100994 A JP1100994 A JP 1100994A JP 2777327 B2 JP2777327 B2 JP 2777327B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、質量分析用ガス導入バ
ルブ、特に気体試料分析用の質量分析計と、その質量分
析計の分析対象となる試料ガス発生室との間に接続さ
れ、質量分析計のイオン化室に試料ガスを所望の圧力で
導入するための質量分析用ガス導入バルブに関する。
ルブ、特に気体試料分析用の質量分析計と、その質量分
析計の分析対象となる試料ガス発生室との間に接続さ
れ、質量分析計のイオン化室に試料ガスを所望の圧力で
導入するための質量分析用ガス導入バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５には気体試料質量分析装置の概略構
成が示され、特に、試料ガス発生室１０と質量分析計１
２とがガス導入バルブ１４によって接続されている全体
的な構成及び質量分析計１２の内部構造が破断された状
態で示されている。前記試料ガス発生室１０には、出側
フランジ１０ａが設けられ、また、質量分析計１２に
は、入側フランジ１２ａが設けられている。そして、こ
の両フランジ１０ａ，１２ａにガス導入バルブ１４のガ
ス導入端の入側フランジ１４ａ及びガス導出端の出側フ
ランジ１４ｂがそれぞれ気密状態で接続され、試料ガス
発生室１０内の気体試料がガス導入バルブ１４を通って
質量分析計１２に導かれる。
成が示され、特に、試料ガス発生室１０と質量分析計１
２とがガス導入バルブ１４によって接続されている全体
的な構成及び質量分析計１２の内部構造が破断された状
態で示されている。前記試料ガス発生室１０には、出側
フランジ１０ａが設けられ、また、質量分析計１２に
は、入側フランジ１２ａが設けられている。そして、こ
の両フランジ１０ａ，１２ａにガス導入バルブ１４のガ
ス導入端の入側フランジ１４ａ及びガス導出端の出側フ
ランジ１４ｂがそれぞれ気密状態で接続され、試料ガス
発生室１０内の気体試料がガス導入バルブ１４を通って
質量分析計１２に導かれる。
【０００３】前記質量分析計１２内には、周知のイオン
源１６が設けられており、このイオン源１６内のイオン
化室１８において試料ガスはイオン化電子ビームによる
電子衝撃を受けてイオン化される。質量分析計１２内で
の試料ガスの導路は、前記入側フランジ１２ａから伸び
た導入管２０及び接続管２２を介して行われ、イオン化
室１８で生じたイオンは、前記イオン化室１８とメイン
スリット２４との間に印加された加速電圧により加速さ
れ、メインスリット２４を通過したイオンビームがイオ
ン分離部２６へ送られる。周知のように、イオン分離部
２６で分離されたイオンは、イオン検出部２８によって
検出され、試料ガスの質量分析が行われる。
源１６が設けられており、このイオン源１６内のイオン
化室１８において試料ガスはイオン化電子ビームによる
電子衝撃を受けてイオン化される。質量分析計１２内で
の試料ガスの導路は、前記入側フランジ１２ａから伸び
た導入管２０及び接続管２２を介して行われ、イオン化
室１８で生じたイオンは、前記イオン化室１８とメイン
スリット２４との間に印加された加速電圧により加速さ
れ、メインスリット２４を通過したイオンビームがイオ
ン分離部２６へ送られる。周知のように、イオン分離部
２６で分離されたイオンは、イオン検出部２８によって
検出され、試料ガスの質量分析が行われる。
【０００４】このような質量分析において重要なこと
は、試料ガス発生室１０の試料ガスを所望の圧力で質量
分析計１２へ導くことであり、ガス導入バルブ１４は、
単に、試料ガスの導入及び遮蔽を制御するばかりではな
く、前記圧力調整を行うことが必要である。
は、試料ガス発生室１０の試料ガスを所望の圧力で質量
分析計１２へ導くことであり、ガス導入バルブ１４は、
単に、試料ガスの導入及び遮蔽を制御するばかりではな
く、前記圧力調整を行うことが必要である。
【０００５】このために従来のガス導入バルブは、第１
通路１０１と第２通路１０２を備え、両通路１０１と１
０２の切替を行うことによって圧力調整が行われる。第
１通路１０１は、試料ガスの圧力が低い場合に用いら
れ、その開閉は主バルブ３０によって行われる。一方、
第２通路１０２は、試料ガスの圧力が高いときに用いら
れ、通路内には減圧用のオリフィス３２が設けられ、第
２通路１０２の開閉はオリフィスバルブ３４によって制
御されている。従って、試料ガスの圧力が所定値、例え
ば０．１パスカルよりも低いときには、この試料ガスは
第１通路１０１を通って質量分析計１２に導かれ、この
ために主バルブ３０が開かれ、またオリフィスバルブ３
４が閉じられる。そして、試料ガスの圧力が０．１パス
カルよりも高いときには、試料ガスの流量を絞るため、
主バルブ３０が閉じられ、一方オリフィスバルブ３４が
開かれる。従って、この高圧状態では、試料ガスはオリ
フィス３２を通って所望圧力まで減圧して質量分析計１
２へ導くことができる。もちろん、試料ガスに応じて所
望の減圧を行うために、オリフィス３２の通過口径は予
め適当な値に選択される。また、試料ガス発生室１０を
質量分析計１２と完全に遮断するためには、前記主バル
ブ３０及びオリフィスバルブ３４の両方が閉じられ、質
量分析計１２を真空状態に保ちながら試料ガス発生室１
０に大気を導入してガス発生室の内部補修その他を容易
に行うことができる。例えば、半導体のプロセスチェン
バー等における化学反応室の雰囲気ガスを分析測定する
場合には、反応室内部の物質の入れ替え等に際して質量
分析計を真空に保つことが必要となり、このような場合
に、前記ガス導入バルブによる遮断は極めて有効であ
る。
通路１０１と第２通路１０２を備え、両通路１０１と１
０２の切替を行うことによって圧力調整が行われる。第
１通路１０１は、試料ガスの圧力が低い場合に用いら
れ、その開閉は主バルブ３０によって行われる。一方、
第２通路１０２は、試料ガスの圧力が高いときに用いら
れ、通路内には減圧用のオリフィス３２が設けられ、第
２通路１０２の開閉はオリフィスバルブ３４によって制
御されている。従って、試料ガスの圧力が所定値、例え
ば０．１パスカルよりも低いときには、この試料ガスは
第１通路１０１を通って質量分析計１２に導かれ、この
ために主バルブ３０が開かれ、またオリフィスバルブ３
４が閉じられる。そして、試料ガスの圧力が０．１パス
カルよりも高いときには、試料ガスの流量を絞るため、
主バルブ３０が閉じられ、一方オリフィスバルブ３４が
開かれる。従って、この高圧状態では、試料ガスはオリ
フィス３２を通って所望圧力まで減圧して質量分析計１
２へ導くことができる。もちろん、試料ガスに応じて所
望の減圧を行うために、オリフィス３２の通過口径は予
め適当な値に選択される。また、試料ガス発生室１０を
質量分析計１２と完全に遮断するためには、前記主バル
ブ３０及びオリフィスバルブ３４の両方が閉じられ、質
量分析計１２を真空状態に保ちながら試料ガス発生室１
０に大気を導入してガス発生室の内部補修その他を容易
に行うことができる。例えば、半導体のプロセスチェン
バー等における化学反応室の雰囲気ガスを分析測定する
場合には、反応室内部の物質の入れ替え等に際して質量
分析計を真空に保つことが必要となり、このような場合
に、前記ガス導入バルブによる遮断は極めて有効であ
る。
【０００６】以上のように、従来における質量分析用ガ
ス導入バルブは、絞り量の異なる少なくとも２個の通路
を必要とし、また望ましくはガス導入バルブを遮蔽状態
にもなし得ることが望ましい。
ス導入バルブは、絞り量の異なる少なくとも２個の通路
を必要とし、また望ましくはガス導入バルブを遮蔽状態
にもなし得ることが望ましい。
【０００７】図６には従来における他のガス導入バルブ
の一例が示されており、図５と同一又は対応する部材に
は同一符号を付して説明を省略する。図６の従来例にお
いては、両フランジ１４ａ，１４ｂ間を直線状に結ぶ通
路がオリフィス３２を含む第２通路１０２として形成さ
れ、一方、迂回路が第１通路１０１として構成されてい
る。各通路１０１，１０２には、図５の従来例と同様
に、主バルブ３０及びオリフィスバルブ３４が設けられ
ている。
の一例が示されており、図５と同一又は対応する部材に
は同一符号を付して説明を省略する。図６の従来例にお
いては、両フランジ１４ａ，１４ｂ間を直線状に結ぶ通
路がオリフィス３２を含む第２通路１０２として形成さ
れ、一方、迂回路が第１通路１０１として構成されてい
る。各通路１０１，１０２には、図５の従来例と同様
に、主バルブ３０及びオリフィスバルブ３４が設けられ
ている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のガス導入バルブでは、絞り量の異なる両通路が
別個の通路として設けられているために、試料ガスはガ
ス導入バルブ１４を通るときに、直線状の通路を通るこ
とはできず、どうしても迂回路を通る必要があり、この
結果、試料ガスの変質等が生じるおそれがあった。すな
わち、発生した試料ガスが質量分析計１２のイオン化室
１８に導かれるまでに器壁に衝突すると、器壁上で化学
反応を起こしたり、器壁に吸着したりする現象が生じ
る。特に、水分等の吸着性の強いガスや、ハロゲン等の
反応性の強い活性ガス、あるいは蒸気圧の低い凝縮性の
ガス成分等は、測定前に器壁に衝突すると敏感に反応を
起こし、この結果、試料ガス成分に変化が生じてしま
う。従って、従来のガス導入バルブでは、測定結果に誤
差を生じさせるという問題があった。
た従来のガス導入バルブでは、絞り量の異なる両通路が
別個の通路として設けられているために、試料ガスはガ
ス導入バルブ１４を通るときに、直線状の通路を通るこ
とはできず、どうしても迂回路を通る必要があり、この
結果、試料ガスの変質等が生じるおそれがあった。すな
わち、発生した試料ガスが質量分析計１２のイオン化室
１８に導かれるまでに器壁に衝突すると、器壁上で化学
反応を起こしたり、器壁に吸着したりする現象が生じ
る。特に、水分等の吸着性の強いガスや、ハロゲン等の
反応性の強い活性ガス、あるいは蒸気圧の低い凝縮性の
ガス成分等は、測定前に器壁に衝突すると敏感に反応を
起こし、この結果、試料ガス成分に変化が生じてしま
う。従って、従来のガス導入バルブでは、測定結果に誤
差を生じさせるという問題があった。
【０００９】従って、従来においても、試料ガスは発生
室１０から質量分析計１２まで直線状に見通せる導路を
通して移動することが望ましいが、上述した理由により
複数通路により絞り量を変更するときにこのような直線
状の見通しを満足することができない事態が生じてい
た。
室１０から質量分析計１２まで直線状に見通せる導路を
通して移動することが望ましいが、上述した理由により
複数通路により絞り量を変更するときにこのような直線
状の見通しを満足することができない事態が生じてい
た。
【００１０】本発明は上記従来の課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、試料ガスの絞りを変
更した場合においても、ガス導入の直線状の見通しを確
保することのできる改良された質量分析用ガス導入バル
ブを提供することにある。
なされたものであり、その目的は、試料ガスの絞りを変
更した場合においても、ガス導入の直線状の見通しを確
保することのできる改良された質量分析用ガス導入バル
ブを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ガス導入端が試料ガス発生室に接続さ
れ、ガス導出端が質量分析計に接続された質量分析用ガ
ス導入バルブにおいて、バルブ本体には、ガス導入端か
らガス導出端まで直線状に見通せる直状のガス導路が設
けられ、前記ガス導路の途中には、切替弁座が設けら
れ、前記切替弁座には、ガス導路を開放状態又は絞り状
態に切り替える切替弁が装着されていることを特徴とす
る。
に、本発明は、ガス導入端が試料ガス発生室に接続さ
れ、ガス導出端が質量分析計に接続された質量分析用ガ
ス導入バルブにおいて、バルブ本体には、ガス導入端か
らガス導出端まで直線状に見通せる直状のガス導路が設
けられ、前記ガス導路の途中には、切替弁座が設けら
れ、前記切替弁座には、ガス導路を開放状態又は絞り状
態に切り替える切替弁が装着されていることを特徴とす
る。
【００１２】また、本発明は、ガス導入端が試料ガス発
生室に接続され、ガス導出端が質量分析計に接続された
質量分析用ガス導入バルブにおいて、バルブ本体には、
ガス導入端からガス導出端まで直線状に見通せる直状の
ガス導路が設けられ、前記ガス導路の途中には、切替弁
座が設けられ、前記切替弁座には、ガス導路を開放状態
又は絞り状態に切り替える切替弁が装着され、前記ガス
導路の途中には、更に開閉弁座が設けられ、前記開閉弁
座にはガス導路を開又は閉に切り替える開閉弁が装着さ
れていることを特徴とする。
生室に接続され、ガス導出端が質量分析計に接続された
質量分析用ガス導入バルブにおいて、バルブ本体には、
ガス導入端からガス導出端まで直線状に見通せる直状の
ガス導路が設けられ、前記ガス導路の途中には、切替弁
座が設けられ、前記切替弁座には、ガス導路を開放状態
又は絞り状態に切り替える切替弁が装着され、前記ガス
導路の途中には、更に開閉弁座が設けられ、前記開閉弁
座にはガス導路を開又は閉に切り替える開閉弁が装着さ
れていることを特徴とする。
【００１３】
【作用】以上のように、本発明によれば、発生した試料
ガスは、ガス導入バルブのバルブ本体に設けられた直線
状に見通せる単一のガス導路により質量分析計に導か
れ、絞り量あるいは圧力の調整は、前記直状のガス導路
に設けられた切替弁で行なわれるので、従来のような迂
回路を通ることなく、ガス導入バルブの通過によって質
量分析結果に悪影響を与えることがないという効果を奏
する。
ガスは、ガス導入バルブのバルブ本体に設けられた直線
状に見通せる単一のガス導路により質量分析計に導か
れ、絞り量あるいは圧力の調整は、前記直状のガス導路
に設けられた切替弁で行なわれるので、従来のような迂
回路を通ることなく、ガス導入バルブの通過によって質
量分析結果に悪影響を与えることがないという効果を奏
する。
【００１４】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。
説明する。
【００１５】実施例１ 図１には本発明に係る質量分析用ガス導入バルブの好適
な第１実施例が断面図として示されている。
な第１実施例が断面図として示されている。
【００１６】図１においては、ガス導入バルブ１４はバ
ルブ本体３６を含み、この本体３６の両端にそれぞれ前
述した両フランジ１４ａ，１４ｂが気密状態で固定され
ている。バルブ本体３６には、両フランジ１４ａ，１４
ｂのガス導入端３６ａからガス導出端３６ｂ間で直線状
に見通せる直状のガス導路３８が設けられている。実施
例において、このガス導路３８は、後述する切替弁が設
けられる導径の太い第１導路３８ａ及びこれも後述する
開閉弁が設けられる導径の細い第２導路３８ｂとから構
成される。
ルブ本体３６を含み、この本体３６の両端にそれぞれ前
述した両フランジ１４ａ，１４ｂが気密状態で固定され
ている。バルブ本体３６には、両フランジ１４ａ，１４
ｂのガス導入端３６ａからガス導出端３６ｂ間で直線状
に見通せる直状のガス導路３８が設けられている。実施
例において、このガス導路３８は、後述する切替弁が設
けられる導径の太い第１導路３８ａ及びこれも後述する
開閉弁が設けられる導径の細い第２導路３８ｂとから構
成される。
【００１７】前記第１導路３８ａの途中には、ガス導路
３８の軸と直交する方向にテーパ状の切替弁座４０が設
けられ、この切替弁座４０内には、切替弁４２が装着さ
れている。実施例において、切替弁４２にはオリフィス
４４が設けられており、図１のように切替弁４２が切替
弁座４０内に侵入している状態では、ガス導路３８の絞
りをオリフィス４４によって支配的に制御することがで
き、絞り状態を提供できる。
３８の軸と直交する方向にテーパ状の切替弁座４０が設
けられ、この切替弁座４０内には、切替弁４２が装着さ
れている。実施例において、切替弁４２にはオリフィス
４４が設けられており、図１のように切替弁４２が切替
弁座４０内に侵入している状態では、ガス導路３８の絞
りをオリフィス４４によって支配的に制御することがで
き、絞り状態を提供できる。
【００１８】一方、ガス導路３８を開放状態とするた
め、前記切替弁４２は切替弁座４０から退避することが
でき、このための開閉機構４６がバルブ本体３６の外壁
に設けられている。開閉機構４６はケーシング４８を含
み、ケーシング４８内に前記切替弁４２を軸方向に移動
するための支持軸５０が内蔵され、支持軸５０をケーシ
ング４８内で気密に保つため、ケーシング４８と支持軸
５０との間には、ベローズ５２が設けられている。前記
支持軸５０の軸方向移動は、ケーシング４８に固定され
たナット５４と押しネジ５６により行われ、押しネジ５
６の上端に設けられた係合子５８が前記支持軸５０の下
端に設けられた係止座６０と係合し、押しネジ５６が回
転したときに、支持軸５０、すなわち切替弁４２を回転
することなく軸方向にのみ移動することができる。押し
ネジ５６の下端には、切替ハンドル６２が設けられ、通
路の絞り調整時に使用者が切替ハンドル６２を回転して
切替弁４２の位置調整を行うことができる。
め、前記切替弁４２は切替弁座４０から退避することが
でき、このための開閉機構４６がバルブ本体３６の外壁
に設けられている。開閉機構４６はケーシング４８を含
み、ケーシング４８内に前記切替弁４２を軸方向に移動
するための支持軸５０が内蔵され、支持軸５０をケーシ
ング４８内で気密に保つため、ケーシング４８と支持軸
５０との間には、ベローズ５２が設けられている。前記
支持軸５０の軸方向移動は、ケーシング４８に固定され
たナット５４と押しネジ５６により行われ、押しネジ５
６の上端に設けられた係合子５８が前記支持軸５０の下
端に設けられた係止座６０と係合し、押しネジ５６が回
転したときに、支持軸５０、すなわち切替弁４２を回転
することなく軸方向にのみ移動することができる。押し
ネジ５６の下端には、切替ハンドル６２が設けられ、通
路の絞り調整時に使用者が切替ハンドル６２を回転して
切替弁４２の位置調整を行うことができる。
【００１９】第１実施例において、前記ガス導路３８の
第２導路３８ｂには開閉弁座６４が設けられ、この開閉
弁座６４に開閉弁６６を装着し、開閉弁６６の軸方向移
動によって第２導路３８ｂの開閉を制御している。
第２導路３８ｂには開閉弁座６４が設けられ、この開閉
弁座６４に開閉弁６６を装着し、開閉弁６６の軸方向移
動によって第２導路３８ｂの開閉を制御している。
【００２０】バルブ本体３６の上端には、前記開閉弁６
６を軸方向に移動するための開閉機構６８が設けられ、
この開閉機構６８は前記開閉機構４６と同様の構成から
なるので、各部の詳細な説明は省略する。
６を軸方向に移動するための開閉機構６８が設けられ、
この開閉機構６８は前記開閉機構４６と同様の構成から
なるので、各部の詳細な説明は省略する。
【００２１】以上のようにして、本発明の第１実施例に
よれば、バルブ本体３６に設けられた単一の直線状に見
通せる直状のガス導路３８のみによって試料ガスの圧力
切替あるいは絞り量の切替を行うことができる。すなわ
ち、本実施例における特徴は、ガス導路３８にガス導路
３８の開放状態あるいは絞り状態を切り替えるための切
替弁４２が設けられ、この切替弁４２の軸方向移動のみ
によって試料ガスの絞り量調整を行うことができる。同
様に、第１実施例によれば、前記単一のガス導路３８中
に更にガス導路３８の開閉を制御する開閉弁６６が設け
られ、ガス導入の遮蔽あるいは開放を単一のかつ導入端
から導出端まで直線状に見通せるガス導路３８のみを用
いて行うことができるという利点がある。
よれば、バルブ本体３６に設けられた単一の直線状に見
通せる直状のガス導路３８のみによって試料ガスの圧力
切替あるいは絞り量の切替を行うことができる。すなわ
ち、本実施例における特徴は、ガス導路３８にガス導路
３８の開放状態あるいは絞り状態を切り替えるための切
替弁４２が設けられ、この切替弁４２の軸方向移動のみ
によって試料ガスの絞り量調整を行うことができる。同
様に、第１実施例によれば、前記単一のガス導路３８中
に更にガス導路３８の開閉を制御する開閉弁６６が設け
られ、ガス導入の遮蔽あるいは開放を単一のかつ導入端
から導出端まで直線状に見通せるガス導路３８のみを用
いて行うことができるという利点がある。
【００２２】図２，３を用いて、第１実施例の作用を説
明する。
明する。
【００２３】図２は、図１と同様に、切替弁４２が切替
弁座４０に密着した状態が示され、この状態ではオリフ
ィス４４がガス導路３８の中心軸に位置し、これによっ
て導入ガスの絞りはオリフィス４４によって支配的に制
御され、試料ガスの圧力が高いとき等にこの圧力を減圧
することが可能となる。
弁座４０に密着した状態が示され、この状態ではオリフ
ィス４４がガス導路３８の中心軸に位置し、これによっ
て導入ガスの絞りはオリフィス４４によって支配的に制
御され、試料ガスの圧力が高いとき等にこの圧力を減圧
することが可能となる。
【００２４】図２から明らかなように、ガス導路３８を
絞り状態にしたときに、切替弁４２は切替弁座４０に密
着するので、このとき切替弁座４０の先端には閉塞部が
発生し、この閉塞部にあるガス圧縮が切替弁４２と切替
弁座４０との密着を妨げるおそれがあるが、実施例にお
いては、切替弁４２に前記閉塞部とガス導路３８とを結
ぶガスリーク穴４２ａを設けることによって、このよう
なガス圧縮による不都合を防止している。
絞り状態にしたときに、切替弁４２は切替弁座４０に密
着するので、このとき切替弁座４０の先端には閉塞部が
発生し、この閉塞部にあるガス圧縮が切替弁４２と切替
弁座４０との密着を妨げるおそれがあるが、実施例にお
いては、切替弁４２に前記閉塞部とガス導路３８とを結
ぶガスリーク穴４２ａを設けることによって、このよう
なガス圧縮による不都合を防止している。
【００２５】図２の状態において、開閉弁６６は開閉機
構によって開閉弁座６４から退避した状態にあり、この
状態で開状態となっている。
構によって開閉弁座６４から退避した状態にあり、この
状態で開状態となっている。
【００２６】一方、図３は切替弁４２によってガス導路
３８を開放状態にした状態を示し、前述したように開閉
機構４６が切替弁４２を図３の下方向へ移動させ、図か
ら明らかなように切替弁４２は完全に切替弁座４０及び
ガス導路３８から退避し、この状態では試料ガスの絞り
量あるいは圧力は、ガス導路３８、特に第２導路３８ｂ
の管径によってのみ制御され、ガス圧力が低い場合に効
率的に試料ガスを質量分析計１２へ導くことができる。
３８を開放状態にした状態を示し、前述したように開閉
機構４６が切替弁４２を図３の下方向へ移動させ、図か
ら明らかなように切替弁４２は完全に切替弁座４０及び
ガス導路３８から退避し、この状態では試料ガスの絞り
量あるいは圧力は、ガス導路３８、特に第２導路３８ｂ
の管径によってのみ制御され、ガス圧力が低い場合に効
率的に試料ガスを質量分析計１２へ導くことができる。
【００２７】図３の状態でも、試料ガスの通路は図２の
絞り状態と何ら異なることなく、ガス導入端３６ａから
ガス導出端３６ｂまで直線状に見通せる直状のガス導路
３８を共用しており、従来のような曲がった迂回路によ
って試料ガスに変質が生じるなどの不都合を確実に防止
することができる。
絞り状態と何ら異なることなく、ガス導入端３６ａから
ガス導出端３６ｂまで直線状に見通せる直状のガス導路
３８を共用しており、従来のような曲がった迂回路によ
って試料ガスに変質が生じるなどの不都合を確実に防止
することができる。
【００２８】実施例２ 図４には、本発明に係る好適な第２実施例が示され、こ
の第２実施例ではガス導路３８に切替弁のみが装着され
ており、第１実施例における開閉弁が除去されている。
の第２実施例ではガス導路３８に切替弁のみが装着され
ており、第１実施例における開閉弁が除去されている。
【００２９】このように、第２実施例によれば、ガス導
路３８の遮断はできないが、試料ガスの圧力に応じて絞
り量あるいは圧力の調整は可能であり、この種の用途に
用いられる質量分析計あるいは実施例１における開閉弁
に相当するゲートバルブやストレートバルブが既設され
ている質量分析計に用いても有用である。
路３８の遮断はできないが、試料ガスの圧力に応じて絞
り量あるいは圧力の調整は可能であり、この種の用途に
用いられる質量分析計あるいは実施例１における開閉弁
に相当するゲートバルブやストレートバルブが既設され
ている質量分析計に用いても有用である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るガス
導入バルブによれば、質量分析計へ試料ガスを導入する
際に、試料ガスが容器壁等に衝突することなく、直接バ
ルブのガス導入端から導出端まで直線状に見通せる状態
で試料ガスが導かれ、試料ガスの変質を伴うことなくイ
オン化室に導くことができるので、正確な質量分析に極
めて有用である。そして、本発明によれば、試料ガスを
減圧することなく導入するか、あるいは減圧のためにオ
リフィスを通して導入するかのいずれかの選択を切替弁
の開閉操作によって極めて簡単に行うことができ、水分
等の吸着性のガスやハロゲン等の反応性の強い活性ガ
ス、あるいは蒸気圧の低い凝縮性のガス成分等に対して
も正確かつ精密な測定を行うことが可能となる。
導入バルブによれば、質量分析計へ試料ガスを導入する
際に、試料ガスが容器壁等に衝突することなく、直接バ
ルブのガス導入端から導出端まで直線状に見通せる状態
で試料ガスが導かれ、試料ガスの変質を伴うことなくイ
オン化室に導くことができるので、正確な質量分析に極
めて有用である。そして、本発明によれば、試料ガスを
減圧することなく導入するか、あるいは減圧のためにオ
リフィスを通して導入するかのいずれかの選択を切替弁
の開閉操作によって極めて簡単に行うことができ、水分
等の吸着性のガスやハロゲン等の反応性の強い活性ガ
ス、あるいは蒸気圧の低い凝縮性のガス成分等に対して
も正確かつ精密な測定を行うことが可能となる。
【００３１】更に、本発明によれば、第２導路における
オリフィスの絞り量の変更は、切替弁の簡単な交換によ
り行われ、ガス導入バルブが試料ガス発生室と質量分析
計との間に装着された状態であっても、単に切替弁の交
換のみで簡単に行うことができる利点がある。
オリフィスの絞り量の変更は、切替弁の簡単な交換によ
り行われ、ガス導入バルブが試料ガス発生室と質量分析
計との間に装着された状態であっても、単に切替弁の交
換のみで簡単に行うことができる利点がある。
【図１】本発明に係る質量分析用ガス導入バルブの第１
実施例を示す部分断面図である。
実施例を示す部分断面図である。
【図２】本発明の第１実施例における絞り状態のガス導
入作用を示す部分断面図である。
入作用を示す部分断面図である。
【図３】本発明の第１実施例における開放状態を示す部
分断面図である。
分断面図である。
【図４】本発明に係る質量分析用ガス導入バルブの好適
な第２実施例を示す部分断面図である。
な第２実施例を示す部分断面図である。
【図５】従来におけるガス導入バルブを試料ガス発生室
と質量分析計との間に装着した状態を示す一部破断図で
ある。
と質量分析計との間に装着した状態を示す一部破断図で
ある。
【図６】従来における他のガス導入バルブを示す断面図
である。
である。
１０ 試料ガス発生室 １２ 質量分析計 １４ ガス導入バルブ ３６ バルブ本体 ３６ａ ガス導入端 ３６ｂ ガス導出端 ３８ ガス導路 ４０ 切替弁座 ４２ 切替弁 ４４ オリフィス ４６ 開閉機構 ６４ 開閉弁座 ６６ 開閉弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 49/04 G01N 27/62
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス導入端が試料ガス発生室に接続さ
れ、ガス導出端が質量分析計に接続された質量分析用ガ
ス導入バルブにおいて、 バルブ本体には、ガス導入端からガス導出端まで直線状
に見通せる直状のガス導路が設けられ、 前記ガス導路の途中には、切替弁座が設けられ、 前記切替弁座には、ガス導路を開放状態又は絞り状態に
切り替える切替弁が装着されていることを特徴とする質
量分析用ガス導入バルブ。 - 【請求項２】 ガス導入端が試料ガス発生室に接続さ
れ、ガス導出端が質量分析計に接続された質量分析用ガ
ス導入バルブにおいて、 バルブ本体には、ガス導入端からガス導出端まで直線状
に見通せる直状のガス導路が設けられ、 前記ガス導路の途中には、切替弁座が設けられ、 前記切替弁座には、ガス導路を開放状態又は絞り状態に
切り替える切替弁が装着され、 前記ガス導路の途中には、更に開閉弁座が設けられ、 前記開閉弁座にはガス導路を開又は閉に切り替える開閉
弁が装着されていることを特徴とする質量分析用ガス導
入バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011009A JP2777327B2 (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 質量分析用ガス導入バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011009A JP2777327B2 (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 質量分析用ガス導入バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07220674A JPH07220674A (ja) | 1995-08-18 |
| JP2777327B2 true JP2777327B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=11766127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6011009A Expired - Fee Related JP2777327B2 (ja) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 質量分析用ガス導入バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2777327B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013163530A2 (en) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | Leco Corporation | Electron impact ion source with fast response |
| JP6320252B2 (ja) * | 2014-09-10 | 2018-05-09 | 株式会社東芝 | 蒸気タービンシステム |
| CN104565522B (zh) * | 2015-01-07 | 2017-01-18 | 中国瑞林工程技术有限公司 | 浓缩硫酸铜溶液取样阀 |
-
1994
- 1994-02-02 JP JP6011009A patent/JP2777327B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07220674A (ja) | 1995-08-18 |
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