JP2644058B2 - ウエハー加工装置 - Google Patents
ウエハー加工装置Info
- Publication number
- JP2644058B2 JP2644058B2 JP2015490A JP1549090A JP2644058B2 JP 2644058 B2 JP2644058 B2 JP 2644058B2 JP 2015490 A JP2015490 A JP 2015490A JP 1549090 A JP1549090 A JP 1549090A JP 2644058 B2 JP2644058 B2 JP 2644058B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- grinding wheel
- rotating
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、シリコン等のウエハーに研削、ラッピン
グ、ポリッシング等の加工を行なう加工装置に関する。
グ、ポリッシング等の加工を行なう加工装置に関する。
［従来の技術］ 従来シリコン等のウエハー表面に研削、ラッピング、
ポリッシング等の加工を行なうには、回転する加工定盤
をウエハーの一面に接触させ摩擦力によって行なう加工
装置が一般に用いられている。その一例を第４図によっ
て説明すると、ウエハー１を回転テーブル２に固定し、
研削砥石３を研削砥石回転用モータ４で回転しながら、
バランスウエイト５と研削砥石送り用モータ６により、
送りユニット７を利用して緩やかに下降させ、ウエハー
１に接触させると、ウエハー上表面が研削される。テー
ブル駆動用モータ８はウエハーを交換する際回転テーブ
ル２を駆動するものである（「機械の研究」第４巻第10
号、1989参照）。
ポリッシング等の加工を行なうには、回転する加工定盤
をウエハーの一面に接触させ摩擦力によって行なう加工
装置が一般に用いられている。その一例を第４図によっ
て説明すると、ウエハー１を回転テーブル２に固定し、
研削砥石３を研削砥石回転用モータ４で回転しながら、
バランスウエイト５と研削砥石送り用モータ６により、
送りユニット７を利用して緩やかに下降させ、ウエハー
１に接触させると、ウエハー上表面が研削される。テー
ブル駆動用モータ８はウエハーを交換する際回転テーブ
ル２を駆動するものである（「機械の研究」第４巻第10
号、1989参照）。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来の加工装置では、ウエ
ハーを片面づつしか加工できないので加工時間がながく
なると同時に、ウエハーの一面の加工完了後、加工装置
を他面の加工用に設定変更に要する工数と時間のため、
経済的に問題があるほか、設定変更にあたりウエハーを
損傷する危険が増加するという不利があった。
ハーを片面づつしか加工できないので加工時間がながく
なると同時に、ウエハーの一面の加工完了後、加工装置
を他面の加工用に設定変更に要する工数と時間のため、
経済的に問題があるほか、設定変更にあたりウエハーを
損傷する危険が増加するという不利があった。
［課題を解決するための手段］ 本発明はウエハーの両面を同時に加工して加工時間を
短縮するとともに、加工面の変更に要する工数と時間を
不要とし、歩留まりを向上し、かつ研削、ラッピング、
ポリッシングのいずれにも利用できる加工装置を提供す
ることを目的とするもので、本発明は、回転定盤をウエ
ハーに接触させ、摩擦によって表面加工するウエハー加
工装置において、キャリアに保持されたウエハーを対向
して挾持する回転定盤の３組の対と、この対向して配さ
れたそれぞれの側に位置する３個の回転定盤が、それぞ
れ回転伝達機構を介して同一の駆動装置に連結されてな
り、該３組の回転定盤対の各間に位置し、キャリア周縁
に接するように配設された回転可能な３個のガイド歯車
と、ウエハーを適宜な圧力で加圧可能な送り機構とを具
備し、前記キャリアはその周縁に前記ガイド歯車と噛合
するように刻設された外歯車とウエハーを偏心して保持
する保持孔を有することを特徴とするウエハー加工装置
である。
短縮するとともに、加工面の変更に要する工数と時間を
不要とし、歩留まりを向上し、かつ研削、ラッピング、
ポリッシングのいずれにも利用できる加工装置を提供す
ることを目的とするもので、本発明は、回転定盤をウエ
ハーに接触させ、摩擦によって表面加工するウエハー加
工装置において、キャリアに保持されたウエハーを対向
して挾持する回転定盤の３組の対と、この対向して配さ
れたそれぞれの側に位置する３個の回転定盤が、それぞ
れ回転伝達機構を介して同一の駆動装置に連結されてな
り、該３組の回転定盤対の各間に位置し、キャリア周縁
に接するように配設された回転可能な３個のガイド歯車
と、ウエハーを適宜な圧力で加圧可能な送り機構とを具
備し、前記キャリアはその周縁に前記ガイド歯車と噛合
するように刻設された外歯車とウエハーを偏心して保持
する保持孔を有することを特徴とするウエハー加工装置
である。
以下に本発明を図面によって詳しく説明する。
第１図は本発明の縦型ウエハー加工装置を示し、第２
図は、この装置のウエハー、研削砥石、ガイド歯車の相
対位置関係を示す。
図は、この装置のウエハー、研削砥石、ガイド歯車の相
対位置関係を示す。
キャリア16に保持されたウエハー１を３個の上研削砥
石3a、3b、3cと、これにそれぞれ対向する下研削砥石3
a′、3b′、3c′で挾持する。各上研削砥石3a、3b、3c
は、駆動装置である研削砥石回転用モータ９により、回
転伝達機構であるギヤボックス10を介して所定の回転を
与えられ、下研削砥石3a′、3b′、3c′も同様に駆動装
置である研削砥石回転用モータ11により、回転伝達機構
であるギヤボックス12を介して所定の回転が与えられ
る。
石3a、3b、3cと、これにそれぞれ対向する下研削砥石3
a′、3b′、3c′で挾持する。各上研削砥石3a、3b、3c
は、駆動装置である研削砥石回転用モータ９により、回
転伝達機構であるギヤボックス10を介して所定の回転を
与えられ、下研削砥石3a′、3b′、3c′も同様に駆動装
置である研削砥石回転用モータ11により、回転伝達機構
であるギヤボックス12を介して所定の回転が与えられ
る。
研削砥石送り用モータ６は、スクリュー13により研削
砥石回転用モータ９、ギヤボックス10、上研削砥石3a、
3b、3cを回転軸方向すなわち上下方向に移動させ、ウエ
ハーに適当な圧力を加えて研削する。換言すると、研削
砥石送り用モータ６とスクリュー13とを備えた回転定盤
の送り機構によって、適宜な圧力でウエハー１を研削す
ることができる。
砥石回転用モータ９、ギヤボックス10、上研削砥石3a、
3b、3cを回転軸方向すなわち上下方向に移動させ、ウエ
ハーに適当な圧力を加えて研削する。換言すると、研削
砥石送り用モータ６とスクリュー13とを備えた回転定盤
の送り機構によって、適宜な圧力でウエハー１を研削す
ることができる。
ガイド歯車18、19、20は、それぞれ上下研削砥石の対
3a−3a′と3b−3b′の間、3b−3b′と3c−3c′の間、3c
−3c′と3a−3a′の間に位置し、かつキャリア16の周縁
に接するように配設される。
3a−3a′と3b−3b′の間、3b−3b′と3c−3c′の間、3c
−3c′と3a−3a′の間に位置し、かつキャリア16の周縁
に接するように配設される。
ウエハー１は、周縁に外歯車を刻設したキャリア16の
保持孔17に保持され、キャリア16は、その周縁に設けら
れた３個のガイド歯車18、19、20により強制駆動され、
ウエハー１を自転させる。キャリア16にウエハー１を偏
芯して保持させると、ウエハーは自転しながら公転し、
３組の上下研削砥石3a−3a′、3b−3b′、3c−3c′によ
りウエハー両面が全面に渡って均一に研削される。キャ
リア16に保持されるウエハーは１枚とは限らず、複数枚
とすれば一層作業能率が向上する。
保持孔17に保持され、キャリア16は、その周縁に設けら
れた３個のガイド歯車18、19、20により強制駆動され、
ウエハー１を自転させる。キャリア16にウエハー１を偏
芯して保持させると、ウエハーは自転しながら公転し、
３組の上下研削砥石3a−3a′、3b−3b′、3c−3c′によ
りウエハー両面が全面に渡って均一に研削される。キャ
リア16に保持されるウエハーは１枚とは限らず、複数枚
とすれば一層作業能率が向上する。
また第３図に示す横型ウエハー加工装置で、ウエハー
１を直立させ、研削砥石23a、23b、23cとこれにそれぞ
れ対向する研削砥石23a′、23b′、23c′間に挟持し、
研削砥石回転用モータ29、31により砥石を回転させて研
削してもよい。
１を直立させ、研削砥石23a、23b、23cとこれにそれぞ
れ対向する研削砥石23a′、23b′、23c′間に挟持し、
研削砥石回転用モータ29、31により砥石を回転させて研
削してもよい。
ウエハーをラッピングまたはポリッシングするには、
研削砥石の代りに、それぞれラッピング定盤またはポリ
ッシング定盤を用いる。さらに、本発明のウエハー加工
装置は、３個の上乃至下研削砥石が、それぞれギヤボッ
クスを介して複数の研削砥石が単一の研削砥石回転用モ
ータで駆動される簡易な構造となっており、研削、ラッ
ピング、ポリッシングのいずれにも利用することができ
る。
研削砥石の代りに、それぞれラッピング定盤またはポリ
ッシング定盤を用いる。さらに、本発明のウエハー加工
装置は、３個の上乃至下研削砥石が、それぞれギヤボッ
クスを介して複数の研削砥石が単一の研削砥石回転用モ
ータで駆動される簡易な構造となっており、研削、ラッ
ピング、ポリッシングのいずれにも利用することができ
る。
［発明の効果］ 本発明により、ウエハーは表裏両面を同時に全面に渡
って均一に研削や研磨加工されるので、加工時間が従来
の片面づつの場合の半分になるとともに、加工面変更の
ための時間と工数のロスがなく、さらに加工装置の設定
変更に伴うウエハー損傷の危険も少なく、駆動装置であ
る研削砥石回転用モータは、３個の上ないし下研削砥石
に対していずれも単一の研削砥石回転用モータで駆動さ
れる簡易な構造となっており、本発明は産業上きわめて
有用なものである。
って均一に研削や研磨加工されるので、加工時間が従来
の片面づつの場合の半分になるとともに、加工面変更の
ための時間と工数のロスがなく、さらに加工装置の設定
変更に伴うウエハー損傷の危険も少なく、駆動装置であ
る研削砥石回転用モータは、３個の上ないし下研削砥石
に対していずれも単一の研削砥石回転用モータで駆動さ
れる簡易な構造となっており、本発明は産業上きわめて
有用なものである。
第１図は本発明の縦型ウエハー研摩装置の側面図、第２
図は第１図のキャリアに保持されたウエハー、研削砥
石、ガイド歯車の相互位置説明図、第３図は本発明の横
型ウエハー研削装置の側面図、第４図は従来のウエハー
研削装置の説明図である。 ［符号の説明］ １……ウエハー、 ２……回転テーブル、 ３……研削砥石、 ４……研削砥石回転用モータ、 ５……バランスウエイト、 ６……研削砥石送り用モータ、 ７……送りユニット、 ８……テーブル駆動用モータ、 ９、11、29、31……研削砥石回転用モータ、 10、12……ギヤボックス、 16……キャリア、 17……保持孔、 18……歯車、 3a、3b、3c……上研削砥石、 3a′、3b′、3c′……下研削砥石、 23a、23b、23c、23a′、23b′、23c′……研削砥石。
図は第１図のキャリアに保持されたウエハー、研削砥
石、ガイド歯車の相互位置説明図、第３図は本発明の横
型ウエハー研削装置の側面図、第４図は従来のウエハー
研削装置の説明図である。 ［符号の説明］ １……ウエハー、 ２……回転テーブル、 ３……研削砥石、 ４……研削砥石回転用モータ、 ５……バランスウエイト、 ６……研削砥石送り用モータ、 ７……送りユニット、 ８……テーブル駆動用モータ、 ９、11、29、31……研削砥石回転用モータ、 10、12……ギヤボックス、 16……キャリア、 17……保持孔、 18……歯車、 3a、3b、3c……上研削砥石、 3a′、3b′、3c′……下研削砥石、 23a、23b、23c、23a′、23b′、23c′……研削砥石。
Claims (1)
- 【請求項１】回転定盤をウエハーに接触させ、摩擦によ
って表面加工するウエハー加工装置において、キャリア
に保持されたウエハーを対向して挾持する回転定盤の３
組の対と、この対向して配されたそれぞれの側に位置す
る３個の回転定盤が、それぞれ回転伝達機構を介して同
一の駆動装置に連結されてなり、該３組の回転定盤の各
間に位置し、キャリア周縁に接するように配設された回
転可能な３個のガイド歯車と、ウエハーを適宜な圧力で
加圧可能な送り機構とを具備し、前記キャリアはその周
縁に前記ガイド歯車と噛合するように刻設された外歯車
とウエハーを偏心して保持する保持孔を有することを特
徴とするウエハー加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015490A JP2644058B2 (ja) | 1989-11-10 | 1990-01-25 | ウエハー加工装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29295289 | 1989-11-10 | ||
| JP1-292952 | 1989-11-10 | ||
| JP2015490A JP2644058B2 (ja) | 1989-11-10 | 1990-01-25 | ウエハー加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03221368A JPH03221368A (ja) | 1991-09-30 |
| JP2644058B2 true JP2644058B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=17788549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015490A Expired - Lifetime JP2644058B2 (ja) | 1989-11-10 | 1990-01-25 | ウエハー加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2644058B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109015284A (zh) * | 2018-09-21 | 2018-12-18 | 李海源 | 一种陶瓷棒研磨机 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11254314A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-21 | Speedfam Co Ltd | ワーク面加工装置 |
| KR100523617B1 (ko) * | 2003-10-14 | 2005-10-24 | 동부아남반도체 주식회사 | 기어박스의 오일 교환시기 확인방법 및 장치 |
| JP6707831B2 (ja) * | 2015-10-09 | 2020-06-10 | 株式会社Sumco | 研削装置および研削方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS501313U (ja) * | 1973-04-27 | 1975-01-08 | ||
| JPS5320194A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-24 | Nec Corp | Method for polishing both surfaces undistortedly |
| JPS5976764A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-01 | Nippon Light Metal Co Ltd | 精密研磨加工法 |
| JPS6411757A (en) * | 1987-07-01 | 1989-01-17 | Tomoaki Goto | Grinding machine |
| JPS6444757A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-17 | Ricoh Kk | Ink jet recorder |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP2015490A patent/JP2644058B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109015284A (zh) * | 2018-09-21 | 2018-12-18 | 李海源 | 一种陶瓷棒研磨机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03221368A (ja) | 1991-09-30 |
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