JP2650837B2 - エアロゾル分解による銀粉末の製法 - Google Patents

エアロゾル分解による銀粉末の製法

Info

Publication number
JP2650837B2
JP2650837B2 JP5248394A JP24839493A JP2650837B2 JP 2650837 B2 JP2650837 B2 JP 2650837B2 JP 5248394 A JP5248394 A JP 5248394A JP 24839493 A JP24839493 A JP 24839493A JP 2650837 B2 JP2650837 B2 JP 2650837B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silver
particles
aerosol
carrier gas
concentration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP5248394A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06279816A (ja
Inventor
トイヴオ・タルモ・コーダス
テイモシー・リー・ウオード
ハワード・デイビツド・グリツクスマン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=25498011&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2650837(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical EI Du Pont de Nemours and Co
Publication of JPH06279816A publication Critical patent/JPH06279816A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2650837B2 publication Critical patent/JP2650837B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/30Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with decomposition of metal compounds, e.g. by pyrolysis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2301/00Metallic composition of the powder or its coating
    • B22F2301/25Noble metals, i.e. Ag Au, Ir, Os, Pd, Pt, Rh, Ru
    • B22F2301/255Silver or gold

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、銀粉末の改良製法に指
向される。特に、本発明は、十分に高密度であり、高い
純度を持ち、かつ球形の形態を持つ銀粉末の製法に指向
される。
【0002】
【従来の技術】銀の粉末は、電子産業において厚膜導体
ペーストの製造のために使用される。厚膜ペーストは、
基材上にスクリーンプリントされて、伝導性の回路パタ
ーンを形成する。これらの回路は、次に乾燥、焼成され
て液体有機ビヒクルを揮発させ、そして銀粒子を焼結さ
せる。プリント回路技術は、次第に高密度かつ一層精密
な電子回路を要求している。これらの要件に適合するた
め、導線は幅が益々せまくなり、線の間の距離が益々小
さくなって来た。高密度の密に詰まったせまい線のため
に必要な銀粉末は、できるだけ大きさが単一で円滑な球
でなければならない。
【0003】金属粉末を製造するのに現在使用されてい
る多くの方法を、銀粉末を得るのに適用することができ
る。例えば、化学的還元法、霧化又は粉砕、熱分解等の
物理的過程及び電気化学的過程を使用することができ
る。電子的応用において使用される銀の粉末は、一般に
化学的析出過程を使用して製造される。銀粉末は、銀粉
末を析出させることができる条件下に銀の可溶性の塩を
適当な還元剤と反応させる化学的還元によって得られ
る。使用される最も普通の銀塩は硝酸銀である。ヒドラ
ジン、亜硫酸塩及びギ酸塩を含む無機還元剤は、大きさ
がきわめて粗く、形が不規則で、かつ凝集のために大き
な粒子径分布を有する粉末を生じさせる可能性がある。
【0004】有機還元剤、例えばアルコール、糖又はア
ルデヒドは、アルカリ水酸化物と共に使用されて硝酸銀
を還元する。この還元反応は、きわめて速く、コントロ
ールすることが困難であり、残留アルカリイオンで汚染
された粉末を生じる。大きさは小さい(<1ミクロン)
が、これらの粉末は、不規則な形を有し、よく詰まらな
い広い粒子径の分布を持つ傾向がある。銀粒子をつくる
ための霧化法は、エアロゾル分解方法であって、それは
プレカーサー溶液の粉末への変換が関係している。この
方法は、小滴の発生、この小滴のガスによる加熱された
反応器中への輸送、蒸発による溶剤の除去、多孔性固体
粒子を形成する塩の分解、そして次に完全に高密度の球
形純粋粒子を得る粒子の高密度化を含むものである。必
要条件は、小滴対小滴又は粒子対粒子の相互作用がない
こと及び小滴又は粒子の担体ガスとの化学的相互作用が
ないことである。
【0005】そして以下の先行技術が知られている。 特開昭62−2404(特願昭60−139904)A
sadaら この引用文献は、金属塩の溶液をミストにし、このミス
トを金属塩の分解温度より高い温度において加熱するこ
とによって製造される厚膜ペースト用のものを指向す
る。この引用文献は、「合金」をつくるためのミスト化
過程の使用を開示している。ミストは、所望の金属又は
合金の融点より少なくとも100℃高くで加熱されなけ
ればならないことも開示されている。 特公昭63−31522(特開昭62−1807)(特
願昭60−139903,Asadaら 金属塩を含有する溶液を霧化して液滴を得、塩の分解温
度より高く、金属の融点より高く、そして金属が金属の
融点より低い温度で酸化物を形成するときには金属酸化
物の分解温度より高くこの液滴を加熱して分解した金属
粒を融解することによる金属粉末の生産。
【0006】U.S.43,396,420 銀及び金属塩の混合水溶液を、熱反応器中塩の壊変の温
度より実質的に高いが個々の化合物の融点より低い壁温
度において噴霧すること。Nagashimaら、化学焔法によ
る金属硝酸塩の水溶液からの微小金属粒子の製造、日本
化学会誌、12、2293〜2300 微小金属粒子が化学焔によって製造された。焔温度が融
点より低いときには、金属粒子に非球形であり、焔温度
が金属の融点より十分高いときには、粒子はメルトを経
て形成され、完全に球形になる。Katoら、噴霧熱分
解技術による銀粒子の製造、日本化学雑誌、12号、2
342−4(1985) この引用文献は、噴霧熱分解による球形非凝集銀ミクロ
粒子の生産の研究を記載する。粒子の表面は、Agの融
点(961℃)より高い温度において平滑であったこ
と、又反応剤の濃度が増大するに従って粒子径分布が増
大したことが開示されている。一方、反応温度がAgの
融点より下に下るに従って、粒子の密度は低下した。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】粉末の発生のための従
来の技術の適用の成功を今まで限定して来た主な問題
は、粒子形態のコントロールに欠けていたことである。
特に、十分に高密度の粒子を形成させるためには、材料
をその融点より上で処理しなければならないことが要件
である。融点より下で処理された材料は、高密度化され
ない不純な中空の型の粒子を生じる傾向があった。
【0008】本発明は、 A.銀含有熱分解性化合物、好ましくは可溶性銀塩の不
飽和溶液を熱揮発性溶剤中に形成させ; B.不活性担体ガス中に分散させた工程Aからの溶液の
微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
果、小滴濃度の10%低下を生じる濃度より低いエアロ
ゾルを形成させ; C.エアロゾルを銀化合物の分解温度を越え、具体的に
は窒素中で少なくとも600℃または空気中で少なくと
も900℃、かつ銀の融点より低い操作温度に加熱し、
(1)溶剤を揮発させ、(2)銀化合物を純銀の微細粒
子の形状に分解し、そして(3)銀粒子を高密度化し;
そして D.銀粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成
物から分離する; 逐次工程からなる微細な銀粒子の製法を提供する。
【0009】本明細書中において銀含有化合物用の溶剤
に関して使用される用語「揮発性」は、最高操作温度に
達した時点に溶剤が、気化によるかおよび/または分解
により、蒸気またはガスに完全に変換されることを意味
する。本明細書中において銀含有化合物に関して使用さ
れる用語「熱分解性」は、最高操作温度に達した時点に
銀含有化合物が完全に分解されて銀金属および揮発性副
生成物になることを意味する。たとえば、AgNO
Ag金属とNOxガスの形に分解され、そして有機銀化
合物はAg金属、COガスおよびHO蒸気の形に分
解される。
【0010】
【発明の詳述】
銀化合物:エアロゾルを形成させるために使用される担
体ガスに関して不活性であるかぎり、いずれの可溶性銀
塩も本発明の方法中使用することができる。適当な塩の
例は、AgNO3、Ag3PO4、Ag2SO4等である。
しかし、不溶性の銀塩、例えばAgClは適当ではな
い。これら銀塩は、0.2モル/リットルの低濃度で、
そして塩の溶解度限界の少し下まで使用することができ
る。0.2モル/リットルより低いか、又は飽和の90
%より高い濃度を使用しないことが好ましい。本発明の
方法のための銀源として水溶性の銀塩を使用することが
好ましいが、それにもかかわらず水性か又は有機溶剤に
溶解した他の溶剤可溶性銀化合物、例えば有機金属銀化
合物の使用によってこの方法を有効に実施することがで
きる。
【0011】操作変量:本発明の方法は、次の基本的基
準が適合されるかぎり、多種多様な操作条件下に実施す
ることができる: 1. エアロゾル中銀化合物の濃度は、液体溶剤の除去
の前の固形物の析出を防止するために、供給温度におけ
る飽和濃度より下、好ましくは飽和濃度より少なくとも
10%下でなければならない; 2. エアロゾル中小滴の濃度は、反応器中生起する小
滴の集合があっても、小滴濃度の10%を超える低下を
生じないように充分低くなければならない; 3. 反応器の温度は、金属銀の融点(960℃)より
下でなければならない。
【0012】銀含有化合物の飽和点より下で操作するこ
とが基本であるが、どちらかといえば本方法の操作にお
いてはその濃度は重要ではない。極めて低い濃度の銀化
合物を使用することができる。しかしながら、単位時間
当たりに製造可能な粒子量を最大にするために、より高
い濃度を使用することが通常好ましい。本発明のエアロ
ゾルを生成させるために、小滴発生用の常用のいずれの
装置、たとえばネブライザー、Collisonネブラ
イザー、超音波ネブライザー、振動オリフィスエアロゾ
ル発生機、遠心アトマイザー、二流体アトマイザー、電
気噴霧アトマイザー等を使用してもよい。銀粉末の粒子
径は、発生する小滴の大きさの直接関数である。エアロ
ゾル中の小滴の大きさは、本発明の方法の実施において
は重要ではない。しかしながら、上述したように、エア
ロゾル中の小滴濃度、すなわちエアロゾルの単位容積当
たりの小滴数は、銀粒子の粒径分布を広げる小滴の過度
の集合、すなわち凝集を招く程大きくなってはならない
ことが重要である。
【0013】その外、あるエアロゾール発生器につい
て、銀化合物の溶液の濃度が粒子径に効果を有する。特
に、粒子径は、濃度の三乗根のおよその関数である。し
たがって、銀化合物の濃度が高い程、析出された銀の粒
子径は大きい。粒子径の比較的大きい変化が必要である
場合には、異なったエアロゾル発生器が使用されなけれ
ばならない。銀化合物用の溶剤に関し、又銀化合物それ
自身に関して不活性である蒸気性材料の実質的にいずれ
でも、本発明の実施のための担体ガスとして使用するこ
とができる。適当な蒸気性材料の例は、空気、窒素、酸
素、水蒸気、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガス等である。
これらのうち、空気及び窒素が好ましい。本発明の方法
を実施することができる温度範囲はかなり広く、銀化合
物の分解濃度から銀の融点(960℃)まで(しかしそ
れより下)である。担体ガスとして空気が使用されると
きには、析出される銀粒子の不純物レベルを低下させる
ために、少なくとも900℃の温度において操作するこ
とが好ましい。しかし、担体ガスとして窒素が使用され
るときには、600℃の低温において操作し、尚銀の中
の低い不純物レベル及び粒子の充分な高密度化を得るこ
とが可能である。
【0014】エアロゾルを加熱するために使用される装
置の型は、それだけでは決定的ではなく、直接か又は間
接の加熱を使用することができる。例えば、管状炉を使
用しても、燃焼焔中の直接加熱を使用してもよい。エア
ロゾルを加熱する速度は(そしてしたがって滞留時間
も)、反応の動力学又は金属粉末の形態の見地からは重
要でない。反応温度に達し、そして粒子が充分高密度化
されると、粒子は、担体ガス、反応副生物及び溶剤揮発
生成物から分離され、1種又はそれ以上のデバイス、例
えばフィルター、サイクロン、静電分離器、バッグフィ
ルター、フィルターディスク等によって収集される。反
応完了時のガスは、担体ガス、銀化合物の分解生成物及
び溶剤蒸気よりなる。即ち、担体ガスとしてN2を使用
して水性硝酸銀から銀を製造する場合には、本発明の方
法からの流出ガスは、窒素酸化物、水及びN 2よりな
る。
【0015】試験装置:この作業において使用される実
験装置が図1中図示される。担体ガス源1が調節器3及
び流量計5を経てエアロゾル発生器7にN2か又は空気
を供給する。溶液ため9が、反応溶液をエアロゾル発生
器7に供給し、その中で担体ガス及び反応溶液は密に混
合されて、担体ガス中に分散された反応溶液の小滴より
なるエアロゾルを形成する。発生器7中で得られたエア
ロゾルは、エアロゾルが加熱されるムライト管を有する
Lindberg炉の反応器13に送られる。圧力は、発生器7
と反応器13との間のゲージ11によって監視される。
加熱されたエアロゾルの温度は、熱電対15によって測
定され、加熱されたフィルター17に送られる。次に炉
の中の分解反応からの担体ガス及び揮発生成物は、フィ
ルター17の下流側から排出される。
【0016】後述する試験操作を実施するに際して、加
圧担体ガスをエアロゾル発生器を通して導き、これは次
にエアロゾルを加熱反応器を通過させた。エアロゾル小
滴を炉の中で乾燥、反応そして高密度化させ、得られた
微細な金属粒子をフィルター上に集めた。フィルターに
おける熱電対がその温度を示し、それはフィルターにお
ける水の凝縮を防止するように約60℃に保たれた。圧
力ケージを反応器の上流に保ち、フィルターの詰まりの
ための圧力の急な上昇があればこれを示した。担体ガス
は初めは空気であったが、超高純度(UHP)窒素も使
用されて、純粋な銀の生成のために反応温度を低下させ
た。2つの型のエアロゾル発生器、(1)改造BGI C
ollison CN−25発生器及び(2)改造超音波Pollen
ex家庭用吸湿機を使用して金属粒子の特性に対する小滴
径の効果を求めた。反応器の温度を500℃と900℃
の間で変えた。滞留時間は、流速及び反応器温度の関数
として異なり、したがって5〜21秒の範囲であった。
フィルターはナイロン膜フィルターであった。溶液ため
中AgNO3水溶液の濃度は、0.5から4.0モル/リ
ットルまで変った。
【0017】
【実施例】本発明の方法を実証する10回の処理試験を
行なった。これらの試験の操作条件は、それから得られ
た銀粒子の選択された特性と共に、下の表1に示され
る。
【0018】
【表1】
【0019】実施例1〜6の比較は、全く予期に反し
て、担体ガスがN2であるときはるかに低い操作温度に
おいて充分高密度化した銀粒子の生成を得ることができ
ることを示した。特に、ゼロ重量損失により示されるよ
うに、N2を使用して600℃において得られた銀粒子
は充分高密度化されていた。一方、担体ガスとして空気
が使用されたときには、ゼロ重量損失を有する銀粒子を
得るためには900℃において操作することが必要であ
った。即ち、この方法に対するエネルギー要求は、担体
ガスとして空気ではなくN2が使用されるときはるかに
小さい。両方の場合共銀の融点(960℃)より十分下
で高密度化された銀粒子が得られたことに注意するべき
である。実施例3及び7の比較は、エアロゾル発生器そ
れ自体が、同じ操作条件において得られる粒子の大きさ
に影響することを示す。特に、Collison装置を使用して
つくられる銀の粒子径は、Pollenx超音波装置のものよ
りはるかに大きい。このことは、表面積及び走査電子ミ
クロ組織検査の比較によって立証された。
【0020】実施例8〜10の比較は、濃度を大きくす
ると銀粉末の平均粒子径が増大したことを示す。即ち、
粒子径は銀塩濃度の直接関数である。実施例3、5、6
及び7において得られた銀粒子のX線回折及び透過電子
顕微鏡法(TEM)検査は、各々の場合粒子はきわめて
純粋かつ高度に結晶性であることを示した。このこと
は、実施例5によりつくられた粉末について得られたX
線回折パターンである図2から見ることができる。この
パターンは、本発明によって得られた銀粒子のX線回折
パターンの典型的なものである。実施例5及び6からの
粒子の密度のヘリウムピクノメトリー測定は、その密度
が実質的に理論値(10.5cc/g)と同じであったと
いう事実により示されるように、粒子は充分高密度化さ
れていた。
【0021】
【発明の効果】上のデータは、本発明の方法が、電子応
用に適した高品質の銀粒子を得るための、従来技術の金
属塩溶液の還元法のきわめて望ましい代替物を提供する
ことを示す。本発明によってつくられる銀粉末は、溶液
析出により得られる銀粒子において普通見出される不純
物、不規則な形状及び凝集を持たない。更に、銀の融点
より有意に低い温度において充分反応、高密度化した銀
粒子が得られた。本発明の方法についての経験から、反
応系が水性AgNO3をベースとし、担体ガスがN2であ
るとき、次の順序に従って銀粒子が生成すると考えられ
る: (1) エアロゾルが溶剤の蒸発温度より上に加熱され
るにしたがって、溶剤がエアロゾル小滴から蒸発し、こ
のようにしてAgNO3の多孔性粒子を形成する; (2) 多孔性AgNO3粒子が更に400〜450°
において加熱されるにしたがって、AgNO3粒子は分
解して多孔性の銀粒子を形成する;そして (3) 反応炉中残りの滞留時間の間に、多孔性銀粒子
が充分高密度化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が実証される試験装置の説明図。
【図2】本発明の方法によって得られた銀粒子のX線回
折パターン。
【符号の説明】
1 担体ガス源 3 調節器 5 流量計 7 エアロゾル発生器 9 溶液ため 11 ゲージ 13 反応器 15 熱電対 17 フィルター
フロントページの続き (73)特許権者 593184385 ザ・ユニバーシテイ・オブ・ニユーメキ シコ THE UNIVERSITY OF NEW MEXICO アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87131 −6003.アルバカーキ.ノースイース ト.ローマストリート(番地なし) (72)発明者 トイヴオ・タルモ・コーダス アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87122. アルバカーキ.サンラフアエルアベニユ ー11102 (72)発明者 テイモシー・リー・ウオード アメリカ合衆国ニユーメキシコ州87106. アルバカーキ.ノースイースト.ローボ コート1408 (72)発明者 ハワード・デイビツド・グリツクスマン アメリカ合衆国デラウエア州19807.ウ イルミントン.ハーレクドライブ20 (56)参考文献 特開 平5−311212(JP,A) 特公 平3−68484(JP,B2) 特公 昭63−31522(JP,B2)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 A.可溶性の熱分解性銀塩の不飽和溶液
    を熱揮発性溶剤中に形成させ; B.不活性担体ガス中に分散させた工程Aからの溶液の
    微細な小滴から本質的になり、その小滴濃度が凝集の結
    果、小滴濃度の10%低下を生じる濃度より低いエアロ
    ゾルを形成させ; C.エアロゾルを窒素中で少なくとも600℃または空
    気中で少なくとも900℃の温度で、かつ銀の融点より
    低い操作温度に加熱し、(1)溶剤を揮発させ、(2)
    銀化合物を純銀の微細粒子の形状に分解し、そして
    (3)銀粒子を高密度化し;そして D.銀粒子を担体ガス、反応副生物および溶剤揮発生成
    物から分離する; 逐次工程からなる微細な銀粒子の製法。
JP5248394A 1992-10-05 1993-10-05 エアロゾル分解による銀粉末の製法 Expired - Lifetime JP2650837B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US95627192A 1992-10-05 1992-10-05
US956271 1992-10-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06279816A JPH06279816A (ja) 1994-10-04
JP2650837B2 true JP2650837B2 (ja) 1997-09-10

Family

ID=25498011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5248394A Expired - Lifetime JP2650837B2 (ja) 1992-10-05 1993-10-05 エアロゾル分解による銀粉末の製法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5439502A (ja)
EP (1) EP0591882B1 (ja)
JP (1) JP2650837B2 (ja)
KR (1) KR100288095B1 (ja)
CN (1) CN1056327C (ja)
DE (1) DE69323825T2 (ja)
MY (1) MY109256A (ja)
TW (1) TW261554B (ja)

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5429657A (en) * 1994-01-05 1995-07-04 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for making silver-palladium alloy powders by aerosol decomposition
US5861136A (en) * 1995-01-10 1999-01-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for making copper I oxide powders by aerosol decomposition
US5616165A (en) * 1995-08-25 1997-04-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for making gold powders by aerosol decomposition
US5626645A (en) * 1995-09-27 1997-05-06 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Process for making silver metal filaments
DE19545455C1 (de) * 1995-12-06 1997-01-23 Degussa Verfahren zur Herstellung von Edelmetallpulvern
JP3206496B2 (ja) * 1997-06-02 2001-09-10 昭栄化学工業株式会社 金属粉末及びその製造方法
JP3277823B2 (ja) * 1996-09-25 2002-04-22 昭栄化学工業株式会社 金属粉末の製造方法
JP3137035B2 (ja) * 1997-05-26 2001-02-19 昭栄化学工業株式会社 ニッケル粉末及びその製造方法
US5919727A (en) * 1996-11-14 1999-07-06 W. R. Grace & Co.-Conn. Ceric oxide washcoat
US6051257A (en) * 1997-02-24 2000-04-18 Superior Micropowders, Llc Powder batch of pharmaceutically-active particles and methods for making same
JP2001513697A (ja) * 1997-02-24 2001-09-04 スーペリア マイクロパウダーズ リミテッド ライアビリティ カンパニー エアロゾル法及び装置、粒子製品、並びに該粒子製品から製造される電子装置
US6660680B1 (en) 1997-02-24 2003-12-09 Superior Micropowders, Llc Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US7097686B2 (en) * 1997-02-24 2006-08-29 Cabot Corporation Nickel powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US6780350B1 (en) 1997-02-24 2004-08-24 Superior Micropowders Llc Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US6699304B1 (en) * 1997-02-24 2004-03-02 Superior Micropowders, Llc Palladium-containing particles, method and apparatus of manufacture, palladium-containing devices made therefrom
US6103393A (en) * 1998-02-24 2000-08-15 Superior Micropowders Llc Metal-carbon composite powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US6679937B1 (en) * 1997-02-24 2004-01-20 Cabot Corporation Copper powders methods for producing powders and devices fabricated from same
US6338809B1 (en) * 1997-02-24 2002-01-15 Superior Micropowders Llc Aerosol method and apparatus, particulate products, and electronic devices made therefrom
JP3475749B2 (ja) * 1997-10-17 2003-12-08 昭栄化学工業株式会社 ニッケル粉末及びその製造方法
US20050097987A1 (en) * 1998-02-24 2005-05-12 Cabot Corporation Coated copper-containing powders, methods and apparatus for producing such powders, and copper-containing devices fabricated from same
US6911412B2 (en) 1998-02-24 2005-06-28 Cabot Corporation Composite particles for electrocatalytic applications
US6967183B2 (en) 1998-08-27 2005-11-22 Cabot Corporation Electrocatalyst powders, methods for producing powders and devices fabricated from same
US7150920B2 (en) * 1998-02-24 2006-12-19 Cabot Corporation Metal-carbon composite powders
US6753108B1 (en) * 1998-02-24 2004-06-22 Superior Micropowders, Llc Energy devices and methods for the fabrication of energy devices
JP3928309B2 (ja) 1998-10-06 2007-06-13 昭栄化学工業株式会社 ニッケル複合粒子、導体ペースト及びセラミック積層電子部品
US7014885B1 (en) 1999-07-19 2006-03-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Direct-write laser transfer and processing
SG94805A1 (en) * 2000-05-02 2003-03-18 Shoei Chemical Ind Co Method for preparing metal powder
US6679938B1 (en) * 2001-01-26 2004-01-20 University Of Maryland Method of producing metal particles by spray pyrolysis using a co-solvent and apparatus therefor
JP3772967B2 (ja) 2001-05-30 2006-05-10 Tdk株式会社 磁性金属粉末の製造方法
KR100480992B1 (ko) * 2002-07-10 2005-04-06 한국지질자원연구원 화염 에어로졸 분리법을 이용한 금속산화물 초미분체입자의 제조방법, 제조장치 및 이로 인해 제조되는금속산화물 초미분체
JP3812523B2 (ja) * 2002-09-10 2006-08-23 昭栄化学工業株式会社 金属粉末の製造方法
JP5028695B2 (ja) * 2004-11-25 2012-09-19 Dowaエレクトロニクス株式会社 銀粉およびその製造方法
US7842181B2 (en) * 2006-12-06 2010-11-30 Saudi Arabian Oil Company Composition and process for the removal of sulfur from middle distillate fuels
CN101778684B (zh) * 2007-09-07 2015-11-25 E.I.内穆尔杜邦公司 包含银以及至少两种含非银的单质的多元素合金粉末
US8142646B2 (en) 2007-11-30 2012-03-27 Saudi Arabian Oil Company Process to produce low sulfur catalytically cracked gasoline without saturation of olefinic compounds
WO2009105749A2 (en) 2008-02-21 2009-08-27 Saudi Arabian Oil Company Catalyst to attain low sulfur gasoline
US8840701B2 (en) 2008-08-13 2014-09-23 E I Du Pont De Nemours And Company Multi-element metal powders for silicon solar cells
US8710355B2 (en) 2008-12-22 2014-04-29 E I Du Pont De Nemours And Company Compositions and processes for forming photovoltaic devices
CN103209759A (zh) * 2010-06-01 2013-07-17 E·I·内穆尔杜邦公司 制备非中空、非碎片球形金属或金属合金颗粒的方法
US9005432B2 (en) 2010-06-29 2015-04-14 Saudi Arabian Oil Company Removal of sulfur compounds from petroleum stream
KR101166986B1 (ko) 2010-08-06 2012-07-24 이장훈 질산은을 이용한 은분말 제조방법
EP2637816A4 (en) 2010-11-10 2017-07-26 Stc.Unm Aerosol reduction/expansion synthesis (a-res) for zero valent metal particles
US8535518B2 (en) 2011-01-19 2013-09-17 Saudi Arabian Oil Company Petroleum upgrading and desulfurizing process
TWI496615B (zh) * 2013-07-03 2015-08-21 Univ Nat Taiwan Science Tech 一種製備銀顆粒的方法及核殼結構銀顆粒
CN109982798B (zh) 2016-11-16 2022-09-06 昭荣化学工业株式会社 金属粉末的在制造方法
US10752847B2 (en) 2017-03-08 2020-08-25 Saudi Arabian Oil Company Integrated hydrothermal process to upgrade heavy oil
US10703999B2 (en) 2017-03-14 2020-07-07 Saudi Arabian Oil Company Integrated supercritical water and steam cracking process
KR102033545B1 (ko) 2017-06-05 2019-10-17 대주전자재료 주식회사 은 입자 및 이의 제조방법
US10526552B1 (en) 2018-10-12 2020-01-07 Saudi Arabian Oil Company Upgrading of heavy oil for steam cracking process

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1461176A (en) * 1974-04-11 1977-01-13 Plessey Inc Method of producing powdered materials
DE2929630C2 (de) * 1979-07-21 1983-12-15 Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen Verfahren zur Herstellung von Silberpulver
JPS621807A (ja) * 1985-06-26 1987-01-07 Shoei Kagaku Kogyo Kk 金属粉末の製造方法
JPS622404A (ja) * 1985-06-26 1987-01-08 昭栄化学工業株式会社 厚膜ペ−スト
JPS62188709A (ja) * 1986-02-13 1987-08-18 Kawasaki Steel Corp 球状銀微粉末の製造方法
US4994107A (en) * 1986-07-09 1991-02-19 California Institute Of Technology Aerosol reactor production of uniform submicron powders
JPH05311212A (ja) * 1992-05-01 1993-11-22 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk Ag−Pd合金微粉末の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE69323825D1 (de) 1999-04-15
EP0591882B1 (en) 1999-03-10
KR100288095B1 (ko) 2001-06-01
MY109256A (en) 1996-12-31
CN1056327C (zh) 2000-09-13
TW261554B (ja) 1995-11-01
EP0591882A1 (en) 1994-04-13
CN1085143A (zh) 1994-04-13
KR940008785A (ko) 1994-05-16
JPH06279816A (ja) 1994-10-04
DE69323825T2 (de) 1999-11-11
US5439502A (en) 1995-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2650837B2 (ja) エアロゾル分解による銀粉末の製法
EP0591881B1 (en) Method for making palladium and palladium oxide powders by aerosol decomposition
US5429657A (en) Method for making silver-palladium alloy powders by aerosol decomposition
EP0761349B1 (en) Method for making gold powders by aerosol decomposition
US5861136A (en) Method for making copper I oxide powders by aerosol decomposition
KR100545821B1 (ko) 고결정성 금속분말, 그 제조방법, 상기 금속분말을 포함하는 도체페이스트 및 도체페이스트를 사용한 세라믹적층 전자부품
US5928405A (en) Method of making metallic powders by aerosol thermolysis
CN105324337B (zh) 氧化亚铜微粒子的制造方法、氧化亚铜微粒子、和导体膜的制造方法
Pluym et al. Palladium metal and palladium oxide particle production by spray pyrolysis
KR19990037964A (ko) 금속 분말 제조방법
KR100821450B1 (ko) 니켈분말의 제조방법
JP2004124257A (ja) 金属銅微粒子及びその製造方法
JPH0623405B2 (ja) 球状銅微粉の製造方法
Kieda et al. Preparation of silver particles by spray pyrolysis of silver-diammine complex solutions
US8888889B2 (en) Method of making non-hollow, non-fragmented spherical metal or metal alloy particles
JP3943156B2 (ja) エロゾル分解による酸化第一銅粉体の製造方法
JPS6256505A (ja) 金属超微粒子の製造方法
JPH06321520A (ja) 金属炭化物微小中空体およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080516

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516

Year of fee payment: 16

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term