JP2713762B2 - ヘッド支持装置 - Google Patents
ヘッド支持装置Info
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- JP2713762B2 JP2713762B2 JP1113219A JP11321989A JP2713762B2 JP 2713762 B2 JP2713762 B2 JP 2713762B2 JP 1113219 A JP1113219 A JP 1113219A JP 11321989 A JP11321989 A JP 11321989A JP 2713762 B2 JP2713762 B2 JP 2713762B2
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
- G11B5/4886—Disposition of heads relative to rotating disc
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、薄膜磁気ヘッドとヘッド支持体とを有する
ヘッド支持装置に関し、薄膜時ヘッドは、読み書き素子
の取出電極を、読み書き素子を備える端面とは異なるス
ライダの側端面に導出した構成とすることにより、高密
度記録に適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び
耐久性向上に効果があり、しかも、安定な浮上特性が得
られ、更に、アクセス運動の高速化に適したヘッド支持
装置が得られるようにしたものである。
ヘッド支持装置に関し、薄膜時ヘッドは、読み書き素子
の取出電極を、読み書き素子を備える端面とは異なるス
ライダの側端面に導出した構成とすることにより、高密
度記録に適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び
耐久性向上に効果があり、しかも、安定な浮上特性が得
られ、更に、アクセス運動の高速化に適したヘッド支持
装置が得られるようにしたものである。
＜従来の技術＞ この種のヘッド支持装置において、薄膜磁気ヘッドが
磁気ディスク面を一定の間隔をおいて近接して追従し得
るようにするためには、読み書き素子を担持するスライ
ダが第１軸に関してピッチ運動を行ない、第１軸と直交
する第２軸に関してロール運動を行なうようにするこ
と、偏揺れを除去すること等が要求される。このような
ヘッド支持装置は、特公昭58−22827号公報や特開昭61
−93868号公報等で公知である。
磁気ディスク面を一定の間隔をおいて近接して追従し得
るようにするためには、読み書き素子を担持するスライ
ダが第１軸に関してピッチ運動を行ない、第１軸と直交
する第２軸に関してロール運動を行なうようにするこ
と、偏揺れを除去すること等が要求される。このような
ヘッド支持装置は、特公昭58−22827号公報や特開昭61
−93868号公報等で公知である。
これらの先行技術で開示されたヘッド支持体の一般的
な構造は、弾性バネ部及びこの弾性バネ部に連続する剛
性ビーム部を有する支持体を、ステンレス等の弾性金属
板で形成すると共に、この支持体の自由端に、同じくス
テンレスの弾性金属板でなる可撓性を取付け、可撓体の
上面または支持体の自由端付近の下面の何れか一方に設
けられた荷重用突起により、支持体の自由端から可撓体
へ荷重力を伝えるようにし、スライダに読み書き素子を
担持させた薄膜磁気ヘッドを、可撓体の下面に取付けた
構造となっていた。
な構造は、弾性バネ部及びこの弾性バネ部に連続する剛
性ビーム部を有する支持体を、ステンレス等の弾性金属
板で形成すると共に、この支持体の自由端に、同じくス
テンレスの弾性金属板でなる可撓性を取付け、可撓体の
上面または支持体の自由端付近の下面の何れか一方に設
けられた荷重用突起により、支持体の自由端から可撓体
へ荷重力を伝えるようにし、スライダに読み書き素子を
担持させた薄膜磁気ヘッドを、可撓体の下面に取付けた
構造となっていた。
ヘッド支持体と組合される磁気ヘッドとしては、磁気
記録媒体の走行によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する浮上型の薄膜磁気ヘッドが用いられる。この
ような浮上型の薄膜磁気ヘッドは、例えば特公昭58−21
329号、特公昭58−28650号各公報等で公知であり、その
基本的な構成は、磁気記録媒体と対向する面側に浮上面
を有するスライダの空気流出端部側に読み書き素子を備
える構造となっている。第11図は従来のこの種の薄膜磁
気ヘッドの斜視図を示し、１は例えばセラミック構造体
でなるスライダ、2A、2Bは読み書き素子である。スライ
ダ１は磁気記録媒体と対向する面に、間隔をおいて２つ
のレール部101、102を形成すると共に、レール部101、1
02の表面を平面度の高い浮上面103、104としてある。浮
上面103、104側には、磁気記録媒体との組合せにおい
て、矢印ａ方向に流れる空気流に対して流入端となる一
端部側に、テーパ部103a、104aを設けてある。読み書き
素子2A、2BはIC製造テクノロジと同様のプロセスにした
がって形成された薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部
103a、104aとは反対側の空気流出端部側に付着されてい
る。
記録媒体の走行によって生じる動圧を利用して、磁気記
録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保っ
て浮上する浮上型の薄膜磁気ヘッドが用いられる。この
ような浮上型の薄膜磁気ヘッドは、例えば特公昭58−21
329号、特公昭58−28650号各公報等で公知であり、その
基本的な構成は、磁気記録媒体と対向する面側に浮上面
を有するスライダの空気流出端部側に読み書き素子を備
える構造となっている。第11図は従来のこの種の薄膜磁
気ヘッドの斜視図を示し、１は例えばセラミック構造体
でなるスライダ、2A、2Bは読み書き素子である。スライ
ダ１は磁気記録媒体と対向する面に、間隔をおいて２つ
のレール部101、102を形成すると共に、レール部101、1
02の表面を平面度の高い浮上面103、104としてある。浮
上面103、104側には、磁気記録媒体との組合せにおい
て、矢印ａ方向に流れる空気流に対して流入端となる一
端部側に、テーパ部103a、104aを設けてある。読み書き
素子2A、2BはIC製造テクノロジと同様のプロセスにした
がって形成された薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部
103a、104aとは反対側の空気流出端部側に付着されてい
る。
３はアルミナ等の保護膜である。読み書き素子2A、2B
はこの保護膜３によって覆われている。41A、42Aは読み
書き素子2Aの取出電極、41B、42Bは読み書き素子2Bの取
出電極であり、読み書き素子2A、2Bの付着されている端
面と同一の端面上において、保護膜３の表面上に導出し
てある。取出電極（41A、42A）、（41B、42B）は、読み
書き素子の導体コイルに導通接続されていて、図示しな
い磁気ディスク装置のリード線が接続固定される。
はこの保護膜３によって覆われている。41A、42Aは読み
書き素子2Aの取出電極、41B、42Bは読み書き素子2Bの取
出電極であり、読み書き素子2A、2Bの付着されている端
面と同一の端面上において、保護膜３の表面上に導出し
てある。取出電極（41A、42A）、（41B、42B）は、読み
書き素子の導体コイルに導通接続されていて、図示しな
い磁気ディスク装置のリード線が接続固定される。
＜発明が解決しようとする課題＞ この種のヘッド支持装置において、磁気記録の高密度
化及び高速化に対応するため、薄膜磁気ヘッドが、益
々、小型化される傾向にある。小型化は、高密度記録を
達成するのに必要な浮上量減少及びスペーシングロス低
下に有効である上に、ヘッド支持体との組合せにおい
て、共振周波数を高め、クラッシュ防止及び耐久性向上
に効果があり、しかも、動圧と支持バネ圧との間の適正
なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保ち、安定な
浮上特性が得られるからである。更に、小型化によるヘ
ッドの質量減少は、ヘッド支持装置のアクセス運動の高
速化をもたらす。
化及び高速化に対応するため、薄膜磁気ヘッドが、益
々、小型化される傾向にある。小型化は、高密度記録を
達成するのに必要な浮上量減少及びスペーシングロス低
下に有効である上に、ヘッド支持体との組合せにおい
て、共振周波数を高め、クラッシュ防止及び耐久性向上
に効果があり、しかも、動圧と支持バネ圧との間の適正
なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保ち、安定な
浮上特性が得られるからである。更に、小型化によるヘ
ッドの質量減少は、ヘッド支持装置のアクセス運動の高
速化をもたらす。
しかしながら、従来のヘッド支持装置に用いられてい
た薄膜磁気ヘッドは、第11図に示したように、読み書き
素子2A、2Bを有する端面上に、取出電極（41A、42A）、
（41B、42B）を形成してあったので、取出電極（41A、4
2A）、（41B、42B）の面積による制限を受け、小型化に
限界を生じていた。
た薄膜磁気ヘッドは、第11図に示したように、読み書き
素子2A、2Bを有する端面上に、取出電極（41A、42A）、
（41B、42B）を形成してあったので、取出電極（41A、4
2A）、（41B、42B）の面積による制限を受け、小型化に
限界を生じていた。
そこで本発明の課題は、薄膜磁気ヘッドを小型化し、
浮上量減少及びスペーシングロス低下に有効で、高密度
記録に適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び耐
久性向上に効果があり、しかも、動圧と支持バネ圧との
間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保
ち、安定な浮上特性が得られ、更に、ヘッド質量減少に
より、アクセス運動の高速化に適したヘッド支持装置を
提供することである。
浮上量減少及びスペーシングロス低下に有効で、高密度
記録に適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び耐
久性向上に効果があり、しかも、動圧と支持バネ圧との
間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保
ち、安定な浮上特性が得られ、更に、ヘッド質量減少に
より、アクセス運動の高速化に適したヘッド支持装置を
提供することである。
＜課題を解決するための手段＞ 上述した課題を解決するため、本発明に係るヘッド支
持装置において、薄膜磁気ヘッドは、スライダと、読み
書き素子と、取出電極と、保護膜とを含む。前記読み書
き素子は、スライダの端面に備えられている。前記取出
電極は、前記読み書き素子を設けた前記端面上に備えら
れ、かつ、前記端面とは異なる前記スライダの側端面に
露出されている。前記保護膜は、前記スライダの前記端
面に付着され、前記読み書き素子および前記取出電極を
覆っている。前記ヘッド支持体は、前記薄膜磁気ヘッド
を支持している。
持装置において、薄膜磁気ヘッドは、スライダと、読み
書き素子と、取出電極と、保護膜とを含む。前記読み書
き素子は、スライダの端面に備えられている。前記取出
電極は、前記読み書き素子を設けた前記端面上に備えら
れ、かつ、前記端面とは異なる前記スライダの側端面に
露出されている。前記保護膜は、前記スライダの前記端
面に付着され、前記読み書き素子および前記取出電極を
覆っている。前記ヘッド支持体は、前記薄膜磁気ヘッド
を支持している。
＜作用＞ 薄膜磁気ヘッドを構成する読み書き素子の取出電極
を、読み書き素子を有する端面とは異なるスライダの側
端面に導出したので、読み書き素子を有する端面の面積
を、取出電極面積による制限を、あまり受けることなく
縮小し、薄膜磁気ヘッド全体を小型化できる。
を、読み書き素子を有する端面とは異なるスライダの側
端面に導出したので、読み書き素子を有する端面の面積
を、取出電極面積による制限を、あまり受けることなく
縮小し、薄膜磁気ヘッド全体を小型化できる。
しかも、取出電極を導出した側端面を、製造行程にお
いて、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることが可能であり、製造が容易
である。
いて、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることが可能であり、製造が容易
である。
また、取出電極を面出ししてリード線ボンディング個
所を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工
程が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドが得られる。
所を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工
程が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドが得られる。
＜実施例＞ 第１図は本発明に係るヘッド支持装置の斜視図であ
る。図において、５は薄膜磁気ヘッド、６はヘッド支持
体である。第２図は薄膜磁気ヘッドの拡大斜視図で、ス
ライダ51は磁気記録媒体と対向する浮上面511が、レー
ル部及び揚力発生用テーパ面を持たない平面状となって
いる。端縁（イ）、（ロ）は、コンタクト．スタート時
における磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、
弧状に形成するのが望ましい。他の端縁（ハ）、（ニ）
も弧状に形成できる。
る。図において、５は薄膜磁気ヘッド、６はヘッド支持
体である。第２図は薄膜磁気ヘッドの拡大斜視図で、ス
ライダ51は磁気記録媒体と対向する浮上面511が、レー
ル部及び揚力発生用テーパ面を持たない平面状となって
いる。端縁（イ）、（ロ）は、コンタクト．スタート時
における磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、
弧状に形成するのが望ましい。他の端縁（ハ）、（ニ）
も弧状に形成できる。
読み書き素子52は、磁気記録媒体との組合せにおい
て、空気流出端部側となる端面に付着させてある。実施
例において、読み書き素子52は１個であり、幅方向の略
中間部に配置されている。そして、読み書き素子52の取
出電極521、522を、スライダ51の相対する両側端面51
2、513に導出してある。スライダ51の両側端面512、513
には、取出電極521、522上を通る凹溝53、54を、その全
長にわたって条状に設けてある。
て、空気流出端部側となる端面に付着させてある。実施
例において、読み書き素子52は１個であり、幅方向の略
中間部に配置されている。そして、読み書き素子52の取
出電極521、522を、スライダ51の相対する両側端面51
2、513に導出してある。スライダ51の両側端面512、513
には、取出電極521、522上を通る凹溝53、54を、その全
長にわたって条状に設けてある。
第３図は、読み書き素子52及び取出電極521、522の構
成を示す図、第４図は読み書き素子52の拡大断面図であ
る。図において、523は下部磁性膜、524はアルミナ等で
なるギャップ層、525は上部磁性膜、526は導体コイル
膜、527はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶
縁膜、528、529はリード電極である。
成を示す図、第４図は読み書き素子52の拡大断面図であ
る。図において、523は下部磁性膜、524はアルミナ等で
なるギャップ層、525は上部磁性膜、526は導体コイル
膜、527はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶
縁膜、528、529はリード電極である。
スライダ51は、Al2O3・TiCでなる基体上にアルミナ等
でなる絶縁膜を被着させてあり、絶縁膜の上に読み書き
素子52を形成してある。
でなる絶縁膜を被着させてあり、絶縁膜の上に読み書き
素子52を形成してある。
下部磁性膜523及び上部磁性膜525の先端部は、微小厚
みのギャップ膜524を隔てて対向するポール部となって
おり、ポール部において読み書きを行なう。下部磁性膜
523及び上部磁性膜525は、ポール部とは反対側を互いに
結合させてあり、この結合部の回りを渦巻状にまわるよ
うに、導体コイル膜526を形成してある。
みのギャップ膜524を隔てて対向するポール部となって
おり、ポール部において読み書きを行なう。下部磁性膜
523及び上部磁性膜525は、ポール部とは反対側を互いに
結合させてあり、この結合部の回りを渦巻状にまわるよ
うに、導体コイル膜526を形成してある。
リード電極528、529は、一端側が導体コイル膜526の
両端にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極
521、522が形成されている。
両端にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極
521、522が形成されている。
取出電極521、522は、スライダ51の両側端面512、513
が露出させてある。この取出電極521、522は、両側端面
512、513に露出する端面の面積がリード導体接続に必要
な面積となるように、メッキ膜として形成する。具体的
には、幅d1が100〜250μｍ程度、高さh1が50μｍ程度で
ある。
が露出させてある。この取出電極521、522は、両側端面
512、513に露出する端面の面積がリード導体接続に必要
な面積となるように、メッキ膜として形成する。具体的
には、幅d1が100〜250μｍ程度、高さh1が50μｍ程度で
ある。
本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、読み書き素子52の取
出電極521、522を、スライダ51の両側端面512、513に導
出してあるので、取出電極521、522を読み書き素子52の
付着されている端面に設ける従来技術と異なって、読み
書き素子52を付着させる端面の幅を縮小して、面積を小
さくし、薄膜磁気ヘッド全体を小型化できる。具体的に
は、スライダ51の大きさを、浮上面511から反対側の対
向面までの厚みが0.65mm以下、空気流出方向の長さが0.
5mm〜2mm、空気流出方向と直交する方向の幅が0.5mm〜2
mm程度となるように小型化できる。
出電極521、522を、スライダ51の両側端面512、513に導
出してあるので、取出電極521、522を読み書き素子52の
付着されている端面に設ける従来技術と異なって、読み
書き素子52を付着させる端面の幅を縮小して、面積を小
さくし、薄膜磁気ヘッド全体を小型化できる。具体的に
は、スライダ51の大きさを、浮上面511から反対側の対
向面までの厚みが0.65mm以下、空気流出方向の長さが0.
5mm〜2mm、空気流出方向と直交する方向の幅が0.5mm〜2
mm程度となるように小型化できる。
しかも、取出電極521、522を導出した側端面512、513
は、製造工程において、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単
体を切断して取り出す時の切断面となるので、切断加工
と同時に、取出電極521、522を、両側端面512、513に露
出させることができる。
は、製造工程において、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単
体を切断して取り出す時の切断面となるので、切断加工
と同時に、取出電極521、522を、両側端面512、513に露
出させることができる。
取出電極521、522は、保護膜55によって覆われてい
る。第11図に示す従来例の場合、リード線ボンディング
のために保護膜３の表面を研磨して取出電極の電極表面
を露出させる必要があったが、本発明においては、この
ような研磨工程が不要であり、工程が簡略化できる。
る。第11図に示す従来例の場合、リード線ボンディング
のために保護膜３の表面を研磨して取出電極の電極表面
を露出させる必要があったが、本発明においては、この
ような研磨工程が不要であり、工程が簡略化できる。
再び第１図を参照して説明する。ヘッド支持体６は、
可撓体61と、一対の支持腕62、63とを備える。可撓体61
は、絶縁材料である高分子樹脂によって板状に形成して
ある。可撓体61を構成する高分子樹脂としては、繰返し
曲げ性に耐え得る機械的強度を有し、適度のバネ性、ひ
ねり及び伸びを示す高分子材料、例えばポリイミド樹脂
等が適している。可撓体61の一端側には薄膜磁気ヘッド
５を配置する孔611が設けられている。
可撓体61と、一対の支持腕62、63とを備える。可撓体61
は、絶縁材料である高分子樹脂によって板状に形成して
ある。可撓体61を構成する高分子樹脂としては、繰返し
曲げ性に耐え得る機械的強度を有し、適度のバネ性、ひ
ねり及び伸びを示す高分子材料、例えばポリイミド樹脂
等が適している。可撓体61の一端側には薄膜磁気ヘッド
５を配置する孔611が設けられている。
ヘッド支持体６を構成する可撓体61を、高分子材料で
構成すると、ステンレス等の弾性金属板に比較して、バ
ネ性が弱く、ひねり、伸びの自由度が高くなるから、磁
気ヘッド５を小型化して浮上量を低減させ、磁気記録の
高密度化を図った場合にも、スライダ51に発生する揚力
動圧と可撓体61のバネ性とのバランスをとり、安定した
姿勢制御作用が得られるようになる。
構成すると、ステンレス等の弾性金属板に比較して、バ
ネ性が弱く、ひねり、伸びの自由度が高くなるから、磁
気ヘッド５を小型化して浮上量を低減させ、磁気記録の
高密度化を図った場合にも、スライダ51に発生する揚力
動圧と可撓体61のバネ性とのバランスをとり、安定した
姿勢制御作用が得られるようになる。
また、可撓体61を高分子樹脂で構成することにより、
加工が容易になる。しかも、高分子樹脂のひねり及び伸
びの自由度が高いことを利用して、可撓体61の形状、構
造を簡単化し、加工及び組立を容易化できるようにな
る。
加工が容易になる。しかも、高分子樹脂のひねり及び伸
びの自由度が高いことを利用して、可撓体61の形状、構
造を簡単化し、加工及び組立を容易化できるようにな
る。
支持腕62、63は、第５図に示すように、可撓体61の内
部に一体的に埋設してあって、孔611内において互いに
間隔を隔てて対向するように、両端を可撓体61に取付け
られている。実施例において、支持腕62、63は導体によ
って構成してあり、その他端部側は、磁気ディスク装置
へ接続するために、可撓体61の外部に導出されている。
部に一体的に埋設してあって、孔611内において互いに
間隔を隔てて対向するように、両端を可撓体61に取付け
られている。実施例において、支持腕62、63は導体によ
って構成してあり、その他端部側は、磁気ディスク装置
へ接続するために、可撓体61の外部に導出されている。
そして、孔611内において支持腕62、63の端部間に磁
気ヘッド５を配置し、支持腕62、63のそれぞれを、磁気
ヘッド５の両側端面に露出させた取出電極521、522のそ
れぞれに、半田付け等の手段によって接続してある。薄
膜磁気ヘッド５のピッチ運動及びロール運動はこの支持
腕62、63によって確保される。上述のような構造である
と、全体の構造の簡単化、組立の簡略化を図ることがで
きる。
気ヘッド５を配置し、支持腕62、63のそれぞれを、磁気
ヘッド５の両側端面に露出させた取出電極521、522のそ
れぞれに、半田付け等の手段によって接続してある。薄
膜磁気ヘッド５のピッチ運動及びロール運動はこの支持
腕62、63によって確保される。上述のような構造である
と、全体の構造の簡単化、組立の簡略化を図ることがで
きる。
支持腕62、63を導体によって構成した実施例では、支
持腕62、63を薄膜磁気ヘッド５のリード線として兼用
し、部品点数の減少、全体の構造の簡単化及び組立の簡
略化を図ることができる。また、支持腕62、63は凹溝5
3、54内に位置決めし、取出電極521、522に接続してあ
る。このため、薄膜磁気ヘッド５に対する支持腕62、63
の位置決め及び電気的、機械的接続の信頼性が高くな
る。
持腕62、63を薄膜磁気ヘッド５のリード線として兼用
し、部品点数の減少、全体の構造の簡単化及び組立の簡
略化を図ることができる。また、支持腕62、63は凹溝5
3、54内に位置決めし、取出電極521、522に接続してあ
る。このため、薄膜磁気ヘッド５に対する支持腕62、63
の位置決め及び電気的、機械的接続の信頼性が高くな
る。
可撓体61の他端部側には、金属等の剛性部材でなる取
付片64が接着等の手段によって一体的に取付けられてい
る。取付片64は、可撓体61の表面上を通って、孔611内
に取付けられた薄膜磁気ヘッド５の上に伸びる荷重用腕
片65が一体に設けられている。荷重用腕片65の先端部は
薄膜磁気ヘッド５の表面にバネ接触しており、薄膜磁気
ヘッド５は腕片65から下向きの荷重を受けている。腕片
65は、第６図に示すように、薄膜磁気ヘッド５に対して
点状に接触させる点状接触構造、第７図に示すように、
腕片65を断面円形状とした線状接触構造、更には図示は
していないけれども、面状接触構造とする。
付片64が接着等の手段によって一体的に取付けられてい
る。取付片64は、可撓体61の表面上を通って、孔611内
に取付けられた薄膜磁気ヘッド５の上に伸びる荷重用腕
片65が一体に設けられている。荷重用腕片65の先端部は
薄膜磁気ヘッド５の表面にバネ接触しており、薄膜磁気
ヘッド５は腕片65から下向きの荷重を受けている。腕片
65は、第６図に示すように、薄膜磁気ヘッド５に対して
点状に接触させる点状接触構造、第７図に示すように、
腕片65を断面円形状とした線状接触構造、更には図示は
していないけれども、面状接触構造とする。
第８図は本発明に係るヘッド支持装置の別の実施例を
示している。この実施例では、支持腕62、63を、可撓体
61の長さ方向と直交する幅方向に配置し、薄膜磁気ヘッ
ド５をこの支持腕62、63間に挟み込んだことである。薄
膜磁気ヘッド５の向きは、可撓体61の長さ方向と直交す
る幅方向となる。
示している。この実施例では、支持腕62、63を、可撓体
61の長さ方向と直交する幅方向に配置し、薄膜磁気ヘッ
ド５をこの支持腕62、63間に挟み込んだことである。薄
膜磁気ヘッド５の向きは、可撓体61の長さ方向と直交す
る幅方向となる。
第９図は第１図に示した本発明に係るヘッド支持装置
と磁気ディスクとの関係を示す平面図で、７は磁気ディ
スク、８は本発明に係るヘッド支持装置、９は位置決め
機構である。磁気ディスク７は、図示しない回転駆動機
構により、矢印ａの方向に回転駆動される。ヘッド支持
装置８は、位置決め機構９により、薄膜磁気ヘッド５が
磁気ディスク７の回転直径O1上で、矢印b1またはb2の方
向に円運動するように回転駆動される。これにより、所
定のトラックにおいて、磁気ディスク７への書き込み及
び磁気ディスク７からの読み出しが行なわれる。
と磁気ディスクとの関係を示す平面図で、７は磁気ディ
スク、８は本発明に係るヘッド支持装置、９は位置決め
機構である。磁気ディスク７は、図示しない回転駆動機
構により、矢印ａの方向に回転駆動される。ヘッド支持
装置８は、位置決め機構９により、薄膜磁気ヘッド５が
磁気ディスク７の回転直径O1上で、矢印b1またはb2の方
向に円運動するように回転駆動される。これにより、所
定のトラックにおいて、磁気ディスク７への書き込み及
び磁気ディスク７からの読み出しが行なわれる。
第10図は第８図に示したヘッド支持装置と磁気ディス
クとの位置関係を示す図で、ヘッド支持装置８は磁気デ
ィスク７の回転直径O1上に配置され、薄膜磁気ヘッド５
が磁気ディスク７の回転直径O1上を矢印b1またはb2の方
向に直線的に移動するように駆動される。
クとの位置関係を示す図で、ヘッド支持装置８は磁気デ
ィスク７の回転直径O1上に配置され、薄膜磁気ヘッド５
が磁気ディスク７の回転直径O1上を矢印b1またはb2の方
向に直線的に移動するように駆動される。
上記実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘッドを
示したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、
本発明は適用できる。また、浮上面にレール部や揚力発
生用テーパ部を有する薄膜磁気ヘッド（第11図参照）で
あっても、リード電極及び取出電極の導出方向を変更す
ることで、本発明を適用できる。更に、ヘッド支持体
は、特公昭58−22827号公報や特開昭61−93868号公報等
で公知のものを使用することも可能である。
示したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、
本発明は適用できる。また、浮上面にレール部や揚力発
生用テーパ部を有する薄膜磁気ヘッド（第11図参照）で
あっても、リード電極及び取出電極の導出方向を変更す
ることで、本発明を適用できる。更に、ヘッド支持体
は、特公昭58−22827号公報や特開昭61−93868号公報等
で公知のものを使用することも可能である。
＜発明の効果＞ 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
が得られる。
が得られる。
（ａ）薄膜磁気ヘッドは、スライダの端面に読み書き素
子を備え、読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を
備える端面とは異なるスライダの端面に導出したので、
読み書き素子を備える端面の面積を、取出電極面積によ
る制限を受けることなく縮小し、全体形状を小型化した
薄膜磁気ヘッドが得られる。このため、浮上量減少及び
スペーシングロス低下に有効で、高密度記録に適し、共
振周波数が高く、クラッシュ防止及び耐久性向上に効果
があり、しかも、動圧と支持バネ圧との間の適正なバラ
ンスを保ち、フライト姿勢を良好に保ち、安定な浮上特
性が得られ、更に、ヘッド質量減少により、アクセス運
動の高速化に適したヘッド支持装置を提供できる。
子を備え、読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を
備える端面とは異なるスライダの端面に導出したので、
読み書き素子を備える端面の面積を、取出電極面積によ
る制限を受けることなく縮小し、全体形状を小型化した
薄膜磁気ヘッドが得られる。このため、浮上量減少及び
スペーシングロス低下に有効で、高密度記録に適し、共
振周波数が高く、クラッシュ防止及び耐久性向上に効果
があり、しかも、動圧と支持バネ圧との間の適正なバラ
ンスを保ち、フライト姿勢を良好に保ち、安定な浮上特
性が得られ、更に、ヘッド質量減少により、アクセス運
動の高速化に適したヘッド支持装置を提供できる。
（ｂ）取出電極を導出した側端面は、製造工程におい
て、ウエハーから薄膜磁気ヘッドを単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることを可能で、製造の容易な薄
膜磁気ヘッドを有するヘッド支持装置を提供できる。
て、ウエハーから薄膜磁気ヘッドを単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることを可能で、製造の容易な薄
膜磁気ヘッドを有するヘッド支持装置を提供できる。
（ｃ）取出電極を面出ししてリード線ボンディング個所
を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工程
が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドを有するヘッド
支持装置を提供できる。
を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工程
が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドを有するヘッド
支持装置を提供できる。
第１図は本発明に係るヘッド支持装置の斜視図、第２図
は本発明に係るヘッド支持装置を構成する薄膜磁気ヘッ
ドの斜視図、第３図は読み書き素子の拡大斜視図、第４
図は同じく拡大断面図、第５図はヘッド支持体の断面
図、第６図は本発明に係るヘッド支持装置の部分断面
図、第７図は同じく別の実施例における部分断面図、第
８図は本発明に係るヘッド支持装置の別の実施例におけ
る斜視図、第９図は第１図に示した本発明に係るヘッド
支持装置と磁気ディスクとの位置関係を示す平面図、第
10図は第８図に示したヘッド支持装置と磁気ディスクと
の位置関係を示す図、第11図は従来の薄膜磁気ヘッドの
斜視図である。 ５……薄膜磁気ヘッド、51……スライダ 52……読み書き素子 ６……ヘッド支持体、61……可撓体 62、63……支持腕
は本発明に係るヘッド支持装置を構成する薄膜磁気ヘッ
ドの斜視図、第３図は読み書き素子の拡大斜視図、第４
図は同じく拡大断面図、第５図はヘッド支持体の断面
図、第６図は本発明に係るヘッド支持装置の部分断面
図、第７図は同じく別の実施例における部分断面図、第
８図は本発明に係るヘッド支持装置の別の実施例におけ
る斜視図、第９図は第１図に示した本発明に係るヘッド
支持装置と磁気ディスクとの位置関係を示す平面図、第
10図は第８図に示したヘッド支持装置と磁気ディスクと
の位置関係を示す図、第11図は従来の薄膜磁気ヘッドの
斜視図である。 ５……薄膜磁気ヘッド、51……スライダ 52……読み書き素子 ６……ヘッド支持体、61……可撓体 62、63……支持腕
Claims (4)
- 【請求項１】薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持体とを有す
るヘッド支持装置であって、 前記薄膜磁気ヘッドは、スライダと、読み書き素子と、
取出電極と、保護膜とを含み、 前記読み書き素子は、スライダの端面に備えられ、 前記取出電極は、前記読み書き素子を設けた前記端面上
に備えられ、かつ、前記端面とは異なる前記スライダの
側端面に露出されており、 前記保護膜は、前記スライダの前記端面に付着され、前
記読み書き素子および前記取出電極を覆っており、 前記ヘッド支持体は、前記薄膜磁気ヘッドを支持してい
る ヘッド支持装置。 - 【請求項２】前記ヘッド支持体は、可撓体と、一対の支
持腕とを含み、 前記支持腕は、互いに間隔を隔てて、前記可撓体に取付
けられており、 前記薄膜磁気ヘッドは、前記支持腕間に配置して、前記
支持腕によって支持したこと を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のヘッド支持
装置。 - 【請求項３】前記スライダは、相対する両側端面に凹溝
を有しており、 前記支持腕は、前記凹溝内に位置決めされていること を特徴とする特許請求の範囲の範囲第１項または第２項
に記載のヘッド支持装置。 - 【請求項４】前記薄膜磁気ヘッドの前記取出電極は、前
記スライダの相対する両側端面に導出されており、 前記凹溝は、前記取出電極を通って形成されており、 前記可撓体は、高分子樹脂でなり、 前記支持腕は、導体でなり、前記凹溝内において前記取
出電極に接続されていること を特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項または第３
項に記載のヘッド支持装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1113219A JP2713762B2 (ja) | 1989-05-03 | 1989-05-03 | ヘッド支持装置 |
| US07/517,722 US5126903A (en) | 1989-05-03 | 1990-05-02 | Combination of a magnetic head and a magnetic head supporting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1113219A JP2713762B2 (ja) | 1989-05-03 | 1989-05-03 | ヘッド支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02292713A JPH02292713A (ja) | 1990-12-04 |
| JP2713762B2 true JP2713762B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=14606594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1113219A Expired - Lifetime JP2713762B2 (ja) | 1989-05-03 | 1989-05-03 | ヘッド支持装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5126903A (ja) |
| JP (1) | JP2713762B2 (ja) |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5243482A (en) * | 1989-10-20 | 1993-09-07 | Hitachi, Ltd. | Floating type magnetic head supporting assembly including a coupling to a slider side surface |
| US5483025A (en) * | 1989-11-27 | 1996-01-09 | Censtor Corporation | Unitary micro-flexure structure |
| US5476131A (en) * | 1989-11-27 | 1995-12-19 | Censtor Corporation | Unitary micro-flexure structure and method of making same |
| US5453315A (en) * | 1989-11-27 | 1995-09-26 | Censtor Corp. | Unitary micro-flexure structure and method of making same |
| JPH03245312A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-31 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッド |
| US5202804A (en) * | 1990-05-18 | 1993-04-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic disk drive with a magnetic head rotationally actuated |
| JP3494443B2 (ja) * | 1991-12-26 | 2004-02-09 | 住友スリーエム株式会社 | 磁気ヘッド用２層テープリード線 |
| WO1993014495A1 (en) * | 1992-01-20 | 1993-07-22 | Fujitsu Limited | Magnetic head assembly, its manufacture, and magnetic disc device |
| US5301077A (en) * | 1992-06-26 | 1994-04-05 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head |
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| MY121535A (en) * | 1993-01-08 | 2006-02-28 | Hitachi Global Storage Tech Nl | Integral transducer-suspension assemblies for longitudinal recording |
| DE69425781T2 (de) * | 1993-06-11 | 2001-01-04 | Nippon Chemicon | Understützungs- und Verbindungsgerät für einen Magnetfeldmodulationskopf, der in einer photomagnetischen Aufzeichnung benutzt wird |
| US5825592A (en) * | 1993-10-25 | 1998-10-20 | Sony Corporation | Magnetic head with bobbin attached to a slidable contact body |
| US6098271A (en) * | 1994-10-04 | 2000-08-08 | Fujitsu Limited | Method for assembling a magnetic disk drive with a relaying flexible printed circuit sheet |
| JPH08106617A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク装置 |
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| US5796549A (en) * | 1996-07-03 | 1998-08-18 | Seagate Technology, Inc. | Universal bond pad configuration |
| US5850320A (en) * | 1997-05-13 | 1998-12-15 | Seagate Technology, Inc. | Head-gimbal assembly with reduced vertical spacing envelope and alignment structures |
| JP3506889B2 (ja) * | 1997-10-09 | 2004-03-15 | 松下電器産業株式会社 | 磁気ヘッド装置 |
| US6362939B1 (en) * | 1998-05-07 | 2002-03-26 | Seagate Technology Llc. | Balanced microactuator suspension |
| US6735055B1 (en) | 1998-05-07 | 2004-05-11 | Seagate Technology Llc | Microactuator structure with vibration attenuation properties |
| AU2576300A (en) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head device and record/playback device |
| US6854125B2 (en) | 2000-11-07 | 2005-02-08 | Matshushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic head |
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| US6556380B2 (en) * | 2001-04-10 | 2003-04-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Silicon sliders with trapezoidal shape and drie process for fabrication |
| AU2003903254A0 (en) * | 2003-06-27 | 2003-07-10 | Invetech Pty Ltd | Method and apparatus for sampling a fluid |
Family Cites Families (8)
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| US4167765A (en) * | 1978-07-27 | 1979-09-11 | International Business Machines Corporation | Transducer suspension mount apparatus |
| JPS5798120A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-18 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | Thin film magnetic head |
| JPS60167173A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-30 | Nec Corp | ヘツドスライダ加圧支持機構 |
| US4803577A (en) * | 1985-06-12 | 1989-02-07 | Tdk Corporation | Vertical magnetic recording system using rigid disk |
| US4670804A (en) * | 1985-10-15 | 1987-06-02 | International Business Machines Corporation | Expandable suspension for a read/write head in a disk file |
| US4761699A (en) * | 1986-10-28 | 1988-08-02 | International Business Machines Corporation | Slider-suspension assembly and method for attaching a slider to a suspension in a data recording disk file |
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-
1989
- 1989-05-03 JP JP1113219A patent/JP2713762B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-05-02 US US07/517,722 patent/US5126903A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5126903A (en) | 1992-06-30 |
| JPH02292713A (ja) | 1990-12-04 |
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