JP2670341B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2670341B2 JP2670341B2 JP1079457A JP7945789A JP2670341B2 JP 2670341 B2 JP2670341 B2 JP 2670341B2 JP 1079457 A JP1079457 A JP 1079457A JP 7945789 A JP7945789 A JP 7945789A JP 2670341 B2 JP2670341 B2 JP 2670341B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- film magnetic
- read
- thin film
- slider
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、浮上面を有するスライダの端面に読み書き
素子を備える浮上型の薄膜磁気ヘッドに関し、読み書き
素子の取出電極を、読み書き素子を備える端面とは異な
る側端面に導出すると共に、スライダの前記側端面に、
前記取出電極上を通る凹溝を設けることにより、小型
で、磁気ディスク装置に導かれるリード線を確実に、か
つ、安定に接続することができ、しかも製造の容易な浮
上型の薄膜磁気ヘッドを提供できるようにしたものであ
る。
素子を備える浮上型の薄膜磁気ヘッドに関し、読み書き
素子の取出電極を、読み書き素子を備える端面とは異な
る側端面に導出すると共に、スライダの前記側端面に、
前記取出電極上を通る凹溝を設けることにより、小型
で、磁気ディスク装置に導かれるリード線を確実に、か
つ、安定に接続することができ、しかも製造の容易な浮
上型の薄膜磁気ヘッドを提供できるようにしたものであ
る。
＜従来の技術＞ 従来より、磁気ディスク装置には、磁気記録媒体の走
行によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間
に微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する薄
膜磁気ヘッドが用いられている。このような浮上型の薄
膜磁気ヘッドは、例えば特公昭58−21329号、特公昭58
−28650号各公報等で公知であり、その基本的な構成
は、磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有するスラ
イダの空気流出端部側に読み書き素子を備える構造とな
っている。第７図は従来のこの種の薄膜磁気ヘッドの斜
視図を示し、１は例えばセラミック構造体でなるスライ
ダ、2A、2Bは読み書き素子である。スライダ１は磁気記
録媒体と対向する面に、間隔をおいて２つのレール部10
1、102を形成すると共に、レール部101、102の表面を平
面度の高い浮上面103、104としてある。浮上面103、104
側には、磁気記録媒体との組合せにおいて、矢印ａ方向
に流れる空気流に対して流入端となる一端部側に、テー
パ部103a、104aを設けてある。読み書き素子2A、2BはIC
製造テクロノジと同様のプロセスにしたがって形成され
た薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部103a、104aとは
反対側の空気流出端部側に付着されている。
行によって生じる動圧を利用して、磁気記録媒体との間
に微小な空気ベアリングによる間隙を保って浮上する薄
膜磁気ヘッドが用いられている。このような浮上型の薄
膜磁気ヘッドは、例えば特公昭58−21329号、特公昭58
−28650号各公報等で公知であり、その基本的な構成
は、磁気記録媒体と対向する面側に浮上面を有するスラ
イダの空気流出端部側に読み書き素子を備える構造とな
っている。第７図は従来のこの種の薄膜磁気ヘッドの斜
視図を示し、１は例えばセラミック構造体でなるスライ
ダ、2A、2Bは読み書き素子である。スライダ１は磁気記
録媒体と対向する面に、間隔をおいて２つのレール部10
1、102を形成すると共に、レール部101、102の表面を平
面度の高い浮上面103、104としてある。浮上面103、104
側には、磁気記録媒体との組合せにおいて、矢印ａ方向
に流れる空気流に対して流入端となる一端部側に、テー
パ部103a、104aを設けてある。読み書き素子2A、2BはIC
製造テクロノジと同様のプロセスにしたがって形成され
た薄膜磁気ヘッド素子であり、テーパ部103a、104aとは
反対側の空気流出端部側に付着されている。
３はアルミナ等の保護膜である。読み書き素子2A、2B
はこの保護膜３によって覆われている。41A、42Aは読み
書き素子2Aの取出電極、41B、42Bは読み書き素子2Bの取
出電極であり、読み書き素子2A、2Bの付着されている端
面と同一の端面上において、保護膜３の表面上に導出し
てある。取出電極（41A、42A）、（41B、42B）は、読み
書き素子の導体コイルに導通接続されていて、図示しな
い磁気ディスク装置のリード線が接続固定される。
はこの保護膜３によって覆われている。41A、42Aは読み
書き素子2Aの取出電極、41B、42Bは読み書き素子2Bの取
出電極であり、読み書き素子2A、2Bの付着されている端
面と同一の端面上において、保護膜３の表面上に導出し
てある。取出電極（41A、42A）、（41B、42B）は、読み
書き素子の導体コイルに導通接続されていて、図示しな
い磁気ディスク装置のリード線が接続固定される。
＜発明が解決しようとする課題＞ この種の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録の高密度化及び
高速化に対応するため、ますます、小型化される傾向に
ある。小型化は、高密度記録を達成するのに必要な浮上
量減少及びスペーシングロス低下に有効である上に、ジ
ンバルとの組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッ
シュ防止及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と
支持バネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿
勢を良好に保ち、安定な浮上特性が得られるからであ
る。更に、小形化によるヘッドの質量減少は、ジンバル
を支持するアームのアクセス運動の高速化をもたらす。
高速化に対応するため、ますます、小型化される傾向に
ある。小型化は、高密度記録を達成するのに必要な浮上
量減少及びスペーシングロス低下に有効である上に、ジ
ンバルとの組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッ
シュ防止及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と
支持バネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿
勢を良好に保ち、安定な浮上特性が得られるからであ
る。更に、小形化によるヘッドの質量減少は、ジンバル
を支持するアームのアクセス運動の高速化をもたらす。
しかし、従来の浮上型薄膜磁気ヘッドは、読み書き素
子2A、2Bを有する端面上に、取出電極（41A、42A）、
（41B、42B）を形成してあったので、取出電極（41A、4
2A）、（41B、42B）の面積による制限を受け、小型化に
限界を生じていた。
子2A、2Bを有する端面上に、取出電極（41A、42A）、
（41B、42B）を形成してあったので、取出電極（41A、4
2A）、（41B、42B）の面積による制限を受け、小型化に
限界を生じていた。
そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解
決し、小型で、磁気ディスク装置に導かれるリード線を
確実に、かつ、安定に接続することができ、しかも製造
の容易な浮上型の薄膜磁気ヘッドを提供することであ
る。
決し、小型で、磁気ディスク装置に導かれるリード線を
確実に、かつ、安定に接続することができ、しかも製造
の容易な浮上型の薄膜磁気ヘッドを提供することであ
る。
＜課題を解決するための手段＞ 上述する課題解決のため、本発明は、浮上面を有する
スライダの端面に読み書き素子を備える薄膜磁気ヘッド
であって、 前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き素子を
備える前記端面とは異なる前記スライダの側端面に導出
し、 前記スライダの前記側端面に、前記取出電極上を通る
凹溝を設けたこと を特徴とする。
スライダの端面に読み書き素子を備える薄膜磁気ヘッド
であって、 前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き素子を
備える前記端面とは異なる前記スライダの側端面に導出
し、 前記スライダの前記側端面に、前記取出電極上を通る
凹溝を設けたこと を特徴とする。
＜作用＞ 読み書き素子の取出電極を、読み書き素子を有する端
面とは異なるスライダの側端面に導出したので、読み書
き素子を有する端面の面積を、取出電極面積による制限
を、あまり受けることなく縮小し、薄膜磁気ヘッド全体
を小型化できる。
面とは異なるスライダの側端面に導出したので、読み書
き素子を有する端面の面積を、取出電極面積による制限
を、あまり受けることなく縮小し、薄膜磁気ヘッド全体
を小型化できる。
しかも、取出電極を導出した側端面は、製造工程にお
いて、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることが可能であり、製造が容易
である。
いて、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り
出す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電
極を側端面に露出させることが可能であり、製造が容易
である。
更に、スライダの側端面に、取出電極上を通る凹溝を
設けたので、リード線を凹溝内に嵌め込んだ状態で、取
出電極に接続固定できる。このためリード線を確実に、
かつ、安定に接続することができる。
設けたので、リード線を凹溝内に嵌め込んだ状態で、取
出電極に接続固定できる。このためリード線を確実に、
かつ、安定に接続することができる。
＜実施例＞ 第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの斜視図であ
る。実施例において、スライダ１は磁気記録媒体と対向
する浮上面106が、レール部及び揚力発生用テーパ面を
持たない平面状となっている。浮上面106の端縁
（イ）、（ロ）は、コンタクト．スタート時における磁
気ディスクの表面との引掛りをなくすため、弧状に形成
するのが望ましい。他の端縁（ハ）、（ニ）も弧状に形
成できる。
る。実施例において、スライダ１は磁気記録媒体と対向
する浮上面106が、レール部及び揚力発生用テーパ面を
持たない平面状となっている。浮上面106の端縁
（イ）、（ロ）は、コンタクト．スタート時における磁
気ディスクの表面との引掛りをなくすため、弧状に形成
するのが望ましい。他の端縁（ハ）、（ニ）も弧状に形
成できる。
読み書き素子２は、磁気記録媒体との組合せにおい
て、矢印ａ方向に流れる空気流に対して流出端部側とな
る端面に付着させてある。実施例において、読み書き素
子２は１個であり、幅方向の略中間部に配置されてい
る。そして、読み書き素子２の取出電極41、42を、スラ
イダ１の側端面107に導出し、スライダ１の側端面107
に、取出電極41、42上を通る凹溝51、52を、その全長に
わたって、条状に設けてある。凹溝51、52は、接続され
るリード線の形状に適合する形状に形成する。実施例で
は、断面円形状のリード線を接続することを前提にし、
円弧状に形成してある。
て、矢印ａ方向に流れる空気流に対して流出端部側とな
る端面に付着させてある。実施例において、読み書き素
子２は１個であり、幅方向の略中間部に配置されてい
る。そして、読み書き素子２の取出電極41、42を、スラ
イダ１の側端面107に導出し、スライダ１の側端面107
に、取出電極41、42上を通る凹溝51、52を、その全長に
わたって、条状に設けてある。凹溝51、52は、接続され
るリード線の形状に適合する形状に形成する。実施例で
は、断面円形状のリード線を接続することを前提にし、
円弧状に形成してある。
第２図は読み書き素子２及び取出電極41、42の構成を
示す図、第３図は読み書き素子２の拡大断面図である。
図において、21は下部磁性膜、22はアルミナ等でなるギ
ャップ膜、23は上部磁性膜、24は導体コイル膜、25はノ
ボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、26、27
はリード電極である。
示す図、第３図は読み書き素子２の拡大断面図である。
図において、21は下部磁性膜、22はアルミナ等でなるギ
ャップ膜、23は上部磁性膜、24は導体コイル膜、25はノ
ボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、26、27
はリード電極である。
スライダ１は、第３図に示すように、Al2O3・TiCでな
る基体109上にアルミナ等でなる絶縁膜110を被着させて
あり、絶縁膜110の上に読み書き素子２を形成してあ
る。
る基体109上にアルミナ等でなる絶縁膜110を被着させて
あり、絶縁膜110の上に読み書き素子２を形成してあ
る。
下部磁性膜21及び上部磁性膜23の先端部は、微小厚み
のギャップ膜22を隔てて対向するポール部211、231とな
っており、ポール部211、231において読み書きを行な
う。212、232はヨーク部であり、ポール部211、231とは
反対側の端部において、下部磁性膜21及び上部磁性膜23
を互いに結合させてある。
のギャップ膜22を隔てて対向するポール部211、231とな
っており、ポール部211、231において読み書きを行な
う。212、232はヨーク部であり、ポール部211、231とは
反対側の端部において、下部磁性膜21及び上部磁性膜23
を互いに結合させてある。
絶縁膜25は複数層の絶縁膜251〜253から構成されてい
て、絶縁膜251、252の上に、ヨーク部212、232の結合部
のまわりを渦巻状にまわるように、導体コイル膜24を形
成してある。
て、絶縁膜251、252の上に、ヨーク部212、232の結合部
のまわりを渦巻状にまわるように、導体コイル膜24を形
成してある。
リード電極26、27は、一端側が導体コイル膜24の両端
にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極41、
42が形成されている。
にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極41、
42が形成されている。
取出電極41、42は、スライダ１の側端面107に露出さ
せてある。この取出電極41、42は、側端面107に露出す
る端面の面積がリード線接続に必要な面積となるよう
に、メッキ膜として形成する。具体的には、幅d1が100
〜250μｍ程度、高さh1が50μｍ程度である。
せてある。この取出電極41、42は、側端面107に露出す
る端面の面積がリード線接続に必要な面積となるよう
に、メッキ膜として形成する。具体的には、幅d1が100
〜250μｍ程度、高さh1が50μｍ程度である。
取出電極41、42は、保護膜３によって覆われている。
第７図に示す従来例の場合、リード線ボンディングのた
めに、保護膜３の表面を研磨して取出電極の電極表面を
露出させる必要があったが、本発明においては、このよ
うな研磨工程が不要であり、工程が簡略化できる。凹溝
51、52は、第２図に示すように、取出電極41、42の幅方
向の略中心部を通るように形成してある。
第７図に示す従来例の場合、リード線ボンディングのた
めに、保護膜３の表面を研磨して取出電極の電極表面を
露出させる必要があったが、本発明においては、このよ
うな研磨工程が不要であり、工程が簡略化できる。凹溝
51、52は、第２図に示すように、取出電極41、42の幅方
向の略中心部を通るように形成してある。
第４図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例に
おける斜視図を示している。この実施例では、取出電極
41、42は、導出方向を互いに逆向きにし、スライダ１の
相対向する両側端面107、108にそれぞれ導出し、両側端
面107、108のそれぞれに、取出電極41、42上を通る凹溝
51、52を形成してある。
おける斜視図を示している。この実施例では、取出電極
41、42は、導出方向を互いに逆向きにし、スライダ１の
相対向する両側端面107、108にそれぞれ導出し、両側端
面107、108のそれぞれに、取出電極41、42上を通る凹溝
51、52を形成してある。
本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、読み書き素子２の取
出電極41、42を、スライダ１の側端面107または108に導
出してあるので、取出電極41、42を読み書き素子２の付
着されている端面に設ける従来技術と異なって、読み書
き素子２を付着させる端面の幅W1を縮小して、面積を小
さくし、薄膜磁気ヘッド全体を小型化できる。具体的に
は、スライダ１の大きさを、浮上面106から反対側の対
向面までの厚みH1が0.65mm以下、空気流出方向の長さL1
が0.5mm〜2mm、空気流出方向と直交する方向の幅W1が0.
5mm〜2mm程度となるように小型化できる。
出電極41、42を、スライダ１の側端面107または108に導
出してあるので、取出電極41、42を読み書き素子２の付
着されている端面に設ける従来技術と異なって、読み書
き素子２を付着させる端面の幅W1を縮小して、面積を小
さくし、薄膜磁気ヘッド全体を小型化できる。具体的に
は、スライダ１の大きさを、浮上面106から反対側の対
向面までの厚みH1が0.65mm以下、空気流出方向の長さL1
が0.5mm〜2mm、空気流出方向と直交する方向の幅W1が0.
5mm〜2mm程度となるように小型化できる。
上述のように小型化した場合でも、凹溝51、52を設け
てあるので、磁気ディスク装置に導かれるリード線を凹
溝51、52内に嵌め込み、取出電極に対して確実に、か
つ、安定に接続することができる。
てあるので、磁気ディスク装置に導かれるリード線を凹
溝51、52内に嵌め込み、取出電極に対して確実に、か
つ、安定に接続することができる。
更に、取出電極41、42を導出した側端面107、108は、
製造行程において、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を
切断して取り出す時の切断面となるので、切断加工と同
時に、取出電極41、42を、側端面107または108に露出さ
せることができる。次に、この点について、第５図及び
第６図を参照して説明する。
製造行程において、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を
切断して取り出す時の切断面となるので、切断加工と同
時に、取出電極41、42を、側端面107または108に露出さ
せることができる。次に、この点について、第５図及び
第６図を参照して説明する。
第５図に示すように、通常の製造工程に従いスライダ
となるウエハー１上に薄膜磁気ヘッド要素Q1〜Qnを整列
して形成する。
となるウエハー１上に薄膜磁気ヘッド要素Q1〜Qnを整列
して形成する。
ウエハー１から薄膜磁気ヘッドQ1〜Qnを取出すには、
まず、切断位置（X1−X1）〜（X7−X7）でウエハー１を
切断し、薄膜磁気ヘッド要素集合体を切出す。次に、切
出された薄膜磁気ヘッド要素集合体に対し、第６図に示
すように、各薄膜磁気ヘッド要素Q1、Q2、Q3の取出電極
41、42にかかる切断位置（Y1−Y1）、（Y3−Y3）及び
（Y5−Y5）と、薄膜磁気ヘッド要素Q1−Q2、Q2−Q3間の
切断位置（Y2−Y2）、（Y4−Y4）で切断する。これによ
り、切断位置（Y1−Y1）、（Y3−Y3）及び（Y5−Y5）
に、取出電極41、42の端面が露出する。この切断加工工
程の後に、凹溝加工を施して、第１図に示した形状の薄
膜磁気ヘッドが得られる。上述のように、切断加工と同
時に、取出電極41、42を側端面107または108に露出させ
ることができるので、その製造が容易になる。
まず、切断位置（X1−X1）〜（X7−X7）でウエハー１を
切断し、薄膜磁気ヘッド要素集合体を切出す。次に、切
出された薄膜磁気ヘッド要素集合体に対し、第６図に示
すように、各薄膜磁気ヘッド要素Q1、Q2、Q3の取出電極
41、42にかかる切断位置（Y1−Y1）、（Y3−Y3）及び
（Y5−Y5）と、薄膜磁気ヘッド要素Q1−Q2、Q2−Q3間の
切断位置（Y2−Y2）、（Y4−Y4）で切断する。これによ
り、切断位置（Y1−Y1）、（Y3−Y3）及び（Y5−Y5）
に、取出電極41、42の端面が露出する。この切断加工工
程の後に、凹溝加工を施して、第１図に示した形状の薄
膜磁気ヘッドが得られる。上述のように、切断加工と同
時に、取出電極41、42を側端面107または108に露出させ
ることができるので、その製造が容易になる。
第４図に示した薄膜磁気ヘッドを製造する場合は、第
５図のウエハー１上に整列して形成される薄膜磁気ヘッ
ド要素Q1〜Qnの取出電極を、互いに逆向きに形成し、各
取出電極上で切断し、各切断面上で凹溝加工を施す。
５図のウエハー１上に整列して形成される薄膜磁気ヘッ
ド要素Q1〜Qnの取出電極を、互いに逆向きに形成し、各
取出電極上で切断し、各切断面上で凹溝加工を施す。
上記実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘッドを
示したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、
本発明は適用できる。また、浮上面にレール部や揚力発
生用テーパ部を有し、２個の読み書き素子を有する薄膜
磁気ヘッド（第７図参照）であっても、リード電極及び
取出電極の導出方向を逆にすることで、本発明を適用で
きる。更に、実施例に示す２端子型の薄膜磁気ヘッドに
限らず、センタータップを有する３端子型の薄膜磁気ヘ
ッドにも、本発明は適用できる。
示したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、
本発明は適用できる。また、浮上面にレール部や揚力発
生用テーパ部を有し、２個の読み書き素子を有する薄膜
磁気ヘッド（第７図参照）であっても、リード電極及び
取出電極の導出方向を逆にすることで、本発明を適用で
きる。更に、実施例に示す２端子型の薄膜磁気ヘッドに
限らず、センタータップを有する３端子型の薄膜磁気ヘ
ッドにも、本発明は適用できる。
＜発明の効果＞ 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果
が得られる。
が得られる。
（ａ）浮上面を有するスライダの端面に読み書き素子を
備える薄膜磁気ヘッドであって、読み書き素子の取出電
極を、読み書き素子を備えると端面とは異なるスライダ
の側端面に導出したので、読み書き素子を備える端面の
面積を、取出電極面積による制限を受けることなく縮小
し、全体形状を小型化した薄膜磁気ヘッドを提供でき
る。
備える薄膜磁気ヘッドであって、読み書き素子の取出電
極を、読み書き素子を備えると端面とは異なるスライダ
の側端面に導出したので、読み書き素子を備える端面の
面積を、取出電極面積による制限を受けることなく縮小
し、全体形状を小型化した薄膜磁気ヘッドを提供でき
る。
（ｂ）取出電極を導出した側端面は、製造工程におい
て、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り出
す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電極
を側端面に露出させることが可能で、製造の容易な薄膜
磁気ヘッドを提供できる。
て、ウエハーから薄膜磁気ヘッド単体を切断して取り出
す時の切断面となるので、切断加工と同時に、取出電極
を側端面に露出させることが可能で、製造の容易な薄膜
磁気ヘッドを提供できる。
（ｃ）スライダの側端面に、取出電極上を通る凹溝を設
けたので、磁気ディスク装置に導かれるリード線を確実
に、かつ、安定に接続し得る薄膜磁気ヘッドを提供でき
る。
けたので、磁気ディスク装置に導かれるリード線を確実
に、かつ、安定に接続し得る薄膜磁気ヘッドを提供でき
る。
（ｄ）取出電極を面出ししてリード線ボンディング個所
を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工程
が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
を形成するために、従来必須であった保護膜の研磨工程
が不要で、製造の容易な薄膜磁気ヘッドを提供できる。
第１図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの斜視図、第２図
は読み書き素子及び取出電極の構成を示す図、第３図は
読み書き素子の拡大断面図、第４図は本発明に係る薄膜
磁気ヘッドの別の実施例における斜視図、第５図及び第
６図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造工程の１例を
示す図、第７図は従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図であ
る。 １……スライダ、２……読み書き素子 41、42……取出電極 51、52……凹溝 106……浮上面 107、108……側端面
は読み書き素子及び取出電極の構成を示す図、第３図は
読み書き素子の拡大断面図、第４図は本発明に係る薄膜
磁気ヘッドの別の実施例における斜視図、第５図及び第
６図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの製造工程の１例を
示す図、第７図は従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図であ
る。 １……スライダ、２……読み書き素子 41、42……取出電極 51、52……凹溝 106……浮上面 107、108……側端面
Claims (4)
- 【請求項１】浮上面を有するスライダの端面に読み書き
素子を備える薄膜磁気ヘッドであって、 前記読み書き素子の取出電極を、前記読み書き素子を備
える前記端面とは異なる前記スライダの側端面に導出
し、 前記スライダの前記側端面に、前記取出電極上を通る凹
溝を設けたこと を特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】前記スライダは、浮上面が平面状であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の薄膜磁気
ヘッド。 - 【請求項３】前記取出電極は、相対向する両側端面の一
方にのみ導出したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項または第２項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】前記取出電極は、相対向する両側端面のそ
れぞれに導出したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項または第２項に記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1079457A JP2670341B2 (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 薄膜磁気ヘッド |
| US07/501,041 US5068759A (en) | 1989-03-30 | 1990-03-29 | Thin film magnetic head of small size capable of certainly and stably connecting lead wires |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1079457A JP2670341B2 (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02260106A JPH02260106A (ja) | 1990-10-22 |
| JP2670341B2 true JP2670341B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=13690410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1079457A Expired - Lifetime JP2670341B2 (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5068759A (ja) |
| JP (1) | JP2670341B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2693614B2 (ja) * | 1990-02-05 | 1997-12-24 | アルプス電気株式会社 | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
| JPH03245312A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-31 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッド |
| US5293288A (en) * | 1990-05-17 | 1994-03-08 | Sony Corporation | Dual thin-film magnetic head with side surface terminals |
| US5301077A (en) * | 1992-06-26 | 1994-04-05 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head |
| JP2790011B2 (ja) * | 1993-08-20 | 1998-08-27 | 日本電気株式会社 | 浮動ヘッドスライダの製造方法 |
| US5654853A (en) * | 1994-02-04 | 1997-08-05 | Seagate Technology, Inc. | Disc storage device having a magnetic head air bearing slider configuration for reduced disc overhead |
| JP2955829B2 (ja) | 1994-04-15 | 1999-10-04 | ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッド | ヘッドサスペンション |
| US5598307A (en) * | 1994-04-15 | 1997-01-28 | Hutchinson Technology Inc. | Integrated gimbal suspension assembly |
| US5491597A (en) * | 1994-04-15 | 1996-02-13 | Hutchinson Technology Incorporated | Gimbal flexure and electrical interconnect assembly |
| US5839193A (en) * | 1994-04-15 | 1998-11-24 | Hutchinson Technology Incorporated | Method of making laminated structures for a disk drive suspension assembly |
| US5610783A (en) * | 1994-04-22 | 1997-03-11 | Seagate Technology, Inc. | Insulator pattern for thin film head sliders |
| US5835306A (en) * | 1995-06-07 | 1998-11-10 | Hutchinson Technology Incorporated | Integrated gimbal suspension assembly with assymetric bond pad |
| US5796549A (en) * | 1996-07-03 | 1998-08-18 | Seagate Technology, Inc. | Universal bond pad configuration |
| US5889636A (en) * | 1997-06-12 | 1999-03-30 | International Business Machines Corporation | Electrical connection for slider/suspension assembly |
| JP3647687B2 (ja) * | 1999-09-16 | 2005-05-18 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法 |
| US6757135B2 (en) | 2000-07-28 | 2004-06-29 | Seagate Technology Llc | Leading edge bond pads |
| US20020057531A1 (en) * | 2000-11-15 | 2002-05-16 | Seagate Technology Llc | HGA ballbond assembly with wafer process assembly features |
| US7929248B2 (en) * | 2006-05-23 | 2011-04-19 | Seagate Technology Llc | Top bond pad for transducing head interconnect |
| US8164858B1 (en) | 2009-11-04 | 2012-04-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Read head having conductive filler in insulated hole through substrate |
| JP2017068883A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド、これを備えたディスク装置、および磁気ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5798120A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-18 | Comput Basic Mach Technol Res Assoc | Thin film magnetic head |
| US4789914A (en) * | 1986-10-28 | 1988-12-06 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic read-write head/arm assemblies |
-
1989
- 1989-03-30 JP JP1079457A patent/JP2670341B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-03-29 US US07/501,041 patent/US5068759A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02260106A (ja) | 1990-10-22 |
| US5068759A (en) | 1991-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2670341B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2721783B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド変換器／懸架部の組合せシステム並びにその製造方法 | |
| CA2110135C (en) | Integrated transducer-suspension assembly for vertical recording | |
| JP2577527B2 (ja) | 磁気トランスデューサ／サスペンション・アセンブリおよびその製造方法並びにディスク・ドライブ・アセンブリ | |
| JP2758436B2 (ja) | ヘッド支持装置 | |
| EP0430407B1 (en) | Integrated magnetic read/write head/flexure/conductor structure | |
| US5065271A (en) | Thin film magnetic head apparatus and method of manufacturing the same | |
| US4616279A (en) | Electrical connections for thin film transducer heads | |
| JP2713762B2 (ja) | ヘッド支持装置 | |
| US4555740A (en) | Thin film transducer head for inductive recording and magnetoresistive reading | |
| US6535361B2 (en) | Contact planar magnetoresistive head | |
| JP2815176B2 (ja) | スライダ，ヘッド及び記録再生装置 | |
| US7380331B2 (en) | Methods for forming a reed sensor | |
| US6359752B1 (en) | Magnetic head slider and method for forming lead wires used therein | |
| JPH0546940A (ja) | 浮上型ヘツド | |
| JP2779036B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2793580B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| WO1998000841A1 (en) | Virtual contact hard disk drive with planar transducer | |
| JPH02252112A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH087858B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH03248309A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| KR0129107B1 (ko) | 극히 약한 힘으로 기록하는 자기 헤드 및 그것의 가공 방법 | |
| JPH03252915A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0573849A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH04339305A (ja) | 磁気ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080704 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090704 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090704 Year of fee payment: 12 |