JPH043062B2 - - Google Patents
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- JPH043062B2 JPH043062B2 JP61209560A JP20956086A JPH043062B2 JP H043062 B2 JPH043062 B2 JP H043062B2 JP 61209560 A JP61209560 A JP 61209560A JP 20956086 A JP20956086 A JP 20956086A JP H043062 B2 JPH043062 B2 JP H043062B2
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 28
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 22
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 26
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 11
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は各種材料の耐環境性評価試験におい
て、耐環境性評価試験装置の試料室内の材料から
放出されるガスおよび試料室内の雰囲気ガスの分
析を行うためのガス分析システムに関するもので
ある。
て、耐環境性評価試験装置の試料室内の材料から
放出されるガスおよび試料室内の雰囲気ガスの分
析を行うためのガス分析システムに関するもので
ある。
第３図は従来の耐環境性評価試験装置の試料室
に備えられたガス分析システムの断面図である。
図において、１は試料、２は試料１を収容する耐
環境性評価試験装置の試料室、３は試料室２の中
にガス成分の質量分析を行うための四重極質量分
析計の分析管、４は分析管３を収納するエンベロ
ープ、５はエンベロープ４の中を高真空に保持す
るための真空排気装置、６はエンベロープ４と真
空排気装置５の間を開閉するための高真空バル
ブ、７は試料室２からエンベロープ４の中へ流入
するガスの量を制限するためのオリフイス板であ
る。
に備えられたガス分析システムの断面図である。
図において、１は試料、２は試料１を収容する耐
環境性評価試験装置の試料室、３は試料室２の中
にガス成分の質量分析を行うための四重極質量分
析計の分析管、４は分析管３を収納するエンベロ
ープ、５はエンベロープ４の中を高真空に保持す
るための真空排気装置、６はエンベロープ４と真
空排気装置５の間を開閉するための高真空バル
ブ、７は試料室２からエンベロープ４の中へ流入
するガスの量を制限するためのオリフイス板であ
る。
次に動作について説明する。まず真空排気装置
５を稼働させ、次いで試料室２の中に試料１を取
付けて耐環境性評価試験装置を稼働させる。試験
開始前に高真空バルブ６を開き、分析管３を収納
しているエンベロープ４の中を真空排気する。そ
してエンベロープ４の中の圧力が１×10-4torrよ
りも低く、かつ試料室２の圧力よりも低くなつた
ら四重極質量分析計を稼働させ、試料室２からオ
リフイス板７のオリフイスを通してエンベロープ
４の中に流入してきたガスの質量分析を行う。
５を稼働させ、次いで試料室２の中に試料１を取
付けて耐環境性評価試験装置を稼働させる。試験
開始前に高真空バルブ６を開き、分析管３を収納
しているエンベロープ４の中を真空排気する。そ
してエンベロープ４の中の圧力が１×10-4torrよ
りも低く、かつ試料室２の圧力よりも低くなつた
ら四重極質量分析計を稼働させ、試料室２からオ
リフイス板７のオリフイスを通してエンベロープ
４の中に流入してきたガスの質量分析を行う。
従来の耐環境性評価試験装置に備えられている
ガス分析システムは以上のように構成されている
ので、四重極質量分析計による試料室２内のガス
の測定はオリフイス板７のオリフイスの径に応
じ、試料室２の圧力の狭い範囲でしか実施できな
かつた。そして測定不可能な試料室２内の圧力に
おいては、その圧力に応じた径のオリフイスに変
えるために、試料室２と分析管３の接続部を外し
てオリフイス板７を取扱えなければならなかつ
た。また高真空の試料室２内において、測定対象
ガスが微量ないし吸着性の場合は、分析管３まで
到達する測定対象ガスの量が少ないため、測定が
非常に困難であるなどの問題点があつた。
ガス分析システムは以上のように構成されている
ので、四重極質量分析計による試料室２内のガス
の測定はオリフイス板７のオリフイスの径に応
じ、試料室２の圧力の狭い範囲でしか実施できな
かつた。そして測定不可能な試料室２内の圧力に
おいては、その圧力に応じた径のオリフイスに変
えるために、試料室２と分析管３の接続部を外し
てオリフイス板７を取扱えなければならなかつ
た。また高真空の試料室２内において、測定対象
ガスが微量ないし吸着性の場合は、分析管３まで
到達する測定対象ガスの量が少ないため、測定が
非常に困難であるなどの問題点があつた。
この発明は上記のような問題点を解決するため
になされたもので、耐環境性評価試験装置の試料
室内の圧力が大気圧から高真空に至るまで、試料
室内のガスの質量分析ができるとともに、高真空
の試料室内において測定対象ガスが微量であつて
も、また吸着性のものであつても、質量分析がで
きるガス分析システムを得ることを目的とする。
になされたもので、耐環境性評価試験装置の試料
室内の圧力が大気圧から高真空に至るまで、試料
室内のガスの質量分析ができるとともに、高真空
の試料室内において測定対象ガスが微量であつて
も、また吸着性のものであつても、質量分析がで
きるガス分析システムを得ることを目的とする。
この発明に係る耐環境性評価試験用ガス分析シ
ステムは、質量分析計の分析管と、この分析管を
収納しかつ前後にベローズを有するエンベロープ
と、このエンベロープ内の圧力を高真空に保つ真
空排気装置と、耐環境性評価試験装置の試料室側
から質量分析計の分析管側へのガス流入量を制御
するためのコンダクタンス可変の回転式オリフイ
ス板と、この回転式オリフイス板を回転させるた
めの回転導入機と、前記回転式オリフイス板に接
触するエンベロープ前面を前後に移動させる直線
導入機とを設けたものである。
ステムは、質量分析計の分析管と、この分析管を
収納しかつ前後にベローズを有するエンベロープ
と、このエンベロープ内の圧力を高真空に保つ真
空排気装置と、耐環境性評価試験装置の試料室側
から質量分析計の分析管側へのガス流入量を制御
するためのコンダクタンス可変の回転式オリフイ
ス板と、この回転式オリフイス板を回転させるた
めの回転導入機と、前記回転式オリフイス板に接
触するエンベロープ前面を前後に移動させる直線
導入機とを設けたものである。
この発明による耐環境性評価試験用ガス分析シ
ステムにおいては、回転式オリフイス板は回転導
入機により回転運動伝達部を介して回転され、耐
環境性評価試験装置の試料室内の圧力や測定対象
ガスに応じて適切な径のオリフイスに切換えら
れ、試料室側から質量分析計の分析管側へ流入す
るガスを適切な量にする。これにより試料室内の
圧力が大気圧から高真空に至つても試料室内のガ
スの質量分析を可能にする。Ｏリングが取付けら
れているエンベロープ前面は、エンベロープの前
部にベローズが設けられているため、直線導入機
により前後に移動され、エンベロープ前面と回転
式オリフイス板の接触部のシールおよび回転式オ
リフイス板の固定および回転がスムーズに行われ
る。質量分析計の分析管は、分析管を収納してい
るエンベロープ後部のベローズにより前方に移動
され、回転式オリフイス板のオリフイスを全開に
して分析管の前部（イオン源）を試料に近づけ、
高真空の試料室内において試料から放出される微
量ガスや吸着性ガスの質量分析が可能になる。
ステムにおいては、回転式オリフイス板は回転導
入機により回転運動伝達部を介して回転され、耐
環境性評価試験装置の試料室内の圧力や測定対象
ガスに応じて適切な径のオリフイスに切換えら
れ、試料室側から質量分析計の分析管側へ流入す
るガスを適切な量にする。これにより試料室内の
圧力が大気圧から高真空に至つても試料室内のガ
スの質量分析を可能にする。Ｏリングが取付けら
れているエンベロープ前面は、エンベロープの前
部にベローズが設けられているため、直線導入機
により前後に移動され、エンベロープ前面と回転
式オリフイス板の接触部のシールおよび回転式オ
リフイス板の固定および回転がスムーズに行われ
る。質量分析計の分析管は、分析管を収納してい
るエンベロープ後部のベローズにより前方に移動
され、回転式オリフイス板のオリフイスを全開に
して分析管の前部（イオン源）を試料に近づけ、
高真空の試料室内において試料から放出される微
量ガスや吸着性ガスの質量分析が可能になる。
以下、この発明の一実施例を図について説明す
る。第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、
第２図はＡ方向矢視図であり、図において、１〜
７は第３図と同一または相当部分を示す。分析管
３を収納するエンベロープ４は前後部にベローズ
１１，１２を備え、分析管３を前後に移動できる
ようになつている。１３は試料室２側から四重極
質量分析計の分析管３側へ導入するガスを適切な
量にするための回転式オリフイス板で、回転軸１
４を中心に回転可能となつており、同一円周上に
異なつた径のオリフイス１５（最大径62mmφ）を
有し、コンダクタンス可変となつている。１６は
試料室２の中にある回転式オリフイス板１３を外
部から回転させるための回転導入機、１７は回転
導入機１６の回転を回転式オリフイス板１３に伝
えるための回転運動伝達部であり、回転式オリフ
イス板１３の外周に形成された歯車にかみ合う歯
車からなる。１８は回転式オリフイス板１３の固
定および回転をスムーズにするため、分析管３を
収納しているエンベロープ４の前面を前後に動か
すための直線導入機、１９は直線導入機１８によ
る直線運動をエンベロープ４の前部に伝達するた
めの直線運動伝達部、２０は回転式オリフイス板
１３のオリフイス１５の周囲に接するようにエン
ベロープ４の前面にはめ込まれたＯリングであ
る。
る。第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、
第２図はＡ方向矢視図であり、図において、１〜
７は第３図と同一または相当部分を示す。分析管
３を収納するエンベロープ４は前後部にベローズ
１１，１２を備え、分析管３を前後に移動できる
ようになつている。１３は試料室２側から四重極
質量分析計の分析管３側へ導入するガスを適切な
量にするための回転式オリフイス板で、回転軸１
４を中心に回転可能となつており、同一円周上に
異なつた径のオリフイス１５（最大径62mmφ）を
有し、コンダクタンス可変となつている。１６は
試料室２の中にある回転式オリフイス板１３を外
部から回転させるための回転導入機、１７は回転
導入機１６の回転を回転式オリフイス板１３に伝
えるための回転運動伝達部であり、回転式オリフ
イス板１３の外周に形成された歯車にかみ合う歯
車からなる。１８は回転式オリフイス板１３の固
定および回転をスムーズにするため、分析管３を
収納しているエンベロープ４の前面を前後に動か
すための直線導入機、１９は直線導入機１８によ
る直線運動をエンベロープ４の前部に伝達するた
めの直線運動伝達部、２０は回転式オリフイス板
１３のオリフイス１５の周囲に接するようにエン
ベロープ４の前面にはめ込まれたＯリングであ
る。
次に動作について説明する。まず耐環境性評価
試験装置の試料室２の中が１×10-4torrよりも高
い圧力における動作について説明する。通常、耐
環境性評価試験装置稼働前は回転式オリフイス板
１３および高真空バルブ６が閉じた状態であるの
で、まず真空排気装置５を稼働させる。次いで試
料１を取付け、耐環境性評価試験装置を稼働させ
る。試験開始前に高真空バルブ６を開き、四重極
質量分析計の分析管３を収納しているエンベロー
プ４の中を真空排気する。そして、エンベロープ
４の中が高真空（１×10-6torr以下）に達したら
四重極質量分析計を稼働させ、質量分析が可能な
状態に分析管３を制御する。次いで直線導入機１
８を引いて前部のベローズ１１を縮め、直線運動
伝達部１９を介してＯリング２０がはめ込まれて
いるエンベロープ４の前面を回転式オリフイス板
１３との接触部のシールが損わない程度に離す。
そして閉止の状態である回転式オリフイス板１３
を回転導入機１６によつて回転させ、試料室２側
のガスの流入によつて分析管３側の圧力が１×
10-4torr以上にならないように適切な径のオリフ
イス１５を分析管３の前面に位置させ、真線導入
機１８を押して直線運動伝達部１９を介してＯリ
ング２０がはめ込まれているエンベロープ４の前
面を回転式オリフイス板１３に押付け、エンベロ
ープ４の前面と回転式オリフイス板１３の接触部
のシールおよび回転式オリフイス板１３の固定を
行う。そして耐環境性評価試験を開始し、試料室
２内のガスの質量分析を行う。
試験装置の試料室２の中が１×10-4torrよりも高
い圧力における動作について説明する。通常、耐
環境性評価試験装置稼働前は回転式オリフイス板
１３および高真空バルブ６が閉じた状態であるの
で、まず真空排気装置５を稼働させる。次いで試
料１を取付け、耐環境性評価試験装置を稼働させ
る。試験開始前に高真空バルブ６を開き、四重極
質量分析計の分析管３を収納しているエンベロー
プ４の中を真空排気する。そして、エンベロープ
４の中が高真空（１×10-6torr以下）に達したら
四重極質量分析計を稼働させ、質量分析が可能な
状態に分析管３を制御する。次いで直線導入機１
８を引いて前部のベローズ１１を縮め、直線運動
伝達部１９を介してＯリング２０がはめ込まれて
いるエンベロープ４の前面を回転式オリフイス板
１３との接触部のシールが損わない程度に離す。
そして閉止の状態である回転式オリフイス板１３
を回転導入機１６によつて回転させ、試料室２側
のガスの流入によつて分析管３側の圧力が１×
10-4torr以上にならないように適切な径のオリフ
イス１５を分析管３の前面に位置させ、真線導入
機１８を押して直線運動伝達部１９を介してＯリ
ング２０がはめ込まれているエンベロープ４の前
面を回転式オリフイス板１３に押付け、エンベロ
ープ４の前面と回転式オリフイス板１３の接触部
のシールおよび回転式オリフイス板１３の固定を
行う。そして耐環境性評価試験を開始し、試料室
２内のガスの質量分析を行う。
次に耐環境性評価試験時において、試験装置の
試料室２の中が１×10-4torrよりも低い圧力にお
ける動作について説明する。まず真空排気装置５
を稼働させ、次いで試料１を取付け、耐環境性評
価試験装置を稼働させる。試験開始前に高真空バ
ルブ６を開き、分析管３を収納しているエンベロ
ープ４の中を真空排気する。そして試料室２およ
びエンベロープ４の中が高真空（１×10-6torr以
下）に達したら高真空バルブ６を閉じて、閉止の
状態にある回転式オリフイス板１３を回転導入機
１６によつて回転させ、全開となる径のオリフイ
ス（直径62mmφ）１５を分析管３の前面に位置さ
せて直線導入機１８を押して直線運動伝達部１９
を介してＯリング２０がはめ込まれているエンベ
ロープ４の前面を回転式オリフイス板１３に押付
けて固定する。次に四重極質量分析計を稼働さ
せ、質量分析が可能な状態に分析管３を制御す
る。そして耐環境性評価試験を開始し、試料室２
内のガスの質量分析を行う。
試料室２の中が１×10-4torrよりも低い圧力にお
ける動作について説明する。まず真空排気装置５
を稼働させ、次いで試料１を取付け、耐環境性評
価試験装置を稼働させる。試験開始前に高真空バ
ルブ６を開き、分析管３を収納しているエンベロ
ープ４の中を真空排気する。そして試料室２およ
びエンベロープ４の中が高真空（１×10-6torr以
下）に達したら高真空バルブ６を閉じて、閉止の
状態にある回転式オリフイス板１３を回転導入機
１６によつて回転させ、全開となる径のオリフイ
ス（直径62mmφ）１５を分析管３の前面に位置さ
せて直線導入機１８を押して直線運動伝達部１９
を介してＯリング２０がはめ込まれているエンベ
ロープ４の前面を回転式オリフイス板１３に押付
けて固定する。次に四重極質量分析計を稼働さ
せ、質量分析が可能な状態に分析管３を制御す
る。そして耐環境性評価試験を開始し、試料室２
内のガスの質量分析を行う。
試料１から放出されるガスが微量ないし吸着性
の場合は、エンベロープ４の後部のベローズ１２
を縮めて分析管３を試料１側へ移動させ、分析管
３の前部を試料１に近づけて、試料１から放出さ
れたガスを質量分析する。
の場合は、エンベロープ４の後部のベローズ１２
を縮めて分析管３を試料１側へ移動させ、分析管
３の前部を試料１に近づけて、試料１から放出さ
れたガスを質量分析する。
なお、上記実施例では、質量分析に四重極質量
分析計を用いたが、セクター型質量分析計等の他
の質量分析計でもよい。またエンベロープ４およ
び回転式オリフイス板１３の構造、駆動機構等は
変更可能である。
分析計を用いたが、セクター型質量分析計等の他
の質量分析計でもよい。またエンベロープ４およ
び回転式オリフイス板１３の構造、駆動機構等は
変更可能である。
以上のように、この発明によれば、耐環境性評
価試験装置の外部からガス分析システムのオリフ
イス径を変換できるようにしたので、分析管を外
してオリフイス板を取換えることなく、試験装置
内の圧力が大気圧から高真空に至るまでのガス分
析が可能になり、質量分析計の分析管を試験装置
内の試料に近づけることができるので、高真空の
試験装置内において試料から放出される微量ガス
や吸着性ガスの分析が可能になるなどの効果があ
る。
価試験装置の外部からガス分析システムのオリフ
イス径を変換できるようにしたので、分析管を外
してオリフイス板を取換えることなく、試験装置
内の圧力が大気圧から高真空に至るまでのガス分
析が可能になり、質量分析計の分析管を試験装置
内の試料に近づけることができるので、高真空の
試験装置内において試料から放出される微量ガス
や吸着性ガスの分析が可能になるなどの効果があ
る。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第
２図はＡ方向矢視図、第３図は従来のガス分析シ
ステムを示す断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１は試料、２は試料室、３は分析管、４はエ
ンベロープ、５は真空排気装置、６は高真空バル
ブ、１１，１２はベローズ、１３は回転式オリフ
イス板、１５はオリフイス、１６は回転導入機、
１７は回転運動伝達部、１８は直線導入機、１９
は直線運動伝達部である。
２図はＡ方向矢視図、第３図は従来のガス分析シ
ステムを示す断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１は試料、２は試料室、３は分析管、４はエ
ンベロープ、５は真空排気装置、６は高真空バル
ブ、１１，１２はベローズ、１３は回転式オリフ
イス板、１５はオリフイス、１６は回転導入機、
１７は回転運動伝達部、１８は直線導入機、１９
は直線運動伝達部である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 質量分析計の分析管と、この分析管を収納し
かつ前後にベローズを有するエンベロープと、こ
のエンベロープ内の圧力を高真空に保つ真空排気
装置と、耐環境性評価試験装置の試料室側から質
量分析計の分析管側へのガス流入量を制御するた
めのコンダクタンス可変の回転式オリフイス板
と、この回転式オリフイス板を回転させるための
回転導入機と、前記回転式オリフイス板に接触す
るエンベロープ前面を前後に移動させる直線導入
機とを備えたことを特徴とする耐環境性評価試験
用ガス分析システム。 ２ 回転式オリフイス板が同一円周上に異なる径
の複数のオリフイスを有するものであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の耐環境性評
価試験用ガス分析システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61209560A JPS6366839A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 耐環境性評価試験用ガス分析システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61209560A JPS6366839A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 耐環境性評価試験用ガス分析システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366839A JPS6366839A (ja) | 1988-03-25 |
| JPH043062B2 true JPH043062B2 (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=16574848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61209560A Granted JPS6366839A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 耐環境性評価試験用ガス分析システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6366839A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103364304B (zh) * | 2013-06-21 | 2015-08-12 | 浙江工业大学 | 材料形变过程中的氢释放测试装置及测试方法 |
| KR101529608B1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-06-18 | 한국표준과학연구원 | 가스환경 소형펀치 시험장치, 이를 이용한 시험방법, 분석방법 및 기록매체 |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP61209560A patent/JPS6366839A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6366839A (ja) | 1988-03-25 |
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