JP3124514B2 - 超音波モータ、電子機器、及びアナログ式時計 - Google Patents

超音波モータ、電子機器、及びアナログ式時計

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JP3124514B2 JP09208050A JP20805097A JP3124514B2 JP 3124514 B2 JP3124514 B2 JP 3124514B2 JP 09208050 A JP09208050 A JP 09208050A JP 20805097 A JP20805097 A JP 20805097A JP 3124514 B2 JP3124514 B2 JP 3124514B2
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賢二 鈴木
朗弘 飯野
政雄 春日
鈴木  誠
崇史 山中
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/166Motors with disc stator

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子の伸縮振
動より周期的に振動して定在波を発生させる振動体につ
いて定在波の節と腹の中間位置に動力伝達突起を備えた
超音波モータ並びにこれを用いた電子機器及びアナログ
式時計の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、マイクロモータの分野では、圧電
素子を駆動源として利用する超音波モータが注目されて
いる。超音波モータの種類には、平板矩形状の振動体に
おいて、異なる共振モードを組み合わせるタイプや、円
環状の振動体において、90゜位相の異なる電気的励振
により進行波を生じさせるタイプ等が知られている。
【0003】また、一つの電源を用いて正逆方向の駆動
力を生じさせる観点から、振動体に定在波を生じさせる
タイプが知られている(特開平2−287281号公
報、特開平8−107686号公報参照)。図9は、前
記定在波型の超音波モータの要部を示し、同図(a)は
周面の展開構造を、同図(b)は平面構造を示す。
【0004】この超音波モータの要部は、周方向に扇形
状に12等分した分割部を有すると共に、隣接する1対
の分割部を交互に分極方向を逆転するように処理された
圧電素子11と、圧電素子11に接合された振動体12
と、振動体12の周面上に前記一対の分割部の境界に対
応した位置に設けられた動力伝達突起13と、動力伝達
突起13に当接する移動体24から構成されている。
【0005】そして、移動体24を移動させる場合、同
図(b)に示すように、1つおきに配置された圧電素子
11の分割群(11a若しくは11b)に電圧を印加し
て、振動体12に定在波を生じさせる。ここで、動力伝
達突起13は振動体12に生じる定在波の腹と節の中間
位置について半波長おきに位置する。このとき、定在波
の山側にあるとき各動力伝達突起13の先端は移動体2
4に当接して摩擦力を加える一方、定在波の谷と節の中
間に位置する動力伝達突起13は移動体24に接触しな
いので、移動体24は一方向へ回転される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記超
音波モータの小型化に際して、励振される定在波の振幅
は微小であり、また、振動体12と移動体24の摺動面
は、ミクロ的なうねり、粗さにより凸凹を有している。
図10は、振動体および移動体の表面形状と突起の移動
体表面への接触状態を示す。
【0007】即ち、振動体12および移動体24の摺動
面に凹凸が存在すると、定在波の山側の動力伝達突起1
3aのみならず、通常では非接触の定在波の谷側の動力
伝達突起13bの一部も移動体24に接触して、移動体
24の進行方向と逆方向に摩擦力を加える。これは、振
動体12の振動エネルギーを移動体24の回転力に変換
する際のエネルギーロスになり、超音波モータの回転性
能を落としてしまうという技術的課題を導く。
【0008】また、上記動力伝達突起13の作成には、
円盤状の振動体12の表面を各々突起形状に削り出す作
業を必要とするが、多数の突起形状の作成には複雑な研
削手順および時間を必要とするので、製造工程は複雑化
するという問題を有していた。そこで、本発明は、以上
の技術的課題を解決するためなされたものであって、そ
の目的は、振動体の振動エネルギーのロスを防止し、モ
ータの回転性能を向上させると共に、製造工程を簡略化
する超音波モータ並びにこれを用いた電子機器及びアナ
ログ式時計を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】即ち、請求項1記載の発
明は、圧電素子の伸縮運動により周期的に振動して定在
波を発生する振動体を備え、前記振動体の定在波を圧接
させて摩擦力により移動体を駆動する超音波モータにお
いて、前記振動体の定在波の腹と節の中間位置について
n波長(n:自然数)おきにに前記移動体に摩擦力を加
える動力伝達突起を備えたことを特徴とする。
【0010】この作用として、圧電素子の伸縮運動は振
動体を振動させて、振動体には定在波が発生する。定在
波の腹と節の中間位置についてn波長おきに設けられた
動力伝達突起は、定在波の山側にあるとき移動体に圧接
して摩擦力を加え、移動体を進行方向へ駆動する。一
方、このとき動力伝達突起から半波長おきに定在波の谷
側にある中間位置は、動力伝達突起を設けていないの
で、振動体および移動体の表面に凸凹が存在したとして
も、移動体に非接触である。即ち、移動体に進行方向と
逆方向の摩擦力を加えないようにしたので、移動体は進
行方向のみに摩擦力を受け、振動体の振動エネルギーの
ロスを防止し、超音波モータの回転性能を向上させる。
【0011】ここで、定在波には、単一の振動モードに
よる定在波及び複数の同位相の定在波を合成した定在波
の何れも含まれる。動力伝達突起は、振動体と一体に作
成される場合、振動体と別部材で作成される場合のいず
れも含まれる。請求項2記載の発明は、請求項1記載の
超音波モータにおいて、前記振動体の定在波の腹と節の
中間位置について1波長おきに前記移動体に摩擦力を加
える動力伝達突起を備えたことを特徴とする。
【0012】この発明によれば、動力伝達突起を最大数
配置し、移動体に最大摩擦力を加えるようにしたので、
移動体は高トルクで可動される一方、動力伝達突起から
半波長離れた中間位置は、振動体および移動体の表面に
凸凹が存在したとしても、進行方向と逆方向の摩擦力は
移動体に加えない。請求項3記載の発明は、請求項1又
は請求項2記載の超音波モータにおいて、互いに隣接す
る前記動力伝達突起の間であって、前記動力伝達突起を
含めて等間隔となる前記中間位置に、前記動力伝達突起
より低く前記振動体の振動を安定させる振動安定突起を
備えたことを特徴とする。
【0013】ここで、振動安定突起の高さは、定在波の
谷側にあり、かつ、振動体および移動体の表面に凸凹が
あるときでも、移動体に接触しない程度である。この発
明によれば、振動安定突起により、動力伝達突起との平
衡を図り、振動体のバランスを保つようにしたので、超
音波モータの安定駆動が図られると共に環境変化に起因
する振動特性の変化を緩和する。また、振動安定突起は
進行方向と逆方向に摩擦力を加えないようにしたので、
振動体の振動エネルギーのロスは防止される。
【0014】請求項4記載の発明は、請求項3記載の超
音波モータにおいて、互いに隣接する前記動力伝達突起
間から等距離の前記中間位置に前記振動安定突起を備え
たことを特徴とする。この発明によれば、最小数の振動
安定突起を作成するようにしたので、製造工程が簡略化
される。
【0015】請求項5記載の発明は、請求項1から請求
項4いずれか記載の超音波モータにおいて、少なくとも
3つ以上の前記動力伝達突起を備えたことを特徴とす
る。この発明によれば、3つ以上の動力伝達突起によ
り、2次元的に移動体を支持するようにしたので、移動
体は安定して駆動される。請求項6記載の発明は、請求
項1又は請求項2記載の超音波モータにおいて、互いに
隣接する前記動力伝達突起の間に一方の前記動力伝達突
起から他方の動力伝達突起まで連続する前記振動安定突
起を備えたことを特徴とする。
【0016】この発明によれば、振動安定突起の作成を
容易にしたので、製造工程が簡略化される。請求項7記
載の発明は、電子機器に請求項1から請求項6いずれか
記載の超音波モータを備えたことを特徴とする。この発
明によれば、該超音波モータを駆動源とした電子機器が
実現される。
【0017】ここで、電子機器には電子時計、計測器、
カメラ、プリンタ等のマイクロモータを適用可能な分野
は全て含まれる。請求項8記載の発明は、アナログ式時
計に請求項1から請求項6いずれか記載の超音波モータ
を備えたことを特徴とする。この発明によれば、超音波
モータを駆動源としたアナログ式時計が実現される。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図8を参照して本発
明を適用した実施の形態を詳細に説明する。 {実施の形態1}図1は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態1の断面構造を示す。本超音波モータ
は、圧電素子11と、圧電素子11に接合された振動体
12と、振動体12の上面に設けられた動力伝達突起1
3と、圧電素子11に結合されたリード線14と、振動
体12を中心を貫く中心軸22と、中心軸22を固定す
る支持板23と、動力伝達突起13の上に当接する移動
体24と、移動体24を中心部を圧接する加圧ばね25
から構成されている。
【0019】図2は、超音波モータの振動体および圧電
素子の詳細を示したものであり、同図(a)は平面構造
を、同図(b)は周面の展開構造を示す。同図(a)に
示すように、圧電素子11は、円板状であり、周方向に
扇形状に12等分a1…a6、b1…b6に分割して、
隣接するa1とb1、a2とb2、…a6とb6を組と
して、一組ずつ相互に分極方向が逆転するように分極処
理を施している。
【0020】ここで、図中(+)もしくは(−)とある
のは、分極の方向を示したものである。(+)は、圧電
素子11の下面から圧電素子11と振動体12の接合面
に向かって正の電界を印加して、(−)は、負の電界を
印加して分極処理を施したことを示す。また、圧電素子
11の表面と裏面には、前記分割部a1…a6、b1…
b6に対応した扇形状に電極パターン(図示省略)を形
成している。
【0021】同図(b)に示すように、一方の分割部a
1…a6に対応した電極パターンは第1リード線14a
に結線し、他方の分割部b1…b6に対応した電極パタ
ーンは、第2リード線14bに結線している。振動体1
2(同図(a)では図示省略)は、圧電素子11に対応
した大きさの円板状であり、アルミ合金、ステンレス、
黄銅等の弾性材料からなる。
【0022】動力伝達突起13は、各々同一の高さの断
面角柱状であり、(+)方向に分極処理された1組の分
割部(a1とb1、a3とb3、a5とb5)の境界に
計3箇所設けられている。ここで、3箇所としたのは、
移動体24を2次元的に支持し移動体24を安定して回
転運動させるためである。図3は、各動力伝達突起と振
動体に生じる定在波の位置関係を示す。
【0023】後述するように、振動体12を屈曲振動さ
せて周面上に3波長分の定在波を形成させたとき、各動
力伝達突起13は定在波の腹と節の中間位置に1波長お
きに配置される。次に、図1〜図3に基づいて、本実施
の形態に係わる超音波モータの動作について説明する。
【0024】移動体24を正方向に回転させるときは、
図2(b)に示すように、第1リード線14aに電圧を
印加すればよい。圧電素子11の分割部a1…a6は励
振され、振動体12は屈曲振動されて周面上に3波長分
の定在波を生じる。各動力伝達突起13の先端は、上下
方向と、横方向の動きを伴う斜め方向の運動を行い、図
3(a)に示すように、定在波の山側にあるとき、移動
体24の表面に圧接して摩擦力を加える。
【0025】このとき、各動力伝達突起13から半波長
離れた定在波の谷側の中間位置は、動力伝達突起13を
設けていないので、振動体12および移動体24の表面
に凸凹が存在したとしても、移動体24に非接触であ
り、移動体24に進行方向と逆方向へ摩擦力を加えな
い。よって、移動体24は、前記定在波の山側の動力伝
達突起13のみから一方向の摩擦力を加えられて図中矢
印方向へ移動すると共に、図1に示すように、中心軸2
2を中心として回転運動する。
【0026】一方、移動体を逆方向に回転させるとき
は、図2(b)に示すように、第2リード線14bに電
圧を印加すればよい。圧電素子11の分割部b1…b6
は励振され、振動体12は屈曲振動されて前記定在波に
対して90°位相の異なる3波長分の定在波を生じる。
各動力伝達突起13の先端は、先ほどとは逆方向に変位
し、図3(b)に示すように、定在波の山側にあると
き、移動体24に圧接して図3(a)とは逆方向に摩擦
力を加える。よって、移動体24は、逆方向に回転運動
する。
【0027】以上より、本実施の形態によれば、動力伝
達突起13から半波長離れた定在波の谷側の中間位置を
移動体24に非接触とし、移動体24に進行方向と逆方
向の摩擦力を加えないようにしたので、振動体12の振
動エネルギーのロスが防止され、超音波モータの回転性
能が向上される。なお、本実施の形態では単一波形から
なる定在波に限られず、超音波モータのトルクを強化す
る観点から、複数の同位相の定在波を重ね合わせた合成
定在波を用いて、動力伝達突起13を合成定在波の腹と
節の中間位置に対して1波長おきに設けてもよい。 {実施の形態2}図4は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態2の要部を示したものであり、同図
(a)は平面構造を、同図(b)は周面の展開構造を示
す。
【0028】本実施の形態の平面構造及び周面の展開構
造は、実施の形態1と略同様の構造であり、共通部分に
ついては説明を省略する。本実施の形態の特徴は、
(−)方向に分極処理された1組の分割部(a2とb
2、a4とb4、a6とb6)の境界に、四角柱状の振
動安定突起15を設けた点である。この振動安定突起1
5は、図3に示すように、振動体12に生じる定在波に
対して、各動力伝達突起13から半波長離れた腹と節の
中間位置にあり、隣接する動力伝達突起13とは等距離
の位置にある。
【0029】また、その高さは、定在波の谷側にあると
きでも、動力伝達突起13より移動体24の表面に触れ
ない程度に低く、さらに、振動体12又は移動体24の
表面に凸凹があったとしても、移動体24に非接触とな
るよう設計されており、全てが同じ高さである必要はな
い。この振動安定突起15によれば、動力伝達突起13
との平衡を図り、定在波の生じている振動体12のバラ
ンスを維持するようにしたので、振動体12および圧電
素子11の振動状態を安定化すると共に、環境変化に起
因する振動特性の変化を緩和する。また、定在波の谷側
にあるとき進行方向とは逆方向に摩擦力を加えないよう
にしたので、振動エネルギーをロスすることもない。さ
らに、製造工程も簡略化される。 {実施の形態3}図5は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態3の要部を示したものであり、同図
(a)は平面構造を、同図(b)は周面の展開構造を示
す。
【0030】本実施の形態の平面構造及び周面の展開構
造は、実施の形態1と略同様の構造であり、共通部分に
ついては説明を省略する。本実施の形態の特徴は、
(−)方向に分極処理された1組の分割部(a2とb
2、a4とb4、a6とb6)の境界に設けた振動安定
突起15に加え、動力伝達突起13と振動安定突起15
の間に等間隔になるように振動安定突起16を設けた点
にある。
【0031】この振動安定突起15、16は、図3を参
照すると、隣接する動力伝達突起13の間に1/8波長
おきの等間隔にある。これによれば、さらなる振動安定
突起16により、振動体12および圧電素子11の振動
状態はさらに安定化される。 {実施の形態4}図6は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態4の要部を示したものであり、同図
(a)は平面構造を、同図(b)は周面の展開構造を示
す。
【0032】本実施の形態の平面構造及び周面の展開構
造は、実施の形態1と略同様の構造であり、共通部分に
ついては説明を省略する。本実施の形態の特徴は、隣接
する動力伝達突起13の間を連続して動力伝達突起13
より低い帯状の振動安定突起17を設けている点にあ
る。これによれば、実施の形態2、3に四角柱の形状の
振動伝達突起15、16と比較して形状が単純であり、
製造工程も簡略化される。 {実施の形態5}図7は、本発明に係わる超音波モータ
をアナログ式時計に適用した実施の形態5の断面構造を
示す。
【0033】本アナログ式時計は、圧電素子11、振動
体12、動力伝達突起13、移動体24、加圧ばね25
からなる超音波モータと、振動体12の中心に設けられ
た止ねじ35、案内ピン36と、止ねじ35を押える地
板40と、地板40の前面に配置された文字盤31と、
文字盤31の前面に設けられた時針32、分針33、秒
針34と、移動体歯車24aと噛合するとともに、回転
軸が秒針34と一体に設けられた四番車44と、四番車
44の回転軸と噛合する三番車43と、三番車43の回
転軸と噛合し、分針33と一体に設けられた分車42
と、分車42の前方にあって、時針32と一体に設けら
れた筒車45と、筒車45を裏側へ押える裏押え46
と、三番車43と四番車44の回転軸を受ける輪列受4
1から構成されている。
【0034】ここで、分車42及び三番車43は、四番
車44、即ち秒針34の回転速度に対して、分針33を
1/60の回転速度になるように歯車の歯数を設定し、
筒車45および裏車(図示省略)は四番車44に対して
時針32を1/720の回転速度になるように歯車比を
設定する。次に、図7に基づいて、アナログ式時計の動
作について説明する。
【0035】移動体24を回転させると、移動体歯車2
4aは所定の回転速度で四番車44を回転させ、四番車
44と一体の秒針34は、従動回転して秒を表示する。
四番車44の回転速度は三番車43と分車42により減
速され、分車42と一体の分針33は、秒針の1/60
の回転速度で従動回転して、分を表示する。一方、四番
車44の回転速度は裏車(図示省略)と筒車45により
減速され、筒車45と一体の時針32は、秒針34の1
/720の回転速度で従動回転して、時を表示する。
【0036】以上より、本実施の形態によれば、超音波
モータを用いたアナログ式時計が実現される。なお、時
刻情報の表示は、上記のように複数の輪列と指針により
行うほかに、移動体24の軸方向に直接指針や指標を取
付けて行ってもよく、これらは、文字盤31側から、お
よび加圧ばね25側から見ることもできる。
【0037】さらに、モータ制御回路によりモータ駆動
回路から圧電素子11に与える周波電圧の周波数の調整
により秒針34を毎秒のステップ運針若しくは連続運針
させてもよい。また、時刻表示以外にも年月日などのカ
レンダ表示、電池残量、環境情報、からくり等の表示を
行わせてもよい。 {実施の形態6}図8は、本発明に係わる超音波モータ
を電子機器に適用した実施の形態6のブロック図を示
す。
【0038】本電子機器は、前述の振動体13と、振動
体13により移動される移動体24と、移動体24と振
動体13を加圧する加圧機構51と、移動体11と一体
に可動する伝達機構52と、伝達機構52の動作に基づ
いて動作する出力機構53とを備えることにより実現す
る。ここで、伝達機構52には、例えば、歯車、摩擦車
等の伝達車を用いる。
【0039】出力機構53には、例えば、カメラにおい
てはシャッタ駆動機構、レンズ駆動機構を、電子時計に
おいては指針駆動機構、カレンダ駆動機構を、工作機械
においては刃具送り機構、加工部材送り機構等を用い
る。本発明に係わる電子機器としては、例えば、電子時
計、計測器、カメラ、プリンタ、印刷機、工作機械、ロ
ボット、移動装置などが実現できる。さらに、移動体に
出力軸を取り付け、出力軸からトルクを伝達するための
動力伝達機構を有する構成にすれば、超音波モータの駆
動機構が実現できる。
【0040】
【発明の効果】以上より、請求項1記載の発明によれ
ば、動力伝達突起は、定在波の山側にあるとき移動体に
圧接して摩擦力を加え、移動体を進行方向へ駆動する一
方、このとき動力伝達突起から半波長おきに振動体の定
在波の谷側にある中間位置は移動体に非接触であり、移
動体に進行方向と逆方向の摩擦力を加えないようにした
ので、振動体の振動エネルギーのロスは防止され、超音
波モータの回転性能が向上される。
【0041】請求項2記載の発明によれば、移動体に最
大摩擦力を加えるようにしたので、移動体は高トルクで
可動される。請求項3記載の発明によれば、動力伝達突
起との平衡を図り、振動体のバランスを保つようにした
ので、超音波モータの安定駆動が図られると共に、環境
変化に対する振動特性の変動を緩和する。また、進行方
向と逆方向に摩擦力を加えないようにしたので、振動体
の振動エネルギーのロスは防止される。
【0042】請求項4記載の発明によれば、最小数の振
動安定突起を作成するようにしたので、製造固定が簡略
化される。請求項5記載の発明によれば、3つ以上の動
力伝達突起により、移動体を2次元的に支持するように
したので、移動体は安定して駆動される。請求項6記載
の発明によれば、振動安定突起の作成を容易にしたの
で、製造工程が簡略化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を超音波モータに適用した実施の形態1
の断面構造を示す説明図である。
【図2】同図(a)は、図1に係わる超音波モータの要
部の平面構造を示したものであり、同図(b)はその周
面の展開構造を示す説明図である。
【図3】図1に係わる各動力伝達突起と振動体に生じる
定在波の位置関係および動作原理を示す説明図である。
【図4】同図(a)は、本発明を超音波モータに適用し
た実施の形態2の要部の平面構造を示したものであり、
同図(b)は周面の展開構造を示す説明図である。
【図5】同図(a)は本発明を超音波モータに適用した
実施の形態3の要部の平面構造を示したものであり、同
図(b)は周面の展開構造を示す説明図である。
【図6】同図(a)は本発明を超音波モータに適用した
実施の形態4の要部の平面構造を示したものであり、同
図(b)は周面の展開構造を示す説明図である。
【図7】本発明に係わる超音波モータをアナログ式時計
に適用した実施の形態5を示す説明図である。
【図8】本発明を適用した実施の形態6を表すブロック
図を示す説明図である。
【図9】同図(a)は周面の展開構造を示し、同図
(b)は従来技術に係わる超音波モータの要部の平面構
造を示す説明図である。
【図10】従来技術に係わる動力伝達突起の配置に起因
する問題点を示す説明図である。
【符号の説明】
11 圧電素子 12 振動体 13 動力伝達突起 14 リード線 14a 第1リード線 14b 第2リード線 15、16、17 振動安定突起 22 中心軸 23 支持板 24 移動体 31 文字盤 32 時針 33 分針 34 秒針 35 止ねじ 36 案内ピン 40 地板 41 輪列受 42 分車 43 三番車 44 四番車 45 筒車 46 裏押え 51 加圧機構 52 伝達機構 53 出力機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 誠 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 山中 崇史 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セイコーインスツルメンツ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−183981(JP,A) 特開 平4−193076(JP,A) 特開 平6−90574(JP,A) 特開 平4−75472(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/10

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周方向に分極処理された複数の分割部を
    有する圧電素子の伸縮運動により周期的に振動して定在
    波を発生する振動体を備え、前記振動体の定在波を圧接
    させて摩擦力により移動体を駆動する超音波モータにお
    いて、前記振動体の定在波の腹と節の中間位置である隣
    り合う分割部同士の境界についてn波長(nは自然数)
    おきにのみ、前記移動体に摩擦力を加える動力伝達突起
    を備えたこと特徴とする超音波モータ。
  2. 【請求項2】 前記振動体の定在波の腹と節の中間位置
    について1波長おきに前記動力伝達突起を備えたことを
    特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
  3. 【請求項3】 互いに隣接する前記動力伝達突起の間に
    あって、前記動力伝達突起を含めて等間隔となる前記中
    間位置に、前記動力伝達突起より低く前記振動体の振動
    を安定させる振動安定突起を備えたことを特徴とする請
    求項1又は請求項2記載の超音波モータ。
  4. 【請求項4】 互いに隣接する前記動力伝達突起間から
    等距離の前記中間位置に前記振動安定突起を備えたこと
    を特徴とする請求項3記載の超音波モータ。
  5. 【請求項5】 少なくとも3つ以上の前記動力伝達突起
    を備えたことを特徴とする請求項1から請求項4いずれ
    か記載の超音波モータ。
  6. 【請求項6】 互いに隣接する前記動力伝達突起の間
    連続して設けられた、前記動力伝達突起よりも低い帯状
    振動安定突起を備えたことを特徴とする請求項1又は
    請求項2記載の超音波モータ。
  7. 【請求項7】 請求項1から請求項6いずれか記載の超
    音波モータを備えたことを特徴とする電子機器。
  8. 【請求項8】 請求項1から請求項6いずれか記載の超
    音波モータを備えたことを特徴とするアナログ式時計。
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