JP2531925B2 - ディスク状のサブストレ―トを気密に挿入しかつ取り出すための装置 - Google Patents
ディスク状のサブストレ―トを気密に挿入しかつ取り出すための装置Info
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Description
レートを気密に真空・コーティング室内に挿入しかつ真
空・コーティング室から取り出すための、及び、サブス
トレートを真空・コーティング室内で搬送するための装
置であって、少なくとも1つのローディング・アンロー
ディングステーションと、少なくとも1つのコーティン
グステーションと、少なくとも1つの持上げ部材と、回
転可能に支承された少なくとも1つのサブストレート支
持体と、持上げ部材及びサブストレート支持体を操作す
るための駆動モータとを有している形式のものに関す
る。
術においてはサブストレート、例えばコンパクトディス
ク(CD)をコーティングすることは公知である。ディ
スク状のサブストレートはしばしばデジタル情報用の記
憶媒体として使用される。
れたプラスチックディスクがアルミニウム層によって被
覆される。このために使用されるスパッタ・コーティン
グ装置はサブストレートを搬送するための回転ディスク
を有している。
によってサブストレートが真空室内に搬送される。この
真空室内ではサブストレートは回転ディスクに載置され
かつこの回転ディスクによって真空室内の個々のステー
ションを介して搬送される。通常真空室内には少なくと
も2つのステーションが配置されている。このステーシ
ョンはローディング・アンローディングステーション、
並びに、コーティングステーションである。
498号明細書から既に、工作物表面を処理するため
に、ほぼ扁平な工作物を排気されたコーティング室内に
気密に挿入しかつこのコーティング室から取り出すため
の、及び、工作物をコーティング源の範囲に供給しかつ
この範囲から回収するための装置が公知である。
工具が垂直な軸線を中心として回転可能に支承されてい
る、冒頭に述べた形式の装置が公知である(アメリカ合
衆国特許第3874525号明細書)。
に対置する端部にフォークを有していて、このフォーク
は駆動モータを有するラック駆動装置を介して垂直平面
内で互いに逆向きに運動可能である。
95号明細書から、少なくとも1つのカソードステーシ
ョンとローディング・アンローディングステーションと
を有する、回転するサブストレート支持体を収容する真
空室内でサブストレートをコーティングするためのカソ
ード噴霧装置が公知であり、この場合、サブストレート
支持体は少なくとも1つの搬送パンから形成されてい
る。
数又は複数の搬送パンのためにカソード噴霧装置に対し
て中央に配置された駆動装置が設けられていて、この駆
動装置によって搬送パンは歩進的に所定の角度だけ真空
室内で引き続き搬送される。
動が個々の駆動部材によって実施されるということにあ
る。従って例えば真空室の手前に配置された旋回アーム
を昇降させるために並びに真空室内部でサブストレート
ディスクを昇降させるために、個々の空気力式シリンダ
が使用される。旋回アーム及び回転ディスクを回転運動
させるために例えば電動式の駆動装置が設けられてい
る。
の信号が必要であり、この信号は例えばシステムプログ
ラム化可能な制御装置を介して呼び出されかつ制御され
る。個々の信号を処理するために、駆動部材の運動が実
施されない適当なむだ時間が必要である。このことも矢
張りコーティングサイクルの全時間に不都合な作用を及
ぼす。
ーティングするためにのみ使用されかつ通常三層運転で
運転されるので、サイクル時間への影響は経済的に極め
て重要である。
の駆動部材の運動を申し分なく互いに調整でき、これに
よりサイクル時間が著しく減少されかつ単位時間当たり
のサブストレートにおける装置の生産性が高められるよ
うに、冒頭に述べた形式の装置を改良することにある。
ば、持上げ部材と、一方はサブストレート支持体及び他
方は駆動モータとの間に、周期的に持上げ運動並びに回
転運動を生ぜしめる伝動装置が設けられていることによ
って、解決された。
ストレート支持体を強制案内することによって有利に
は、例えばSPS(システムプログラム化可能な制御装
置)を介した個々の信号の検出及び処理は最早不要であ
る。
れまで、全サイクル時間のために例えば3.3秒必要で
あった。本発明の構成によれば有利にはサイクル時間は
2.5秒に減少された。これによって、時間当たりサブ
ストレートにおいて測定して、サイクル時間がほぼ25
%だけ改善されひいては生産性がほぼ32%だけ高めら
れた。
に記載されている。
に配置された回転軸2によって伝動装置3に結合されて
いる。旋回アーム1の直径方向で対置する両端部にはデ
ィスク状のサブストレートホルダ4,5が設けられてい
る。旋回アーム1には、中央の回転軸7を中心として支
承された円形の回転ディスク6が接続されていて、この
回転ディスク6には3つのステーション8,9,10が
対称的に配置されている。
の引渡し個所には気密な挿入・取出しステーション8が
設けられている。これに次いで回転ディスク6の回転方
向でコーティングステーション9及び放出ステーション
10が接続されている。
動装置3内に係合する回転軸2の上端に固定されてい
る。円形ディスク状のサブストレートホルダ4,5は下
面に段状の旋削部を備えている。伝動装置3は底板12
の一方の外側の端部に懸架されていて、この底板12は
支柱13,14に載設されている。
て、この切欠き内には例えば回転ディスク6が組み込ま
れている。コーティングステーション9においては遮蔽
体15によって真空・コーティング室16が制限されて
いて、この真空・コーティング室16の中央には、コー
ティング過程の際にサブストレートの中央範囲をカバー
するマスク17が設けられている。
サブストレートホルダの一方の半部は上側のストッパ位
置18で図示されているのに対して、同じサブストレー
トホルダの第2の半部は下側の待機位置19で図示され
ている。この場合位置変化は、垂直に配置された押し棒
24に結合されているサブストレートディスク22を昇
降させることによって行なわれる。
ーティングステーション9内に比較可能な構成部材が設
けられている。この場合、サブストレートホルダの一方
の半部は下側の待機位置20で図示されているのに対し
て、同じサブストレートホルダの第2の半部は上側のス
トッパ位置21で図示されている。この場合にも矢張り
サブストレートディスク23は可動な押し棒25に結合
されている。
て電動機30に結合されている伝動装置28のケーシン
グ内に突入している。伝動装置28内にはほぼ水平に支
承された軸31が設けられていて、この軸の端部にはロ
ーラ32が接続されている。
ぞれ1つの溝33,34を備えていて、カム状のしかも
非円形の経過を有している。ローラ32の円筒状の周面
には環状の螺旋状の溝35が設けられている。
で、溝33,34内で案内されるピン26,27が設け
られている。ローラ32の回転軸線に対する両溝33,
34の半径方向間隔が変化することによって、押し棒2
4,25は軸方向で昇降させられる。
の端部には偏心的にピン36が設けられていて、このピ
ン36はローラ32の周面の溝35内に係合しひいては
ピッチ角だけ回転ディスク6及び回転軸7を周期的に回
転させる。
ム及び3つのサブストレートステーションを備えた回転
ディスクの平面図。
にサブストレートディスク及び所属の駆動装置を備えた
回転ディスクを示した、第1図X−X線に沿った断面
図。
Claims (14)
- 【請求項1】 ディスク状のサブストレートを気密に真
空・コーティング室内に挿入しかつ真空・コーティング
室から取り出すための、及び、サブストレートを真空・
コーティング室内で搬送するための装置であって、少な
くとも1つのローディング・アンローディングステーシ
ョンと、少なくとも1つのコーティングステーション
(9)と、少なくとも1つの持上げ部材と、回転可能に
支承された少なくとも1つのサブストレート支持体と、
持上げ部材及びサブストレート支持体を操作するための
駆動モータとを有している形式のものにおいて、持上げ
部材と、一方はサブストレート支持体及び他方は駆動モ
ータとの間に、周期的に持上げ運動並びに回転運動を生
ぜしめる伝動装置(3,28)が設けられていることを
特徴とする、ディスク状のサブストレートを気密に挿入
しかつ取り出すための装置。 - 【請求項2】 駆動モータが電動機(30)として構成
されている、請求項1記載の装置。 - 【請求項3】 伝動装置(3,28)が機械的な伝動装
置として構成されている、請求項1記載の装置。 - 【請求項4】 持上げ部材が押し棒(24,25)とし
て構成されている、請求項1記載の装置。 - 【請求項5】 サブストレート支持体が旋回アーム
(1)又は回転ディスクとして構成されている、請求項
1記載の装置。 - 【請求項6】 伝動装置(3,28)が円筒状のローラ
(32)を有するカム伝動装置として構成されている、
請求項1記載の装置。 - 【請求項7】 ローラ(32)の端面に自体閉じられた
溝(33,34)が設けられていて、かつ、押し棒(2
4,25)の一端に、前記溝(33,34)内で案内さ
れる案内部材、有利にはピン(26,27)が設けられ
ている、請求項6記載の装置。 - 【請求項8】 ローラ(32)の円筒状の周面に環状
の、有利には螺旋状の溝(35)が設けられていて、か
つ、回転ディスク(6)の回転軸(7)に、前記溝(3
5)内で案内される案内部材、有利にはピン(36)が
設けられている、請求項6記載の装置。 - 【請求項9】 定置の回転軸(7)を中心として回転可
能な回転ディスク(6)がコーティング室内に配置され
ている、請求項1記載の装置。 - 【請求項10】 回転ディスク(6)が少なくとも2つ
の切欠きを備えていて、この切欠き内にサブストレート
を昇降させるためにサブストレートディスク(22,2
3)が保持されかつ案内されている、請求項9記載の装
置。 - 【請求項11】 サブストレートディスク(22,2
3)がそれぞれ1つの押し棒(24,25)に結合され
ている、請求項10記載の装置。 - 【請求項12】 押し棒(24,25)及び回転軸
(7)が、コーティング室(16)の下側に配置された
伝動装置(28)に結合されている、請求項11記載の
装置。 - 【請求項13】 旋回アーム(1)がコーティング室
(16)の外側に配置されていてかつ伝動装置(3)に
結合されている、請求項5記載の装置。 - 【請求項14】 旋回アーム(3)が持上げ運動及び回
転運動を実施できるように、旋回アーム(3)が伝動装
置(3)と協働している、請求項13記載の装置。
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