JP2552197B2 - 自動露光装置および投入ステージ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特にプリント基板などのワークとマスクフ
イルムとの自動的な位置合わせを露光ステージ以外で実
施し、しかもワークの移動を効率的に行うようにした自
動露光装置およびこの自動露光装置を実現するのに有用
な投入ステージに関するものである。

〔従来の技術〕

本出願人が先に提案した自動整合装置を備えた自動露
光装置（詳細は特開平１−302259号を参照）において
は、画像形成作業の量産性を高めるため、露光ステージ
以外の場所、すなわち後述する位置合わせステージで予
めワークとマスクフイルムの自動整合を行ったのち、ワ
ークを露光ステージに搬入するようにしており、前記の
自動整合には画像認識および図形処理の手法を導入して
いる。

この自動露光装置を、第８図および第９図を参照して
説明すると、図中の符号１は自動整合装置を備えた位置
合わせステージ、２は露光ステージ、３は前工程から搬
入されたワーク11を位置合わせステージ１に供給する投
入ストッカー、36は露光ステージ２から搬入されたワー
ク11を後工程に排出する排出ストッカー、５はワーク11
を投入ストッカー３から位置合わせステージのアライメ
ントテーブル６上に搬送する投入ハンドラー、32は前記
アライメントテーブル６上で位置合わせを終えたワーク
11を露光ステージの下焼枠ガラス33上に搬送するトラバ
ーサー、37は露光を完了したワーク11を露光ステージ２
から搬出ストッカー36に搬送する搬出ハンドラーであっ
て、各ハンドラー5,37およびトラバーサー32は一体的に
連結されて隣り合う２つのステージの間を同時に往復す
るようになっている。

投入ストッカー３は未露光のワーク11を多数枚積み重
ねて格納するもので、投入ハンドラー５が最上段のワー
ク11を順次、吸着保持してアライメントテーブル６上に
一枚ずつ載置するようになっている。なお、ワーク11が
投入ストッカー３に格納されている態様は、投入ストッ
カー３のセンタ位置に特別に位置決めされているもので
はない。

なお、図中の符号38は下焼枠ガラス33の表面の固着さ
れているマスクフイルム、15は真空吸着用の吸引ポンプ
である。

次に、位置合わせステージにおけるワークの位置決め
方法を説明する。

説明に先立って、位置合わせステージの各部の構成に
ついて説明すると、アライメントテーブル６は第９図に
示すように、モータドライブ機構８および支持ロッド９
を介してアライメントテーブル６を位置合わせステージ
の前後方向（ワークの搬送方向）に移動させるＸ軸駆動
機能９、左右方向（搬送方向に直交する方向）に移動さ
せるＹ軸駆動機構および支持ロッド９をその中心軸線の
周りに回転させるθ回転駆動機構21等によって構成され
ており、前記モータドライブ機構８はベース７の上部に
配置されている。

アライメントテーブル６は支持ロッド９の上端に固定
した下板10と、この下板10の上方に適宜離隔して取り付
けた上板12等からなり、この下板10と上板12の対向位置
には、可能な限り広範囲な領域、特にテーブルの周縁か
ら支持ロッド９の中心に向う広範囲な領域に透明窓17,1
8を設けている。

更に、前記ベース７には、位置調整機構22,23を介し
て整合マーク認識用のカメラ24,25が取り付けられてお
り、このカメラ位置調整機構22,23は、各カメラ24,25を
位置合わせステージの前後方向に移動させるＸ軸駆動機
構26、左右方向に移動させるＹ軸駆動機構27および高さ
方向に移動させるＺ軸駆動機構28等によって構成されて
いる。

ワーク11を位置決めするには、先ず、予備作業として
マスクフイルム（図示せず）をアライメントテーブル６
の上部に載置する。

次に、マスクフイルムに附加されている２個以上の整
合マークを受像できるように、カメラ位置調整機構22,2
3を作動させてカメラ24,25で読み取る。

カメラ24,25が読み取った受像領域内の整合マークの
位置信号と、カメラ位置調整機構22,23から送られたカ
メラの移動位置信号は整合マーク割り出し装置29に入力
し、ここで整合マークの位置の割り出しが行われ、割り
出した位置信号は比較判定装置30に記憶される。

整合マークの位置の割り出しが終了したマスクフイル
ムは、トラバーサ32によって、露光ステージの下焼枠ガ
ラス33上に搬送され、ここでテープ等の手段で下焼枠ガ
ラス33に固定される。従って、下焼枠ガラス33に固定さ
れたマスクフイルム38の整合マークの位置と、アライメ
ントテーブル６上で計測されたマスクフイルム38の整合
マークの位置は対応一致することになる。

次に、投入ハンドラー５が投入ストッカー３から最上
段のワークを吸着保持して位置合わせステージに搬送
し、アライメントテーブル６上に載置する。そして、載
置されたワーク11は吸引作用によってアライメントテー
ブル６上に吸着固定される。

ここで、カメラ24,25を移動させてワーク11に付加し
た整合マークの位置を読み取ると、整合マーク位置割り
出し装置29がその位置を割り出し、割り出した位置信号
は、比較判定装置30に送られて、予め記憶された位置信
号と比較される。

ここで、駆動制御装置31が作動して、前記した２つの
位置信号が一致するまでモータードライブ機構８を駆動
し、アライメントテーブル６を移動させる。

この位置決め操作によって、アライメントテーブル６
上のワークの整合マークと、下焼枠ガラス板33上のマス
クフイルムの整合マークが対応一致することになる。

次いで、トラバーサー32がアライメントテーブル６上
のワークを吸着保持して露光ステージ２に搬送し、下焼
枠ガラス上のマスクフイルム38に添着すると露光が行わ
れ、その後、ワークは排出ストッカー36に搬送される。

以上に、ワークの処理手順を説明したが、位置合わせ
ステージにおいて、ワークの位置合わせ作業が進行中、
露光ステージにおいては、先行するワークに対する露光
作業が行われており、各ステージの作業が終了すると、
各ハンドラー5,37およびトラバーサー32が一斉に作動す
るようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前記の自動露光装置には、次に述べるような
問題点があった。

（１）投入ストッカー３は、特別にワークをその中心部
に位置決めする機能を有していないため、投入ストッカ
ーから順次、送られてくるワークの位置合わせを行う度
ごとにアライメントテーブルの移動量が変化し、位置合
わせの所要時間が不同となる。

従って、露光装置を自動運転する際は、アライメント
テーブルの移動量が最大になる場合の位置合わせ時間を
考慮して搬送装置の運転時間間隔を設定する必要があ
り、露光作業の量産性を充分に高めることができない。

（２）ワーク保持機構としての投入ハンドラーと、トラ
バーサーおよび搬出ハンドラーは、いずれも多数のゴム
パット（頂部に吸引口を有する吊鐘状のゴム製の吸着
具）を装備しているが、多数のゴムパットの吸着力を一
様に揃えることが困難なため、ワークを吸着する際およ
び減圧を解除してワークを離間させる際にワークの位置
ずれを生じ、位置合わせの精度が低下する。

（３）露光装置が取り扱うワークのサイズが一定でない
ため、例えば搬送装置のワーク保持機構が小サイズのワ
ークを吸着した際、余分の吸着孔から多量の空気を吸込
むために吸着力が減少し、そのため搬送中にワークが落
下することがある。

本発明は前記の問題点を鑑み、位置合わせステージに
おけるワークの位置決め操作の時間を短縮すると共に、
サイズの異なるワークに対するワーク保持機構の吸着機
能を改善し、更にワークの位置ずれを防止できる自動露
光装置および投入ステージを提供することを課題とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

前記の課題を達成するため、本発明では次の２通りの
手段を構成した。

（１）搬入されたワークを、その中心がローラーテーブ
ルの中心にくるようにワークを自動的に位置決めする投
入ステージと、 前記投入ステージから搬送手段を介して搬入されたワ
ークをアライメントテーブル上に受け取り、前記ワーク
を露光位置に搬入したときにワークが所定位置に到達す
るように前記アライメントテーブルを移動させてワーク
を自動的に位置合わせする位置合わせステージと、 前記位置合わせステージから前記搬送手段を介して搬
入されたワークを下焼枠ガラス上に固定したマスクフィ
ルムに密着させて露光を行う露光ステージと、 前記露光ステージから前記搬送手段を介して搬入され
たワークを後工程に搬出する排出ステージとを備え、 前記発送手段は隣り合う２つのステージの間を同時に
往復してワークを搬送する３組のワーク保持機構を有し
ていて、前記位置合わせステージと露光ステージの間を
往復するワーク保持機構が下面に多数の空気吸着孔を設
けた上焼枠兼用の吸着箱としてつくられており、 更に、前記吸着箱の内部は、その中心部に位置する内
側の減圧室と、その外側を取り囲む外側の減圧室とに分
割されていて、各減圧室がワークのサイズに対応して選
択的に吸着作動するように構成されており、 前記投入ステージは多数の搬入ローラを水平に配置し
てなる長方形のローラーテーブルと、常時は、前記ロー
ラーテーブルの前後、左右の各周辺部の下方に２組づつ
相対して配置されていて、ワークを位置決めする際は、
先端部を前記搬入ローラーの上方に突出された状態でロ
ーラーテーブルの中心に向って移動する４組のロケート
ピンとを有していることを特徴とする自動露光装置。

（２）多数の搬入ローラを水平に配置してなる長方形の
ローラーテーブルと、前記ローラーテーブルの前後、左
右の各周辺部の下方に２組づつ相対して昇降可能に且つ
前記ローラーテーブルの中心に向って水平移動可能に配
置した４組のロケートと、 各ロケートの上部に揺動可能に取り付けられ且つ揺動
側の各端部にロケートピンを立設した一対のロケートピ
ン取付台と、 各ロケートピン取付台の揺動端側をローラーテーブル
の中心側に押圧するように前記ロケートに取り付けた圧
縮スプリングとを備え、 各ワークを位置決めする際は、各ロケートピンの先端
部が前記搬入ローラの上方に突出し且つローラーテーブ
ルの中心に向って移動するように各ロケートを駆動する
ことを特徴とする投入ステージ。

〔作用〕

（１）投入ステージに搬入された各種サイズのワーク
は、その中心がすべてローラーテーブルの中心にくるよ
うに自動的位置決めされるので、ワークを投入ステージ
から位置合わせステージに搬送したとき、ワークは、す
べてアライメントテーブルの中心部に載置される。

従って、アライメントテーブルの移動量を最小限に抑
制することが可能になり、位置合わせの操作時間を短縮
することができる。

（２）アライメントテーブルの中心部に位置決めされた
小サイズのワークは、ワーク保持機構の中心部に位置す
る内側の減圧室を利用して吸着され、また大サイズのワ
ークは内側の減圧室と外側の減圧室を併用することによ
って吸着される。

従って、無駄な空気の吸引による吸着力の減少を招く
ことがなく、搬送注のワークの落下を防止することがで
きる。

（３）位置合わせステージと露光ステージを往復するワ
ーク保持機構は、底面に多数の吸着孔を設けた上焼枠兼
用の吸着箱としてつくられているので、露光時、ワーク
をマスクフィルムに添着する際、ワークを吸着したまま
でよく、従来のようにワークの吸着を解除する必要がな
いので、ワークの位置ずれを防止することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の自動露光装置および投入ステージの実
施例を図面を参照して説明する。この実施例における自
動露光装置の主要部は搬入されたワークを第４図に示す
ローラーテーブル100の中心部に位置決めする投入ステ
ージ105と、第９図に示す従来の位置合わせステージ１
と同じ構成を有する位置合わせステージ、すなわち、前
記投入ステージ105から第２図に示す搬送手段を介して
搬入されたワークをアラインメントテーブル６上に受け
取り、受け取ったワークを露光位置に搬送したときにワ
ークが所定位置に到達するように、前記アラインメント
テーブル６を移動させてワークを自動的に位置合わせす
る位置合わせステージと、第８図に示す従来の露光ステ
ージ２と同じ構成を有する露光ステージ、すなわち前記
位置合わせステージから第２図に示す搬送手段を介して
搬入されたワークを第８図に示す焼枠ガラス33上に固定
したマスクフィルム38に密着させて露光を行う露光ステ
ージと、第８図に示す従来の排出ストッカーと同じ構成
を有する排出ステージ、すなわち前記露光ステージから
第２図に示す搬送手段を介して搬送されたワークを後工
程に排出する排出ステージ等によって構成されており、
これ等のステージは第８図と同様に一列に配列されてい
る。

前記を要約すると、本発明を構成する４つのステージ
と搬送手段のうち、搬送手段と投入ステージは新規であ
り、それ以外の位置合わせステージ、露光ステージおよ
び排出ステージは従来技術と同一である。

従って、従来技術と同一のステージについては、必要
に応じて第８図、第９図および図面に記載した符号を流
用して説明する程度に止め、ステージ自体の詳細な説明
を省略する。

第１図、第２図および第３図は、搬送手段の切断平面
図、切断側面図および斜視図を示すもので、この搬送手
段の主要部は第２図に示すように、内部に中央のワーク
保持機構102を昇降可能に収容した箱状のトラバーザー3
2と、取付板47a,47bを介して前記トラバーサー32の前、
後壁に突設した前、後側の梁部材48,59と、各梁部材48,
59に取り付けた前、後束のワーク保持機構103,104等に
よって構成されており、前記トラバーサー32は第３図に
示すように、左右側の脚部材32b,32aを介してレール69,
68上を走行するようになっている。

なお、第３図中の符号70は車輪、72はパルスモータ、
73はタイミングベルト、71は脚部材32aをタイミングベ
ルト73に連結する連結板であり、前記パルスモータ72を
正逆方向に回転させると、トラバーサー32がレール68,6
9上を往復動作するようになっている。

中央のワーク保持機構102は第２図に示すように底面
に多数の吸着孔45a,45bを設けた吸着箱110と、この吸着
箱110の天井板43に立設した棒部材42,42aと、この棒部
材42,42aを介して吸着箱110を昇降駆動するシリンダ41,
41aと、前記棒部材42,42aに摺動自在に嵌合する案内板3
9と、ワーク保持機構の上下一を微細に調節するねじ機
構40等によって構成されている。なお、案内板39は図示
しない取付手段を介してトラバーサー32の内側に固定さ
れており、前記ねじ機構40の基部は案内板39に固定され
ている。

吸着箱110の内部は第１図に示すように中央部に位置
する内側の減圧室44bと、その外側を取り囲む外側の減
圧室44aとに分割されており、各減圧室44a,44bの天井板
43には、第２図に示すように空気吸引口46a,24bが開口
している。そして、この吸引口は図示していない吸気管
および開閉バルブを介して真空容器に接続していて、前
記開閉バルブを適宜に開閉操作すると、各減圧室44a,44
bが選択的に吸着作動するようになっている。

前側のワーク保持機構103は第１図および第２図に示
すように、下面に多数の吸着孔（図示せず）を設けた中
空の吸着箱53と、この吸着箱53を昇降駆動する主シリン
ダ50、補助バー51,52等からなり、この吸着箱53は空気
吸引口54に接続した空気吸入管および図示しない減圧調
整弁を通してその内部が減圧されるようになっている。
なお、図中の符号49aは主シリンダ50を取付けた支持板
である。

前記の梁部材48の先端部および基部には、取付板57,5
8を介して一対の照明具55および56が取り付けられてお
り、各照明具55,56は各取付板57,58に設けた移動用溝57
a,58aに沿って移動することができ、更に蝶ねじ57b,58b
によって取付板57,58に固定されるようになっている。

後側のワーク保持機構104は、前側のワーク保持機構1
03とほぼ同構造であるが、吸着箱を１個設ける代わりに
左右一対からなる２つの吸着箱61a,61bを設け、更に各
吸着箱61a,61bを取付板60に設けた移動用溝60a,60bに沿
って移動できるようにした点が相違しており、この吸着
機構によると、露光後、片側の吸着箱61a又は61bを用い
て、マスクフィルムに密着したワークの一側を吸着し且
つ持ち上げることによって、マスクフィルムに傷を与え
ることなく、ワークをマスクフィルムから離間させるこ
とができる。

なお、図中の65は主シリンダ、66a,66bは補助バー、6
4は取付板、66は空気吸引口、66c,66dは蝶ねじである。

次に、投入ステージ105の実施例を第４図ないし第７
図を参照して説明する。第４図および第５図は投入ステ
ージ105の斜視図および平面図、第６図はロケートピン
の昇降駆動装置および走行駆動装置の立面図、第７図は
ロケートおよびロケートピン取付台を取り付けたロケー
トの平面図であって、この投入ステージ105の主要部は
第４図に示すように、ケーシング74の上部に設けた長方
形のローラーテーブル100と、第５図に示すように、こ
のローラーテーブルの前後、左右の各周辺部の下方に相
対して配置した４組のロケート82a,82b,82c,82dと、第
７図に示す要領で各ロケートの上部に、例えば82bの上
部にピン92a′92b′を介して揺動自在に取り付けてなる
合計４対のロケートピン取付台92a,92b;…；…と、各対
のロケートピン取付台92a,92b;…；…の揺動端に立設し
た合計４組のロケートピン82a′,82a″;82b′,82b″;82
c′,82c″;82d′,82d″（第５図参照）と、この４組の
ロケートピン82a′82a″；…；…を第６図に示す要領で
昇降駆動し、各ロケートピンの先端部を後述する搬入ロ
ーラ80の上方に突出または下方に下降させる４組の昇降
駆動装置108と、４組のロケート82a,82b,82c,82dをロー
ラーテーブルの中心81に向かって近接または離間するよ
うに移動させる２組の走行駆動装置107等によって構成
されている。

次に各部の構成について詳述すると、ローラーテーブ
ル100は第５図に示すように、支え板90を介して同一平
面内に且つワークの搬入方向（矢印79）に沿って３列に
配列した多数の搬入ローラ80,…によって構成されてお
り、ローラーテーブル100の入口側には受取りローラ89
が配置されている。

なお、第５図における符号83,91はローラーテーブル
上へのワークの搬入を検出して電気信号を発生させるＸ
軸用およびＹ軸用のセンサ、76は操作盤、78は非常停止
ボタンを示し、また第４図における符号77は走行駆動装
置107を駆動するモータ85,87（第６図参照）の速度調整
用ボタン、75は据付足である。

各昇降駆動装置108は第６図に示すように、各ロケー
ト、例えば82aの下部に取り付けた２本の棒部材109,109
と、この棒部材109,109を介してロケート82aを昇降駆動
する主シリンダ99および補助シリンダ96,96等からな
り、前記補助シリンダ96,96は支持部材106に固定されて
いる。

走行駆動装置107は第５図および第６図に示すよう
に、ローラーテーブル100の下方にあって、このローラ
ーテーブルを前後方向（ワークの搬入方向）および左右
方向（搬入方向に直交する方向）に横断する２組の無端
のタイミングベルト84,84′と、図示しない駆動輪を介
して各タイミングベルト84,84′を循回駆動する２台の
モータ85,87と、各ロケートと支持部106の一端に固着し
てあってガイドレール84cに摺動自在に嵌合するガイド
部材84bと、前記支持部材106の他端を走行自在に支持す
るキャスタ97と、各ロケートの走行位置を検出するセン
サ98と、各ガイド部材84bをタイミングベルト84,87の下
側又は上側（第６図では下側に連結している）に連結す
る連結具84a等によって構成されており、前記駆動輪は
支持金具84dに回転自在に支持されている。

なお、第６図に示すタイミングベルト84の反対側の端
部には、ここには図示していないが、第６図と同じ要領
で反対側のロケート82bを走行駆動するための連結具84a
およびガイド部材84bが配置されていて、その連結具84a
はタイミングベルト84の上側に連結されている。

従って、２台のモータ85,87が或る方向に回転させて
２組のタイミングベルト84,84′を循回動作させると、
ローラーテーブル100の周辺部に位置していた４組のロ
ケートが、ロケートピンと共にローラーテーブルの中心
に向かって移動し、またモータ85,87を反対方向に回転
させると、ローラーテーブルの中心部に位置していた４
組のロケートが、ロケートピンと共にローラーテーブル
の周辺部に向かって移動する。

ロケートの移動速度はモータ85,87の回転速度を調整
することによって調整できるので、厚みの薄い歪みやす
いワークを位置決めする際に、ロケートの移動速度を低
下させるとワークの歪みを防止できるので好都合であ
る。

次に、ロケートピン取付台について第７図を参照して
詳述する。各対のロケートピン取付台、例えば92a,92b
はすでに述べたように、ピン92a′,92b′を介してロケ
ート82bの中央部の上部に揺動可能に支持されている
が、揺動側の端部には、ロケートピン取付台をローラー
テーブルの中心側に押圧する圧縮スプリング93a,93bが
配置されていて、この圧縮スプリングの圧縮力はロケー
ト82bの支持した調整ねじ94a,94bを操作することによっ
て変更できるようになっている。

この構造によると、隣合うロケートピン82a′,82a″
がワークの縁部に伸縮自在に当接するので、ワークの形
状が歪んでいて、例えばワークの一隅の直角度が不充分
な場合でも、ロケートピンが片当りしてワークの縁部を
歪めることがなく、また位置決め後のワークの中心がロ
ーラーテーブルの中心から大きくずれることがない。

なお、第７図における符号95a,95bはロケートピン取
付台92a,92の動きを規制するストッパである。

次に、この自動露光装置および投入ステージの取扱要
領および作動について説明する。

ワークが投入ステージのローラーテーブル100上に搬
入されてワークの先端がＸ軸用センサ83およびＹ軸用セ
ンサ91の上方を通過すると、このセンサ83,91がワーク
の搬入を検出して電気信号を発生させる。

そして、センサ83が発生させた電気信号によって搬送
ローラ80は、その回転が停止し、ローラーテーブルの前
後方向（Ｘ軸方向）に位置する２組のロケート82a,82b
は、主補シリンダ99,96の伸長動作によって上昇すると
共に、タイミングベルト84の循回動作によってローラー
テーブルの中心側に移動する。

前記の動作により、ロケートピン82a′,82a″;82b′,
82b″はその先端部を搬入ローラ80の上方に突出させて
ワークの前縁および後縁を押圧し、ワークをローラーテ
ーブルの中心部に移動させる。

またセンサ91が発生させた電気信号によってローラー
テーブルの左右方向（Ｙ軸方向）に位置する２組のロケ
ート82c,82dは、主補シリンダ99,96の伸長動作によって
上昇すると共に、タイミングベルト84′の循回動作によ
ってローラーテーブルの中心側に移動する。

前記の動作により、ロケートピン82c′,82c″;82d′,
82d″はその先端部を搬入ローラの上部に突出させてワ
ークの左右の側縁を押圧し、ワークをローラーテーブル
の中心部に移動させる。

かくして、ワークの中心がローラーテーブルの中心81
に一致すると、各ロケートの走行位置を検出するセンサ
98,…が電気信号を発生させる。

そして、この電気信号によって、タイミングベルト8
4,84′は停止し、すべての主補シリンダ99,96は短縮し
てすべてのロケートピンの先端部を搬入ローラ８の下方
に退避させる。

以上に投入ステージの位置決めの操作を説明したが、
この投入ステージでは、４組のロケートピンがローラー
テーブルの中心に向かって移動するので、ワークのサイ
ズの大小に係わることなく、ワークをローラーテーブル
の中心部に位置決めすることができる。

位置決め操作中、各ロケートピンは圧縮スプリング93
a,93bの作用によって伸縮自在にワークの縁部に当接し
ているので、歪んだ形状のワークについても、支障なく
位置決めを行うことができる。

次に、搬送手段の前側のワーク保持機構103がワーク
を吸着してワークを位置合わせステージ１に搬送し、ワ
ークをアラインメントテーブル６上に載置する。ここ
で、アラインメントテーブル６が移動し、ワークに付設
した整合マークが露光ステージにあるマスクフィルムの
製造マークに対応一致すると、アラインメントテーブル
は停止する。

以上の位置合わせ操作において、ワークは常にアライ
ンメントテーブル６の中心部に搬入されるので、アライ
ンメントテーブル６の移動量が少なくて済み、位置合わ
せの操作時間が短縮される。

次に、搬送手段の中央のワーク保持機構102がワーク
を吸着して露光ステージ２に搬送し、下焼枠ガラス33上
の固定したマスクフィルム38の上部にワークを載置す
る。

この際、中央のワーク保持機構102は中心部に位置す
る内側の減圧室44bと、これを取り囲む外側の減圧室44a
に分割されており、またワークはアラインメントテーブ
ルの中心部に近い位置に位置決めさているので、ワーク
のサイズが小さくてもワークを確実に吸着することが可
能になり、搬送中にワークを落下させるおそれがない。

また、各ワーク保持機構の吸着箱は、いずれも下面に
多数の吸着孔を設けてあって各吸着孔の吸着力が一様で
あるため、ワークを吸着する際、および離間させる際に
位置ずれを生じにくいが、特に、中央のワーク保持機構
102は上焼枠を兼用しているので、露光時、ワークを吸
着したままでよく、従来のようにワーク吸着解除する必
要がないので、ワークの位置ずれを防止することができ
る。

かくして露光が完了すると、中央のワーク保持機構10
2が位置合わせステージ１に、また、前側のワーク保持
機構103が投入ステージ105に移動すると共に、後側のワ
ーク保持機構104が露光ステージ２に移動して露光済の
ワークを吸着し、その後、排出ステージ36に搬送する。

なお、後側のワーク保持機構104が排出ステージ36に
移動する際、中央のワーク保持機構102は前記ワークの
次に露光されるワークを吸着して位置合わせステージ１
から露光ステージ２に移動し、また前側のワーク保持機
構103は、前記ワークの次の次に露光されるワークを吸
着して投入ステージ105から位置合わせステージ１に移
動することは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上に示すように、本発明は次の優れた効果を発揮す
る。

（１）投入ステージに搬入された各種サイズのワーク
は、その中心がすべてローラーテーブルの中心にくるよ
うに自動的に位置決めされるので、ワークを投入ステー
ジから位置合わせステージに搬送したとき、ワークは、
すべてアラインメントテーブルの中心部に載置される。

従って、アラインメントテーブルの移動量を最小限に
抑制することが可能になり、位置合わせの操作時間を短
縮することができる。

（２）アラインメントテーブルの中心部に位置決めされ
た小サイズのワークは、ワーク保持機構の中心部に位置
する内側の減圧室を利用して吸着され、また大サイズの
ワークは内側の減圧室と外側の減圧室を併用することに
よって吸着される。

従って、無駄な空気の吸引による吸着力の低下を招く
ことがなく、搬送中のワークの落下を防止することがで
きる。

（３）中央のワーク保持機構は、底面に多数の吸着孔を
設けた上焼枠兼用の吸着箱としてつくられているので、
露光時、ワークを吸着したままでよく、従来のように、
ワークの吸着を解除する必要がないので、ワークの位置
ずれを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は本発明の実施例を示し、第１図は
搬送手段の一部切断平面図、第２図は搬送手段の一部切
断側面図、第３図は搬送手段の斜視図、第４図は投入ス
テージの斜視図、第５図は投入ステージの平面図、第６
図はロケートの昇降駆動装置および走行駆動装置の立面
図、第７図はロケートピンおよびロケートピン取付台を
取り付けたロケートの平面図、第８図は従来の自動露光
装置の側面図、第９図は第８図における位置合わせステ
ージの一部切断側面図である。 １……位置合わせステージ ２……露光ステージ ６……アラインメントテーブル 11……ワーク 33……下焼枠ガラス 38……マスクフィルム 44a,44b……減圧室 45a,45b……吸着孔 80……搬入ローラ 81……ローラーテーブルの中心 82a,82b,82c,82d……ロケート 82a′,82a″,82b′,82b″,82c′,82c″,82d′,82d″…
…ロケートピン 92a,92b……ロケートピン取付台 93a,93b……圧縮スプリング 100……ローラーテーブル 102……中央のワーク保持機構 103……前側のワーク保持機構 104……後側のワーク保持機構 107……走行駆動装置 108……昇降駆動装置 110……吸着箱

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】搬入されたワークを、その中心がローラー
   テーブルの中心にくるようにワークを自動的に位置決め
   する投入ステージと、 前記投入ステージから搬送手段を介して搬入されたワー
   クをアライメントテーブル上に受け取り、前記ワークを
   露光位置に搬入したときにワークが所定位置に到達する
   ように前記アライメントテーブルを移動させてワークを
   自動的に位置合わせする位置合わせステージと、 前記位置合わせステージから前記搬送手段を介して搬入
   されたワークを下焼枠ガラス上に固定したマスクフィル
   ムに密着させて露光を行う露光ステージと、 前記露光ステージから前記搬送手段を介して搬入された
   ワークを後工程に搬出する排出ステージとの備え、 前記搬送手段は隣り合う２つのステージの間を同時に往
   復してワークを搬送する３組のワーク保持機構を有して
   いて、前記位置合わせステージと露光ステージの間を往
   復するワーク保持機構が下面に多数の空気吸着孔を設け
   た上焼枠兼用の吸着箱としてつくられており、 更に、前記吸着箱の内部は、その中心部に位置する内側
   の減圧室と、その外側を取り囲む外側の減圧室とに分割
   されていて、各減圧室がワークのサイズに対応して選択
   的に吸着作動するように構成されており、 前記投入ステージは多数の搬入ローラを水平に配置して
   なる長方形をローラーテーブルと、常時は、前記ローラ
   ーテーブルの前後、左右の各周辺部の下方に２組づつ相
   対して配置されていて、ワークを位置決めする際は、先
   端部を前記搬入ローラーの上方に突出させた状態でロー
   ラーテーブルの中心に向って移動する４組のロケートピ
   ンとを有していることを特徴とする自動露光装置。
2. 【請求項２】多数の搬入ローラを水平に配置してなる長
   方形のローラーテーブルと、 前記ローラーテーブルの前後、左右の各周辺部の下方に
   ２組づつ相対して昇降可能に且つ前記ローラーテーブル
   の中心に向って水平移動可能に配置した４組のロケート
   と、 各ロケートの上部に揺動可能に取り付けられ且つ揺動側
   の各端部にロケートピンを立設した一対のロケートピン
   取付台と、 各ロケートピン取付台の揺動端側をローラーテーブルの
   中心側に押圧するように前記ロケートに取り付けた圧縮
   スプリングとを備え、 各ワークを位置決めする際は、各ロケートピンの先端部
   が前記搬入ローラの上方に突出し且つローラーテーブル
   の中心に向って移動するように各ロケートを駆動するこ
   とを特徴とする投入ステージ。