JPH04144811A - 基板挿入装置 - Google Patents
基板挿入装置Info
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- JPH04144811A JPH04144811A JP26580590A JP26580590A JPH04144811A JP H04144811 A JPH04144811 A JP H04144811A JP 26580590 A JP26580590 A JP 26580590A JP 26580590 A JP26580590 A JP 26580590A JP H04144811 A JPH04144811 A JP H04144811A
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Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、たとえば、液晶表示パネルの製造に際して、
ガラス基板を入れて工程間を運搬する基板カセットの収
納部に対して、工程内の装置から送出されたガラス基板
を1枚ずつ挿入するために用いる基板挿入装置に関する
ものである。
ガラス基板を入れて工程間を運搬する基板カセットの収
納部に対して、工程内の装置から送出されたガラス基板
を1枚ずつ挿入するために用いる基板挿入装置に関する
ものである。
(従来の技術)
従来のこの種の基板挿入装置を第6図に示す。
■は水平に設けられたベースで、このベース1上に基板
コンベア2が設けられている。この基板コンベア2(以
下コンベア2と呼ぶ)は、ベース1上に左右一対のT字
状のブラケット3を垂直に立設し、この一対のブラケッ
ト3の上部間に複数のシャフト4を互いに平行で水平に
かつ回動可能に横架し、上記一対のブラケット3の内側
面に近接して、上記複数のシャフト4にそれぞれ一対の
鍔付きのローラ5を固定するとともに、この−方のブラ
ケット3の外側部に位置して、上記複数のシャフト4の
一端部にそれぞれタイミングプーリ6を固定し、この複
数のタイミングプーリ6を上記ベース1上に設けられた
モータ7により、タイミングプーリ8及び無端状のタイ
ミングベルト9を介して図示反時計方向に回動するもの
である。
コンベア2が設けられている。この基板コンベア2(以
下コンベア2と呼ぶ)は、ベース1上に左右一対のT字
状のブラケット3を垂直に立設し、この一対のブラケッ
ト3の上部間に複数のシャフト4を互いに平行で水平に
かつ回動可能に横架し、上記一対のブラケット3の内側
面に近接して、上記複数のシャフト4にそれぞれ一対の
鍔付きのローラ5を固定するとともに、この−方のブラ
ケット3の外側部に位置して、上記複数のシャフト4の
一端部にそれぞれタイミングプーリ6を固定し、この複
数のタイミングプーリ6を上記ベース1上に設けられた
モータ7により、タイミングプーリ8及び無端状のタイ
ミングベルト9を介して図示反時計方向に回動するもの
である。
そして、このコンベア2は、液晶表示パネルの製造工程
中の装置から1枚ずつ送出されるガラス基板W(以下、
基板Wと呼ぶ)を、ローラ5の鍔により両側から位置決
めした状態で、ローラ5上に支持して、前方の基板カセ
ット11に搬送し、基板カセット11の収納部12に挿
入するようになっている。
中の装置から1枚ずつ送出されるガラス基板W(以下、
基板Wと呼ぶ)を、ローラ5の鍔により両側から位置決
めした状態で、ローラ5上に支持して、前方の基板カセ
ット11に搬送し、基板カセット11の収納部12に挿
入するようになっている。
この基板カセット11(以下、カセット11と呼ぶ)は
、把持用のハンドル13を取付けた矩形の上板14の四
隅と左右一対の位置決め孔15を設けた矩形の下板16
の四隅とをそれぞれ断面円形のガイドポスト17で連結
し、この4本のガイドポスト17の外周にそれぞれ基板
Wの両側縁部を係合する多数の環状溝18を上下方向等
間隔に形成することにより、多数の収納部12を上下方
向多段に等ピッチで形成したものである。
、把持用のハンドル13を取付けた矩形の上板14の四
隅と左右一対の位置決め孔15を設けた矩形の下板16
の四隅とをそれぞれ断面円形のガイドポスト17で連結
し、この4本のガイドポスト17の外周にそれぞれ基板
Wの両側縁部を係合する多数の環状溝18を上下方向等
間隔に形成することにより、多数の収納部12を上下方
向多段に等ピッチで形成したものである。
そして、このカセット11は、カセットエレベータ21
により、収納部12のピッチと笠しい距離ずつ間欠的に
上昇(または下降)するようになっている。
により、収納部12のピッチと笠しい距離ずつ間欠的に
上昇(または下降)するようになっている。
このカセットエレベータ21(以下、エレベータ21と
呼ぶ)は、上記ベース1に、リニア駆動モータ22を設
けるとともに、前後一対の筒状のスライドガイド23を
垂直に設け、上記リニア駆動モータ22によって垂直に
移動する駆動シャフト24の上端部と上記一対のスライ
ドガイド23に摺動可能に挿通した一対のスライドシャ
フト25の上端部とに支持板26を水平に取付け、この
支持板26の上面に左右一対の位置決めピン27を突設
したものである。
呼ぶ)は、上記ベース1に、リニア駆動モータ22を設
けるとともに、前後一対の筒状のスライドガイド23を
垂直に設け、上記リニア駆動モータ22によって垂直に
移動する駆動シャフト24の上端部と上記一対のスライ
ドガイド23に摺動可能に挿通した一対のスライドシャ
フト25の上端部とに支持板26を水平に取付け、この
支持板26の上面に左右一対の位置決めピン27を突設
したものである。
そして、このエレベータ21は、リニア駆動モータ22
により駆動シャフト24を介して支持板26が垂直に昇
降するようになっており、この支持板26の一対の位置
決めピン27に上記カセット11の下板16の一対の位
置決め孔I5を嵌合して、カセット11の下板16を支
持板26の上に支持するようになっている。
により駆動シャフト24を介して支持板26が垂直に昇
降するようになっており、この支持板26の一対の位置
決めピン27に上記カセット11の下板16の一対の位
置決め孔I5を嵌合して、カセット11の下板16を支
持板26の上に支持するようになっている。
そうして、この従来の基板挿入装置は、液晶表示パネル
の製造工程中の装置から1枚ずつ送出される基板Wをコ
ンベア2により受取ってエレベ〜り21上のカセット1
1に搬送し、基板Wの両側部をカセット11の各ガイド
ポスト17の環状′IIt18に係合して、カセット1
1の収納部12に挿入するようになっている。
の製造工程中の装置から1枚ずつ送出される基板Wをコ
ンベア2により受取ってエレベ〜り21上のカセット1
1に搬送し、基板Wの両側部をカセット11の各ガイド
ポスト17の環状′IIt18に係合して、カセット1
1の収納部12に挿入するようになっている。
そして、1枚の基板Wをカセット11の収納部12に挿
入し終ると、カセット11はエレベータ21により1ピ
ツチだけ上昇(または下降)し、っぎの基板Wを上段(
または下段)の収納部12に挿入し、カセット11の各
収納部12に基板Wを1枚ずつ収納するようになってい
る。
入し終ると、カセット11はエレベータ21により1ピ
ツチだけ上昇(または下降)し、っぎの基板Wを上段(
または下段)の収納部12に挿入し、カセット11の各
収納部12に基板Wを1枚ずつ収納するようになってい
る。
ところで、この従来の基板挿入装置では、装置の製作時
に、コンヘア2とエレベータ21とカセット11との位
置関係は予め決められているが、カセット11は、長期
間使用すると、その構造上から、捩れや倒れ等の変形が
発生するため、コンベア2とカセット11の収納部12
の位置がずれ、基板Wが、カセット11のガイドポスト
17に当たって、円滑に入らないことがある。
に、コンヘア2とエレベータ21とカセット11との位
置関係は予め決められているが、カセット11は、長期
間使用すると、その構造上から、捩れや倒れ等の変形が
発生するため、コンベア2とカセット11の収納部12
の位置がずれ、基板Wが、カセット11のガイドポスト
17に当たって、円滑に入らないことがある。
(発明が解決しようとする課題)
上述したように、従来の基板挿入装置では、基板Wがカ
セット1)に円滑に入らなくなることがあり、この基板
Wにつぎに送出された基板Wが衝突すると、基板Wの破
損が起きる。
セット1)に円滑に入らなくなることがあり、この基板
Wにつぎに送出された基板Wが衝突すると、基板Wの破
損が起きる。
これを防止するために、センサ等で基板Wの挿入状況を
チエツクし、基板Wの挿入不良が起きた場合に、装置を
停止させることもできるが、このような場合には、液晶
表示パネルの製造工程中の前工程の製造装置も停止させ
る必要があるため、製造装置の稼働率が低下したり、製
造装置の停止による基板不良が発生して歩留まりが悪く
なったりする。
チエツクし、基板Wの挿入不良が起きた場合に、装置を
停止させることもできるが、このような場合には、液晶
表示パネルの製造工程中の前工程の製造装置も停止させ
る必要があるため、製造装置の稼働率が低下したり、製
造装置の停止による基板不良が発生して歩留まりが悪く
なったりする。
また、カセット11の変形にそなえて、予め、基板Wが
係合するガイドポスト17の環状溝18を大きくしてお
くことも考えられるが、あまり大きくすると、カセット
11の運搬中のカセット11内での基板Wの動きが大き
くなるため、基板Wの周辺部に欠けやクラックが発生す
る。
係合するガイドポスト17の環状溝18を大きくしてお
くことも考えられるが、あまり大きくすると、カセット
11の運搬中のカセット11内での基板Wの動きが大き
くなるため、基板Wの周辺部に欠けやクラックが発生す
る。
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、液晶表
示パネルのガラス基板W等の基板をカセットに確実に挿
入することを目的とするものである。
示パネルのガラス基板W等の基板をカセットに確実に挿
入することを目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明は、基板をこの基板の両側縁部に対する係合部を
備えたカセットの収納部に挿入する基板挿入装置であっ
て、カセットに向かって前後方向に進退可能に設けられ
た搬送体と、この搬送体に昇降可能に設けられた昇降体
と、この昇降体に左右方向に移動可能に設けられた調整
体と、この調整体に設けられて上記基板を吸着する吸着
体と、この吸着体を左右方向の所定位置に調心するとと
もにこの位置からの左右方向の移動を許容すべく上記調
整体を左右方向の所定位置に付勢する調心機構とを具備
したものである。
備えたカセットの収納部に挿入する基板挿入装置であっ
て、カセットに向かって前後方向に進退可能に設けられ
た搬送体と、この搬送体に昇降可能に設けられた昇降体
と、この昇降体に左右方向に移動可能に設けられた調整
体と、この調整体に設けられて上記基板を吸着する吸着
体と、この吸着体を左右方向の所定位置に調心するとと
もにこの位置からの左右方向の移動を許容すべく上記調
整体を左右方向の所定位置に付勢する調心機構とを具備
したものである。
(作用)
本発明の基板挿入装置は、所定位置に供給された基板に
対して、昇降体により吸着体を上昇し、この吸着体で基
板を吸着し、搬送体により吸着体をカセットに前進して
、基板をカセットの収納部に挿入する。
対して、昇降体により吸着体を上昇し、この吸着体で基
板を吸着し、搬送体により吸着体をカセットに前進して
、基板をカセットの収納部に挿入する。
そして、この際に、基板とカセットの収納部のセンター
がずれている場合、基板の一側縁部がカセットの係合部
に当接し、基板はカセットの一側の係合部から他側方向
の反力を受け、この反力の方向に調整体が移動して基板
のセンターがカセットの収納部のセンターに向かって移
動し、カセットの収納部に対する基板の挿入が可能とな
る。
がずれている場合、基板の一側縁部がカセットの係合部
に当接し、基板はカセットの一側の係合部から他側方向
の反力を受け、この反力の方向に調整体が移動して基板
のセンターがカセットの収納部のセンターに向かって移
動し、カセットの収納部に対する基板の挿入が可能とな
る。
そして、挿入後に基板の吸着を解除すると、吸着体が調
心機構により調整体とともに元の位置に戻る。
心機構により調整体とともに元の位置に戻る。
(実施例)
本発明の基板挿入装置の一実施例を第1図ないし第5図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第1図において、31はガラス基板W(以下、基板Wと
呼ぶ)を前方の基板カセット11(以下、カセット11
と呼ぶ)に搬送する搬送機構で、この搬送機構31は、
断面り字状のフレーム32を図示しないベース上に水平
に取付け、このフレーム32の一側部に、ガイドレール
33を水平に取付けるとともに、前後一対のタイミング
プーリ34を回動自在に軸支し、上記ガイトレール33
に搬送体としてのスライダ35を移動可能に係合すると
ともに、上記前後一対のタイミングプーリ34に無端状
のタイミングベルト36を掛は回し、このタイミングベ
ルト36の一部に上記スライダ35を固定し、後側のタ
イミングプーリ34をフレーム32の他側部に設けたモ
タ37によって正逆両方向に駆動するものてあり、モー
タ37によってスライダ35がガイドレール33に沿っ
て前後方向(Y方向)に移動するようになっている。
呼ぶ)を前方の基板カセット11(以下、カセット11
と呼ぶ)に搬送する搬送機構で、この搬送機構31は、
断面り字状のフレーム32を図示しないベース上に水平
に取付け、このフレーム32の一側部に、ガイドレール
33を水平に取付けるとともに、前後一対のタイミング
プーリ34を回動自在に軸支し、上記ガイトレール33
に搬送体としてのスライダ35を移動可能に係合すると
ともに、上記前後一対のタイミングプーリ34に無端状
のタイミングベルト36を掛は回し、このタイミングベ
ルト36の一部に上記スライダ35を固定し、後側のタ
イミングプーリ34をフレーム32の他側部に設けたモ
タ37によって正逆両方向に駆動するものてあり、モー
タ37によってスライダ35がガイドレール33に沿っ
て前後方向(Y方向)に移動するようになっている。
41は基板Wを昇降する昇降機構で、この昇降機構41
は、第2図に示すように、上記スライダ35に、シリン
ダ42を垂直に設けるとともに、前後−対の筒状のスラ
イドガイド43を垂直に設け、この一対のスライドガイ
ド43に摺動可能に挿通した一対のスライドシャフト4
4の上端部に昇降体としてのブラケット45を水平に取
付けたもので、シリンダ42によってブラケット45が
垂直方向(Z方向)に昇降するようになっている。
は、第2図に示すように、上記スライダ35に、シリン
ダ42を垂直に設けるとともに、前後−対の筒状のスラ
イドガイド43を垂直に設け、この一対のスライドガイ
ド43に摺動可能に挿通した一対のスライドシャフト4
4の上端部に昇降体としてのブラケット45を水平に取
付けたもので、シリンダ42によってブラケット45が
垂直方向(Z方向)に昇降するようになっている。
そして、上記ブラケット45の上部に前後一対のスライ
ダ48を介して調整体としての微動ステージ49が左右
方向(X方向)に水平移動可能に設けられ、この微動ス
テージ49の前側上部に逆り字状のステー50を介して
吸着体としてのT字状の吸着ステージ51が水平に取付
けられ、この吸着ステージ51の上面には吸着溝52が
形成され、この吸着溝52により基板Wを吸着するよう
になっている。
ダ48を介して調整体としての微動ステージ49が左右
方向(X方向)に水平移動可能に設けられ、この微動ス
テージ49の前側上部に逆り字状のステー50を介して
吸着体としてのT字状の吸着ステージ51が水平に取付
けられ、この吸着ステージ51の上面には吸着溝52が
形成され、この吸着溝52により基板Wを吸着するよう
になっている。
なお、微動ステージ49は極めて小さい力で左右方向に
移動するようになっている。
移動するようになっている。
また、上記吸着ステージ51の両側部には複数の鍔付き
のローラ55が配設され、この複数のローラ55は、液
晶表示パネルの製造工程中の装置から1枚ずつ送出され
る基板Wを、その鍔により両側から位置決めした状態で
、支持するようになっている。
のローラ55が配設され、この複数のローラ55は、液
晶表示パネルの製造工程中の装置から1枚ずつ送出され
る基板Wを、その鍔により両側から位置決めした状態で
、支持するようになっている。
61は上記吸着ステージ51を左右方向の所定位置に調
心(センタリング)する調心機構で、この調心機構61
は、第2図及び第3図に示すように、上記微動ステージ
49に形成した開口部62を介して軸63を上記ブラケ
ット45に回動可能に支持し、この軸63の上端部に板
カム64を水平に取付けて微動ステージ49の上面に対
向させ、この板カム64をスプリング65により第3図
時計方向に付勢するとともに、この板カム64に対する
前後一対の係合ピン66、67を微動ステージ49の上
面に突設したもので、板カム64は円板の外周の2箇所
を切欠して係合面68、69を形成した形状で、この係
合面68.69に上記係合ピン66、67が当接するよ
うになっている。
心(センタリング)する調心機構で、この調心機構61
は、第2図及び第3図に示すように、上記微動ステージ
49に形成した開口部62を介して軸63を上記ブラケ
ット45に回動可能に支持し、この軸63の上端部に板
カム64を水平に取付けて微動ステージ49の上面に対
向させ、この板カム64をスプリング65により第3図
時計方向に付勢するとともに、この板カム64に対する
前後一対の係合ピン66、67を微動ステージ49の上
面に突設したもので、板カム64は円板の外周の2箇所
を切欠して係合面68、69を形成した形状で、この係
合面68.69に上記係合ピン66、67が当接するよ
うになっている。
そして、この調心機構61の軸63及び板カム64は極
めて小さい力で回転することができ、スプリング65は
これに見合う程度の小さい力で板カム64を付勢し、こ
の付勢力により、板カム64が第3図時計方向に回動し
、板カム64の2つの係合面68゜69のそれぞれに上
記係合ピン66、67が当接した状態で、板カム64が
停止するようになっている。
めて小さい力で回転することができ、スプリング65は
これに見合う程度の小さい力で板カム64を付勢し、こ
の付勢力により、板カム64が第3図時計方向に回動し
、板カム64の2つの係合面68゜69のそれぞれに上
記係合ピン66、67が当接した状態で、板カム64が
停止するようになっている。
なお、第1図に示すように、上記搬送機構31のフレー
ム32前方には第6図に示したカセットエレベータ21
が設けられ、このカセットエレベータ21の支持板26
の一対の位置決めピン27に基板カセット11の下板1
6の一対の位置決め孔15を嵌合して、カセット11の
下板IGを支持板26の上に支持し、゛この状態で、カ
セットエレベータ21の支持板26が昇降するようにな
っている。
ム32前方には第6図に示したカセットエレベータ21
が設けられ、このカセットエレベータ21の支持板26
の一対の位置決めピン27に基板カセット11の下板1
6の一対の位置決め孔15を嵌合して、カセット11の
下板IGを支持板26の上に支持し、゛この状態で、カ
セットエレベータ21の支持板26が昇降するようにな
っている。
そうして、この実施例の基板挿入装置は、液晶表示パネ
ルの製造工程中の装置から1枚ずつ送出される基板Wが
複数のローラ55上に支持されて所定の位置に位置決め
されると、昇降機構41のブラケット45が上昇し、こ
れによって、吸着ステージ51が基板Wの下面に上昇し
て基板Wを支持し、吸着溝52で基板Wを吸着して保持
する。
ルの製造工程中の装置から1枚ずつ送出される基板Wが
複数のローラ55上に支持されて所定の位置に位置決め
されると、昇降機構41のブラケット45が上昇し、こ
れによって、吸着ステージ51が基板Wの下面に上昇し
て基板Wを支持し、吸着溝52で基板Wを吸着して保持
する。
ついで、搬送機構31のスライダ35が前進し、これに
よって、吸着ステージ51がカセットIIに移動して、
基板Wをカセットエレベータ21上のカセット11に搬
送し、基板Wの両側部をカセット11の各ガイドボスト
17の環状溝18に係合して、カセット11の収納部1
2に挿入する。
よって、吸着ステージ51がカセットIIに移動して、
基板Wをカセットエレベータ21上のカセット11に搬
送し、基板Wの両側部をカセット11の各ガイドボスト
17の環状溝18に係合して、カセット11の収納部1
2に挿入する。
なお、このときの搬送速度は、基板Wがカセッl−11
に入る数mm手前までは高速で、基板Wがカセット11
に入るときには低速となる。
に入る数mm手前までは高速で、基板Wがカセット11
に入るときには低速となる。
そして、この際に、基板Wの左右方向(X方向)のセン
ターとカセット11の収納部12の左右方向のセンター
が一致していれば、基板Wはスムーズに収納部12に入
るが、第4図に示すように、基板Wのセンターaとカセ
ット11の収納部12のセンターbがずれている場合、
基板Wの一側縁部がカセット11の係合部としてのガイ
ドボスト17の環状溝18の底部に当接し、基板Wには
F方向の力が働く 。
ターとカセット11の収納部12の左右方向のセンター
が一致していれば、基板Wはスムーズに収納部12に入
るが、第4図に示すように、基板Wのセンターaとカセ
ット11の収納部12のセンターbがずれている場合、
基板Wの一側縁部がカセット11の係合部としてのガイ
ドボスト17の環状溝18の底部に当接し、基板Wには
F方向の力が働く 。
そして、このF方向の力の分力はFXとFYとなるため
、基板WをそのままFY力方向搬入しようとすると、F
X方向の力が、基板Wから吸着ステージ51及びステー
50を介して微動ステージ49に伝わり、さらに、微動
ステージ49上の一方の係合ピン67から板カム64の
係合面69に伝わり、板カム64をスプリング65に抗
して反時計方向に回動しようとする。
、基板WをそのままFY力方向搬入しようとすると、F
X方向の力が、基板Wから吸着ステージ51及びステー
50を介して微動ステージ49に伝わり、さらに、微動
ステージ49上の一方の係合ピン67から板カム64の
係合面69に伝わり、板カム64をスプリング65に抗
して反時計方向に回動しようとする。
そして、このFX方向の力が、搬送機構31により次第
に強くなり、調心機構61の板カム64がスプリング6
5により図示の状態を維持しようとする力よりも強くな
って、第5図に示すように、微動ステージ49がガイド
ボスト17の円形の外周面に沿ってFX方向に移動し、
これによって、基板Wがカセット11の収納部12に入
り、これにともなって、微動ステージ49上の一方の係
合ピン67が板カム64をスプリング65に抗して反時
計方向に回動させ、この状態で、微動ステージ49上の
他方の係合ピン66と板カム64の係合面68が離れる
。
に強くなり、調心機構61の板カム64がスプリング6
5により図示の状態を維持しようとする力よりも強くな
って、第5図に示すように、微動ステージ49がガイド
ボスト17の円形の外周面に沿ってFX方向に移動し、
これによって、基板Wがカセット11の収納部12に入
り、これにともなって、微動ステージ49上の一方の係
合ピン67が板カム64をスプリング65に抗して反時
計方向に回動させ、この状態で、微動ステージ49上の
他方の係合ピン66と板カム64の係合面68が離れる
。
なお、このときに、基板Wの側縁部に割れや欠けを発生
させないためには、スプリング65の付勢力を小さくす
る必要があり、このためには、板カム64の回動抵抗及
び微動ステージ49の摺動抵抗を十分に小さくする必要
がある。
させないためには、スプリング65の付勢力を小さくす
る必要があり、このためには、板カム64の回動抵抗及
び微動ステージ49の摺動抵抗を十分に小さくする必要
がある。
そして、基板Wをカセット11に挿入し終わったら、吸
着ステージ51による基板Wの吸着を解除し、昇降機構
41により吸着ステージ51を下降し、搬送機構31に
より吸着ステージ51を後退して、元の状態に戻し、カ
セット11はカセットエレベータ21により1ピツチだ
け上昇し、次の基板Wを待つ。
着ステージ51による基板Wの吸着を解除し、昇降機構
41により吸着ステージ51を下降し、搬送機構31に
より吸着ステージ51を後退して、元の状態に戻し、カ
セット11はカセットエレベータ21により1ピツチだ
け上昇し、次の基板Wを待つ。
また、このとき、吸着ステージ51が基板Wの吸着を解
除すると、吸着ステージ51がフリーとなるため、スプ
リング65が板カム64を時計方向に回動し、これによ
って、板カム64の係合面69が微動ステージ49の係
合ピン67を押し、微動ステージ49が元の位置に戻る
。
除すると、吸着ステージ51がフリーとなるため、スプ
リング65が板カム64を時計方向に回動し、これによ
って、板カム64の係合面69が微動ステージ49の係
合ピン67を押し、微動ステージ49が元の位置に戻る
。
なお、この調心機構61の作用は、微動ステージ49が
左右どちらの方向に移動した場合も同様で、微動ステー
ジ49がその安定位置から移動すると、係合ピン66、
67の一方が板カム64の係合面6g、 69の一方を
押して、板カム64をスプリング65に抗して反時計方
向に回動させるとともに、係合ピン66゜67の他方が
板カム64の係合面68.69の他方から離れ、この状
態で、微動ステージ49を移動させていた力がなくなる
と、板カム64がスプリング65により時計方向に回動
して、微動ステージ49を元の位置に戻し、板カム64
の2つの係合面68.69のそれぞれに係合ピン66、
67が当接した状態で、板カム64が回転できなくなっ
て停止し、微動ステージ49が安定位置に戻るようにな
っている。
左右どちらの方向に移動した場合も同様で、微動ステー
ジ49がその安定位置から移動すると、係合ピン66、
67の一方が板カム64の係合面6g、 69の一方を
押して、板カム64をスプリング65に抗して反時計方
向に回動させるとともに、係合ピン66゜67の他方が
板カム64の係合面68.69の他方から離れ、この状
態で、微動ステージ49を移動させていた力がなくなる
と、板カム64がスプリング65により時計方向に回動
して、微動ステージ49を元の位置に戻し、板カム64
の2つの係合面68.69のそれぞれに係合ピン66、
67が当接した状態で、板カム64が回転できなくなっ
て停止し、微動ステージ49が安定位置に戻るようにな
っている。
上述したように、本発明によれば、基板を無理なくカセ
ットに挿入することができるので、基板の挿入ミスによ
る基板の破損を防止することができ、また、基板の挿入
ミスによって基板に対する加工等を行なう製造装置を停
止させることがないので、この製造装置の稼働率が向上
し、製造装置の停止による基板不良の発生もなくなるの
で、歩留まりが向上する。
ットに挿入することができるので、基板の挿入ミスによ
る基板の破損を防止することができ、また、基板の挿入
ミスによって基板に対する加工等を行なう製造装置を停
止させることがないので、この製造装置の稼働率が向上
し、製造装置の停止による基板不良の発生もなくなるの
で、歩留まりが向上する。
第1図は本発明の基板挿入装置の一実施例の斜視図、第
2図はその要部の縦断面図、第3図はその要部の平面図
、第4図及び第5図はその調心機構の作用説明図であり
、第6図は従来の基板挿入装置の斜視図である。 W・・基板、11・・カセット、12・・収納部、17
・・係合部としてのガイドポスト、35・・搬送体とし
てのスライダ、45・・昇降体としてのブラケット、4
9・・調整体としての微動ステージ、51・吸着体とし
ての吸着ステージ、61・・調心機構。
2図はその要部の縦断面図、第3図はその要部の平面図
、第4図及び第5図はその調心機構の作用説明図であり
、第6図は従来の基板挿入装置の斜視図である。 W・・基板、11・・カセット、12・・収納部、17
・・係合部としてのガイドポスト、35・・搬送体とし
てのスライダ、45・・昇降体としてのブラケット、4
9・・調整体としての微動ステージ、51・吸着体とし
ての吸着ステージ、61・・調心機構。
Claims (1)
- (1)基板をこの基板の両側縁部に対する係合部を備え
たカセットの収納部に挿入する基板挿入装置であって、 カセットに向かって前後方向に進退可能に設けられた搬
送体と、この搬送体に昇降可能に設けられた昇降体と、
この昇降体に左右方向に移動可能に設けられた調整体と
、この調整体に設けられて上記基板を吸着する吸着体と
、この吸着体を左右方向の所定位置に調心するとともに
この位置からの左右方向の移動を許容すべく上記調整体
を左右方向の所定位置に付勢する調心機構とを具備した
ことを特徴とする基板挿入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26580590A JPH04144811A (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 基板挿入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26580590A JPH04144811A (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 基板挿入装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04144811A true JPH04144811A (ja) | 1992-05-19 |
Family
ID=17422294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26580590A Pending JPH04144811A (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 基板挿入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04144811A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264630A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-10-11 | Fujita Seisakusho:Kk | キャリアラック |
EP0957510A1 (en) * | 1996-10-30 | 1999-11-17 | Shibaura Mechatronics Corporation | Processor and processing method, and robot device |
JP2008098317A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | 板状体処理設備 |
JP2008098318A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | 板状体処理設備 |
JP2013149703A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
-
1990
- 1990-10-03 JP JP26580590A patent/JPH04144811A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264630A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-10-11 | Fujita Seisakusho:Kk | キャリアラック |
EP0957510A1 (en) * | 1996-10-30 | 1999-11-17 | Shibaura Mechatronics Corporation | Processor and processing method, and robot device |
EP0957510A4 (en) * | 1996-10-30 | 2004-09-15 | Shibaura Mechatronics Corp | PROCESSOR AND PROCESSING METHOD AND ROBOTIC DEVICE |
JP2008098317A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | 板状体処理設備 |
JP2008098318A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | 板状体処理設備 |
JP4586790B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2010-11-24 | 株式会社ダイフク | 板状体処理設備 |
JP2013149703A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
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