JP2725134B2 - 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 - Google Patents
超音波モータ及び超音波モータ付電子機器Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/166—Motors with disc stator
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電振動子の伸縮運
動を利用した超音波振動により、移動体を摩擦駆動させ
る超音波モータ及び超音波モータを用いた電子機器に関
する。
動を利用した超音波振動により、移動体を摩擦駆動させ
る超音波モータ及び超音波モータを用いた電子機器に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来のエンコーダ等の位置検出手段を使
用せずに所定の移動量のステップ駆動を可能とする超音
波モータは、特公平3−207281号公報、あるい
は、特公平4−38180号公報に示されるような構成
であった。
用せずに所定の移動量のステップ駆動を可能とする超音
波モータは、特公平3−207281号公報、あるい
は、特公平4−38180号公報に示されるような構成
であった。
【0003】図27は、従来のエンコーダ等の位置検出
手段を使用せずに所定の移動量のステップ駆動を可能と
する超音波モータの上面図である。移動体2701は4
ヶ所の凸部2701aを有し、突起部2702aを有す
る振動体2702と接する例を示す。
手段を使用せずに所定の移動量のステップ駆動を可能と
する超音波モータの上面図である。移動体2701は4
ヶ所の凸部2701aを有し、突起部2702aを有す
る振動体2702と接する例を示す。
【0004】図28は振動体2802に固定された圧電
振動子2803の電極パターン構造と移動体2801と
の位置関係を示している。図29は従来の超音波モータ
がステップ駆動する時の振動状態の様子を示した動作説
明図であり、記号は図28に対応している。定在波1で
はA,B,CとAの反転,Bの反転,Cの反転がそれぞ
れ組みになり、互いに180度位相がずれて振動してい
る。これにより移動体の凸部2801aは定在波の腹か
ら節に向かって力が作用し、力の釣り合う場所である定
在波1の節の上で位置決めされる。定在波2ではB,
C,Aの反転とBの反転,Cの反転,Aがそれぞれ組み
になり、定在波3ではC,Aの反転,Bの反転とCの反
転,A,Bがそれぞれ組みとなり、定在波1→定在波2
→定在波3→定在波1→・・・と順次繰り返すことによ
り、節の位置が段階的に移動し、移動体2801の凸部
2801aはそれと等しい移動量だけ移動することにな
る。すなわち、図28に示した超音波モータの電極パタ
ーン構造では、移動体2801は12ステップで1回転
する構成となっている
振動子2803の電極パターン構造と移動体2801と
の位置関係を示している。図29は従来の超音波モータ
がステップ駆動する時の振動状態の様子を示した動作説
明図であり、記号は図28に対応している。定在波1で
はA,B,CとAの反転,Bの反転,Cの反転がそれぞ
れ組みになり、互いに180度位相がずれて振動してい
る。これにより移動体の凸部2801aは定在波の腹か
ら節に向かって力が作用し、力の釣り合う場所である定
在波1の節の上で位置決めされる。定在波2ではB,
C,Aの反転とBの反転,Cの反転,Aがそれぞれ組み
になり、定在波3ではC,Aの反転,Bの反転とCの反
転,A,Bがそれぞれ組みとなり、定在波1→定在波2
→定在波3→定在波1→・・・と順次繰り返すことによ
り、節の位置が段階的に移動し、移動体2801の凸部
2801aはそれと等しい移動量だけ移動することにな
る。すなわち、図28に示した超音波モータの電極パタ
ーン構造では、移動体2801は12ステップで1回転
する構成となっている
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のエンコ
ーダ等の位置検出手段を使用しない所定の移動量のステ
ップ駆動可能な超音波モータでは、移動体のステップ駆
動できる移動量は、定在波の間隔あるいは定在波の節の
移動量で決定されてしまうため、移動体のステップ角度
は定在波の節部の間隔あるいは定在波の節部の移動量よ
り小さくにすることはできなかった。
ーダ等の位置検出手段を使用しない所定の移動量のステ
ップ駆動可能な超音波モータでは、移動体のステップ駆
動できる移動量は、定在波の間隔あるいは定在波の節の
移動量で決定されてしまうため、移動体のステップ角度
は定在波の節部の間隔あるいは定在波の節部の移動量よ
り小さくにすることはできなかった。
【0006】そこで、この発明の目的は、従来のこのよ
うな課題を解決するために、移動体のステップ角度を、
定在波の節の間隔あるいは定在波の節の移動量よりも小
さくすることができる超音波モータを提供することにあ
る。
うな課題を解決するために、移動体のステップ角度を、
定在波の節の間隔あるいは定在波の節の移動量よりも小
さくすることができる超音波モータを提供することにあ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、電極パターンを有する圧電振動子と、
前記圧電振動子が固定され、突起部を有する振動体と、
前記振動体に圧接され、前記圧電振動子の伸縮運動によ
り摩擦駆動する移動体と、前記移動体を前記振動体に加
圧接触させる加圧手段を有する超音波モータにおいて、
振動の波数λである前記移動体を駆動するための進行波
を発生し、かつ、前記移動体を停止するための定在波を
1種類、または、2種類以上発生させる超音波振動発生
回路と、前記進行波と前記定在波の作動を切り換える切
替回路と、前記超音波振動発生回路により駆動する少な
くとも一枚以上の前記圧電振動子と、前記移動体は定在
波励振時に前記移動体を停止させるための不均一部を有
し、前記不均一部の数は定在波励振時の節数よりも多
く、かつ、前記移動体の不均一部の数と定在波励振時の
節数とは、2以上の正の整数であるところの公約数を少
なくとも1個以上有する構成とした。
に、この発明は、電極パターンを有する圧電振動子と、
前記圧電振動子が固定され、突起部を有する振動体と、
前記振動体に圧接され、前記圧電振動子の伸縮運動によ
り摩擦駆動する移動体と、前記移動体を前記振動体に加
圧接触させる加圧手段を有する超音波モータにおいて、
振動の波数λである前記移動体を駆動するための進行波
を発生し、かつ、前記移動体を停止するための定在波を
1種類、または、2種類以上発生させる超音波振動発生
回路と、前記進行波と前記定在波の作動を切り換える切
替回路と、前記超音波振動発生回路により駆動する少な
くとも一枚以上の前記圧電振動子と、前記移動体は定在
波励振時に前記移動体を停止させるための不均一部を有
し、前記不均一部の数は定在波励振時の節数よりも多
く、かつ、前記移動体の不均一部の数と定在波励振時の
節数とは、2以上の正の整数であるところの公約数を少
なくとも1個以上有する構成とした。
【0008】
【作用】図1は、本発明の超音波モータの代表的な構成
の一例を示す機能ブロック図である。図1において、発
振回路102は、電源101により動作して所定の出力
信号を出力する。発振回路102には、水晶振動子など
の源振を接続する。分周回路103は、発振回路102
の出力信号を入力して分周する。計時回路104は、分
周回路103の出力信号を入力して所定の計時信号を出
力する。
の一例を示す機能ブロック図である。図1において、発
振回路102は、電源101により動作して所定の出力
信号を出力する。発振回路102には、水晶振動子など
の源振を接続する。分周回路103は、発振回路102
の出力信号を入力して分周する。計時回路104は、分
周回路103の出力信号を入力して所定の計時信号を出
力する。
【0009】超音波振動発生回路107は、移動体11
2を回転させる進行波、あるいは、停止させる定在波を
発生する。進行波発生回路105は、移動体112を回
転させる進行波を発生する。定在波発生回路106は、
移動体112を停止させる定在波を発生する。
2を回転させる進行波、あるいは、停止させる定在波を
発生する。進行波発生回路105は、移動体112を回
転させる進行波を発生する。定在波発生回路106は、
移動体112を停止させる定在波を発生する。
【0010】切替回路108は、進行波発生回路105
の出力信号と、定在波発生回路106の出力信号を入力
して、圧電振動子駆動回路109に出力パルスを出力す
る動作を制御する。圧電振動子駆動回路109は、圧電
振動子110に所定の高周波電圧を印加する。複数のく
し歯状の突起部を有する振動体111に超音波振動が発
生し、定在波発生時に移動体を停止するための不均一部
を有し、不均一部の数は定在波励振時の節数よりも多い
移動体112は回転、停止などの動作をする。加圧手段
113は、振動体111と移動体112を一定の圧力で
加圧する。出力手段114は、移動体112の動作によ
り動作する。
の出力信号と、定在波発生回路106の出力信号を入力
して、圧電振動子駆動回路109に出力パルスを出力す
る動作を制御する。圧電振動子駆動回路109は、圧電
振動子110に所定の高周波電圧を印加する。複数のく
し歯状の突起部を有する振動体111に超音波振動が発
生し、定在波発生時に移動体を停止するための不均一部
を有し、不均一部の数は定在波励振時の節数よりも多い
移動体112は回転、停止などの動作をする。加圧手段
113は、振動体111と移動体112を一定の圧力で
加圧する。出力手段114は、移動体112の動作によ
り動作する。
【0011】本発明の超音波モータは、移動体の駆動の
ための進行波と、停止のための定在波を適切な状態で切
り換えることにより、移動体は、移動体の不均一部位
置、定在波の節位置、振動体の突起部位置により、力の
釣り合った位置で停止する。すなわち、移動体のステッ
プ角度を、定在波の節の間隔、あるいは、定在波の節の
移動量よりも小さくすることが可能となる。
ための進行波と、停止のための定在波を適切な状態で切
り換えることにより、移動体は、移動体の不均一部位
置、定在波の節位置、振動体の突起部位置により、力の
釣り合った位置で停止する。すなわち、移動体のステッ
プ角度を、定在波の節の間隔、あるいは、定在波の節の
移動量よりも小さくすることが可能となる。
【0012】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
説明する。 (実施例1)図2は、本発明の超音波モータの実施例1
のシステムブロック図である。
説明する。 (実施例1)図2は、本発明の超音波モータの実施例1
のシステムブロック図である。
【0013】発振回路202は、電源201により動作
して所定の出力信号を出力する。発振回路202には、
水晶振動子などの源振を接続する。分周回路203は、
発振回路202の出力信号を入力して分周する。計時回
路204は、分周回路203の出力信号を入力して所定
の計時信号を出力する。
して所定の出力信号を出力する。発振回路202には、
水晶振動子などの源振を接続する。分周回路203は、
発振回路202の出力信号を入力して分周する。計時回
路204は、分周回路203の出力信号を入力して所定
の計時信号を出力する。
【0014】電流検出回路231は、圧電振動子駆動回
路208、圧電振動子221、振動体222の少なくと
も1ヶ所に接続してあり、超音波モータの負荷状態ある
いは回転状態により変化する出力信号を入力する。超音
波モータが動作して移動体223が動作することによ
り、圧電振動子駆動回路208、圧電振動子221、振
動体222の出力する出力信号が変化する。出力信号と
しては、電流を用いることができる。電流検出回路23
1は、検出した電流に対応した出力信号を出力する。
路208、圧電振動子221、振動体222の少なくと
も1ヶ所に接続してあり、超音波モータの負荷状態ある
いは回転状態により変化する出力信号を入力する。超音
波モータが動作して移動体223が動作することによ
り、圧電振動子駆動回路208、圧電振動子221、振
動体222の出力する出力信号が変化する。出力信号と
しては、電流を用いることができる。電流検出回路23
1は、検出した電流に対応した出力信号を出力する。
【0015】検出信号発生回路232は、検出した電流
に対応した検出信号を出力する。駆動パルス記憶回路2
05は、超音波モータの移動体223の回転の状態に対
応して発生するのに適した各種の条件の駆動パルスを記
憶する。駆動パルス発生回路206は、駆動パルス記憶
回路205の出力信号を入力して駆動パルスを発生す
る。
に対応した検出信号を出力する。駆動パルス記憶回路2
05は、超音波モータの移動体223の回転の状態に対
応して発生するのに適した各種の条件の駆動パルスを記
憶する。駆動パルス発生回路206は、駆動パルス記憶
回路205の出力信号を入力して駆動パルスを発生す
る。
【0016】停止パルス記憶回路210は、超音波モー
タの移動体223の回転の状態に対応して発生するのに
適した各種の条件の停止パルスを記憶する。停止パルス
発生回路209は、停止パルス記憶回路210の出力信
号を入力して停止パルスを発生する。
タの移動体223の回転の状態に対応して発生するのに
適した各種の条件の停止パルスを記憶する。停止パルス
発生回路209は、停止パルス記憶回路210の出力信
号を入力して停止パルスを発生する。
【0017】出力パルス選択回路207は、駆動パルス
発生回路206の出力信号と、停止パルス発生回路20
9の出力信号と、検出信号発生回路232の検出信号と
を入力して、圧電振動子駆動回路208に出力パルスを
出力する動作を制御する。圧電振動子駆動回路208
は、圧電振動子221に所定の高周波電圧を印加する。
振動体222に超音波振動が発生し、定在波発生時に移
動体を停止するための複数の不均一部を有する移動体2
23は回転などの動作をする。加圧手段224は、振動
体222と移動体223を一定の圧力で加圧する。出力
手段225は、移動体223の動作により動作する。
発生回路206の出力信号と、停止パルス発生回路20
9の出力信号と、検出信号発生回路232の検出信号と
を入力して、圧電振動子駆動回路208に出力パルスを
出力する動作を制御する。圧電振動子駆動回路208
は、圧電振動子221に所定の高周波電圧を印加する。
振動体222に超音波振動が発生し、定在波発生時に移
動体を停止するための複数の不均一部を有する移動体2
23は回転などの動作をする。加圧手段224は、振動
体222と移動体223を一定の圧力で加圧する。出力
手段225は、移動体223の動作により動作する。
【0018】図3は、本発明の超音波モータの実施例1
の斜視図である。図3に示すように、圧電振動子(A)
5は超音波モータの駆動用の進行波を発生する。圧電振
動子(B)6は、超音波モータの停止用の定在波を発生
する。移動体2は、定在波発生時に移動体を停止させる
ための不均一部2aを有し、かつ、一種類の定在波発生
時の節数よりも多く設けられている。振動体3は、複数
のくし歯状の突起部3aを有し、中心軸(図示しない)
に固定する。中心軸は、固定台7に固定する。移動体2
は摩擦材8を介して、振動体3のくし歯状の突起部3a
に接触する。移動体2は中心軸を回転案内として回転可
能に組み込まれる。加圧ばね1は、移動体2を振動体3
のくし歯状の突起部3aに所定の圧力で加圧する。
の斜視図である。図3に示すように、圧電振動子(A)
5は超音波モータの駆動用の進行波を発生する。圧電振
動子(B)6は、超音波モータの停止用の定在波を発生
する。移動体2は、定在波発生時に移動体を停止させる
ための不均一部2aを有し、かつ、一種類の定在波発生
時の節数よりも多く設けられている。振動体3は、複数
のくし歯状の突起部3aを有し、中心軸(図示しない)
に固定する。中心軸は、固定台7に固定する。移動体2
は摩擦材8を介して、振動体3のくし歯状の突起部3a
に接触する。移動体2は中心軸を回転案内として回転可
能に組み込まれる。加圧ばね1は、移動体2を振動体3
のくし歯状の突起部3aに所定の圧力で加圧する。
【0019】図4及び図5は、本発明の超音波モータの
実施例1の動作原理を示す説明図である。図4は実施例
1の駆動状態及び振動の様子を示す断面図である。駆動
用の進行波を発生させる圧電振動子(A)5が作動して
いる間は振動体3にはa1→a2、b1→b2と移動す
るような進行波が発生するために、複数の不均一部を有
する移動体2は波の進む方向とは反対方向に駆動する。
実施例1の動作原理を示す説明図である。図4は実施例
1の駆動状態及び振動の様子を示す断面図である。駆動
用の進行波を発生させる圧電振動子(A)5が作動して
いる間は振動体3にはa1→a2、b1→b2と移動す
るような進行波が発生するために、複数の不均一部を有
する移動体2は波の進む方向とは反対方向に駆動する。
【0020】図5は、実施例1の停止状態及び振動状態
を示す断面図である。この場合、振動体のくし歯状の突
起部は、定在波の節から離した位置に配置してあり、定
在波の1波に対して8本の突起部が配置している。ま
た、移動体2の不均一部はλ/6間隔で等間隔に形成さ
れている。ここで、停止状態の挙動を説明しやすいよう
に、図中では移動体2と振動体3を離して示してある。
を示す断面図である。この場合、振動体のくし歯状の突
起部は、定在波の節から離した位置に配置してあり、定
在波の1波に対して8本の突起部が配置している。ま
た、移動体2の不均一部はλ/6間隔で等間隔に形成さ
れている。ここで、停止状態の挙動を説明しやすいよう
に、図中では移動体2と振動体3を離して示してある。
【0021】図5において、圧電振動子(A)5の作動
を停止させ、停止用の定在波を発生させる圧電振動子
(B)6を作動させると、振動体3には、(b)に図示
するように、c1,c2,c3を節部とするような定在
波が発生し、振動体のくし歯状の突起部3011〜30
14には(a)に図示するような矢印方向に力が作用す
る。このとき、移動体2の不均一部間の側面下端部Ra
とRbに作用する力のバランスが異なる場合、移動体2
は回転する。しかし、移動体2が(a)に図示した位置
にくると、突起部3012,3013の移動体2への接
触面は不均一部間21aの端部RaとRbの下に位置し
ている関係となり、側面下端部Ra,Rbの両側から不
均一部間21aの内側に向かって力が作用し、不均一部
間21aはその力が釣り合う位置である定在波の節部に
位置決めされる。
を停止させ、停止用の定在波を発生させる圧電振動子
(B)6を作動させると、振動体3には、(b)に図示
するように、c1,c2,c3を節部とするような定在
波が発生し、振動体のくし歯状の突起部3011〜30
14には(a)に図示するような矢印方向に力が作用す
る。このとき、移動体2の不均一部間の側面下端部Ra
とRbに作用する力のバランスが異なる場合、移動体2
は回転する。しかし、移動体2が(a)に図示した位置
にくると、突起部3012,3013の移動体2への接
触面は不均一部間21aの端部RaとRbの下に位置し
ている関係となり、側面下端部Ra,Rbの両側から不
均一部間21aの内側に向かって力が作用し、不均一部
間21aはその力が釣り合う位置である定在波の節部に
位置決めされる。
【0022】また、不均一部間21bと21cは、振動
体のくし歯状の突起部3011、3014により、互い
に逆向きの力が作用する。この時、突起部3011、3
014は、不均一部間21b,21cの側面下端部Ra
とRbの内側に位置しているため、図示した矢印方向の
力は互いに打ち消し合うことになり、不均一部間21
b,21cは見かけ上、力が作用しないことになる。こ
れにより、移動体2は不均一部間21aにより定在波発
生時に位置決めされる。
体のくし歯状の突起部3011、3014により、互い
に逆向きの力が作用する。この時、突起部3011、3
014は、不均一部間21b,21cの側面下端部Ra
とRbの内側に位置しているため、図示した矢印方向の
力は互いに打ち消し合うことになり、不均一部間21
b,21cは見かけ上、力が作用しないことになる。こ
れにより、移動体2は不均一部間21aにより定在波発
生時に位置決めされる。
【0023】このように、駆動用の進行波で移動体2の
不均一部間を停止用の定在波の節部付近まで駆動させ、
瞬時に定在波に切り換えることにより、正確な分割位置
に移動体2を停止させることができ、かつ、移動体2の
ステップ量は、定在波の節部の移動量より小さくするこ
とができる。実施例1においては、最小ステップ量はλ
/6とすることが可能となる。
不均一部間を停止用の定在波の節部付近まで駆動させ、
瞬時に定在波に切り換えることにより、正確な分割位置
に移動体2を停止させることができ、かつ、移動体2の
ステップ量は、定在波の節部の移動量より小さくするこ
とができる。実施例1においては、最小ステップ量はλ
/6とすることが可能となる。
【0024】なお、駆動用の進行波と停止用の定在波の
切り換えるタイミングとしては、移動体2の所定の停止
位置に対して、±(最小ステップ量)/2以内の範囲内
まで駆動用の進行波で移動体2を駆動して、定在波と切
り換えれば良い。また、実施例1では、駆動用の圧電振
動子と停止用の圧電振動子を別々に考えたが、一枚の圧
電振動子でも分割電極パターンと印加電圧箇所の切り換
えでステップ駆動が可能となる。
切り換えるタイミングとしては、移動体2の所定の停止
位置に対して、±(最小ステップ量)/2以内の範囲内
まで駆動用の進行波で移動体2を駆動して、定在波と切
り換えれば良い。また、実施例1では、駆動用の圧電振
動子と停止用の圧電振動子を別々に考えたが、一枚の圧
電振動子でも分割電極パターンと印加電圧箇所の切り換
えでステップ駆動が可能となる。
【0025】図6は、本発明の超音波モータの実施例1
の移動体の上面図である。図6において、不均一部2a
は移動体の円周方向に20度おきに等間隔に18ヶ所に
設けてある。また、不均一部2aの幅は、定在波発生時
に移動体が停止するのに適した幅としてある。
の移動体の上面図である。図6において、不均一部2a
は移動体の円周方向に20度おきに等間隔に18ヶ所に
設けてある。また、不均一部2aの幅は、定在波発生時
に移動体が停止するのに適した幅としてある。
【0026】図7は、本発明の超音波モータの実施例1
の振動体の上面図である。図7において、振動体は、く
し歯上の突起部3aを24本有し、かつ、円周方向に等
間隔に配列されている。図8は、本発明の超音波モータ
の実施例1の振動体と移動体の透視図であり、記号は図
5と対応している。
の振動体の上面図である。図7において、振動体は、く
し歯上の突起部3aを24本有し、かつ、円周方向に等
間隔に配列されている。図8は、本発明の超音波モータ
の実施例1の振動体と移動体の透視図であり、記号は図
5と対応している。
【0027】図8において、定在波発生時における波数
を3とした場合の、定在波励振時における振動体と移動
体との位置関係を示している。図5に示した位置関係と
同様に、くし歯状の突起部が定在波の節部から離れた位
置に配置されている場合、定在波発生時の移動体2の停
止位置は、図8に示した位置となる。すなわち、駆動用
の進行波と停止用の定在波を切り換えることにより、移
動体2の最小ステップ角度は20度となる。また、定在
波の発生によって節部に位置決めされた不均一部間21
aは、斜線部で示したような円周方向に6ヶ所に形成さ
れる。
を3とした場合の、定在波励振時における振動体と移動
体との位置関係を示している。図5に示した位置関係と
同様に、くし歯状の突起部が定在波の節部から離れた位
置に配置されている場合、定在波発生時の移動体2の停
止位置は、図8に示した位置となる。すなわち、駆動用
の進行波と停止用の定在波を切り換えることにより、移
動体2の最小ステップ角度は20度となる。また、定在
波の発生によって節部に位置決めされた不均一部間21
aは、斜線部で示したような円周方向に6ヶ所に形成さ
れる。
【0028】ここで、定在波の発生によって節部に位置
決めされる不均一部間は、少なくとも2ヶ所存在すれ
ば、定在波発生時に安定した停止状態が得られる。移動
体の不均一部が円周方向に等間隔に配置され、定在波の
波数が3の場合、振動体に発生する節部は円周方向に6
ヶ所形成されるので、節部に位置決めされた不均一部間
は2ヶ所、3ヶ所、あるいは6ヶ所のいずれか形成され
れば良い。
決めされる不均一部間は、少なくとも2ヶ所存在すれ
ば、定在波発生時に安定した停止状態が得られる。移動
体の不均一部が円周方向に等間隔に配置され、定在波の
波数が3の場合、振動体に発生する節部は円周方向に6
ヶ所形成されるので、節部に位置決めされた不均一部間
は2ヶ所、3ヶ所、あるいは6ヶ所のいずれか形成され
れば良い。
【0029】つまり、節部に位置決めされた不均一部数
は、同時に、定在波発生時の節数の公約数となる。すな
わち、円周方向の不均一部数と、定在波発生時の節数と
は、2以上の正の整数であるところの少なくとも1個以
上の公約数を持つ関係となり、かつ、不均一部数は36
0を割り切ることのできる数となる。
は、同時に、定在波発生時の節数の公約数となる。すな
わち、円周方向の不均一部数と、定在波発生時の節数と
は、2以上の正の整数であるところの少なくとも1個以
上の公約数を持つ関係となり、かつ、不均一部数は36
0を割り切ることのできる数となる。
【0030】また、移動体2に不均一部を設けることに
より、移動体2は摺動面に対して垂直方向に弾性を有す
ることになる。これにより、振動体のくし歯状の突起部
3aに移動体2の摺動面が全面で接することが可能とな
るので、安定した駆動状態、あるいは、停止状態を得る
ことができる。
より、移動体2は摺動面に対して垂直方向に弾性を有す
ることになる。これにより、振動体のくし歯状の突起部
3aに移動体2の摺動面が全面で接することが可能とな
るので、安定した駆動状態、あるいは、停止状態を得る
ことができる。
【0031】図9は、本発明の超音波モータの実施例1
の進行波を発生させた時における、移動体の不均一部の
回転位置と、その時に発生する電流波形との比較図であ
る。図9(a)は、非接触変位計により測定した、移動
体回転時の不均一部の位置を示し、また、図9(b)
は、その時に発生する電流波形である。不均一部を有す
る移動体を、進行波により定速回転駆動した場合、電流
波形の波高値の包絡線は周期的に変化することになる。
の進行波を発生させた時における、移動体の不均一部の
回転位置と、その時に発生する電流波形との比較図であ
る。図9(a)は、非接触変位計により測定した、移動
体回転時の不均一部の位置を示し、また、図9(b)
は、その時に発生する電流波形である。不均一部を有す
る移動体を、進行波により定速回転駆動した場合、電流
波形の波高値の包絡線は周期的に変化することになる。
【0032】図10は、本発明の超音波モータの実施例
1の圧電素子の電極分割数、振動体のくし歯本数、およ
び移動体の不均一部数と、移動体1回転当りに発生する
電流波形の包絡線の変化回数との関係を示した表であ
る。同図より、進行波駆動時では、圧電素子の電極分割
数、振動体のくし歯本数、移動体の不均一部数により、
移動体1回転当りに発生する電流波形の包絡線の変化回
数は異なることがわかる。
1の圧電素子の電極分割数、振動体のくし歯本数、およ
び移動体の不均一部数と、移動体1回転当りに発生する
電流波形の包絡線の変化回数との関係を示した表であ
る。同図より、進行波駆動時では、圧電素子の電極分割
数、振動体のくし歯本数、移動体の不均一部数により、
移動体1回転当りに発生する電流波形の包絡線の変化回
数は異なることがわかる。
【0033】例えば、圧電素子の電極分割数12、振動
体のくし歯本数22、移動体の不均一部数15の場合、
1回転当りに発生する包絡線状の電流波形数は6とな
る。また、圧電素子の電極分割数12、振動体のくし歯
本数24、移動体の不均一部数10の場合、1回転当り
に発生する電流波形の包絡線の変化回数は30となる。
あるいは、圧電素子の電極分割数12、振動体のくし歯
本数24、移動体の不均一部数18の場合、1回転当り
に発生する電流波形の包絡線の変化回数は18となる。
体のくし歯本数22、移動体の不均一部数15の場合、
1回転当りに発生する包絡線状の電流波形数は6とな
る。また、圧電素子の電極分割数12、振動体のくし歯
本数24、移動体の不均一部数10の場合、1回転当り
に発生する電流波形の包絡線の変化回数は30となる。
あるいは、圧電素子の電極分割数12、振動体のくし歯
本数24、移動体の不均一部数18の場合、1回転当り
に発生する電流波形の包絡線の変化回数は18となる。
【0034】すなわち、図9および図10に示した電流
波形と移動体の不均一部等との関係を利用することによ
り、超音波モータの回転情報、位置制御等が可能とな
る。図11は、本発明の超音波モータの実施例1の回路
図である。図11において、整流増幅回路1102は、
圧電振動子1101の出力信号を入力して整流し、増幅
する。平滑回路1103は、整流増幅回路1102の出
力信号を入力して、出力波形を平滑化する。判定回路1
104は、平滑回路1103の出力信号とあらかじめ定
めてある電圧値Vcompとを比較し、移動体の回転状
態を検出する。立ち上げ検出回路1105は、判定回路
1104の出力信号を入力して、立ち上げ信号の検出を
する。
波形と移動体の不均一部等との関係を利用することによ
り、超音波モータの回転情報、位置制御等が可能とな
る。図11は、本発明の超音波モータの実施例1の回路
図である。図11において、整流増幅回路1102は、
圧電振動子1101の出力信号を入力して整流し、増幅
する。平滑回路1103は、整流増幅回路1102の出
力信号を入力して、出力波形を平滑化する。判定回路1
104は、平滑回路1103の出力信号とあらかじめ定
めてある電圧値Vcompとを比較し、移動体の回転状
態を検出する。立ち上げ検出回路1105は、判定回路
1104の出力信号を入力して、立ち上げ信号の検出を
する。
【0035】プリセッタブルカウンタ1106は、スイ
ッチ1107により進行波の駆動信号の出力回数を設定
する。駆動パルス発生回路1108は、分周回路112
1の出力信号の1HzQと16HzMを入力して、駆動
パルスの出力を制御する。タイマ1109は、進行波と
定在波の出力信号の出力時間と進行波と定在波の出力信
号を出力しない時間を設定する。出力パルス選択回路1
110は、パルス発生回路1122の出力する300k
HzQと300kHzMの信号を入力して、進行波と定
在波の出力信号を選択して出力する。
ッチ1107により進行波の駆動信号の出力回数を設定
する。駆動パルス発生回路1108は、分周回路112
1の出力信号の1HzQと16HzMを入力して、駆動
パルスの出力を制御する。タイマ1109は、進行波と
定在波の出力信号の出力時間と進行波と定在波の出力信
号を出力しない時間を設定する。出力パルス選択回路1
110は、パルス発生回路1122の出力する300k
HzQと300kHzMの信号を入力して、進行波と定
在波の出力信号を選択して出力する。
【0036】ここで、Q信号とM信号は、それぞれの信
号の位相が90度ずれた信号である。パルス発生回路1
122の出力する300kHzQと300kHzMの信
号は、超音波モータの構造や仕様により、異なる値を設
定する。圧電振動子駆動回路1111は、進行波または
定在波の出力信号を入力して、圧電振動子1101を駆
動する出力信号を出力する。
号の位相が90度ずれた信号である。パルス発生回路1
122の出力する300kHzQと300kHzMの信
号は、超音波モータの構造や仕様により、異なる値を設
定する。圧電振動子駆動回路1111は、進行波または
定在波の出力信号を入力して、圧電振動子1101を駆
動する出力信号を出力する。
【0037】図12は、本発明の超音波モータの実施例
1のタイムチャートである。図12において、a,b,
c,d,e,f,Start及びQoutは、図11に
示す本発明の超音波モータの実施例1の回路図の同じ名
称をつけた各点における、信号の波形の概略形状を示し
ている。
1のタイムチャートである。図12において、a,b,
c,d,e,f,Start及びQoutは、図11に
示す本発明の超音波モータの実施例1の回路図の同じ名
称をつけた各点における、信号の波形の概略形状を示し
ている。
【0038】圧電振動子1101の出力した信号aは、
整流、増幅されて、信号bとなる。信号bは、平滑され
て信号cとなる。信号cは、あらかじめ設定された電圧
値Vcompとを比較される。信号cが電圧値Vcom
pと比較されて信号dとなる。信号dのタイミングで、
プリセッタブルカウンタ1106への入力する信号eが
出力される。
整流、増幅されて、信号bとなる。信号bは、平滑され
て信号cとなる。信号cは、あらかじめ設定された電圧
値Vcompとを比較される。信号cが電圧値Vcom
pと比較されて信号dとなる。信号dのタイミングで、
プリセッタブルカウンタ1106への入力する信号eが
出力される。
【0039】プリセットカウンタ1106は、スイッチ
1107の動作により、所定のタイミングで信号fを出
力する。信号fと信号Startにより、信号Qout
を出力する。このような図12に示されたタイミングで
進行波と定在波の出力を制御する。
1107の動作により、所定のタイミングで信号fを出
力する。信号fと信号Startにより、信号Qout
を出力する。このような図12に示されたタイミングで
進行波と定在波の出力を制御する。
【0040】図12の区間1201で進行波を出力し、
区間1202で定在波を出力する。区間1203は、再
び進行波を出力する。区間1201,区間1202及び
区間1203は、タイマ1109により所定の値に設定
する。ここで、区間1201と区間1202の間、ある
いは、区間1202と区間1203の間に進行波も定在
波も出力しない休止区間を設定してもよい。この様な休
止区間を設定することにより、進行波、あるいは、定在
波の出力を切り替えた際、先に出力した信号の残留振動
等の影響を低減する効果も同時に得ることができる。
区間1202で定在波を出力する。区間1203は、再
び進行波を出力する。区間1201,区間1202及び
区間1203は、タイマ1109により所定の値に設定
する。ここで、区間1201と区間1202の間、ある
いは、区間1202と区間1203の間に進行波も定在
波も出力しない休止区間を設定してもよい。この様な休
止区間を設定することにより、進行波、あるいは、定在
波の出力を切り替えた際、先に出力した信号の残留振動
等の影響を低減する効果も同時に得ることができる。
【0041】タイマの設定値を種々に設定することによ
り、出力軸を一定時間にあらかじめ定めた角度回転する
超音波モータが実現できる。 (実施例2)本発明の超音波モータの実施例2は、駆動
用の進行波と停止用の定在波の発生の切り換えるタイミ
ングを電流検出等を用いずに行う構成である。
り、出力軸を一定時間にあらかじめ定めた角度回転する
超音波モータが実現できる。 (実施例2)本発明の超音波モータの実施例2は、駆動
用の進行波と停止用の定在波の発生の切り換えるタイミ
ングを電流検出等を用いずに行う構成である。
【0042】図13は、本発明の超音波モータの実施例
2のシステムブロック図である。図13において、出力
切替タイミング記憶回路1331は、あらかじめ定めた
駆動パルスと停止パルスの切り換えタイミングを記憶す
る。出力切替信号発生回路1332は、出力切替タイミ
ング記憶回路1331の出力信号を入力して駆動パルス
と停止パルスの切り換えタイミング信号を発生する。
2のシステムブロック図である。図13において、出力
切替タイミング記憶回路1331は、あらかじめ定めた
駆動パルスと停止パルスの切り換えタイミングを記憶す
る。出力切替信号発生回路1332は、出力切替タイミ
ング記憶回路1331の出力信号を入力して駆動パルス
と停止パルスの切り換えタイミング信号を発生する。
【0043】出力パルス選択回路1307は、駆動パル
ス発生回路1306の出力信号と停止パルス発生回路1
309の出力信号と出力切替信号発生回路1332の出
力信号とを入力して、圧電振動子駆動回路1308に出
力パルスを出力する動作を制御する。圧電振動子駆動回
路1308は、圧電振動子1321に所定の高周波電圧
を印加する。振動体1322に超音波振動が発生し、定
在波発生時に移動体を停止するための複数の不均一部を
有する移動体1323は回転などの動作をする。加圧手
段1324は、振動体1322と移動体1323を一定
の圧力で加圧する。出力手段1325は、移動体132
3の動作により動作する。
ス発生回路1306の出力信号と停止パルス発生回路1
309の出力信号と出力切替信号発生回路1332の出
力信号とを入力して、圧電振動子駆動回路1308に出
力パルスを出力する動作を制御する。圧電振動子駆動回
路1308は、圧電振動子1321に所定の高周波電圧
を印加する。振動体1322に超音波振動が発生し、定
在波発生時に移動体を停止するための複数の不均一部を
有する移動体1323は回転などの動作をする。加圧手
段1324は、振動体1322と移動体1323を一定
の圧力で加圧する。出力手段1325は、移動体132
3の動作により動作する。
【0044】(実施例3)本発明の超音波モータの実施
例3は、実施例1に示した移動体および振動体におい
て、振動体のくし歯状の突起部が停止用の定在波の節部
上に配置された構成である。
例3は、実施例1に示した移動体および振動体におい
て、振動体のくし歯状の突起部が停止用の定在波の節部
上に配置された構成である。
【0045】図14は、実施例3の停止状態及び振動状
態を示す断面図である。この場合、実施例1と同様に、
移動体2の不均一部はλ/6間隔で等間隔に形成されて
いる。また、振動体のくし歯状の突起部は、定在波の1
波に対して8本の突起部が配置しているが、定在波の節
位置にも配置した構成である。
態を示す断面図である。この場合、実施例1と同様に、
移動体2の不均一部はλ/6間隔で等間隔に形成されて
いる。また、振動体のくし歯状の突起部は、定在波の1
波に対して8本の突起部が配置しているが、定在波の節
位置にも配置した構成である。
【0046】図14において、圧電振動子(A)5の作
動を停止させ、停止用の定在波を発生させる圧電振動子
(B)6を作動させることにより、振動体3には(b)
に図示するように、c1,c2,c3を節部とするよう
な定在波が発生し、振動体のくし歯上の突起部3011
〜3014には矢印方向に力が作用する。このとき、移
動体2の不均一部間の側面下端部Ra1とRb1及びR
a2とRb2に作用する力のバランスが異なる場合、移
動体2は回転する。
動を停止させ、停止用の定在波を発生させる圧電振動子
(B)6を作動させることにより、振動体3には(b)
に図示するように、c1,c2,c3を節部とするよう
な定在波が発生し、振動体のくし歯上の突起部3011
〜3014には矢印方向に力が作用する。このとき、移
動体2の不均一部間の側面下端部Ra1とRb1及びR
a2とRb2に作用する力のバランスが異なる場合、移
動体2は回転する。
【0047】しかし、移動体2が図14に示した位置に
くると、突起部3021は不均一部間21aの側面下端
部Ra1の下に位置し、,突起部3023は不均一部間
21bの側面下端部Rb2の下に位置している関係とな
る。このとき、不均一部間21a及び21bの両側から
内側に向かって側面下端部Ra1,Rb2に力が作用
し、不均一部間21a及び21bはその力が釣り合う位
置である定在波の節位置に位置決めされる。
くると、突起部3021は不均一部間21aの側面下端
部Ra1の下に位置し、,突起部3023は不均一部間
21bの側面下端部Rb2の下に位置している関係とな
る。このとき、不均一部間21a及び21bの両側から
内側に向かって側面下端部Ra1,Rb2に力が作用
し、不均一部間21a及び21bはその力が釣り合う位
置である定在波の節位置に位置決めされる。
【0048】また、定在波発生時において、振動体のく
し歯上の突起部3022は、定在波の節部に位置し、突
起部3024は定在波の腹部に位置しているので、不均
一部間21cを駆動する力は発生することはない。これ
により、移動体2は不均一部21a及び21bにより定
在波発生時に位置決めされる。
し歯上の突起部3022は、定在波の節部に位置し、突
起部3024は定在波の腹部に位置しているので、不均
一部間21cを駆動する力は発生することはない。これ
により、移動体2は不均一部21a及び21bにより定
在波発生時に位置決めされる。
【0049】図15は、本発明の超音波モータの実施例
3の振動体と移動体の透視図であり、記号は図14と対
応している。図15において、定在波の波数は3であ
り、定在波発生時における振動体と移動体との位置関係
を示している。定在波の節部に位置決めされる不均一部
間21a,21bは円周方向に6ヶ所形成され、図4に
示した駆動状態と図14に示した停止状態を切り換える
ことにより、移動体2の最小ステップ角度は20度とな
る。このことは、実施例1の場合と同様であるが、定在
波の節部と振動体のくし歯状の突起部の位置関係が異な
ることにより、移動体2の停止位置も異なることにな
る。
3の振動体と移動体の透視図であり、記号は図14と対
応している。図15において、定在波の波数は3であ
り、定在波発生時における振動体と移動体との位置関係
を示している。定在波の節部に位置決めされる不均一部
間21a,21bは円周方向に6ヶ所形成され、図4に
示した駆動状態と図14に示した停止状態を切り換える
ことにより、移動体2の最小ステップ角度は20度とな
る。このことは、実施例1の場合と同様であるが、定在
波の節部と振動体のくし歯状の突起部の位置関係が異な
ることにより、移動体2の停止位置も異なることにな
る。
【0050】(実施例4)本発明の実施例4は、実施例
1に示した移動体および振動体において、圧電振動子を
1枚とし、また、2種類の定在波を発生する構成であ
る。図16は、本発明の実施例4の動作説明図である。
1に示した移動体および振動体において、圧電振動子を
1枚とし、また、2種類の定在波を発生する構成であ
る。図16は、本発明の実施例4の動作説明図である。
【0051】図16において、振動体3には、複数に分
割された電極パターン4a,4b,4c,4dを有する
一枚の圧電振動子4が接着等の手段で接合されている。
図中+,−と記載しているのは、各電極パターン部分の
分極方向を示している。本実施例では図示するように、
順に+、+、−、−というように2パターンごとに同方
向に分極処理された電極パターン4a、4b,4c,4
dが形成されている。この状態で電極パターン4a、4
b,4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加する
と、振動体3は(b)に図示するようにb1、b2、b
3を節部とするような定在波が発生し、実施例(1)で
示した説明により、不均一部間21aの中心付近が節部
の中央と一致する位置に停止するように動作する。
割された電極パターン4a,4b,4c,4dを有する
一枚の圧電振動子4が接着等の手段で接合されている。
図中+,−と記載しているのは、各電極パターン部分の
分極方向を示している。本実施例では図示するように、
順に+、+、−、−というように2パターンごとに同方
向に分極処理された電極パターン4a、4b,4c,4
dが形成されている。この状態で電極パターン4a、4
b,4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加する
と、振動体3は(b)に図示するようにb1、b2、b
3を節部とするような定在波が発生し、実施例(1)で
示した説明により、不均一部間21aの中心付近が節部
の中央と一致する位置に停止するように動作する。
【0052】次に、電極パターン4a,4cに対して4
b,4dに90度位相の異なる高周波電圧信号を印加す
ると、振動体3は(c)に図示するようにc1からc2
へ波が移動していくような進行波が励振され、(a)に
図示するような複数の不均一部を有する移動体2は波の
方向とは逆方向に移動するように動作する。以上の動作
を繰り返せば、本実施例ではλ/6間隔、つまり、定在
波の波数が3であれば、20度間隔ごとにステップ駆動
させることが可能であるが、本実施例が先の実施例
(1)、実施例(2)との差異は以下の点である。すな
わち、電極パターン4a,4cに対して4b,4dに1
80度位相のずれた逆位相の高周波電圧信号を印加する
と、振動体3は、(d)に図示するように、d1〜d4
を節部とするような定在波が発生し、(a)に図示する
不均一部間21bが、d1〜d4と一致するような位置
に停止することが可能となる。そして、再び、電極パタ
ーン4a,4cに対して4b,4dに90度位相の異な
る高周波電圧信号を印加すれば、振動体3には(e)に
図示するようにe1からe2へ波が移動していくような
進行波が励振され、(a)に図示するような複数の不均
一部を有する移動体2は波の方向とは逆方向に移動する
ように動作する。以上に示したような (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の動作を繰り返せば、移動体2のステップ角度は実施例
1、実施例2と比べて1/2とすることができる。すな
わち、定在波の波数を3とすれば、10度ステップが可
能となる。また、移動体の径小化にさいしても少ない不
均一部数で微小なステップ角度の制御が実現できる。
b,4dに90度位相の異なる高周波電圧信号を印加す
ると、振動体3は(c)に図示するようにc1からc2
へ波が移動していくような進行波が励振され、(a)に
図示するような複数の不均一部を有する移動体2は波の
方向とは逆方向に移動するように動作する。以上の動作
を繰り返せば、本実施例ではλ/6間隔、つまり、定在
波の波数が3であれば、20度間隔ごとにステップ駆動
させることが可能であるが、本実施例が先の実施例
(1)、実施例(2)との差異は以下の点である。すな
わち、電極パターン4a,4cに対して4b,4dに1
80度位相のずれた逆位相の高周波電圧信号を印加する
と、振動体3は、(d)に図示するように、d1〜d4
を節部とするような定在波が発生し、(a)に図示する
不均一部間21bが、d1〜d4と一致するような位置
に停止することが可能となる。そして、再び、電極パタ
ーン4a,4cに対して4b,4dに90度位相の異な
る高周波電圧信号を印加すれば、振動体3には(e)に
図示するようにe1からe2へ波が移動していくような
進行波が励振され、(a)に図示するような複数の不均
一部を有する移動体2は波の方向とは逆方向に移動する
ように動作する。以上に示したような (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の動作を繰り返せば、移動体2のステップ角度は実施例
1、実施例2と比べて1/2とすることができる。すな
わち、定在波の波数を3とすれば、10度ステップが可
能となる。また、移動体の径小化にさいしても少ない不
均一部数で微小なステップ角度の制御が実現できる。
【0053】本実施例では、1波長を4分割した電極パ
ターンで構成し、振動体のくし歯状の突起部を24本と
して構成したが、電極パターンの分割数は、振動の波数
をλ、nを1以上の正の整数として2nλとし、また、
振動体の突起部は、圧電振動子の電極パターン分割数の
整数倍の数とすることにより構成することができる。ま
た、nを2以上とすれば、さらに微小なステップ角度の
制御も実現できる。
ターンで構成し、振動体のくし歯状の突起部を24本と
して構成したが、電極パターンの分割数は、振動の波数
をλ、nを1以上の正の整数として2nλとし、また、
振動体の突起部は、圧電振動子の電極パターン分割数の
整数倍の数とすることにより構成することができる。ま
た、nを2以上とすれば、さらに微小なステップ角度の
制御も実現できる。
【0054】図17は、本発明の超音波モータの実施例
4における圧電振動子の電極パターンを示す平面図であ
る。この実施例では1波長を4つの分割電極パターンで
構成したと共に、円周方向に対して3波が励振できるよ
うにしたので、12の分割電極パターンを有している。
したがって、本来ならば12本のリード線の接続が必要
となるわけであるが、圧電振動子が小型化した場合、多
くのリード線を取り付けると振動が抑制されて、性能が
低下してしまうという問題を生じることになる。そこ
で、本実施例では+、+、−、−という順に分極処理し
たものを圧電振動子4の内周及び外周を用いて1つおき
に短絡電極パターンを形成することによって、リード線
の本数を2本で済ますようにしている。
4における圧電振動子の電極パターンを示す平面図であ
る。この実施例では1波長を4つの分割電極パターンで
構成したと共に、円周方向に対して3波が励振できるよ
うにしたので、12の分割電極パターンを有している。
したがって、本来ならば12本のリード線の接続が必要
となるわけであるが、圧電振動子が小型化した場合、多
くのリード線を取り付けると振動が抑制されて、性能が
低下してしまうという問題を生じることになる。そこ
で、本実施例では+、+、−、−という順に分極処理し
たものを圧電振動子4の内周及び外周を用いて1つおき
に短絡電極パターンを形成することによって、リード線
の本数を2本で済ますようにしている。
【0055】(実施例5)本発明の超音波モータの実施
例5は、実施例4で示した移動体の不均一部数を半数と
する構成である。図18は、本発明の超音波モータの実
施例5の動作説明図である。
例5は、実施例4で示した移動体の不均一部数を半数と
する構成である。図18は、本発明の超音波モータの実
施例5の動作説明図である。
【0056】図18において、移動体2の不均一部数
は、実施例4で示した移動体の不均一部数の半数の9ヶ
所に形成されている。また、振動体3は突起部が停止用
の定在波(b),(d)の節部b1,b2,b3及びd
1〜d4の上に配置された構成である。
は、実施例4で示した移動体の不均一部数の半数の9ヶ
所に形成されている。また、振動体3は突起部が停止用
の定在波(b),(d)の節部b1,b2,b3及びd
1〜d4の上に配置された構成である。
【0057】圧電振動子4の電極パターン4a、4b,
4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加して、振動
体3に(b)に図示するようにb1、b2、b3を節部
とするような定在波が発生する場合、振動体の突起部3
034,3036の力の釣り合いにより不均一部間22
bの中心付近は節部と一致する位置に停止する。しか
し、不均一部間22a,22cは節部と一致する位置に
はならず、振動体の突起部3032,3038が不均一
部間22a,22cへ作用する力も互いに打ち消し合う
ことになる。したがって、移動体2は定在波励振により
停止する。そして、進行波と2種類の定在波を (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の順に繰り返すことにより、移動体の不均一部数が9ヶ
所であっても、ステップ角度10度を実現することがで
きる。
4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加して、振動
体3に(b)に図示するようにb1、b2、b3を節部
とするような定在波が発生する場合、振動体の突起部3
034,3036の力の釣り合いにより不均一部間22
bの中心付近は節部と一致する位置に停止する。しか
し、不均一部間22a,22cは節部と一致する位置に
はならず、振動体の突起部3032,3038が不均一
部間22a,22cへ作用する力も互いに打ち消し合う
ことになる。したがって、移動体2は定在波励振により
停止する。そして、進行波と2種類の定在波を (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の順に繰り返すことにより、移動体の不均一部数が9ヶ
所であっても、ステップ角度10度を実現することがで
きる。
【0058】図19は、本発明の超音波モータの実施例
5の振動体と移動体の透視図であり、記号は図18と対
応している。図19において、定在波励振時における振
動体と移動体との位置関係を示しているが、定在波の節
部に位置している不均一部間は円周方向に3ヶ所形成さ
れる。したがって、定在波の節部に位置している不均一
部間が円周方向に6ヶ所形成される実施例4と比較した
場合、定在波発生時における移動体2の保持トルクの大
きさが変る可能性はあるが、超音波モータの径小化にさ
いしても、更に少ない不均一部で微小なステップ角度の
制御が実現できる。
5の振動体と移動体の透視図であり、記号は図18と対
応している。図19において、定在波励振時における振
動体と移動体との位置関係を示しているが、定在波の節
部に位置している不均一部間は円周方向に3ヶ所形成さ
れる。したがって、定在波の節部に位置している不均一
部間が円周方向に6ヶ所形成される実施例4と比較した
場合、定在波発生時における移動体2の保持トルクの大
きさが変る可能性はあるが、超音波モータの径小化にさ
いしても、更に少ない不均一部で微小なステップ角度の
制御が実現できる。
【0059】(実施例6)本発明の超音波モータの実施
例6は、最小ステップ角度を6度とした構成である。図
20は、本発明の超音波モータの実施例6の動作説明図
である。図20において、定在波の波数は3である。移
動体2の不均一部数は、等間隔に15ヶ所(24度間
隔)に形成されている。また、振動体3は突起部が停止
用の定在波(b),(d)の節部b1,b2,b3及び
d1〜d4から離れた位置に配置された構成である。
例6は、最小ステップ角度を6度とした構成である。図
20は、本発明の超音波モータの実施例6の動作説明図
である。図20において、定在波の波数は3である。移
動体2の不均一部数は、等間隔に15ヶ所(24度間
隔)に形成されている。また、振動体3は突起部が停止
用の定在波(b),(d)の節部b1,b2,b3及び
d1〜d4から離れた位置に配置された構成である。
【0060】圧電振動子4の電極パターン4a、4b,
4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加して、振動
体3に(b)に図示するようにb1、b2、b3を節部
とするような定在波が発生する場合、不均一部間23a
は、実施例1に示したような、不均一部間23aの側面
下端部Ra3、Rb3の両側から内側に向かって力が作
用して節部b1,b3上で位置決めされる。また、不均
一部間23c,23dには、実施例2に示したような、
不均一部間23cの側面下端部Ra1、不均一部間23
dの側面下端部Rb2の両側から内側に向かって力が作
用して節部b2上で位置決めされる。不均一部間23
b,23eについては、不均一部間23b,23eに作
用する力は互いに打ち消し合うことになり、不均一部間
23b,23eには停止する力は作用しない。したがっ
て、移動体2は(a)に示した定在波励振により停止す
る。
4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加して、振動
体3に(b)に図示するようにb1、b2、b3を節部
とするような定在波が発生する場合、不均一部間23a
は、実施例1に示したような、不均一部間23aの側面
下端部Ra3、Rb3の両側から内側に向かって力が作
用して節部b1,b3上で位置決めされる。また、不均
一部間23c,23dには、実施例2に示したような、
不均一部間23cの側面下端部Ra1、不均一部間23
dの側面下端部Rb2の両側から内側に向かって力が作
用して節部b2上で位置決めされる。不均一部間23
b,23eについては、不均一部間23b,23eに作
用する力は互いに打ち消し合うことになり、不均一部間
23b,23eには停止する力は作用しない。したがっ
て、移動体2は(a)に示した定在波励振により停止す
る。
【0061】圧電振動子4の電極パターン4a、4cに
対して,4b,4dに180度位相のずれた逆位相の高
周波電圧信号を印加して、振動体3に(d)に図示する
ようにd1〜d4を節部とするような定在波が発生する
場合、不均一部間23bは節部d1と、また、不均一部
間23d,23eも節部d1,d3とλ/20すなわ
ち、6度ずれた位置にあることから、図20に示した進
行波と2種類の定在波を (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の順に繰り返すことにより、ステップ角度6度を実現す
ることができる。
対して,4b,4dに180度位相のずれた逆位相の高
周波電圧信号を印加して、振動体3に(d)に図示する
ようにd1〜d4を節部とするような定在波が発生する
場合、不均一部間23bは節部d1と、また、不均一部
間23d,23eも節部d1,d3とλ/20すなわ
ち、6度ずれた位置にあることから、図20に示した進
行波と2種類の定在波を (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の順に繰り返すことにより、ステップ角度6度を実現す
ることができる。
【0062】図21は、本発明の超音波モータの実施例
6の振動体と移動体の透視図であり、記号は図20と対
応している。図21において、定在波励振時における振
動体と移動体との位置関係を示しており、定在波の節部
に位置している不均一部間は、実施例1及び実施例2と
同様の位置決めをされている不均一部間が各3ヶ所、合
計6ヶ所円周方向に形成されていることから、少ない不
均一部で微小なステップ角度が得られ、また、安定した
ステップ駆動制御が実現できる。
6の振動体と移動体の透視図であり、記号は図20と対
応している。図21において、定在波励振時における振
動体と移動体との位置関係を示しており、定在波の節部
に位置している不均一部間は、実施例1及び実施例2と
同様の位置決めをされている不均一部間が各3ヶ所、合
計6ヶ所円周方向に形成されていることから、少ない不
均一部で微小なステップ角度が得られ、また、安定した
ステップ駆動制御が実現できる。
【0063】(実施例7)本発明の超音波モータの実施
例7は、実施例6に示した移動体の不均一部を更に少な
くして最小ステップ角度を6度とした構成である。図2
2は、本発明の超音波モータの実施例7の動作説明図で
ある。また、図23は、本発明の超音波モータの実施例
7の振動体と移動体の透視図であり、記号は図23と対
応している。図22において、移動体2の不均一部数
は、等間隔に10ヶ所(36度間隔)に形成されてい
る。また、振動体3は突起部が停止用の定在波(b),
(d)の節部b1,b2,b3及びd1〜d4の上に配
置された構成である。
例7は、実施例6に示した移動体の不均一部を更に少な
くして最小ステップ角度を6度とした構成である。図2
2は、本発明の超音波モータの実施例7の動作説明図で
ある。また、図23は、本発明の超音波モータの実施例
7の振動体と移動体の透視図であり、記号は図23と対
応している。図22において、移動体2の不均一部数
は、等間隔に10ヶ所(36度間隔)に形成されてい
る。また、振動体3は突起部が停止用の定在波(b),
(d)の節部b1,b2,b3及びd1〜d4の上に配
置された構成である。
【0064】圧電振動子4の電極パターン4a、4b,
4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加して、振動
体3に(b)に図示するようにb1、b2、b3を節部
とするような定在波が発生する場合、不均一部間24c
の側面下端部Ra,Rbの両側から内側に向かって力が
作用して節部上で位置決めされ、図23からも明かなよ
うに、図中の斜線部に示したような、円周方向に2ヶ所
形成される。
4c,4dに同位相の高周波電圧信号を印加して、振動
体3に(b)に図示するようにb1、b2、b3を節部
とするような定在波が発生する場合、不均一部間24c
の側面下端部Ra,Rbの両側から内側に向かって力が
作用して節部上で位置決めされ、図23からも明かなよ
うに、図中の斜線部に示したような、円周方向に2ヶ所
形成される。
【0065】圧電振動子4の電極パターン4a、4cに
対して、4b,4dに180度は位相のずれた逆位相の
高周波電圧信号を印加して、振動体3に(d)に図示す
るようにd1〜d4を節部とするような定在波が発生す
る場合、不均一部間24bは節部d2と6度ずれた位置
にあるから、図22に示した進行波と2種類の定在波を (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の順に繰り返すことにより、ステップ角度6度を実現す
ることができる。
対して、4b,4dに180度は位相のずれた逆位相の
高周波電圧信号を印加して、振動体3に(d)に図示す
るようにd1〜d4を節部とするような定在波が発生す
る場合、不均一部間24bは節部d2と6度ずれた位置
にあるから、図22に示した進行波と2種類の定在波を (b)→(c)→(d)→(e)→(b)→・・・ の順に繰り返すことにより、ステップ角度6度を実現す
ることができる。
【0066】すなわち、実施例1ないし実施例7で説明
したように、定在波の発生によって節部に位置決めされ
た不均一部間は、少なくとも2ヶ所存在すれば、定在波
発生時に安定した停止状態が得られる。また、定在波発
生時に移動体を停止させるための不均一部を有する移動
体の1回転中の最大ステップ数は、移動体の有する不均
一部数と定在波の節数の合計数(たとえば、一種類の定
在波の節数が6であり、2種類の定在波を切り換えて駆
動する場合、合計数は12となる)との最小公倍数で表
すことでき、その最小公倍数で360度を割った数が最
小ステップ角度はとなる。したがって、ここで示した関
係を応用することにより、任意のステップ角度を得るこ
とが可能となる。
したように、定在波の発生によって節部に位置決めされ
た不均一部間は、少なくとも2ヶ所存在すれば、定在波
発生時に安定した停止状態が得られる。また、定在波発
生時に移動体を停止させるための不均一部を有する移動
体の1回転中の最大ステップ数は、移動体の有する不均
一部数と定在波の節数の合計数(たとえば、一種類の定
在波の節数が6であり、2種類の定在波を切り換えて駆
動する場合、合計数は12となる)との最小公倍数で表
すことでき、その最小公倍数で360度を割った数が最
小ステップ角度はとなる。したがって、ここで示した関
係を応用することにより、任意のステップ角度を得るこ
とが可能となる。
【0067】(実施例8)本発明の超音波モータの実施
例8は、実施例1に示した不均一部を有する移動体の他
の構成である。図24は、不均一部間が数枚だけ脱落し
ている移動体の上面図である。図24において、実施例
1に示した不均一部を18ヶ所設けた移動体のうち、6
ヶ所だけ脱落した移動体2であるが、このような移動体
においても、定在波励振時の節部に不均一部間が位置決
めされている限りは停止することが可能である。
例8は、実施例1に示した不均一部を有する移動体の他
の構成である。図24は、不均一部間が数枚だけ脱落し
ている移動体の上面図である。図24において、実施例
1に示した不均一部を18ヶ所設けた移動体のうち、6
ヶ所だけ脱落した移動体2であるが、このような移動体
においても、定在波励振時の節部に不均一部間が位置決
めされている限りは停止することが可能である。
【0068】すなわち、移動体は、定在波励振時の節部
の少なくとも1ヶ所に不均一部と不均一部の間が接する
ような構成となる不均一部を有することにより、最小ス
テップ角度によるステップ駆動は可能である。また、不
均一部が形成されていない範囲内に、他の間隔で形成さ
れた不均一部、あるいは、移動体とは関係のない手段等
のものが構成されていても構わない。
の少なくとも1ヶ所に不均一部と不均一部の間が接する
ような構成となる不均一部を有することにより、最小ス
テップ角度によるステップ駆動は可能である。また、不
均一部が形成されていない範囲内に、他の間隔で形成さ
れた不均一部、あるいは、移動体とは関係のない手段等
のものが構成されていても構わない。
【0069】尚、以上の説明からも明かな様に、本発明
は、リニア型超音波モータにも容易に構成できる。 (実施例9)図25は、本発明の超音波モータ付電子機
器の実施例の平面図である。図26は、本発明の超音波
モータ付電子機器の実施例の部分断面図である。図25
は、本発明の超音波モータ付電子機器としてアナログ電
子時計に応用した場合の実施例の機械体の平面図で、図
26は、その断面図である。
は、リニア型超音波モータにも容易に構成できる。 (実施例9)図25は、本発明の超音波モータ付電子機
器の実施例の平面図である。図26は、本発明の超音波
モータ付電子機器の実施例の部分断面図である。図25
は、本発明の超音波モータ付電子機器としてアナログ電
子時計に応用した場合の実施例の機械体の平面図で、図
26は、その断面図である。
【0070】図25、図26において、地板2509に
切り換え機構の構成部品のおしどり2507、かんぬ
き、かんぬき押えなどを組み込む。集積回路2502
は、回路ブロック2505に固定する。水晶振動子25
06は、回路ブロック2505に固定し、源振とする。
電池2501により、集積回路2502は動作する。
切り換え機構の構成部品のおしどり2507、かんぬ
き、かんぬき押えなどを組み込む。集積回路2502
は、回路ブロック2505に固定する。水晶振動子25
06は、回路ブロック2505に固定し、源振とする。
電池2501により、集積回路2502は動作する。
【0071】集積回路2502は、発振回路、分周回路
計時回路を有する。計時回路の出力信号により、所定の
駆動パルスを超音波モータに出力する。超音波モータ2
503は、所定の回転速度で所定の角度回転する。超音
波モータ2503の移動体2503aの歯車が秒車25
04を1秒間につき6度回転させる。五番車2508は
秒車2504の回転により回転する。分車2511は、
五番車2508の回転により1分間につき6度回転す
る。時車2512は、日の裏車(図示しない)を介して
分車2511の回転により、1日に2回転する。
計時回路を有する。計時回路の出力信号により、所定の
駆動パルスを超音波モータに出力する。超音波モータ2
503は、所定の回転速度で所定の角度回転する。超音
波モータ2503の移動体2503aの歯車が秒車25
04を1秒間につき6度回転させる。五番車2508は
秒車2504の回転により回転する。分車2511は、
五番車2508の回転により1分間につき6度回転す
る。時車2512は、日の裏車(図示しない)を介して
分車2511の回転により、1日に2回転する。
【0072】時車2512に取り付けた時針(図示しな
い)、分車2511に取り付けた分針(図示しない)、
秒車2504に取り付けた秒針(図示しない)により、
時刻を表示する。集積回路2502は、出力パルス切替
回路を有する。出力パルス切替回路は、適切な仕様の駆
動パルス、あるいは、停止パルスの出力と停止を行う。
い)、分車2511に取り付けた分針(図示しない)、
秒車2504に取り付けた秒針(図示しない)により、
時刻を表示する。集積回路2502は、出力パルス切替
回路を有する。出力パルス切替回路は、適切な仕様の駆
動パルス、あるいは、停止パルスの出力と停止を行う。
【0073】本発明の超音波モータ付アナログ電子時計
の超音波モータは、微小なステップ駆動の動作を確実に
行うので、正確に時刻を表示する。また、本発明の超音
波モータは、6度のステップ角度を実現できるので、秒
針のダイレクト駆動も可能である。
の超音波モータは、微小なステップ駆動の動作を確実に
行うので、正確に時刻を表示する。また、本発明の超音
波モータは、6度のステップ角度を実現できるので、秒
針のダイレクト駆動も可能である。
【0074】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように、超音
波モータにおいて、振動の波数λである移動体を駆動す
るための進行波を発生し、かつ、移動体を停止するため
の定在波1種類、または、2種類以上発生させる超音波
振動発生回路と、進行波と定在波の作動を切り換える切
替回路と、超音波振動発生回路により駆動する少なくと
も一枚以上の圧電振動子と、移動体は定在波励振時に移
動体を停止させるための不均一部を有し、不均一部の数
は、定在波励振時の節数よりも多く、かつ、移動体の不
均一部の数と定在波励振時の節数とは、2以上の正の整
数であるところの公約数を少なくとも1個以上有する構
成としたので、移動体の駆動のための進行波と、停止の
ための定在波を適切な状態で切り換えることにより、移
動体のステップ角度を、定在波の節部の移動量よりも小
さくすることが可能となる。
波モータにおいて、振動の波数λである移動体を駆動す
るための進行波を発生し、かつ、移動体を停止するため
の定在波1種類、または、2種類以上発生させる超音波
振動発生回路と、進行波と定在波の作動を切り換える切
替回路と、超音波振動発生回路により駆動する少なくと
も一枚以上の圧電振動子と、移動体は定在波励振時に移
動体を停止させるための不均一部を有し、不均一部の数
は、定在波励振時の節数よりも多く、かつ、移動体の不
均一部の数と定在波励振時の節数とは、2以上の正の整
数であるところの公約数を少なくとも1個以上有する構
成としたので、移動体の駆動のための進行波と、停止の
ための定在波を適切な状態で切り換えることにより、移
動体のステップ角度を、定在波の節部の移動量よりも小
さくすることが可能となる。
【0075】そして、本発明の超音波モータを電子機器
に適用すれば、正確なステップ駆動する電子機器が得ら
れる。
に適用すれば、正確なステップ駆動する電子機器が得ら
れる。
【図1】本発明の超音波モータの代表的な構成の一例を
示す機能ブロック図である。
示す機能ブロック図である。
【図2】本発明の超音波モータの実施例1のシステムブ
ロック図である。
ロック図である。
【図3】本発明の超音波モータの実施例1の構造の斜視
図である。
図である。
【図4】本発明の超音波モータの実施例1の駆動状態及
び振動の様子を示す断面図である。
び振動の様子を示す断面図である。
【図5】本発明の超音波モータの実施例1の停止状態及
び振動の様子を示す断面図である。
び振動の様子を示す断面図である。
【図6】本発明の超音波モータの実施例1の移動体の上
面図である。
面図である。
【図7】本発明の超音波モータの実施例1の振動体の上
面図である。
面図である。
【図8】本発明の超音波モータの実施例1の振動体及び
移動体の透視図である。
移動体の透視図である。
【図9】本発明の超音波モータの実施例1の移動体の回
転状態と電流波形の比較図である。
転状態と電流波形の比較図である。
【図10】本発明の超音波モータの実施例1の圧電素子
の電極分割数、振動体のくし歯本数、および、移動体の
不均一部数と、移動体1回転当りに発生する電流波形の
包絡線の変化回数との相関関係をまとめた表である。
の電極分割数、振動体のくし歯本数、および、移動体の
不均一部数と、移動体1回転当りに発生する電流波形の
包絡線の変化回数との相関関係をまとめた表である。
【図11】本発明の超音波モータの実施例1の回路図で
ある。
ある。
【図12】本発明の超音波モータの実施例1のタイミン
グチャート図である。
グチャート図である。
【図13】本発明の超音波モータの実施例2のシステム
ブロック図である。
ブロック図である。
【図14】本発明の超音波モータの実施例3の停止状態
及び振動の様子を示す断面図である。
及び振動の様子を示す断面図である。
【図15】本発明の超音波モータの実施例3の振動体及
び移動体の透視図である。
び移動体の透視図である。
【図16】本発明の超音波モータの実施例4の断面図及
び動作説明図である。
び動作説明図である。
【図17】本発明の超音波モータの実施例4の圧電振動
子の電極パターンを示す平面図である。
子の電極パターンを示す平面図である。
【図18】本発明の超音波モータの実施例5の断面図及
び動作説明図である。
び動作説明図である。
【図19】本発明の超音波モータの実施例5の振動体及
び移動体の透視図である。
び移動体の透視図である。
【図20】本発明の超音波モータの実施例6の断面図及
び動作説明図である。
び動作説明図である。
【図21】本発明の超音波モータの実施例6の振動体及
び移動体の透視図である。
び移動体の透視図である。
【図22】本発明の超音波モータの実施例7の断面図及
び動作説明図である。
び動作説明図である。
【図23】本発明の超音波モータの実施例7の振動体及
び移動体の透視図である。
び移動体の透視図である。
【図24】本発明の超音波モータの実施例8の移動体の
上面図である。
上面図である。
【図25】本発明の超音波モータ付電子機器の平面図で
ある。
ある。
【図26】本発明の超音波モータ付電子機器の部分断面
図である。
図である。
【図27】従来の超音波モータの上面図である。
【図28】従来の超音波モータの圧電振動子の電極パタ
ーン構造と移動体の位置関係を示す図である。
ーン構造と移動体の位置関係を示す図である。
【図29】従来の超音波モータの動作説明図である。
101 電源 102 発振回路 103 分周回路 104 計時回路 105 進行波発生回路 106 定在波発生回路 107 超音波振動発生回路 108 切替回路 109 圧電振動子駆動回路 110 圧電振動子 111 振動体 112 移動体 113 加圧手段 114 出力手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 賢二 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイ コー電子工業株式会社内 (72)発明者 小澤 不二夫 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイ コー電子工業株式会社内 (72)発明者 山崎 皇 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイ コー電子工業株式会社内 (72)発明者 林崎 伸一 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイ コー電子工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平4−334980(JP,A)
Claims (10)
- 【請求項1】 電極パターンを有する圧電振動子と、 前記圧電振動子が固定され、突起部を有する振動体と、 前記振動体に圧接され前記圧電振動子の伸縮運動により
摩擦駆動され、不均一部を有する移動体と、 前記移動体を前記振動体に加圧接触させる加圧手段と、 前記移動体を駆動するための第1の振動波を発生し、か
つ、前記移動体を停止するための第2の振動波を発生さ
せる超音波振動発生回路と、前記移動体が駆動される時に、前記移動体の有する前記
不均一部により強調される電流波形の波高値の包絡線を
検出する平滑回路と、 前記平滑回路の出力信号を入力して、前記移動体の回転
状態を検出する判定回路と、 前記判定回路の出力信号に基づいて、前記第1の振動波
と前記第2の振動波の 作動を切り替える切替回路と、前記切替回路の出力信号に基づいて、前記圧電素子を駆
動する駆動回路と、 を有することを特徴とする超音波モ
ータ。 - 【請求項2】 前記移動体を駆動するための第1の振動
波が進行波で、前記移動体を停止するための第2の振動
波が定在波であることを特徴とする請求項1記載の超音
波モータ。 - 【請求項3】 前記移動体を駆動するための第1の振動
波が進行波で、前記移動体を停止するための第2の振動
波が2種類以上の定在波であることを特徴とする請求項
1記載の超音波モータ。 - 【請求項4】 前記移動体の不均一部の数は、前記第2
の振動波の節数よりも多く、かつ、前記移動体の不均一
部の数と前記第2の振動波の節数とは、2以上の正の整数
であるところの公約数を少なくとも1個以上有すること
を特徴とする請求項1記載の超音波モータ。 - 【請求項5】 前記移動体の不均一部の数は360を割
り切ることのできる値である請求項1記載の超音波モー
タ。 - 【請求項6】 前記移動体の不均一部は、前記移動体の
円周方向に等間隔に配置されている請求項1記載の超音
波モータ。 - 【請求項7】 前記不均一部を有する移動体は、前記移
動体の摺動面に対して垂直方向に弾性を有する電極パタ
ーンを有することを特徴とする請求項1記載の超音波モ
ータ。 - 【請求項8】 前記圧電振動子の電極パターンは、円周
方向に等間隔に分割され、かつ前記電極パターンの分割
数は、前記移動体を駆動するための第1の振動波の波数
をλとし、nを1以上の正の整数として2nλとし、ま
た前記振動体の突起部は、前記圧電振動子の電極パター
ン分割数の整数倍の数を有することを特徴とする請求項
1記載の超音波モータ。 - 【請求項9】 前記移動体は、前記移動体を停止するた
めの第2の振動波の節部の少なくとも1ヶ所に不均一部
と不均一部の間が接するような不均一部を有することを
特徴とする請求項1記載の超音波モータ。 - 【請求項10】 請求項1記載の超音波モータと、前記
超音波モータの支持手段と、前記移動体の動作により動
作する出力手段を有することを特徴とする超音波モータ
付電子機器。
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JPH01185174A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-24 | Canon Inc | 振動波モータの駆動回路 |
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- 1993-07-23 EP EP93305828A patent/EP0580447A1/en not_active Withdrawn
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