JP2776427B2 - 座標測定機 - Google Patents
座標測定機Info
- Publication number
- JP2776427B2 JP2776427B2 JP12210192A JP12210192A JP2776427B2 JP 2776427 B2 JP2776427 B2 JP 2776427B2 JP 12210192 A JP12210192 A JP 12210192A JP 12210192 A JP12210192 A JP 12210192A JP 2776427 B2 JP2776427 B2 JP 2776427B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- air pad
- measuring machine
- leg
- coordinate measuring
- Prior art date
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は座標測定機に係り、特に
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向にプローブを移動して被測定物
の形状を測定する座標測定機に関する。
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向にプローブを移動して被測定物
の形状を測定する座標測定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】３次元座標測定機はＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸
方向にプローブを移動して被測定物の形状を測定する。
図５及び図６に示すように、３次元座標測定機はＹキャ
リッジ１０を備えていて、Ｙキャリッジ１０はガイド１
２に沿ってＹ軸方向に移動する。すなわち、ガイド１２
は定盤１４の表面や側面にボルト１６、１６…を介して
取り付けられていて、ガイド１２の両側部にはＹキャリ
ッジ１０の一方の脚部１０Ａのエアパッド１８、１８が
摺動自在に支持されている。この場合、定盤１４にはボ
ルト１６、１６…が螺合するねじ穴１４Ａ、１４Ａ…が
加工されている。
方向にプローブを移動して被測定物の形状を測定する。
図５及び図６に示すように、３次元座標測定機はＹキャ
リッジ１０を備えていて、Ｙキャリッジ１０はガイド１
２に沿ってＹ軸方向に移動する。すなわち、ガイド１２
は定盤１４の表面や側面にボルト１６、１６…を介して
取り付けられていて、ガイド１２の両側部にはＹキャリ
ッジ１０の一方の脚部１０Ａのエアパッド１８、１８が
摺動自在に支持されている。この場合、定盤１４にはボ
ルト１６、１６…が螺合するねじ穴１４Ａ、１４Ａ…が
加工されている。
【０００３】また、Ｙキャリッジ１０の他方の脚部１０
Ｂにはエアパッド２０が設けられていて、他方の脚部１
０Ｂはエアパッド２０を介して定盤１４の表面に沿って
移動する。これにより、Ｙキャリッジ１０はガイド１２
に沿ってＹ軸方向に移動する。前記従来例において、Ｙ
キャリッジ１０はガイド１２に沿って移動するように構
成されていたが、図７及び図８に示すように、定盤１４
の溝２２に沿ってＹキャリッジ１０を移動する３次元座
標測定機も一般に知られている。尚、図５及び図６と同
一類似部材については同一符号を付与して説明を省略す
る。
Ｂにはエアパッド２０が設けられていて、他方の脚部１
０Ｂはエアパッド２０を介して定盤１４の表面に沿って
移動する。これにより、Ｙキャリッジ１０はガイド１２
に沿ってＹ軸方向に移動する。前記従来例において、Ｙ
キャリッジ１０はガイド１２に沿って移動するように構
成されていたが、図７及び図８に示すように、定盤１４
の溝２２に沿ってＹキャリッジ１０を移動する３次元座
標測定機も一般に知られている。尚、図５及び図６と同
一類似部材については同一符号を付与して説明を省略す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、定盤１
４は御影石で形成されているので、ねじ穴１４Ａ、１４
Ａ…や溝２２の加工費が高くなり製品のコスト低減を図
ることができないという問題がある。また、ガイド１２
をボルト１６、１６…を介して取り付けた場合、ボルト
１６、１６…の緩み等により精度が悪化するという問題
があり、定盤１４に溝２２を加工した場合、定盤１４が
強度不足になるという問題がある。
４は御影石で形成されているので、ねじ穴１４Ａ、１４
Ａ…や溝２２の加工費が高くなり製品のコスト低減を図
ることができないという問題がある。また、ガイド１２
をボルト１６、１６…を介して取り付けた場合、ボルト
１６、１６…の緩み等により精度が悪化するという問題
があり、定盤１４に溝２２を加工した場合、定盤１４が
強度不足になるという問題がある。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、コスト低減を図ることができ、さらに、精度の
悪化や定盤の強度不足を防止することができる座標測定
機を提供することを目的とする。
もので、コスト低減を図ることができ、さらに、精度の
悪化や定盤の強度不足を防止することができる座標測定
機を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、測定テーブルの両端部に立脚された一対の
コラムを備えたＹキャリッジを前記測定テーブルの表面
に沿ってＹ軸方向に移動する座標測定機において、前記
測定テーブルの一方と他方の側面に配設されると共に前
記測定テーブルの下方に配設されたアーム部材で連結さ
れた一対の脚部を備え、該一対の脚部の一方がＹキャリ
ッジの一方のコラムに設けられた支持部材と、該支持部
材の一方の脚部に設けられ、前記測定テーブルの一方の
側面に沿って移動自在に支持された基準エアパッド部材
と、前記支持部材の他方の脚部に移動自在に設けられた
反力用エアパッド部材と、前記支持部材の熱変形を吸収
して前記反力用エアパッド部材を前記測定テーブルの他
方の側面に一定の付勢力で付勢するばね部材と、前記Ｙ
キャリッジの他方のコラムと前記支持部材の他方の脚部
とを連結すると共に、前記支持部材の熱変形を吸収する
連結部材と、を備えたことを特徴とする。
成する為に、測定テーブルの両端部に立脚された一対の
コラムを備えたＹキャリッジを前記測定テーブルの表面
に沿ってＹ軸方向に移動する座標測定機において、前記
測定テーブルの一方と他方の側面に配設されると共に前
記測定テーブルの下方に配設されたアーム部材で連結さ
れた一対の脚部を備え、該一対の脚部の一方がＹキャリ
ッジの一方のコラムに設けられた支持部材と、該支持部
材の一方の脚部に設けられ、前記測定テーブルの一方の
側面に沿って移動自在に支持された基準エアパッド部材
と、前記支持部材の他方の脚部に移動自在に設けられた
反力用エアパッド部材と、前記支持部材の熱変形を吸収
して前記反力用エアパッド部材を前記測定テーブルの他
方の側面に一定の付勢力で付勢するばね部材と、前記Ｙ
キャリッジの他方のコラムと前記支持部材の他方の脚部
とを連結すると共に、前記支持部材の熱変形を吸収する
連結部材と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、支持部材の一対の脚部を測定
テーブルの一方と他方の側面に配設すると共に測定テー
ブルの下方に配設されたアーム部材で連結して、一方の
脚部をＹキャリッジの一方のコラムに設けた。支持部材
の一方の脚部に基準エアパッド部材を設けて、基準エア
パッド部材を測定テーブルの一方の側面に沿って移動自
在に支持した。
テーブルの一方と他方の側面に配設すると共に測定テー
ブルの下方に配設されたアーム部材で連結して、一方の
脚部をＹキャリッジの一方のコラムに設けた。支持部材
の一方の脚部に基準エアパッド部材を設けて、基準エア
パッド部材を測定テーブルの一方の側面に沿って移動自
在に支持した。
【０００８】また、支持部材の他方の脚部に反力用エア
パッド部材を移動自在に設けて、ばね部材で支持部材の
熱変形を吸収して反力用エアパッド部材を測定テーブル
の他方の側面に一定の付勢力で付勢する。更に、連結部
材がＹキャリッジの他方のコラムと支持部材の他方の脚
部とを連結すると共に支持部材の熱変形を吸収する。従
って、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパッド部材
の測定テーブルに対する反力を一定に維持すると共に、
支持部材に連結されているＹキャリッジの他方のコラム
に支持部材の熱変形の影響を与えないようにすることが
できる。
パッド部材を移動自在に設けて、ばね部材で支持部材の
熱変形を吸収して反力用エアパッド部材を測定テーブル
の他方の側面に一定の付勢力で付勢する。更に、連結部
材がＹキャリッジの他方のコラムと支持部材の他方の脚
部とを連結すると共に支持部材の熱変形を吸収する。従
って、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパッド部材
の測定テーブルに対する反力を一定に維持すると共に、
支持部材に連結されているＹキャリッジの他方のコラム
に支持部材の熱変形の影響を与えないようにすることが
できる。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る座標測定
機について詳説する。図１には本発明に係る座標測定機
５０の要部拡大が示され、図２にはそのＡ−Ａ矢視図が
示されている。座標測定機５０はＹキャリッジ５２及び
支持部材５４等を備えていて、Ｙキャリッジ５２は右側
Ｙコラム５２Ａ及び左側Ｙコラム５２Ｂを有している。
支持部材５４は右側脚部５４Ａと左側脚部５４Ｃを有し
ていて、右左の脚部５４Ａ、５４Ｃの下端部はそれぞれ
アーム５４Ｂで連結されている。アーム５４Ｂは定盤６
４の底面に沿って延長されていて、右左の脚部５４Ａ、
５４Ｃはそれぞれ定盤６４の右左の側面に沿って立設さ
れている。
機について詳説する。図１には本発明に係る座標測定機
５０の要部拡大が示され、図２にはそのＡ−Ａ矢視図が
示されている。座標測定機５０はＹキャリッジ５２及び
支持部材５４等を備えていて、Ｙキャリッジ５２は右側
Ｙコラム５２Ａ及び左側Ｙコラム５２Ｂを有している。
支持部材５４は右側脚部５４Ａと左側脚部５４Ｃを有し
ていて、右左の脚部５４Ａ、５４Ｃの下端部はそれぞれ
アーム５４Ｂで連結されている。アーム５４Ｂは定盤６
４の底面に沿って延長されていて、右左の脚部５４Ａ、
５４Ｃはそれぞれ定盤６４の右左の側面に沿って立設さ
れている。
【００１０】右側Ｙコラム５２Ａの下端部には右側脚部
５４Ａの上端部が固定されていて、右側脚部５４Ａの上
端部にはボルト５６Ａが螺合されている。ボルト５６Ａ
の先端部にはボール５８が溶着されている。図３に示す
ように、ボール５８Ａは溝６０Ａ内に回動自在に嵌入さ
れていて、溝６０Ａは垂直方向エアパッド６０の背面に
形成されている。垂直方向エアパッド６０の摺動面６０
Ａは定盤６４の右端部表面に沿って移動自在に支持され
ている。
５４Ａの上端部が固定されていて、右側脚部５４Ａの上
端部にはボルト５６Ａが螺合されている。ボルト５６Ａ
の先端部にはボール５８が溶着されている。図３に示す
ように、ボール５８Ａは溝６０Ａ内に回動自在に嵌入さ
れていて、溝６０Ａは垂直方向エアパッド６０の背面に
形成されている。垂直方向エアパッド６０の摺動面６０
Ａは定盤６４の右端部表面に沿って移動自在に支持され
ている。
【００１１】また、右側脚部５４Ａの略中央部にはボル
ト５６Ｂが螺合されていてボルト５６Ｂの先端部にはボ
ール５８Ｂが固着されている。ボール５８Ｂは基準エア
パッド６６の背面に形成されている溝６６Ａ内に回動自
在に嵌入されていて、基準エアパッド６６の摺動面６６
Ｂは定盤６４の右側面に沿って移動自在に支持されてい
る。
ト５６Ｂが螺合されていてボルト５６Ｂの先端部にはボ
ール５８Ｂが固着されている。ボール５８Ｂは基準エア
パッド６６の背面に形成されている溝６６Ａ内に回動自
在に嵌入されていて、基準エアパッド６６の摺動面６６
Ｂは定盤６４の右側面に沿って移動自在に支持されてい
る。
【００１２】さらに、図４に示すように左側脚部５４Ｃ
にはシャフト６８が摺動自在に支持されていて、シャフ
ト６８の先端部にはフランジ６８Ａが形成されている。
左側脚部５４Ｃとフランジ６８Ａとの間のシャフト６８
には皿ばね６９が配設されていて、皿ばね６９はフラン
ジ６８Ａを右方向に付勢している。フランジ６８Ａには
ボール５８Ｄが固着されていて、ボール５８Ｄは反力用
エアパッド７０の背面に形成されている溝７０Ａ内に回
動自在に嵌入されている。反力用エアパッド７０の摺動
面の７０Ｂは定盤６４の左側面に沿って移動自在に支持
されている。
にはシャフト６８が摺動自在に支持されていて、シャフ
ト６８の先端部にはフランジ６８Ａが形成されている。
左側脚部５４Ｃとフランジ６８Ａとの間のシャフト６８
には皿ばね６９が配設されていて、皿ばね６９はフラン
ジ６８Ａを右方向に付勢している。フランジ６８Ａには
ボール５８Ｄが固着されていて、ボール５８Ｄは反力用
エアパッド７０の背面に形成されている溝７０Ａ内に回
動自在に嵌入されている。反力用エアパッド７０の摺動
面の７０Ｂは定盤６４の左側面に沿って移動自在に支持
されている。
【００１３】このように、反力用エアパッド７０が定盤
６４の左側面に設けられたので、定盤６４の左側面に設
けられている基準エアパッド６６に反力が付与される。
また、反力用エアパッド７０を皿ばね６９で定盤６４の
左側面方向に付勢したので、皿ばね６９はアーム５４Ｂ
等の支持部材５４の熱変形を吸収する。従って、基準エ
アパッド６６に付与される反力を略一定に保つことがで
きる。この場合、皿ばね６９のばね定数は基準エアパッ
ド６６のばね定数より小さく設定されている。
６４の左側面に設けられたので、定盤６４の左側面に設
けられている基準エアパッド６６に反力が付与される。
また、反力用エアパッド７０を皿ばね６９で定盤６４の
左側面方向に付勢したので、皿ばね６９はアーム５４Ｂ
等の支持部材５４の熱変形を吸収する。従って、基準エ
アパッド６６に付与される反力を略一定に保つことがで
きる。この場合、皿ばね６９のばね定数は基準エアパッ
ド６６のばね定数より小さく設定されている。
【００１４】左側Ｙコラム５２Ｂの下端部にはボルト５
６Ｃが螺合されていてボルト５６Ｃの先端部にはボール
５８Ｃが固着されている。ボール５８Ｃは垂直方向エア
パッド７４の背面に形成されている溝７４Ａ内に回動自
在に嵌入されていて、垂直方向エアパッド７４の摺動面
７４Ｂは定盤６４の左端部に沿って移動自在に支持され
ている。
６Ｃが螺合されていてボルト５６Ｃの先端部にはボール
５８Ｃが固着されている。ボール５８Ｃは垂直方向エア
パッド７４の背面に形成されている溝７４Ａ内に回動自
在に嵌入されていて、垂直方向エアパッド７４の摺動面
７４Ｂは定盤６４の左端部に沿って移動自在に支持され
ている。
【００１５】また、左側Ｙコラム５２Ｂの下端部には板
ばね７６の上端部が取り付けられていて、板ばね７６の
下端部は左側脚部５４Ｃに連結されている。従って、左
側脚部５４Ｃは板ばね７６を介して左側Ｙコラム５２Ｂ
に吊られた状態に保持される。これにより、アーム５４
Ｂ等の支持部材５４の熱変形は板ばね７６で吸収される
ので、支持部材５４の熱変形は左側Ｙコラム５２Ｂに影
響を与えない。従って、例えば、支持部材５４のアーム
５４Ｂが熱変形しても左側Ｙコラム５２Ｂには熱変形に
よる反力が発生しない。
ばね７６の上端部が取り付けられていて、板ばね７６の
下端部は左側脚部５４Ｃに連結されている。従って、左
側脚部５４Ｃは板ばね７６を介して左側Ｙコラム５２Ｂ
に吊られた状態に保持される。これにより、アーム５４
Ｂ等の支持部材５４の熱変形は板ばね７６で吸収される
ので、支持部材５４の熱変形は左側Ｙコラム５２Ｂに影
響を与えない。従って、例えば、支持部材５４のアーム
５４Ｂが熱変形しても左側Ｙコラム５２Ｂには熱変形に
よる反力が発生しない。
【００１６】さらに、右側脚部５４Ａには読取りヘッド
７８が設けられていて、読取りヘッド７８はＹ軸スケー
ル８０を読み取り、これにより、Ｙキャリッジ５２のＹ
軸方向の移動量が検出される。Ｙ軸スケール８０は読取
りヘッド７８に対向して定盤６４に設けられている。
尚、定盤６４はボルト８２、８２…を介して架台８４に
載置されている。
７８が設けられていて、読取りヘッド７８はＹ軸スケー
ル８０を読み取り、これにより、Ｙキャリッジ５２のＹ
軸方向の移動量が検出される。Ｙ軸スケール８０は読取
りヘッド７８に対向して定盤６４に設けられている。
尚、定盤６４はボルト８２、８２…を介して架台８４に
載置されている。
【００１７】このように構成された本発明に係る座標測
定機の作用について説明する。先ず、ボルト５６Ａ、５
６Ｂ、５６Ｃを調整して、エアパッド６０、６６、７４
を適正位置に位置決めする。すなわち、エアパッド６
０、６６、７４のそれぞれの摺動面６０Ｂ、６６Ｂ、７
４Ｂと定盤６４の対向面間の距離を適正に設定する。こ
の場合、反力用エアパッド７０は定盤６４の左側面に設
けられると共に、皿ばね６９で定盤６４の左側面方向に
付勢されているので、定盤６４の左側面に設けられてい
る基準エアパッド６６に反力が付与される。
定機の作用について説明する。先ず、ボルト５６Ａ、５
６Ｂ、５６Ｃを調整して、エアパッド６０、６６、７４
を適正位置に位置決めする。すなわち、エアパッド６
０、６６、７４のそれぞれの摺動面６０Ｂ、６６Ｂ、７
４Ｂと定盤６４の対向面間の距離を適正に設定する。こ
の場合、反力用エアパッド７０は定盤６４の左側面に設
けられると共に、皿ばね６９で定盤６４の左側面方向に
付勢されているので、定盤６４の左側面に設けられてい
る基準エアパッド６６に反力が付与される。
【００１８】これにより、Ｙキャリッジ５２はＸ軸方
向、Ｚ軸方向への移動が拘束されてＹ軸方向のみに移動
する。前記実施例では板ばね７６で左側Ｙコラム５２Ｂ
と左側脚部５４Ｃを連結したが、これに限らず、ワイヤ
等の他の連結部材を使用してもよい。
向、Ｚ軸方向への移動が拘束されてＹ軸方向のみに移動
する。前記実施例では板ばね７６で左側Ｙコラム５２Ｂ
と左側脚部５４Ｃを連結したが、これに限らず、ワイヤ
等の他の連結部材を使用してもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機によれば、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパ
ッド部材の測定テーブルに対する反力を一定に維持する
と共に、支持部材に連結されているＹキャリッジの他方
のコラムに支持部材の熱変形の影響を与えないようにす
ることができる。
定機によれば、支持部材の熱変形を吸収して基準エアパ
ッド部材の測定テーブルに対する反力を一定に維持する
と共に、支持部材に連結されているＹキャリッジの他方
のコラムに支持部材の熱変形の影響を与えないようにす
ることができる。
【００２０】従って、測定テーブルに直接ガイド部材を
取り付けたり、測定テーブルに直接ガイド用の溝を加工
する必要がないので、コスト低減を図ることができ、さ
らに、精度の悪化や定盤の強度不足を防止することがで
きる。また、Ｙキャリッジの一対のコラムが支持部材に
連結されているので、一対のコラムのねじれを防止する
ことができる。
取り付けたり、測定テーブルに直接ガイド用の溝を加工
する必要がないので、コスト低減を図ることができ、さ
らに、精度の悪化や定盤の強度不足を防止することがで
きる。また、Ｙキャリッジの一対のコラムが支持部材に
連結されているので、一対のコラムのねじれを防止する
ことができる。
【図１】本発明に係る座標測定機の断面図
【図２】図１の矢視Ａ−Ａ図
【図３】本発明に係る座標測定機の要部拡大図
【図４】本発明に係る座標測定機の要部拡大図
【図５】従来の座標測定機の側面図
【図６】従来の座標測定機の側面図
【図７】従来の座標測定機の側面図
【図８】従来の座標測定機の側面図
５０…座標測定機 ５２…Ｙキャリッジ ５２Ａ…右側Ｙコラム ５２Ｂ…左側Ｙコラム ５４…支持部材 ５４Ａ、５４Ｃ…脚部 ５４Ｂ…アーム ６４…定盤 ６６…基準エアパッド ６９…皿ばね ７０…反力用エアパッド ７６…板ばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 21/00 G01B 21/20 G01B 5/00 G01B 5/20 G01B 7/28
Claims (1)
- 【請求項１】 測定テーブルの両端部に立脚された一対
のコラムを備えたＹキャリッジを前記測定テーブルの表
面に沿ってＹ軸方向に移動する座標測定機において、 前記測定テーブルの一方と他方の側面に配設されると共
に前記測定テーブルの下方に配設されたアーム部材で連
結された一対の脚部を備え、該一対の脚部の一方がＹキ
ャリッジの一方のコラムに設けられた支持部材と、 該支持部材の一方の脚部に設けられ、前記測定テーブル
の一方の側面に沿って移動自在に支持された基準エアパ
ッド部材と、 前記支持部材の他方の脚部に移動自在に設けられた反力
用エアパッド部材と、 前記支持部材の熱変形を吸収して前記反力用エアパッド
部材を前記測定テーブルの他方の側面に一定の付勢力で
付勢するばね部材と、 前記Ｙキャリッジの他方のコラムと前記支持部材の他方
の脚部とを連結すると共に、前記支持部材の熱変形を吸
収する連結部材と、 を備えたことを特徴とする座標測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12210192A JP2776427B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12210192A JP2776427B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 座標測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312556A JPH05312556A (ja) | 1993-11-22 |
| JP2776427B2 true JP2776427B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=14827670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12210192A Expired - Fee Related JP2776427B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 座標測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2776427B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3638436B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2005-04-13 | アルプス電気株式会社 | ラビング装置 |
| JP2007033052A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 石材定盤を備える装置及び座標測定機 |
| EP3527931B1 (en) | 2015-01-30 | 2021-07-21 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| JP6315291B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-04-25 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP6288477B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-03-07 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP6451942B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-01-16 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP6347260B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-06-27 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP6646454B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-02-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| EP3392611B1 (en) | 2017-04-19 | 2019-12-25 | Renishaw PLC | Contamination trap |
| CN110537074A (zh) | 2017-04-19 | 2019-12-03 | 瑞尼斯豪公司 | 测量设备平衡件 |
| US10826369B2 (en) | 2017-04-19 | 2020-11-03 | Renishaw Plc | Positioning apparatus with relatively moveable members and a linear motor mounted thereon |
| EP3392610B1 (en) | 2017-04-19 | 2022-02-23 | Renishaw PLC | Bearing mount |
| CN110537076B (zh) | 2017-04-19 | 2021-09-03 | 瑞尼斯豪公司 | 支承布置 |
| JP6745024B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-08-26 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP6857831B2 (ja) * | 2019-04-08 | 2021-04-14 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
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1992
- 1992-05-14 JP JP12210192A patent/JP2776427B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH05312556A (ja) | 1993-11-22 |
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