JP2611877B2 - 極薄金属板の超仕上研磨装置 - Google Patents
極薄金属板の超仕上研磨装置Info
- Publication number
- JP2611877B2 JP2611877B2 JP3046207A JP4620791A JP2611877B2 JP 2611877 B2 JP2611877 B2 JP 2611877B2 JP 3046207 A JP3046207 A JP 3046207A JP 4620791 A JP4620791 A JP 4620791A JP 2611877 B2 JP2611877 B2 JP 2611877B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- ultra
- thin metal
- polishing
- tension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属箔状の極薄金属板
を回転研磨工具により鏡面状に超仕上研磨するための装
置に関するものである。ここで「超仕上研磨」とは、そ
の仕上面の最大粗さが０．０３μｍ以下であって、研磨
条痕の認められない写像性の高い仕上面が得られる程度
の研磨をいう。また、「極薄金属板」とは、厚さが０．
１ｍｍ程度のステンレス薄板などのことをいう。
を回転研磨工具により鏡面状に超仕上研磨するための装
置に関するものである。ここで「超仕上研磨」とは、そ
の仕上面の最大粗さが０．０３μｍ以下であって、研磨
条痕の認められない写像性の高い仕上面が得られる程度
の研磨をいう。また、「極薄金属板」とは、厚さが０．
１ｍｍ程度のステンレス薄板などのことをいう。
【０００２】
【従来の技術】通常の厚さを有する金属板を仕上研磨す
るには、図８に示されるようにして行っている。即ち、
金属板Ｗ’の一方の端末部のみを挟着具４１で挟着し
て、回転研磨工具４２を矢印で示される方向（研磨工具
４２の回転抵抗によって金属板Ｗ’に張力が生ずる方
向）に移動させて、その研磨を行っている。
るには、図８に示されるようにして行っている。即ち、
金属板Ｗ’の一方の端末部のみを挟着具４１で挟着し
て、回転研磨工具４２を矢印で示される方向（研磨工具
４２の回転抵抗によって金属板Ｗ’に張力が生ずる方
向）に移動させて、その研磨を行っている。
【０００３】一方、半導体部品などは、僅かの塵埃類の
存在も許されないスーパークリーンルームにおいて製造
されており、このスーパークリーンルームに設置される
ロボットのハンドなどの可動部は、これに付着している
ゴミ類が室内に落下しないように蛇腹で覆う必要がある
と共に、この蛇腹自体の内外周面にゴミ類が付着するの
を防ぎたい場合がある。このような場合には、蛇腹を金
属箔状の極薄金属板で構成すると同時に、この極薄金属
板の表裏両面を鏡面状に研磨仕上げすると、上記したこ
とを実現できる。しかし、板厚が０．１ｍｍ程度の金属
箔状の極薄金属板を上記した方法によって研磨すると、
研磨工具４２の圧着時に生ずる回転抵抗が極薄金属板に
対して大き過ぎるため、研磨中にこの極薄金属板に「シ
ワ」或いは「ヤブレ」が生じて、研磨できない。
存在も許されないスーパークリーンルームにおいて製造
されており、このスーパークリーンルームに設置される
ロボットのハンドなどの可動部は、これに付着している
ゴミ類が室内に落下しないように蛇腹で覆う必要がある
と共に、この蛇腹自体の内外周面にゴミ類が付着するの
を防ぎたい場合がある。このような場合には、蛇腹を金
属箔状の極薄金属板で構成すると同時に、この極薄金属
板の表裏両面を鏡面状に研磨仕上げすると、上記したこ
とを実現できる。しかし、板厚が０．１ｍｍ程度の金属
箔状の極薄金属板を上記した方法によって研磨すると、
研磨工具４２の圧着時に生ずる回転抵抗が極薄金属板に
対して大き過ぎるため、研磨中にこの極薄金属板に「シ
ワ」或いは「ヤブレ」が生じて、研磨できない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、研磨
台に対する金属箔状の極薄金属板の固定方法の工夫によ
って、「シワ」又は「ヤブレ」が生ずることなく、極薄
金属板の超仕上研磨を高精度で、しかも高能率で行える
ようにすることである。
台に対する金属箔状の極薄金属板の固定方法の工夫によ
って、「シワ」又は「ヤブレ」が生ずることなく、極薄
金属板の超仕上研磨を高精度で、しかも高能率で行える
ようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の採用した手段は、少なくとも一方が研磨台の
長手方向にスライド可能なように、該研磨台の長手方向
の両端部に配置されて、該研磨台に載置された極薄金属
板の両端末部を着脱可能に挟着するための一対の挟着装
置と、スライド可能な側の挟着装置に引張力を作用させ
て、両端末部が前記一対の挟着装置で挟着されている極
薄金属板に張力を付与するための張力付与装置とを備え
ていて、該張力付与装置によって張力が付与された状態
で研磨台に載置されている極薄金属板を回転研磨工具に
より研磨する構成の極薄金属板の超仕上研磨装置におい
て、前記研磨台の上面に弾性板を一体に取付けて、該研
磨台の長手方向の両端部を端面に向かって低くなるよう
な傾斜面に形成し、しかも前記一対の挟着装置の各挟着
部を研磨台の上面よりも低い位置に設けることにより、
研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って回転
研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与されるようにし
て、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張って、極薄
金属板を弾性板に密着させるように構成したことであ
る。
に本発明の採用した手段は、少なくとも一方が研磨台の
長手方向にスライド可能なように、該研磨台の長手方向
の両端部に配置されて、該研磨台に載置された極薄金属
板の両端末部を着脱可能に挟着するための一対の挟着装
置と、スライド可能な側の挟着装置に引張力を作用させ
て、両端末部が前記一対の挟着装置で挟着されている極
薄金属板に張力を付与するための張力付与装置とを備え
ていて、該張力付与装置によって張力が付与された状態
で研磨台に載置されている極薄金属板を回転研磨工具に
より研磨する構成の極薄金属板の超仕上研磨装置におい
て、前記研磨台の上面に弾性板を一体に取付けて、該研
磨台の長手方向の両端部を端面に向かって低くなるよう
な傾斜面に形成し、しかも前記一対の挟着装置の各挟着
部を研磨台の上面よりも低い位置に設けることにより、
研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って回転
研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与されるようにし
て、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張って、極薄
金属板を弾性板に密着させるように構成したことであ
る。
【０００６】
【発明の作用】上記構成により、研磨台に載置されてい
る極薄金属板の全幅に亘って回転研磨工具の回転抵抗に
勝る張力が付与されるように、該極薄金属板の両端末部
が斜下方に引張られることにより、極薄金属板の全体が
弾性板に密着する。このため、極薄金属板は、その全幅
に亘って回転研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与さ
れ、しかも弾性板に密着して貼り付けられた状態で、回
転研磨工具により超仕上研磨されるので、「シワ」又は
「ヤブレ」が生じなくなって、高精度で、しかも高能率
な研磨ができる。
る極薄金属板の全幅に亘って回転研磨工具の回転抵抗に
勝る張力が付与されるように、該極薄金属板の両端末部
が斜下方に引張られることにより、極薄金属板の全体が
弾性板に密着する。このため、極薄金属板は、その全幅
に亘って回転研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与さ
れ、しかも弾性板に密着して貼り付けられた状態で、回
転研磨工具により超仕上研磨されるので、「シワ」又は
「ヤブレ」が生じなくなって、高精度で、しかも高能率
な研磨ができる。
【０００７】
【実施例】図１ないし図３に、本発明に係る極薄金属板
の研磨装置が示されている。この研磨装置は、ベッド１
の中央部に設置された研磨台２と、この研磨台２の長手
方向Ｑの両端部分にそれぞれ設置される一対の挟着装置
Ａ１，Ａ２と、スライド可能に設置された挟着装置Ａ１
に引張力を作用させて、両挟着装置Ａ１，Ａ２でその両
端末部が挟着されている極薄金属板Ｗに所定の張力を付
与せしめるための張力付与装置Ｂとを有している。研磨
台２の長手方向Ｑの両端部は緩やかにわん曲して、端面
に向かって低くなるような傾斜面となっていて、その上
面には、ウレタンゴムなどから成る弾性板３が取付けら
れている。研磨台２の長手方向Ｑの両端部に設置された
一対の挟着装置Ａ１，Ａ２のうち一方の装置Ａ１は、研
磨台２の長手方向Ｑに沿ってスライド可能にベッド１に
設置され、他方の装置Ａ２は、ベッド１に固定して設置
されているが、両装置Ａ１，Ａ２の構成は同一である。
の研磨装置が示されている。この研磨装置は、ベッド１
の中央部に設置された研磨台２と、この研磨台２の長手
方向Ｑの両端部分にそれぞれ設置される一対の挟着装置
Ａ１，Ａ２と、スライド可能に設置された挟着装置Ａ１
に引張力を作用させて、両挟着装置Ａ１，Ａ２でその両
端末部が挟着されている極薄金属板Ｗに所定の張力を付
与せしめるための張力付与装置Ｂとを有している。研磨
台２の長手方向Ｑの両端部は緩やかにわん曲して、端面
に向かって低くなるような傾斜面となっていて、その上
面には、ウレタンゴムなどから成る弾性板３が取付けら
れている。研磨台２の長手方向Ｑの両端部に設置された
一対の挟着装置Ａ１，Ａ２のうち一方の装置Ａ１は、研
磨台２の長手方向Ｑに沿ってスライド可能にベッド１に
設置され、他方の装置Ａ２は、ベッド１に固定して設置
されているが、両装置Ａ１，Ａ２の構成は同一である。
【０００８】図１ないし図５に詳細に示されるように、
挟着装置Ａ１は、ベッド１に一対のガイド体４を介して
研磨台２の長手方向Ｑにスライド可能に設置された基板
５と、この基板５の上に配置される挟着板６とで構成さ
れる。基板５の先端部の上面には、傾斜した挟着面５ａ
が形成されており、挟着板６の先端部の下面には、前記
挟着面５ａに対応する挟着面６ａが傾斜して形成されて
いる。基板５における挟着板６の先端部であって、しか
もその両側の部分には、それぞれ支持体７が取付けられ
ている。挟着板６の先端部であって、しかもその両端の
部分が枢着ピン８を介してそれぞれ前記支持体７に枢着
されている。また、挟着板６の後端部分は、斜上方に立
上がった立上り部６ｂが形成され、この立上り部６ｂの
上端には水平部６ｃが後方に向かって形成され、この水
平部６ｃの両端部と、前記基板５との間の空間部に、そ
れぞれ圧縮スプリング９が弾装されている。よって、挟
着板６は、圧縮スプリング９の復元力により一対の枢着
ピン８を中心に回動して、その挟着面６ａが基板５の挟
着面５ａに対して圧着する方向に付勢されている。この
ため、挟着板６の水平部６ｃに力Ｐを作用させると、図
４で二点鎖線で示されるように、挟着板６が枢着ピン８
を中心にして時計方向に回動し、これにより基板５の挟
着面５ａと、挟着板６の挟着面６ａとの間に所定の隙間
が形成されて、この隙間に極薄金属板Ｗの端末部を挿入
し、その後に前記力Ｐを解除すると、圧縮スプリング９
の復元力によって、挟着板６が枢着ピン８を中心にして
反時計方向に回動するように付勢されて、基板５の挟着
面５ａと、挟着板６の挟着面６ａとの間で極薄金属板Ｗ
の端末部が挟着される。これらの挟着面５ａ，６ａは、
研磨台２（或いは弾性板３）の上面よりも低い位置に設
けられている。挟着板６を回動させるための枢着ピン８
は、挟着面６ａに近い部分に設けられているので、圧縮
スプリング９の復元力は拡大されて、挟着面６ａの部分
に作用する。この結果、極薄金属板Ｗの端末部を挟着す
る力が大きくなる。挟着板６の幅は、挟着する極薄金属
板Ｗの幅よりも広くする必要がある。他方の挟着装置Ａ
２は、固定ピン１１を介してベッド１に固定されている
点を除き、上記挟着装置Ａ１と同一構成である。
挟着装置Ａ１は、ベッド１に一対のガイド体４を介して
研磨台２の長手方向Ｑにスライド可能に設置された基板
５と、この基板５の上に配置される挟着板６とで構成さ
れる。基板５の先端部の上面には、傾斜した挟着面５ａ
が形成されており、挟着板６の先端部の下面には、前記
挟着面５ａに対応する挟着面６ａが傾斜して形成されて
いる。基板５における挟着板６の先端部であって、しか
もその両側の部分には、それぞれ支持体７が取付けられ
ている。挟着板６の先端部であって、しかもその両端の
部分が枢着ピン８を介してそれぞれ前記支持体７に枢着
されている。また、挟着板６の後端部分は、斜上方に立
上がった立上り部６ｂが形成され、この立上り部６ｂの
上端には水平部６ｃが後方に向かって形成され、この水
平部６ｃの両端部と、前記基板５との間の空間部に、そ
れぞれ圧縮スプリング９が弾装されている。よって、挟
着板６は、圧縮スプリング９の復元力により一対の枢着
ピン８を中心に回動して、その挟着面６ａが基板５の挟
着面５ａに対して圧着する方向に付勢されている。この
ため、挟着板６の水平部６ｃに力Ｐを作用させると、図
４で二点鎖線で示されるように、挟着板６が枢着ピン８
を中心にして時計方向に回動し、これにより基板５の挟
着面５ａと、挟着板６の挟着面６ａとの間に所定の隙間
が形成されて、この隙間に極薄金属板Ｗの端末部を挿入
し、その後に前記力Ｐを解除すると、圧縮スプリング９
の復元力によって、挟着板６が枢着ピン８を中心にして
反時計方向に回動するように付勢されて、基板５の挟着
面５ａと、挟着板６の挟着面６ａとの間で極薄金属板Ｗ
の端末部が挟着される。これらの挟着面５ａ，６ａは、
研磨台２（或いは弾性板３）の上面よりも低い位置に設
けられている。挟着板６を回動させるための枢着ピン８
は、挟着面６ａに近い部分に設けられているので、圧縮
スプリング９の復元力は拡大されて、挟着面６ａの部分
に作用する。この結果、極薄金属板Ｗの端末部を挟着す
る力が大きくなる。挟着板６の幅は、挟着する極薄金属
板Ｗの幅よりも広くする必要がある。他方の挟着装置Ａ
２は、固定ピン１１を介してベッド１に固定されている
点を除き、上記挟着装置Ａ１と同一構成である。
【０００９】次に、張力付与装置Ｂについて説明する。
挟着装置Ａ１を構成している基板５の後端部の中央にブ
ロック体１２が固着され、このブロック体１２にねじ棒
１３の先端部が固着されて、このねじ棒１３は、ベッド
１の側板１ａを貫通して外部に水平に突出しており、側
板１ａの外側に設けられた軸受１４によりねじ棒１３は
支持されている。ねじ棒１３のベッド１の側板１ａから
突出した部分に雄ねじ部１３ａが設けられ、ハンドル１
５に固設された雌ねじ体１６と、ねじ棒１３の雄ねじ部
１３ａとが螺合され、この雌ねじ体１６と前記軸受１４
との間に圧縮スプリング１７が弾装されている。このた
め、ハンドル１５を所定方向に回転させて、圧縮スプリ
ング１７を更に圧縮させると、スライド可能な挟着装置
Ａ１に引張力が作用して、両端末部が一対の挟着装置Ａ
１，Ａ２で挟着されている極薄金属板Ｗに所定の張力が
全幅にわたって加えられる。また、ハンドル１５の回転
量を調整して、圧縮スプリング１７の圧縮量を調整する
と、極薄金属板Ｗに加えられる張力の調整を行える。
挟着装置Ａ１を構成している基板５の後端部の中央にブ
ロック体１２が固着され、このブロック体１２にねじ棒
１３の先端部が固着されて、このねじ棒１３は、ベッド
１の側板１ａを貫通して外部に水平に突出しており、側
板１ａの外側に設けられた軸受１４によりねじ棒１３は
支持されている。ねじ棒１３のベッド１の側板１ａから
突出した部分に雄ねじ部１３ａが設けられ、ハンドル１
５に固設された雌ねじ体１６と、ねじ棒１３の雄ねじ部
１３ａとが螺合され、この雌ねじ体１６と前記軸受１４
との間に圧縮スプリング１７が弾装されている。このた
め、ハンドル１５を所定方向に回転させて、圧縮スプリ
ング１７を更に圧縮させると、スライド可能な挟着装置
Ａ１に引張力が作用して、両端末部が一対の挟着装置Ａ
１，Ａ２で挟着されている極薄金属板Ｗに所定の張力が
全幅にわたって加えられる。また、ハンドル１５の回転
量を調整して、圧縮スプリング１７の圧縮量を調整する
と、極薄金属板Ｗに加えられる張力の調整を行える。
【００１０】研磨作業に先立って研磨台２に極薄金属板
Ｗをセッティングするには、図４に示されるように、挟
着板６の水平部６ｃに力Ｐを加えて、この挟着板６の挟
着面６ａを基板５の挟着面５ａから離し、両挟着面５
ａ，６ａの間に形成される隙間に極薄金属板Ｗの端末部
を挿入し、その後に力Ｐを解除すると、圧縮スプリング
９の復元力により、両挟着面５ａ，６ａの間で極薄金属
板Ｗの端末部が挟着される。極薄金属板Ｗの他方の端末
部も、全く同様にして挟着すると、その両端末部が一対
の挟着装置Ａ１，Ａ２で挟着される。次に、ハンドル１
５を回転させて、張力付与装置Ｂの圧縮スプリング１７
の圧縮量を増すと、スライド可能な挟着装置Ａ１に引張
力が作用して、一対の挟着装置Ａ１．Ａ２で挟着されて
いる極薄金属板Ｗの両端末部が斜め下方に引張られて、
この極薄金属板Ｗに所定の張力が加えられると共に、こ
の張力により極薄金属板Ｗが、研磨台２に取付けられた
弾性板３に密着する。極薄金属板Ｗに加えられる張力
は、回転研磨工具を極薄金属板Ｗに圧着させて研磨する
際に生ずる回転抵抗よりも大きくする必要がある。
Ｗをセッティングするには、図４に示されるように、挟
着板６の水平部６ｃに力Ｐを加えて、この挟着板６の挟
着面６ａを基板５の挟着面５ａから離し、両挟着面５
ａ，６ａの間に形成される隙間に極薄金属板Ｗの端末部
を挿入し、その後に力Ｐを解除すると、圧縮スプリング
９の復元力により、両挟着面５ａ，６ａの間で極薄金属
板Ｗの端末部が挟着される。極薄金属板Ｗの他方の端末
部も、全く同様にして挟着すると、その両端末部が一対
の挟着装置Ａ１，Ａ２で挟着される。次に、ハンドル１
５を回転させて、張力付与装置Ｂの圧縮スプリング１７
の圧縮量を増すと、スライド可能な挟着装置Ａ１に引張
力が作用して、一対の挟着装置Ａ１．Ａ２で挟着されて
いる極薄金属板Ｗの両端末部が斜め下方に引張られて、
この極薄金属板Ｗに所定の張力が加えられると共に、こ
の張力により極薄金属板Ｗが、研磨台２に取付けられた
弾性板３に密着する。極薄金属板Ｗに加えられる張力
は、回転研磨工具を極薄金属板Ｗに圧着させて研磨する
際に生ずる回転抵抗よりも大きくする必要がある。
【００１１】張力付与装置Ｂによって張力が加えられて
いる極薄金属板Ｗを回転研磨工具１８により研磨する
と、極薄金属板Ｗに回転研磨工具１８の回転抵抗よりも
大きな張力が全幅にわたって加えられて、極薄金属板Ｗ
の全体が弾性板３に密着して貼り付けられた状態となっ
ているために、「シワ」，「ヤブレ」などが全く生じる
ことなく、極薄金属板Ｗを支障なく研磨できる。研磨方
向は、張力方向の場合（図６参照）と、張力と直交する
方向の場合（図７参照）とがあり、いずれの場合でも研
磨可能である。また、極薄金属板Ｗを両面研磨する場合
には、一面の研磨後において極薄金属板Ｗを反転させ
て、セッティングし直して他面を研磨すればよい。
いる極薄金属板Ｗを回転研磨工具１８により研磨する
と、極薄金属板Ｗに回転研磨工具１８の回転抵抗よりも
大きな張力が全幅にわたって加えられて、極薄金属板Ｗ
の全体が弾性板３に密着して貼り付けられた状態となっ
ているために、「シワ」，「ヤブレ」などが全く生じる
ことなく、極薄金属板Ｗを支障なく研磨できる。研磨方
向は、張力方向の場合（図６参照）と、張力と直交する
方向の場合（図７参照）とがあり、いずれの場合でも研
磨可能である。また、極薄金属板Ｗを両面研磨する場合
には、一面の研磨後において極薄金属板Ｗを反転させ
て、セッティングし直して他面を研磨すればよい。
【００１２】また、一対の挟着装置の双方を研磨台の長
手方向にスライド可能な構成にしてもよく、挟着装置及
び張力付与装置の構成も上記実施例のものに限定されな
い。
手方向にスライド可能な構成にしてもよく、挟着装置及
び張力付与装置の構成も上記実施例のものに限定されな
い。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、研磨台の上面に弾性板を一体
に取付けて、該研磨台の長手方向の両端部を端面に向か
って低くなるような傾斜面に形成し、しかも一対の挟着
装置の各挟着部を研磨台の上面よりも低い位置に設け
て、研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って
回転研磨工具の回転抵抗よりも大きな張力が加えられた
状態にして、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張る
ことにより、極薄金属板を弾性板に密着させるように構
成されているので、極薄金属板は、弾性板に密着して貼
り付けられた状態で、回転研磨工具により超仕上研磨さ
れるため、「シワ」又は「ヤブレ」が生じなくなって、
高精度で、しかも高能率な研磨ができる。
に取付けて、該研磨台の長手方向の両端部を端面に向か
って低くなるような傾斜面に形成し、しかも一対の挟着
装置の各挟着部を研磨台の上面よりも低い位置に設け
て、研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って
回転研磨工具の回転抵抗よりも大きな張力が加えられた
状態にして、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張る
ことにより、極薄金属板を弾性板に密着させるように構
成されているので、極薄金属板は、弾性板に密着して貼
り付けられた状態で、回転研磨工具により超仕上研磨さ
れるため、「シワ」又は「ヤブレ」が生じなくなって、
高精度で、しかも高能率な研磨ができる。
【図１】本発明に係る極薄金属板の研磨装置の平面図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係る極薄金属板の研磨装置の中央断面
側面図である。
側面図である。
【図３】本発明に係る極薄金属板の研磨装置の正面図で
ある。
ある。
【図４】挟着装置Ａ１の拡大断面図である。
【図５】挟着装置Ａ１，Ａ２を構成している基板５と挟
着板６とを分離させた図である。
着板６とを分離させた図である。
【図６】極薄金属板Ｗの研磨方向を示す図である。
【図７】極薄金属板Ｗの他の研磨方向を示す図である。
【図８】通常の厚さの金属板Ｗ’を従来方法により固定
して研磨している状態の図である。
して研磨している状態の図である。
Ａ１．Ａ２：挟着装置 Ｂ：張力付与装置 Ｑ：研磨台の長手方向 Ｗ：極薄金属板 ２：研磨台 ３：弾性板 ５：挟着装置の基板 ５ａ：基板の挟着面（挟着部） ６：挟着装置の挟着板 ６ａ：挟着板の挟着面（挟着部）
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも一方が研磨台の長手方向にス
ライド可能なように、該研磨台の長手方向の両端部に配
置されて、該研磨台に載置された極薄金属板の両端末部
を着脱可能に挟着するための一対の挟着装置と、スライ
ド可能な側の挟着装置に引張力を作用させて、両端末部
が前記一対の挟着装置で挟着されている極薄金属板に張
力を付与するための張力付与装置とを備えていて、該張
力付与装置によって張力が付与された状態で研磨台に載
置されている極薄金属板を回転研磨工具により研磨する
構成の極薄金属板の超仕上研磨装置であって、 前記研磨台の上面に弾性板を一体に取付けて、該研磨台
の長手方向の両端部を端面に向かって低くなるような傾
斜面に形成し、しかも前記一対の挟着装置の各挟着部を
研磨台の上面よりも低い位置に設けることにより、研磨
台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って回転研磨
工具の回転抵抗に勝る張力が付与されるようにして、該
極薄金属板の両端末部を斜下方に引張って、極薄金属板
を弾性板に密着させるように構成したことを特徴とする
極薄金属板の超仕上研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046207A JP2611877B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 極薄金属板の超仕上研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046207A JP2611877B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 極薄金属板の超仕上研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269163A JPH04269163A (ja) | 1992-09-25 |
| JP2611877B2 true JP2611877B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=12740641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3046207A Expired - Lifetime JP2611877B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 極薄金属板の超仕上研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2611877B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107378772A (zh) * | 2017-09-01 | 2017-11-24 | 广东利迅达机器人***股份有限公司 | 一种保温壶耳扣打磨夹具 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5416076A (en) * | 1978-07-28 | 1979-02-06 | Aisin Seiki Co Ltd | Multiple brake system of vehicle |
| JPS61244435A (ja) * | 1985-04-19 | 1986-10-30 | Tokyo Seimitsu Sokki Kk | 薄帯板の保持及び送り装置 |
| JPH052281Y2 (ja) * | 1988-03-02 | 1993-01-20 |
-
1991
- 1991-02-18 JP JP3046207A patent/JP2611877B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107378772A (zh) * | 2017-09-01 | 2017-11-24 | 广东利迅达机器人***股份有限公司 | 一种保温壶耳扣打磨夹具 |
| CN107378772B (zh) * | 2017-09-01 | 2019-03-19 | 广东利迅达机器人***股份有限公司 | 一种保温壶耳扣打磨夹具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04269163A (ja) | 1992-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4128343B2 (ja) | ウェーハ・ノッチ研磨機およびウェーハの配向ノッチ研磨方法 | |
| KR101236855B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 장치 | |
| JP2611877B2 (ja) | 極薄金属板の超仕上研磨装置 | |
| JPH081494A (ja) | ウエハー材縁端部研磨装置 | |
| JPH05329759A (ja) | ウエハー材縁端面研磨装置 | |
| CN211916485U (zh) | 一种金属制品制造用的抛光机 | |
| JPH0283160A (ja) | ベルト材の研削装置 | |
| JP6744465B1 (ja) | 工具ホルダクリーナー | |
| JPH09174401A (ja) | ワ−クの面取・外周加工装置 | |
| TWM624422U (zh) | 具自動補償施壓復位之拋光設備 | |
| JP3002943B2 (ja) | クランプ装置 | |
| JP2857817B2 (ja) | ガラス基板角縁面研磨装置 | |
| JPH10118905A (ja) | 研磨機の供試体抑止装置 | |
| JPS58116994A (ja) | 溶接用クランプ治具 | |
| JP2002113648A (ja) | 磁気ディスク表面加工装置 | |
| CN218226073U (zh) | 一种用于光通讯配件外壳的抛光设备 | |
| CN211277976U (zh) | 一种用于磨床的夹紧装置 | |
| JP2958741B2 (ja) | ロールクリーニング装置 | |
| JPH11188594A (ja) | 金属管の内面研磨方法 | |
| JP2001157954A (ja) | パイプ端面のバリ取り仕上げ装置 | |
| JP2002028844A (ja) | テープ研磨装置 | |
| JPH0613823Y2 (ja) | 超仕上装置 | |
| JPH04200909A (ja) | 圧延機のロール研摩方法及びその装置 | |
| TW536446B (en) | Polishing device | |
| JPH07263386A (ja) | 半導体ウェーハの表面基準研磨装置 |