JP2611877B2 - 極薄金属板の超仕上研磨装置 - Google Patents
極薄金属板の超仕上研磨装置Info
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- JP2611877B2 JP2611877B2 JP3046207A JP4620791A JP2611877B2 JP 2611877 B2 JP2611877 B2 JP 2611877B2 JP 3046207 A JP3046207 A JP 3046207A JP 4620791 A JP4620791 A JP 4620791A JP 2611877 B2 JP2611877 B2 JP 2611877B2
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- thin metal
- polishing
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属箔状の極薄金属板
を回転研磨工具により鏡面状に超仕上研磨するための装
置に関するものである。ここで「超仕上研磨」とは、そ
の仕上面の最大粗さが0.03μm以下であって、研磨
条痕の認められない写像性の高い仕上面が得られる程度
の研磨をいう。また、「極薄金属板」とは、厚さが0.
1mm程度のステンレス薄板などのことをいう。
を回転研磨工具により鏡面状に超仕上研磨するための装
置に関するものである。ここで「超仕上研磨」とは、そ
の仕上面の最大粗さが0.03μm以下であって、研磨
条痕の認められない写像性の高い仕上面が得られる程度
の研磨をいう。また、「極薄金属板」とは、厚さが0.
1mm程度のステンレス薄板などのことをいう。
【0002】
【従来の技術】通常の厚さを有する金属板を仕上研磨す
るには、図8に示されるようにして行っている。即ち、
金属板W’の一方の端末部のみを挟着具41で挟着し
て、回転研磨工具42を矢印で示される方向(研磨工具
42の回転抵抗によって金属板W’に張力が生ずる方
向)に移動させて、その研磨を行っている。
るには、図8に示されるようにして行っている。即ち、
金属板W’の一方の端末部のみを挟着具41で挟着し
て、回転研磨工具42を矢印で示される方向(研磨工具
42の回転抵抗によって金属板W’に張力が生ずる方
向)に移動させて、その研磨を行っている。
【0003】一方、半導体部品などは、僅かの塵埃類の
存在も許されないスーパークリーンルームにおいて製造
されており、このスーパークリーンルームに設置される
ロボットのハンドなどの可動部は、これに付着している
ゴミ類が室内に落下しないように蛇腹で覆う必要がある
と共に、この蛇腹自体の内外周面にゴミ類が付着するの
を防ぎたい場合がある。このような場合には、蛇腹を金
属箔状の極薄金属板で構成すると同時に、この極薄金属
板の表裏両面を鏡面状に研磨仕上げすると、上記したこ
とを実現できる。しかし、板厚が0.1mm程度の金属
箔状の極薄金属板を上記した方法によって研磨すると、
研磨工具42の圧着時に生ずる回転抵抗が極薄金属板に
対して大き過ぎるため、研磨中にこの極薄金属板に「シ
ワ」或いは「ヤブレ」が生じて、研磨できない。
存在も許されないスーパークリーンルームにおいて製造
されており、このスーパークリーンルームに設置される
ロボットのハンドなどの可動部は、これに付着している
ゴミ類が室内に落下しないように蛇腹で覆う必要がある
と共に、この蛇腹自体の内外周面にゴミ類が付着するの
を防ぎたい場合がある。このような場合には、蛇腹を金
属箔状の極薄金属板で構成すると同時に、この極薄金属
板の表裏両面を鏡面状に研磨仕上げすると、上記したこ
とを実現できる。しかし、板厚が0.1mm程度の金属
箔状の極薄金属板を上記した方法によって研磨すると、
研磨工具42の圧着時に生ずる回転抵抗が極薄金属板に
対して大き過ぎるため、研磨中にこの極薄金属板に「シ
ワ」或いは「ヤブレ」が生じて、研磨できない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、研磨
台に対する金属箔状の極薄金属板の固定方法の工夫によ
って、「シワ」又は「ヤブレ」が生ずることなく、極薄
金属板の超仕上研磨を高精度で、しかも高能率で行える
ようにすることである。
台に対する金属箔状の極薄金属板の固定方法の工夫によ
って、「シワ」又は「ヤブレ」が生ずることなく、極薄
金属板の超仕上研磨を高精度で、しかも高能率で行える
ようにすることである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の採用した手段は、少なくとも一方が研磨台の
長手方向にスライド可能なように、該研磨台の長手方向
の両端部に配置されて、該研磨台に載置された極薄金属
板の両端末部を着脱可能に挟着するための一対の挟着装
置と、スライド可能な側の挟着装置に引張力を作用させ
て、両端末部が前記一対の挟着装置で挟着されている極
薄金属板に張力を付与するための張力付与装置とを備え
ていて、該張力付与装置によって張力が付与された状態
で研磨台に載置されている極薄金属板を回転研磨工具に
より研磨する構成の極薄金属板の超仕上研磨装置におい
て、前記研磨台の上面に弾性板を一体に取付けて、該研
磨台の長手方向の両端部を端面に向かって低くなるよう
な傾斜面に形成し、しかも前記一対の挟着装置の各挟着
部を研磨台の上面よりも低い位置に設けることにより、
研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って回転
研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与されるようにし
て、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張って、極薄
金属板を弾性板に密着させるように構成したことであ
る。
に本発明の採用した手段は、少なくとも一方が研磨台の
長手方向にスライド可能なように、該研磨台の長手方向
の両端部に配置されて、該研磨台に載置された極薄金属
板の両端末部を着脱可能に挟着するための一対の挟着装
置と、スライド可能な側の挟着装置に引張力を作用させ
て、両端末部が前記一対の挟着装置で挟着されている極
薄金属板に張力を付与するための張力付与装置とを備え
ていて、該張力付与装置によって張力が付与された状態
で研磨台に載置されている極薄金属板を回転研磨工具に
より研磨する構成の極薄金属板の超仕上研磨装置におい
て、前記研磨台の上面に弾性板を一体に取付けて、該研
磨台の長手方向の両端部を端面に向かって低くなるよう
な傾斜面に形成し、しかも前記一対の挟着装置の各挟着
部を研磨台の上面よりも低い位置に設けることにより、
研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って回転
研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与されるようにし
て、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張って、極薄
金属板を弾性板に密着させるように構成したことであ
る。
【0006】
【発明の作用】上記構成により、研磨台に載置されてい
る極薄金属板の全幅に亘って回転研磨工具の回転抵抗に
勝る張力が付与されるように、該極薄金属板の両端末部
が斜下方に引張られることにより、極薄金属板の全体が
弾性板に密着する。このため、極薄金属板は、その全幅
に亘って回転研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与さ
れ、しかも弾性板に密着して貼り付けられた状態で、回
転研磨工具により超仕上研磨されるので、「シワ」又は
「ヤブレ」が生じなくなって、高精度で、しかも高能率
な研磨ができる。
る極薄金属板の全幅に亘って回転研磨工具の回転抵抗に
勝る張力が付与されるように、該極薄金属板の両端末部
が斜下方に引張られることにより、極薄金属板の全体が
弾性板に密着する。このため、極薄金属板は、その全幅
に亘って回転研磨工具の回転抵抗に勝る張力が付与さ
れ、しかも弾性板に密着して貼り付けられた状態で、回
転研磨工具により超仕上研磨されるので、「シワ」又は
「ヤブレ」が生じなくなって、高精度で、しかも高能率
な研磨ができる。
【0007】
【実施例】図1ないし図3に、本発明に係る極薄金属板
の研磨装置が示されている。この研磨装置は、ベッド1
の中央部に設置された研磨台2と、この研磨台2の長手
方向Qの両端部分にそれぞれ設置される一対の挟着装置
A1,A2と、スライド可能に設置された挟着装置A1
に引張力を作用させて、両挟着装置A1,A2でその両
端末部が挟着されている極薄金属板Wに所定の張力を付
与せしめるための張力付与装置Bとを有している。研磨
台2の長手方向Qの両端部は緩やかにわん曲して、端面
に向かって低くなるような傾斜面となっていて、その上
面には、ウレタンゴムなどから成る弾性板3が取付けら
れている。研磨台2の長手方向Qの両端部に設置された
一対の挟着装置A1,A2のうち一方の装置A1は、研
磨台2の長手方向Qに沿ってスライド可能にベッド1に
設置され、他方の装置A2は、ベッド1に固定して設置
されているが、両装置A1,A2の構成は同一である。
の研磨装置が示されている。この研磨装置は、ベッド1
の中央部に設置された研磨台2と、この研磨台2の長手
方向Qの両端部分にそれぞれ設置される一対の挟着装置
A1,A2と、スライド可能に設置された挟着装置A1
に引張力を作用させて、両挟着装置A1,A2でその両
端末部が挟着されている極薄金属板Wに所定の張力を付
与せしめるための張力付与装置Bとを有している。研磨
台2の長手方向Qの両端部は緩やかにわん曲して、端面
に向かって低くなるような傾斜面となっていて、その上
面には、ウレタンゴムなどから成る弾性板3が取付けら
れている。研磨台2の長手方向Qの両端部に設置された
一対の挟着装置A1,A2のうち一方の装置A1は、研
磨台2の長手方向Qに沿ってスライド可能にベッド1に
設置され、他方の装置A2は、ベッド1に固定して設置
されているが、両装置A1,A2の構成は同一である。
【0008】図1ないし図5に詳細に示されるように、
挟着装置A1は、ベッド1に一対のガイド体4を介して
研磨台2の長手方向Qにスライド可能に設置された基板
5と、この基板5の上に配置される挟着板6とで構成さ
れる。基板5の先端部の上面には、傾斜した挟着面5a
が形成されており、挟着板6の先端部の下面には、前記
挟着面5aに対応する挟着面6aが傾斜して形成されて
いる。基板5における挟着板6の先端部であって、しか
もその両側の部分には、それぞれ支持体7が取付けられ
ている。挟着板6の先端部であって、しかもその両端の
部分が枢着ピン8を介してそれぞれ前記支持体7に枢着
されている。また、挟着板6の後端部分は、斜上方に立
上がった立上り部6bが形成され、この立上り部6bの
上端には水平部6cが後方に向かって形成され、この水
平部6cの両端部と、前記基板5との間の空間部に、そ
れぞれ圧縮スプリング9が弾装されている。よって、挟
着板6は、圧縮スプリング9の復元力により一対の枢着
ピン8を中心に回動して、その挟着面6aが基板5の挟
着面5aに対して圧着する方向に付勢されている。この
ため、挟着板6の水平部6cに力Pを作用させると、図
4で二点鎖線で示されるように、挟着板6が枢着ピン8
を中心にして時計方向に回動し、これにより基板5の挟
着面5aと、挟着板6の挟着面6aとの間に所定の隙間
が形成されて、この隙間に極薄金属板Wの端末部を挿入
し、その後に前記力Pを解除すると、圧縮スプリング9
の復元力によって、挟着板6が枢着ピン8を中心にして
反時計方向に回動するように付勢されて、基板5の挟着
面5aと、挟着板6の挟着面6aとの間で極薄金属板W
の端末部が挟着される。これらの挟着面5a,6aは、
研磨台2(或いは弾性板3)の上面よりも低い位置に設
けられている。挟着板6を回動させるための枢着ピン8
は、挟着面6aに近い部分に設けられているので、圧縮
スプリング9の復元力は拡大されて、挟着面6aの部分
に作用する。この結果、極薄金属板Wの端末部を挟着す
る力が大きくなる。挟着板6の幅は、挟着する極薄金属
板Wの幅よりも広くする必要がある。他方の挟着装置A
2は、固定ピン11を介してベッド1に固定されている
点を除き、上記挟着装置A1と同一構成である。
挟着装置A1は、ベッド1に一対のガイド体4を介して
研磨台2の長手方向Qにスライド可能に設置された基板
5と、この基板5の上に配置される挟着板6とで構成さ
れる。基板5の先端部の上面には、傾斜した挟着面5a
が形成されており、挟着板6の先端部の下面には、前記
挟着面5aに対応する挟着面6aが傾斜して形成されて
いる。基板5における挟着板6の先端部であって、しか
もその両側の部分には、それぞれ支持体7が取付けられ
ている。挟着板6の先端部であって、しかもその両端の
部分が枢着ピン8を介してそれぞれ前記支持体7に枢着
されている。また、挟着板6の後端部分は、斜上方に立
上がった立上り部6bが形成され、この立上り部6bの
上端には水平部6cが後方に向かって形成され、この水
平部6cの両端部と、前記基板5との間の空間部に、そ
れぞれ圧縮スプリング9が弾装されている。よって、挟
着板6は、圧縮スプリング9の復元力により一対の枢着
ピン8を中心に回動して、その挟着面6aが基板5の挟
着面5aに対して圧着する方向に付勢されている。この
ため、挟着板6の水平部6cに力Pを作用させると、図
4で二点鎖線で示されるように、挟着板6が枢着ピン8
を中心にして時計方向に回動し、これにより基板5の挟
着面5aと、挟着板6の挟着面6aとの間に所定の隙間
が形成されて、この隙間に極薄金属板Wの端末部を挿入
し、その後に前記力Pを解除すると、圧縮スプリング9
の復元力によって、挟着板6が枢着ピン8を中心にして
反時計方向に回動するように付勢されて、基板5の挟着
面5aと、挟着板6の挟着面6aとの間で極薄金属板W
の端末部が挟着される。これらの挟着面5a,6aは、
研磨台2(或いは弾性板3)の上面よりも低い位置に設
けられている。挟着板6を回動させるための枢着ピン8
は、挟着面6aに近い部分に設けられているので、圧縮
スプリング9の復元力は拡大されて、挟着面6aの部分
に作用する。この結果、極薄金属板Wの端末部を挟着す
る力が大きくなる。挟着板6の幅は、挟着する極薄金属
板Wの幅よりも広くする必要がある。他方の挟着装置A
2は、固定ピン11を介してベッド1に固定されている
点を除き、上記挟着装置A1と同一構成である。
【0009】次に、張力付与装置Bについて説明する。
挟着装置A1を構成している基板5の後端部の中央にブ
ロック体12が固着され、このブロック体12にねじ棒
13の先端部が固着されて、このねじ棒13は、ベッド
1の側板1aを貫通して外部に水平に突出しており、側
板1aの外側に設けられた軸受14によりねじ棒13は
支持されている。ねじ棒13のベッド1の側板1aから
突出した部分に雄ねじ部13aが設けられ、ハンドル1
5に固設された雌ねじ体16と、ねじ棒13の雄ねじ部
13aとが螺合され、この雌ねじ体16と前記軸受14
との間に圧縮スプリング17が弾装されている。このた
め、ハンドル15を所定方向に回転させて、圧縮スプリ
ング17を更に圧縮させると、スライド可能な挟着装置
A1に引張力が作用して、両端末部が一対の挟着装置A
1,A2で挟着されている極薄金属板Wに所定の張力が
全幅にわたって加えられる。また、ハンドル15の回転
量を調整して、圧縮スプリング17の圧縮量を調整する
と、極薄金属板Wに加えられる張力の調整を行える。
挟着装置A1を構成している基板5の後端部の中央にブ
ロック体12が固着され、このブロック体12にねじ棒
13の先端部が固着されて、このねじ棒13は、ベッド
1の側板1aを貫通して外部に水平に突出しており、側
板1aの外側に設けられた軸受14によりねじ棒13は
支持されている。ねじ棒13のベッド1の側板1aから
突出した部分に雄ねじ部13aが設けられ、ハンドル1
5に固設された雌ねじ体16と、ねじ棒13の雄ねじ部
13aとが螺合され、この雌ねじ体16と前記軸受14
との間に圧縮スプリング17が弾装されている。このた
め、ハンドル15を所定方向に回転させて、圧縮スプリ
ング17を更に圧縮させると、スライド可能な挟着装置
A1に引張力が作用して、両端末部が一対の挟着装置A
1,A2で挟着されている極薄金属板Wに所定の張力が
全幅にわたって加えられる。また、ハンドル15の回転
量を調整して、圧縮スプリング17の圧縮量を調整する
と、極薄金属板Wに加えられる張力の調整を行える。
【0010】研磨作業に先立って研磨台2に極薄金属板
Wをセッティングするには、図4に示されるように、挟
着板6の水平部6cに力Pを加えて、この挟着板6の挟
着面6aを基板5の挟着面5aから離し、両挟着面5
a,6aの間に形成される隙間に極薄金属板Wの端末部
を挿入し、その後に力Pを解除すると、圧縮スプリング
9の復元力により、両挟着面5a,6aの間で極薄金属
板Wの端末部が挟着される。極薄金属板Wの他方の端末
部も、全く同様にして挟着すると、その両端末部が一対
の挟着装置A1,A2で挟着される。次に、ハンドル1
5を回転させて、張力付与装置Bの圧縮スプリング17
の圧縮量を増すと、スライド可能な挟着装置A1に引張
力が作用して、一対の挟着装置A1.A2で挟着されて
いる極薄金属板Wの両端末部が斜め下方に引張られて、
この極薄金属板Wに所定の張力が加えられると共に、こ
の張力により極薄金属板Wが、研磨台2に取付けられた
弾性板3に密着する。極薄金属板Wに加えられる張力
は、回転研磨工具を極薄金属板Wに圧着させて研磨する
際に生ずる回転抵抗よりも大きくする必要がある。
Wをセッティングするには、図4に示されるように、挟
着板6の水平部6cに力Pを加えて、この挟着板6の挟
着面6aを基板5の挟着面5aから離し、両挟着面5
a,6aの間に形成される隙間に極薄金属板Wの端末部
を挿入し、その後に力Pを解除すると、圧縮スプリング
9の復元力により、両挟着面5a,6aの間で極薄金属
板Wの端末部が挟着される。極薄金属板Wの他方の端末
部も、全く同様にして挟着すると、その両端末部が一対
の挟着装置A1,A2で挟着される。次に、ハンドル1
5を回転させて、張力付与装置Bの圧縮スプリング17
の圧縮量を増すと、スライド可能な挟着装置A1に引張
力が作用して、一対の挟着装置A1.A2で挟着されて
いる極薄金属板Wの両端末部が斜め下方に引張られて、
この極薄金属板Wに所定の張力が加えられると共に、こ
の張力により極薄金属板Wが、研磨台2に取付けられた
弾性板3に密着する。極薄金属板Wに加えられる張力
は、回転研磨工具を極薄金属板Wに圧着させて研磨する
際に生ずる回転抵抗よりも大きくする必要がある。
【0011】張力付与装置Bによって張力が加えられて
いる極薄金属板Wを回転研磨工具18により研磨する
と、極薄金属板Wに回転研磨工具18の回転抵抗よりも
大きな張力が全幅にわたって加えられて、極薄金属板W
の全体が弾性板3に密着して貼り付けられた状態となっ
ているために、「シワ」,「ヤブレ」などが全く生じる
ことなく、極薄金属板Wを支障なく研磨できる。研磨方
向は、張力方向の場合(図6参照)と、張力と直交する
方向の場合(図7参照)とがあり、いずれの場合でも研
磨可能である。また、極薄金属板Wを両面研磨する場合
には、一面の研磨後において極薄金属板Wを反転させ
て、セッティングし直して他面を研磨すればよい。
いる極薄金属板Wを回転研磨工具18により研磨する
と、極薄金属板Wに回転研磨工具18の回転抵抗よりも
大きな張力が全幅にわたって加えられて、極薄金属板W
の全体が弾性板3に密着して貼り付けられた状態となっ
ているために、「シワ」,「ヤブレ」などが全く生じる
ことなく、極薄金属板Wを支障なく研磨できる。研磨方
向は、張力方向の場合(図6参照)と、張力と直交する
方向の場合(図7参照)とがあり、いずれの場合でも研
磨可能である。また、極薄金属板Wを両面研磨する場合
には、一面の研磨後において極薄金属板Wを反転させ
て、セッティングし直して他面を研磨すればよい。
【0012】また、一対の挟着装置の双方を研磨台の長
手方向にスライド可能な構成にしてもよく、挟着装置及
び張力付与装置の構成も上記実施例のものに限定されな
い。
手方向にスライド可能な構成にしてもよく、挟着装置及
び張力付与装置の構成も上記実施例のものに限定されな
い。
【0013】
【発明の効果】本発明は、研磨台の上面に弾性板を一体
に取付けて、該研磨台の長手方向の両端部を端面に向か
って低くなるような傾斜面に形成し、しかも一対の挟着
装置の各挟着部を研磨台の上面よりも低い位置に設け
て、研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って
回転研磨工具の回転抵抗よりも大きな張力が加えられた
状態にして、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張る
ことにより、極薄金属板を弾性板に密着させるように構
成されているので、極薄金属板は、弾性板に密着して貼
り付けられた状態で、回転研磨工具により超仕上研磨さ
れるため、「シワ」又は「ヤブレ」が生じなくなって、
高精度で、しかも高能率な研磨ができる。
に取付けて、該研磨台の長手方向の両端部を端面に向か
って低くなるような傾斜面に形成し、しかも一対の挟着
装置の各挟着部を研磨台の上面よりも低い位置に設け
て、研磨台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って
回転研磨工具の回転抵抗よりも大きな張力が加えられた
状態にして、該極薄金属板の両端末部を斜下方に引張る
ことにより、極薄金属板を弾性板に密着させるように構
成されているので、極薄金属板は、弾性板に密着して貼
り付けられた状態で、回転研磨工具により超仕上研磨さ
れるため、「シワ」又は「ヤブレ」が生じなくなって、
高精度で、しかも高能率な研磨ができる。
【図1】本発明に係る極薄金属板の研磨装置の平面図で
ある。
ある。
【図2】本発明に係る極薄金属板の研磨装置の中央断面
側面図である。
側面図である。
【図3】本発明に係る極薄金属板の研磨装置の正面図で
ある。
ある。
【図4】挟着装置A1の拡大断面図である。
【図5】挟着装置A1,A2を構成している基板5と挟
着板6とを分離させた図である。
着板6とを分離させた図である。
【図6】極薄金属板Wの研磨方向を示す図である。
【図7】極薄金属板Wの他の研磨方向を示す図である。
【図8】通常の厚さの金属板W’を従来方法により固定
して研磨している状態の図である。
して研磨している状態の図である。
A1.A2:挟着装置 B:張力付与装置 Q:研磨台の長手方向 W:極薄金属板 2:研磨台 3:弾性板 5:挟着装置の基板 5a:基板の挟着面(挟着部) 6:挟着装置の挟着板 6a:挟着板の挟着面(挟着部)
Claims (1)
- 【請求項1】 少なくとも一方が研磨台の長手方向にス
ライド可能なように、該研磨台の長手方向の両端部に配
置されて、該研磨台に載置された極薄金属板の両端末部
を着脱可能に挟着するための一対の挟着装置と、スライ
ド可能な側の挟着装置に引張力を作用させて、両端末部
が前記一対の挟着装置で挟着されている極薄金属板に張
力を付与するための張力付与装置とを備えていて、該張
力付与装置によって張力が付与された状態で研磨台に載
置されている極薄金属板を回転研磨工具により研磨する
構成の極薄金属板の超仕上研磨装置であって、 前記研磨台の上面に弾性板を一体に取付けて、該研磨台
の長手方向の両端部を端面に向かって低くなるような傾
斜面に形成し、しかも前記一対の挟着装置の各挟着部を
研磨台の上面よりも低い位置に設けることにより、研磨
台に載置されている極薄金属板の全幅に亘って回転研磨
工具の回転抵抗に勝る張力が付与されるようにして、該
極薄金属板の両端末部を斜下方に引張って、極薄金属板
を弾性板に密着させるように構成したことを特徴とする
極薄金属板の超仕上研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3046207A JP2611877B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 極薄金属板の超仕上研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3046207A JP2611877B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 極薄金属板の超仕上研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04269163A JPH04269163A (ja) | 1992-09-25 |
JP2611877B2 true JP2611877B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=12740641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3046207A Expired - Lifetime JP2611877B2 (ja) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 極薄金属板の超仕上研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2611877B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107378772A (zh) * | 2017-09-01 | 2017-11-24 | 广东利迅达机器人***股份有限公司 | 一种保温壶耳扣打磨夹具 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5416076A (en) * | 1978-07-28 | 1979-02-06 | Aisin Seiki Co Ltd | Multiple brake system of vehicle |
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1991
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CN107378772B (zh) * | 2017-09-01 | 2019-03-19 | 广东利迅达机器人***股份有限公司 | 一种保温壶耳扣打磨夹具 |
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Publication number | Publication date |
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JPH04269163A (ja) | 1992-09-25 |
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