JPH02292713A - ヘッド支持装置 - Google Patents
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
ッド支持装置に関し、薄膜磁気ヘッドは、読み書き素子
の取出電極を、読み書き素子を備える端面とは異なるス
ライダの側端面に導出した構成とすることにより、高密
度記録に適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び
耐久性向上に効果があり、しかも、安定な浮上特性が得
られ、更に、アクセス運動の高速化に適したヘッド支持
装置が得られるようにしたものである。
気ディスク面を一定の間隔をおいて近接して追従し得る
ようにするためには、読み書き素子を担持するスライダ
が第1軸に関してピッチ運動を行ない、第1軸と直交す
る第2 4itbに関してロール運動を行なうようにす
ること、偏揺れを除去すること等が要求される。このよ
うなヘッド支持装置は、特公昭58−22827号公報
や特開昭61−93868号公報等で公知である。
造は、弾性バネ部及びこの弾性バネ部に連続する剛性ビ
ーム部を有する支持体を、ステンレス等の弾性金属板で
形成すると共に、この支持体の自由端に、同じくステン
レスの弾性金属板でなる可撓体を取付け、可撓体の上面
または支持体の自由端付近の下面の何れか一方に設けら
れた荷重用突起により、支持体の自由端から可撓体へ荷
重力を伝えるようにし、スライダに読み書ぎ素子を担持
させた薄[1i1!気ヘッドを、可撓体の下面に取付け
た構造となっていた。
気記録媒体の走行によフて生じる勤圧を利用して、磁気
記録媒体との間に微小な空気ベアリングによる間隙を保
って浮上する浮上型の薄膜6n気ヘッドが用いられる。
8−21329号、特公昭58−28650号各公報等
で公知であり、その基本的な構成は、磁気記録媒体と対
向する面側に浮上面を有するスライダの空気流出端部側
に読み書き素子を備える構造となっている。
し、1は例えばセラミック構造体でなるスライダ、2A
,2Bは読み書き素子である。スライダ1は磁気記録媒
体と対向する面に、間隔をおいて2つのレール部tot
,102を形成すると共に、レール部101、102の
表面を平面度の高い浮上面103、104としてある。
において、矢印a方向に流れる空気流に対して流入端と
なる一端部側に、テーバ部103a,104aを設けて
ある.読み書き素子2A、2BはIC製造テクノロジと
同様のプロセスにしたがって形成された薄IIi磁気ヘ
ッド素子であり、テーパ部103a,104aとは反対
側の空気流出端部側に付着されている。
Bはこの保謹膜3によって覆われている。41A、42
Aは読み書き素子2Aの取出電極、41B、42Bは読
み書き素子2Bの取出電極であり、読み書き素子2A,
2Bの付着されている端面と同一の端面上において、保
護膜3の表面上に導出してある。取出電極(41A、4
2A)、(41B,42B)は、読み書き素子の導体コ
イルに導通接続されていて、図示しない磁気ディスク装
置のリード線が接続固定される。
及び高速化に対応するため、薄Da El気ヘッドが、
益々、小型化される傾向にある。小型化は、高密度記録
を達成するのに必要な浮上量減少及びスベーシングロス
低下に有効である上に、ヘッド支持体との組合せにおい
て、共振周波数を高め、クラッシュ防止及び耐久性向上
に効果があり、しかも、勤圧と支持バネ圧との間の適正
なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保ち、安定な
浮上特性が得られるからである。更に、小形化によるヘ
ッドの質量減少は、ヘッド支持装置のアクセス運動の高
速化をもたらす。
薄lI!磁気ヘッドは、第11図に示したように、読み
書き素子2A、2Bを有する端面上に、取出電極(41
A,42A)、(41B,42B)を形成してあったの
で、取出電極(41A、42A)、(41B,42B)
の面積による制限を受け、小型化に限界を生じていた。
上ffi減少及びスペーシングロス低下に有効で、高密
度記録に適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び
耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と支持バネ圧と
の間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保
ち、安定な浮上特性が得られ、更に、ヘッド質量減少に
より、アクセス運動の高速化に適したヘッド支持装置を
提供することである。
ドと、ヘッド支持体とを有するヘッド支持装置であって
、 前記薄膜磁気ヘッドは、スライダの端面に読み書き素子
を備え、前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き
素子を備える前記端面とは異なる前記スライダの側端面
に導出してあることを特徴とする。
読み書き素子を有する端面とは異なるスライダの側端面
に導出したので、読み書き素子を有する端面の面積を、
取出電極面積による制限を、あまり受けることなく縮小
し、薄l!2磁気ヘッド全体を小型化できる。
て、ウエハーから薄II! 6B気ヘッド単体を切断し
て取り出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、
取出電極を側端面に露出させることが可能であり、製造
が容易である。
を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工程
が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドが得られる。
ある。第2図は薄II! 6fi気ヘットの拡大斜視図
で、スライダ51は磁気記録媒体と対向する浮上面51
1が、レール部及び揚力発生用テーパ面を持たない平面
状となっている。端縁(イ)、(口)は、コンタクト.
スタート時における磁気ディスクの表面との引掛りをな
くすため、弧状に形成するのが望ましい。他の端縁(ハ
)、(二)も弧状に形成できる。
、空気流出端部側となる端面に付着させてある。実施例
において、読み書ぎ素子52は1個であり、幅方向の略
中間部に配置されている。そして、読み書き素子52の
取出電極521、522を、スライダ51の相対する両
側端面512、513に導出してある。スライダ51の
両側端面512、513には、取出電極521、522
上を通る凹溝53、54を、その全長にわたって条状に
設けてある。
2の構成を示す図、第4図は読み書き素子52の拡大断
面図である。図において、523は下部磁性膜、524
はアルミナ等でなるギャップ膜、525は上部磁性膜、
526は導体コイル膜、527はノボラック樹脂等の有
機樹脂で構成された絶縁膜、528、529はリード電
極である。
ルミナ等でなる絶縁膜を被着させてあり、絶縁膜の上に
読み書き素子52を形成してある。
小厚みのギャップlli524を隔てて対向するポール
部となっており、ボール部において読み書きを行なう。
は反対側を互いに結合させてあり、この結合部の回りを
渦巻状にまわるように、導体コイルlII526を形成
してある。
I 5 2 6の両端にそれぞれ導通接続されており、
他端側に取出電極521、522が形成されている。
512、513に露出させてある。この取出電極521
、522は、両側端面512、513に露出する端面の
面積がリード導体接続に必要な面積となるように、メッ
キ膜として形成する。具体的には、幅d,が100〜2
50μm程度、高さh,が50μm程度である。
出電極521、522を、スライダ51の両側端面51
2、513に導出してあるので、取出電極521、52
2を読み書き素子52の付着されている端面に設ける従
来技術と異なって、読み書き素子52を付着させる端面
の幅を縮小して、面積を小さくし、薄膜an気ヘッド全
体を小型化できる。具体的には、スライダ51の大きさ
を、浮上面511から反対側の対向面までの厚みが0.
65+Ilm以下、空気流出方向の長さが0.5mm〜
2■、空気流出方向と直交する方向の幅が0.5011
11〜2mm程度となるように小型化で診る。
2、513は、製造行程において、ウエハーから薄膜磁
気ヘッド車体を切断して取り出す時の切断面となるので
、切断加工と同時に、取出電極521,522を、両側
端面512、513に露出させることができる。
ている。第11図に示す従来例の場合、リード線ボンデ
ィングのために保護膜55の表面を研磨して取出電極の
電極表面を露出させる必要があったが、本発明において
は、このような研磨工程が不要であり、工程が簡略化で
きる。
撓体61と、一対の支持腕62、63とを備える。可撓
体61は、絶縁材料である高分子樹脂によって板状に形
成してある。可撓体61を構成する高分子樹脂としては
、繰返し曲げ性に耐え得る機械的強度を有し、適度のバ
ネ性、ひねり及び伸びを示す高分子材料、例えばポリイ
ミド樹脂等が適している。可撓体61の一端側には薄膜
1i1i気ヘッド5を配置する孔611が設けられてい
る。
構成すると、ステンレス等の弾性金属板に比較して、バ
ネ性が弱く、ひねり、伸びの自由度が高くなるから、磁
気ヘッド5を小型化して浮上量を低減させ、磁気記録の
高密度化を図った場合にも、スライダ51に発生する揚
力動圧と可撓体61のバネ性とのバランスをとり、安定
した姿勢制御作用が得られるようになる。
加工が容易になる。しかも、高分子樹脂のひねり及び伸
びの自由度が高いことを利用して、可撓体61の形状、
構造を簡単化し、加工及び組立を容易化できるようにな
る。
の内部に一体的に埋設してあって、孔611内において
互いに間隔を隔てて対向するように、両端を可撓体6l
に取付けられている。実施例において、支持Fi62、
63は導体によって構成してあり、その他端部側は、磁
気ディスク公置へ接続するために、可撓体61の外部に
導出されている。
に磁気ヘッド5を配置し、支持腕62、63のそれぞれ
を、磁気ヘッド5の両側端面に露出させた取出電極52
1、522のそれぞれに、半田付け等の手段によって接
続してある。薄膜磁気ヘッド5のピッチ運動及びロール
運動はこの支持腕62、63によって確保される。上述
のような構造であると、全体の構造の簡単化、組立の簡
略化を図ることができる。
支持腕62、63を薄膜磁気ヘッド5のリード線として
兼用し、部品点数の減少、全体の構造の簡単化及び組立
の簡略化を図ることができる。また、支持腕62、63
は凹溝53、54内に位置決めし、取出電i521、5
22に接続してある。このため、薄膜磁気ヘッド5に対
する支持腕62、63の位置決め及び電気的、機械的接
続の信頼性が高くなる。
付片64が接着等の手段によって一体的に取付けられて
いる。取付片64には、可撓体61の表面上を通って、
孔611内に取付けられた薄膜磁気ヘッド5の上に伸び
る荷重用腕片65が一体に設けられている。荷重用腕片
65の先端部は薄膜磁気ヘッド5の表面にバネ接触して
おり、薄膜磁気ヘッド5は腕片65から下向きの荷重を
受けている。腕片65は、第6図に示すように、薄膜磁
気ヘッド5に対して点状に接触させる点状接触構造、第
7図に示すように、腕片65を断面円形状とした線状接
触構造、更には図示はしていないけれども、面状接触構
造とする。
している。この実施例では、支持腕62、63を、可撓
体61の長さ方向と直交する幅方向に配置し、薄膜磁気
ヘッド5をこの支持腕62、63間に挟み込んだことで
ある。薄DI 611気ヘッド5の向きは、可撓体61
の長さ方向と直交する幅方向となる。
磁気ディスクとの関係を示す平面図で、7は磁気ディス
ク、8は本発明に係るヘッド支持装置、9は位置決め機
構である。磁気ディスク7は、図示しない回転駆動機構
により、矢印aの方向に回転駆動される。ヘッド支持装
置8は、位認決め機構9により、薄膜tn気ヘッド5が
磁気ディスク7の回転直径0,上で、矢印b,またはb
2の方向に円運動するように回転駆動される。これによ
り、所定のトラックにおいて、磁気ディスク7への書き
込み及び磁気ディスク7からの読み出しが行なわれる。
クとの位置関係を示す図で、ヘッド支持装置8は磁気デ
ィスク7の回転直径01上に配置され、薄膜磁気ヘッド
5が磁気ディスク7の回転直径01上を矢印b1または
b2の方向に直線的に移動するように駆動される。
したが、垂直磁気記録再生用の薄膜6n気ヘッドにも、
本発明は適用できる。また、浮上面にレール部や揚力発
生用テーパ部を有する薄膜磁気ヘッド(第11図参照)
であっても、リード電極及び取出電極の導出方向を変更
することで、本発明を適用できる。更に、ヘッド支持体
は、特公昭58−22827号公報や特開昭61−93
868号公報等で公知のものを使用することも可能であ
る。
得られる。
子を備え、読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を
備える端面とは異なるスライダの端面に導出したので、
読み書き素子を備える端面の面積を、取出電極面積によ
る制限を受けることなく縮小し、全体形状を小型化した
薄膜rrn気ヘッドが得られる。このため、浮上ffi
減少及びスベーシングロス低下に有効で、高密度記録に
適し、共振周波数が高く、クラッシュ防止及び耐久性向
上に効果があり、しかも、勤圧と支持バネ圧との間の適
正なバランスを保ち、フライト姿勢を良好に保ち、安定
な浮上特性が得られ、更に、ヘッド11m減少により、
アクセス運動の高速化に適したヘッド支持装置を提供で
きる。
、ウエハーから薄1li磁気ヘッド単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることが可能で、製造の容易な薄
膜磁気ヘッドを有するヘッド支持装置を提供できる。
を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工程
が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドを有するヘッド
支持装置を提供できる。
は本発明に係るヘッド支持装置を椙成する薄II!磁気
ヘッドの斜視図、第3図は読み書き素子の拡大斜視図、
第4図は同じく拡大断面図、第5図はヘッド支持体の断
面図、第6図は本発明に係るヘッド支持装置の部分断面
図、第7図は同じく別の実施例における部分断面図、第
8図は本発明に係るヘッド支持装置の別の実施例におけ
る斜視図、第9図は第1図に示した本発明に係るヘッド
支持装置と磁気ディスクとの位置関係を示す平面図、第
10図は第8図に示したヘッド支持装置と磁気ディスク
との位置関係を示す図、第11図は従来の薄膜磁気ヘッ
ドの斜視図である。 5・・・薄膜磁気ヘッド 51・・・スライダ52・・
・読み書き素子 6・・・ヘッド支持体 61・・・可撓体62、63
・・・支持腕 第7図 第9図 第10図 手 糸売 ネ甫 正 」ガiヒ 平成 2年74月30日 11・−
Claims (4)
- (1)薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持体とを有するヘッ
ド支持装置であって、 前記薄膜磁気ヘッドは、スライダの端面に読み書き素子
を備え、前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き
素子を備える前記端面とは異なる前記スライダの側端面
に導出してあることを特徴とするヘッド支持装置。 - (2)前記ヘッド支持体は、可撓体と、一対の支持腕と
を含み、 前記支持腕は、互いに間隔を隔てて、前記可撓体に取付
けられており、 前記薄膜磁気ヘッドは、前記支持腕間に配置して、前記
支持腕によって支持したこと を特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のヘッド支持
装置。 - (3)前記スライダは、相対する両側端面に凹溝を有し
ており、 前記支持腕は、前記凹溝内に位置決めされていること 特徴とする特許請求の範囲の範囲第1項または第2項に
記載のヘッド支持装置。 - (4)前記薄膜磁気ヘッドの前記取出電極は、前記スラ
イダの相対する両側端面に導出されており、 前記凹溝は、前記取出電極を通って形成されており、 前記可撓体は、高分子樹脂でなり、 前記支持腕は、導体でなり、前記凹溝内において前記取
出電極に接続されていること を特徴とする特許請求の範囲第1項、第2項または第3
項に記載のヘッド支持装置。
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