JP2024018487A - Nickel alloy powder and method for producing nickel alloy powder - Google Patents
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Abstract
【課題】塩素及び酸素の含有量が比較的少ないニッケル合金粉末及び、ニッケル合金粉末の製造方法を提供する。【解決手段】この発明のニッケル合金粉末は、ニッケルを９０質量％～９７質量％、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有し、塩素含有量が０．０５質量％以下、ＢＥＴ比表面積（ｍ2／ｇ）に対する酸素含有量（質量％）の割合が０．２５（質量％・ｇ／ｍ2）以下である。【選択図】なしThe present invention provides a nickel alloy powder with relatively low chlorine and oxygen contents, and a method for producing the nickel alloy powder. [Solution] The nickel alloy powder of the present invention contains 90% to 97% by mass of nickel, 3.0% to 10.0% by mass of tantalum, and has a chlorine content of 0.05% by mass or less. , the ratio of oxygen content (mass %) to BET specific surface area (m 2 /g) is 0.25 (mass %·g/m 2 ) or less. [Selection diagram] None
Description
この発明は、ニッケル合金粉末及び、ニッケル合金粉末の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a nickel alloy powder and a method for producing the nickel alloy powder.
ニッケル含有粉末は、その優れた放熱特性や電気特性の故に、多機能携帯電話を含む電子計算機用の積層セラミックチップコンデンサ（ＭＬＣＣ）の電極材料、ニッケル水素電池やリチウムイオン電池の材料として用いられることがある。 Because of its excellent heat dissipation and electrical properties, nickel-containing powder is used as an electrode material for multilayer ceramic chip capacitors (MLCCs) for computers, including multifunctional mobile phones, and as a material for nickel-metal hydride batteries and lithium-ion batteries. There is.
このうち、積層セラミックチップコンデンサは、誘電体層と内部電極層とを交互に積層し、その両端に外部電極を設けた構成を有する。その誘電体層には、チタン酸バリウム等の誘電率の高いセラミックを主成分とする材料が、また、内部電極層にはニッケル含有粉末がそれぞれ使用される。 Among these, a multilayer ceramic chip capacitor has a structure in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately laminated, and external electrodes are provided at both ends. The dielectric layer is made of a material whose main component is ceramic having a high dielectric constant, such as barium titanate, and the internal electrode layer is made of nickel-containing powder.
ニッケル含有粉末を積層セラミックチップコンデンサの製造に用いるには、ニッケル含有粉末を有機バインダ等と混ぜ合わせてペーストとする。その後、ニッケル含有粉末を含むペーストとセラミック粉末によるグリーンシートとを積層させ、それらを同時に加熱してセラミック粉末及びニッケル含有粉末をそれぞれ焼結させることで、内部電極層及び誘電体層を形成する。 In order to use the nickel-containing powder for manufacturing a multilayer ceramic chip capacitor, the nickel-containing powder is mixed with an organic binder or the like to form a paste. Thereafter, a paste containing nickel-containing powder and a green sheet made of ceramic powder are laminated, and they are simultaneously heated to sinter the ceramic powder and nickel-containing powder, respectively, thereby forming internal electrode layers and dielectric layers.
ここで、ニッケル含有粉末を、実質的にニッケルからなるニッケル粉末とした場合、上記のように互いに積層させたペースト及びグリーンシートを同時に加熱する際に、ニッケル粉末がセラミック粉末とは異なる温度で焼結し、それらの焼結時の収縮挙動に差異が生じることがある。その結果、積層セラミックチップコンデンサに、デラミネーションやクラック等といったような欠陥が発生するおそれがある。 Here, if the nickel-containing powder is a nickel powder consisting essentially of nickel, the nickel powder is sintered at a different temperature than the ceramic powder when simultaneously heating the paste and green sheets laminated together as described above. This can lead to differences in their shrinkage behavior during sintering. As a result, defects such as delamination and cracks may occur in the multilayer ceramic chip capacitor.
これに対処するには、ニッケル含有粉末として、ニッケル粉末ではなく、たとえば特許文献１～３に記載されているようなニッケル合金粉末を用いることが考えられる。 To deal with this, it is conceivable to use nickel alloy powders such as those described in Patent Documents 1 to 3, instead of nickel powder, as the nickel-containing powder.
特許文献１には、「ニッケルを主成分とし、これに５価あるいは６価の遷移金属元素を添加した合金粉末からなることを特徴とする電極組成物」が開示されている。より詳細には、「前記遷移金属元素が、Ｎｂ，Ｔａ，Ｖ，Ｍｏ，Ｗのうち少なくとも１種類以上からなること」、「前記ニッケルの含有量が９５～９９．５ｗｔ％、前記遷移金属元素の含有量が０．５～５ｗｔ％であること」が記載されている。 Patent Document 1 discloses "an electrode composition comprising an alloy powder containing nickel as a main component and to which a pentavalent or hexavalent transition metal element is added." More specifically, "the transition metal element consists of at least one of Nb, Ta, V, Mo, and W", "the content of nickel is 95 to 99.5 wt%, the transition metal element The content of 0.5 to 5 wt%.''
特許文献２には、「Ｎｉ：７０～９９．９質量％及びＶ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗから成る群から選ばれた１又は２以上の元素０．１～３０質量％から成り、平均粒径が０．１～１μｍであることを特徴とする導電ペースト用Ｎｉ合金粉」が記載されている。 Patent Document 2 states, “Ni: 70 to 99.9% by mass and 0.1 to 30% by mass of one or more elements selected from the group consisting of V, Cr, Zr, Nb, Mo, Ta, and W. "Ni alloy powder for conductive paste," which is characterized by having an average particle size of 0.1 to 1 μm.
特許文献３には、「塩化ニッケルガスと、タングステン、モリブデン、ニオブ、タンタルから選ばれる少なくとも一種類の金属塩化物ガスとの混合ガスを、９８０℃以上１１５０℃以下で気相水素還元することにより、平均粒径が１０ｎｍ以上１００ｎｍ未満のニッケル合金粉末を得ることを特徴とするニッケル合金粉末の製造方法」が記載されている。 Patent Document 3 states, ``By reducing a mixed gas of nickel chloride gas and at least one metal chloride gas selected from tungsten, molybdenum, niobium, and tantalum with gas phase hydrogen at 980°C or higher and 1150°C or lower, , a method for producing a nickel alloy powder characterized by obtaining a nickel alloy powder having an average particle size of 10 nm or more and less than 100 nm.
ところで、ニッケル合金粉末は、塩化ニッケル及び合金元素の金属塩化物を気体の状態で接触させるとともに還元する気相還元法により製造することができる。 By the way, nickel alloy powder can be produced by a gas phase reduction method in which nickel chloride and a metal chloride of an alloying element are contacted in a gaseous state and reduced.
但し、気相還元法により生成されたニッケル合金粉末は、その生成過程に塩素が使用されたこと等に起因して、塩素が含まれる。塩素を含むニッケル合金粉末は、たとえば積層セラミックチップコンデンサの製造に用いた場合に、クラックやデラミネーションを招くことが懸念される。また、ニッケル合金粉末には酸素が含まれることがある。酸素含有量がある程度多いと、焼成時の収縮率が大きくなるため、クラック及びデラミネーションを招くことが懸念される。 However, the nickel alloy powder produced by the vapor phase reduction method contains chlorine due to the use of chlorine in the production process. When nickel alloy powder containing chlorine is used, for example, in the production of multilayer ceramic chip capacitors, there is a concern that it may cause cracks and delamination. Further, nickel alloy powder may contain oxygen. When the oxygen content is high to a certain extent, the shrinkage rate during firing increases, which may lead to cracks and delamination.
この発明は、このような問題を解決することを課題とするものであり、その目的は、塩素及び酸素の含有量が比較的少ないニッケル合金粉末及び、ニッケル合金粉末の製造方法を提供することにある。 The present invention aims to solve these problems, and its purpose is to provide a nickel alloy powder with relatively low chlorine and oxygen content, and a method for producing the nickel alloy powder. be.
発明者は鋭意検討の結果、気相還元法で還元性ガスをある程度多くし、それにより生成された反応生成粉末を、不活性雰囲気の下、水で洗浄することにより、塩素含有量が少なくなるとともに、酸素含有量の増大を抑制できることを見出した。 As a result of extensive research, the inventor found that by increasing the amount of reducing gas to a certain extent using a gas phase reduction method and washing the resulting reaction product powder with water under an inert atmosphere, the chlorine content could be reduced. At the same time, it was found that increase in oxygen content could be suppressed.
この発明のニッケル合金粉末は、ニッケルを９０質量％～９７質量％、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有し、塩素含有量が０．０５質量％以下、ＢＥＴ比表面積（ｍ2／ｇ）に対する酸素含有量（質量％）の割合が０．２５（質量％・ｇ／ｍ2）以下であるものである。 The nickel alloy powder of the present invention contains 90% to 97% by mass of nickel, 3.0% to 10.0% by mass of tantalum, has a chlorine content of 0.05% by mass or less, and has a BET specific surface area. The ratio of oxygen content (mass %) to (m 2 /g) is 0.25 (mass %·g/m 2 ) or less.
上記のニッケル合金粉末は、塩素含有量が０．０００１質量％～０．０３質量％であることが好ましい。 The nickel alloy powder described above preferably has a chlorine content of 0.0001% by mass to 0.03% by mass.
また、上記のニッケル合金粉末は、ＢＥＴ比表面積（ｍ2／ｇ）に対する酸素含有量（質量％）の割合が０．１０（質量％・ｇ／ｍ2）～０．２３（質量％・ｇ／ｍ2）であることが好ましい。 In addition, the above nickel alloy powder has a ratio of oxygen content (mass%) to BET specific surface area (m 2 /g) of 0.10 (mass%・g/m 2 ) to 0.23 (mass%・g). /m 2 ) is preferable.
この発明のニッケル合金粉末の製造方法は、ニッケルを９０質量％～９７質量％、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有するニッケル合金粉末を製造する方法であって、塩化ニッケルガス、塩化タンタルガス及び還元性ガスを接触させ、塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスを還元しながら、ニッケルとタンタルとを合金化させて、反応生成粉末を得る還元工程と、前記反応生成粉末を、不活性雰囲気の下、水で洗浄する洗浄工程とを含むものである。 The method for producing a nickel alloy powder of the present invention is a method for producing a nickel alloy powder containing 90% to 97% by mass of nickel and 3.0% to 10.0% by mass of tantalum, the method comprising: a reduction step of bringing nickel gas, tantalum chloride gas and a reducing gas into contact and alloying nickel and tantalum while reducing the nickel chloride gas and tantalum chloride gas to obtain a reaction product powder; , and a washing step of washing with water under an inert atmosphere.
上記の製造方法の前記洗浄工程では、前記水として、水中に不活性ガスを供給することにより溶存酸素量が低減された水を用いることが好ましい。 In the washing step of the above manufacturing method, it is preferable to use water in which the amount of dissolved oxygen is reduced by supplying an inert gas into the water.
また、上記の製造方法の前記洗浄工程では、前記水として、溶存酸素量が３ｍｇ／Ｌ未満である水を用いることが好ましい。 Further, in the washing step of the above manufacturing method, it is preferable that water having a dissolved oxygen amount of less than 3 mg/L is used as the water.
この発明のニッケル合金粉末は、塩素及び酸素の含有量が比較的少ないものである。この発明のニッケル合金粉末の製造方法によれば、塩素を有効に除去しながら、酸素含有量の増大を抑制することができ、上記のニッケル合金粉末の製造に適している。 The nickel alloy powder of this invention has relatively low chlorine and oxygen contents. According to the method for producing nickel alloy powder of the present invention, it is possible to suppress an increase in oxygen content while effectively removing chlorine, and it is suitable for producing the above-mentioned nickel alloy powder.
以下に、この発明の実施の形態について詳細に説明する。
この発明の一の実施形態のニッケル合金粉末は、ニッケルを９０質量％～９７質量％、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有するものである。そして、その塩素含有量は０．０５質量％以下であり、ＢＥＴ比表面積（ｍ2／ｇ）に対する酸素含有量（質量％）の割合は０．２５（質量％・ｇ／ｍ2）以下である。
Embodiments of the present invention will be described in detail below.
The nickel alloy powder of one embodiment of the present invention contains 90% to 97% by mass of nickel and 3.0% to 10.0% by mass of tantalum. The chlorine content is 0.05% by mass or less, and the ratio of oxygen content (mass%) to BET specific surface area (m 2 /g) is 0.25 (mass%・g/m 2 ) or less. be.
気相還元法により生成された反応生成粉末は、比較的多量の塩素が含まれている。この反応生成粉末を単純に大気雰囲気下で水によって洗浄した場合は、塩素が除去されたとしても、その洗浄時の雰囲気に起因して酸素が取り込まれて酸化し、酸素含有量の多いニッケル合金粉末となることがわかった。これに対し、この発明の実施形態の製造方法では、洗浄工程にて、反応生成粉末を水で洗浄する際の雰囲気を不活性雰囲気とする。水による洗浄を不活性雰囲気下で行うことにより、塩素含有量及び酸素含有量がともに十分に少ないニッケル合金粉末を製造することができる。さらに、洗浄工程に供する反応生成粉末を還元工程で得る際に、還元性ガスをある程度多く供給することで、塩素含有量が有効に低減されたニッケル合金粉末が製造される。 The reaction product powder produced by the gas phase reduction method contains a relatively large amount of chlorine. If this reaction product powder is simply washed with water in the air, even if chlorine is removed, oxygen will be taken in and oxidized due to the washing atmosphere, resulting in nickel alloys with high oxygen content. It turned out to be a powder. In contrast, in the manufacturing method of the embodiment of the present invention, the atmosphere in which the reaction product powder is washed with water in the washing step is an inert atmosphere. By performing washing with water under an inert atmosphere, a nickel alloy powder having sufficiently low chlorine and oxygen contents can be produced. Furthermore, when obtaining the reaction product powder to be subjected to the cleaning process in the reduction process, by supplying a certain amount of reducing gas, a nickel alloy powder with an effectively reduced chlorine content can be produced.
（ニッケル合金粉末）
ニッケル合金粉末は、ニッケル（Ｎｉ）を９０質量％～９７質量％、タンタル（Ｔａ）を３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有するものである。典型的には、ニッケル合金粉末は、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％で含有し、残部がニッケル及び不純物からなる。
(nickel alloy powder)
The nickel alloy powder contains 90% to 97% by mass of nickel (Ni) and 3.0% to 10.0% by mass of tantalum (Ta). Typically, nickel alloy powder contains tantalum at 3.0% to 10.0% by weight, with the balance consisting of nickel and impurities.
ニッケル含有量は９４質量％～９７質量％であること、タンタル含有量は３．０質量％～６．０質量％であることが好ましい。 The nickel content is preferably 94% to 97% by mass, and the tantalum content is preferably 3.0% to 6.0% by mass.
この実施形態のニッケル合金粉末は、塩素（Ｃｌ）の含有量が０．０５質量％以下であり、たとえば０．０００１質量％～０．０３質量％となる場合がある。このように塩素含有量が少ないことにより、焼結させたときのクラックやデラミネーションの発生が抑制される。塩素含有量が０．０１質量％以下の場合、燃焼－電量滴定法より測定する。より詳細には、塩素含有量の測定装置として三菱化学社製のＴＯＸ－２１００Ｈを使用する。また、塩素含有量が０．０１質量％超の場合、硝酸銀滴定法により測定する。より詳細には、測定装置として三菱化学社製のＧＴ－２００を使用する。 The nickel alloy powder of this embodiment has a chlorine (Cl) content of 0.05% by mass or less, for example, 0.0001% by mass to 0.03% by mass. This low chlorine content suppresses the occurrence of cracks and delamination during sintering. If the chlorine content is 0.01% by mass or less, it is measured by combustion-coulometric titration. More specifically, TOX-2100H manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation is used as a chlorine content measuring device. Moreover, when the chlorine content is more than 0.01% by mass, it is measured by silver nitrate titration method. More specifically, GT-200 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation is used as a measuring device.
また、ニッケル合金粉末の、後述するＢＥＴ比表面積に対する酸素含有量の割合が多い場合も、焼結後のクラックやデラミネーションが発生しやすくなる傾向がある。これに対し、この実施形態のニッケル合金粉末は、ＢＥＴ比表面積（ｍ2／ｇ）に対する酸素含有量（質量％）の割合は０．２５（質量％・ｇ／ｍ2）以下であり、たとえば０．１０（質量％・ｇ／ｍ2）～０．２３（質量％・ｇ／ｍ2）である場合がある。酸素含有量は、不活性ガス融解－赤外線吸収法により測定する。酸素含有量の測定は、堀場製作所社製のＥＭＧＡ－９２０を使用する。 Further, when the ratio of oxygen content to the BET specific surface area of the nickel alloy powder is high, cracks and delamination after sintering tend to occur more easily. On the other hand, in the nickel alloy powder of this embodiment, the ratio of oxygen content (mass%) to BET specific surface area (m 2 /g) is 0.25 (mass%・g/m 2 ) or less, for example. It may be 0.10 (mass %·g/m 2 ) to 0.23 (mass %·g/m 2 ). Oxygen content is measured by inert gas melting-infrared absorption method. For the measurement of oxygen content, EMGA-920 manufactured by Horiba, Ltd. is used.
ニッケル合金粉末は、ＢＥＴ比表面積が１．５ｍ2／ｇ～６．０ｍ2／ｇとなる場合がある。ＢＥＴ比表面積の測定は、ＢＥＴ法（ガス吸着法）により行い、株式会社マウンテック製の全自動比表面積測定装置（Ｍａｃｓｏｒｂ（登録商標））を用いることができる。 The nickel alloy powder may have a BET specific surface area of 1.5 m 2 /g to 6.0 m 2 /g. The BET specific surface area can be measured by the BET method (gas adsorption method) using a fully automatic specific surface area measuring device (Macsorb (registered trademark)) manufactured by Mountec Co., Ltd.
ニッケル合金粉末は、平均円形度が０．８５～０．９５となる場合がある。平均円形度は、ニッケル合金粉末を顕微鏡で観察して得られる画像内の５００個以上の各粒子について、粒子の投影面の周長Ａ及び、その投影面と面積が等しい円の周長Ｂとの比（Ｂ／Ａ）として算出される円形度Ｃの平均値として求める。 Nickel alloy powder may have an average circularity of 0.85 to 0.95. The average circularity is determined by the circumference A of the projected plane of the particle and the circumference B of a circle whose area is equal to the projected plane for each of 500 or more particles in an image obtained by observing nickel alloy powder with a microscope. It is determined as the average value of the circularity C calculated as the ratio (B/A).
ニッケル合金粉末の１０％粒子径Ｄ１０は０．０７５μｍ～０．３μｍ、５０％粒子径Ｄ５０は０．１μｍ～０．４μｍ、９０％粒子径Ｄ９０は０．１５μｍ～０．６μｍとなる場合がある。１０％粒子径Ｄ１０、５０％粒子径Ｄ５０及び９０％粒子径Ｄ９０の測定はそれぞれ、レーザ回折／散乱式粒子径分布測定装置で測定して得られる粒子径分布グラフで、体積基準の頻度の累積が５０％、１０％及び９０％になる粒子径を求めることにより行う。また、ニッケル合金粉末のＳＰＡＮ値は、式：ＳＰＡＮ値＝（Ｄ９０－Ｄ１０）／Ｄ５０で求められ、０．５～０．８となる場合がある。 The 10% particle size D10 of the nickel alloy powder may be 0.075 μm to 0.3 μm, the 50% particle size D50 may be 0.1 μm to 0.4 μm, and the 90% particle size D90 may be 0.15 μm to 0.6 μm. . The measurements of 10% particle size D10, 50% particle size D50, and 90% particle size D90 are particle size distribution graphs obtained by measuring with a laser diffraction/scattering particle size distribution measuring device, respectively, and are the cumulative volume-based frequency. This is done by determining the particle diameters at which the ratio is 50%, 10%, and 90%. Further, the SPAN value of the nickel alloy powder is determined by the formula: SPAN value=(D90-D10)/D50, and may be 0.5 to 0.8.
ニッケル合金粉末は、個数基準の平均径が０．１μｍ～０．４μｍとなる場合がある。この平均径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名 ＳＵ５０００）を用いて、倍率３００００倍におけるＳＥＭ像の一つの視野中に存在する５００個の銅粒子を画像解析ソフト（株式会社マウンテック製、商品名 Ｍａｃｖｉｅｗ４．０）を用いて解析により求める。
ニッケル合金粉末の上記平均径の標準偏差は０．０２～０．１２となることがある。標準偏差は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名 ＳＵ５０００）を用いて、倍率３００００倍におけるＳＥＭ像の一つの視野中に存在する５００個の銅粒子を画像解析ソフト（株式会社マウンテック製、商品名 Ｍａｃｖｉｅｗ４．０）を用いて解析により求める。
ニッケル合金粉末のＣＶ値は０．２～０．３となる場合がある。ＣＶ値は、上記標準偏差を上記の個数基準の平均径で割ったものである。
The nickel alloy powder may have an average diameter on a number basis of 0.1 μm to 0.4 μm. This average diameter was determined using a scanning electron microscope (SEM: manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, trade name: SU5000), and 500 copper particles present in one field of view of an SEM image at a magnification of 30,000 times were analyzed using image analysis software. (manufactured by Mountech Co., Ltd., trade name Macview 4.0).
The standard deviation of the average diameter of the nickel alloy powder may be 0.02 to 0.12. The standard deviation is calculated by using a scanning electron microscope (SEM: manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, trade name SU5000), using image analysis software ( It is determined by analysis using Macview 4.0 (trade name, manufactured by Mountech Co., Ltd.).
The CV value of nickel alloy powder may be 0.2 to 0.3. The CV value is obtained by dividing the above standard deviation by the above number-based average diameter.
（製造方法）
上述したようなニッケル合金粉末は、たとえば次に述べるようにして製造することができる。
(Production method)
The nickel alloy powder as described above can be manufactured, for example, as described below.
ここでは、気相還元法により生成された反応生成粉末を準備する。この反応生成粉末は、市販品でもよいが、以下に述べる気相還元法を行うことで得ることもできる。 Here, a reaction product powder produced by a gas phase reduction method is prepared. This reaction product powder may be a commercially available product, but it can also be obtained by performing the gas phase reduction method described below.
気相還元法では、塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスを混合状態で還元しながら、そこに含まれるニッケルとタンタルを合金化させる。これには、典型的には、固体の金属ニッケルを塩素と反応させて塩化ニッケルガスを生成させるとともに、固体の金属タンタルを塩素と反応させて塩化タンタルガスを生成させる塩化工程と、塩化ニッケルガス、塩化タンタルガス及び還元性ガスとを反応させる還元工程とが含まれる。なお、還元工程で用いる塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスを別途入手可能であれば、塩化工程は省略してもよい。 In the gas phase reduction method, nickel chloride gas and tantalum chloride gas are reduced in a mixed state, and the nickel and tantalum contained therein are alloyed. This typically involves a chlorination step in which solid metallic nickel is reacted with chlorine to produce nickel chloride gas, and solid metallic tantalum is reacted with chlorine to produce tantalum chloride gas; , and a reduction step of reacting tantalum chloride gas and a reducing gas. Note that the chlorination step may be omitted if nickel chloride gas and tantalum chloride gas used in the reduction step can be obtained separately.
塩化工程では、たとえば、ニッケル塩化炉及び、それとは分離したタンタル塩化炉が用いることがある。ニッケル塩化炉では、金属ニッケルを含む固体原料を、たとえば９００℃～１１００℃に加熱して蒸発させ、これを塩素ガスと接触させて塩化ニッケルガスを生成させる。また、タンタル塩化炉では、金属タンタルを含む固体原料を、たとえば９００℃～１１００℃に加熱して蒸発させ、これを塩素ガスと接触させて塩化タンタルガスを生成させる。 In the chlorination process, for example, a nickel chlorination furnace and a separate tantalum chlorination furnace may be used. In a nickel chloride furnace, a solid raw material containing metallic nickel is heated to, for example, 900° C. to 1100° C. to evaporate, and then brought into contact with chlorine gas to generate nickel chloride gas. In addition, in a tantalum chloride furnace, a solid raw material containing metal tantalum is heated to, for example, 900° C. to 1100° C. to evaporate, and this is brought into contact with chlorine gas to generate tantalum chloride gas.
還元工程では、上記の塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスをそれぞれ、たとえば還元炉に送り込み、そこでさらに還元性ガスと混合させることで、還元反応を起こしながら、ニッケルとタンタルを合金化する。 In the reduction step, the nickel chloride gas and the tantalum chloride gas are each sent to, for example, a reduction furnace, where they are further mixed with a reducing gas to alloy nickel and tantalum while causing a reduction reaction.
なお、ニッケル塩化炉及びタンタル塩化炉のそれぞれと還元炉とを接続することで、塩化工程で塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスをそれぞれ発生させながら、それらを還元工程に供給して還元及び合金化が起こるようにして、塩化工程と還元工程を連続的に行ってもよい。 By connecting the nickel chloride furnace and tantalum chloride furnace to the reduction furnace, nickel chloride gas and tantalum chloride gas can be generated in the chlorination process, while being supplied to the reduction process for reduction and alloying. The salination step and the reduction step may be carried out sequentially, as they occur.
還元工程では、還元炉にさらに、窒素やアルゴン等の不活性ガスを供給することができる。不活性ガスの供給により、塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスの分圧が調整され、その後に得られる反応生成粉末やニッケル合金粉末の粒径や合金組成を制御することができる。 In the reduction process, an inert gas such as nitrogen or argon can be further supplied to the reduction furnace. By supplying the inert gas, the partial pressures of the nickel chloride gas and the tantalum chloride gas are adjusted, and the particle size and alloy composition of the reaction product powder and nickel alloy powder obtained thereafter can be controlled.
還元炉に供給される還元性ガスとしての水素ガスの供給比率は、気相還元反応に必要な理論値の１００モル％以上、好ましくは１１０モル％～２００モル％とすることが好ましい。また、還元炉へ供給する塩化タンタルガスの分圧、吐出速度、塩化タンタルガスに対する水素ガスの割合、還元炉内に各ガスを噴出するノズルの形状や構造等は適宜変更して、適切に調整することが望ましい。 The supply ratio of hydrogen gas as the reducing gas supplied to the reduction furnace is preferably 100 mol% or more, preferably 110 mol% to 200 mol%, of the theoretical value required for the gas phase reduction reaction. In addition, the partial pressure and discharge rate of tantalum chloride gas supplied to the reduction furnace, the ratio of hydrogen gas to tantalum chloride gas, and the shape and structure of the nozzles that eject each gas into the reduction furnace are changed and adjusted appropriately. It is desirable to do so.
還元炉内の温度は、たとえば９８０℃～１１５０℃とすることができる。粒径が小さいニッケル合金粉末を得るとの観点からは、温度を高くしすぎないほうが良いが、温度が低すぎると、塩化物が析出するおそれがある。 The temperature inside the reduction furnace can be, for example, 980°C to 1150°C. From the viewpoint of obtaining nickel alloy powder with a small particle size, it is better not to raise the temperature too high, but if the temperature is too low, there is a risk that chlorides will precipitate.
還元工程で反応生成粉末が得られた後は、凝集による二次粒子の生成を抑制するため、たとえば低温の窒素等の不活性ガスを供給すること等により、反応生成粉末を４００℃～８００℃程度に急冷することが好ましい。その後、バグフィルター等を用いて、反応生成粉末を回収する。 After the reaction product powder is obtained in the reduction process, the reaction product powder is heated to 400°C to 800°C by, for example, supplying low-temperature inert gas such as nitrogen in order to suppress the formation of secondary particles due to agglomeration. It is preferable to rapidly cool it to a certain extent. Thereafter, the reaction product powder is collected using a bag filter or the like.
上述したようにして生成された反応生成粉末に対しては、洗浄工程を行う。洗浄工程では、たとえば反応生成粉末を、純水その他の水に投入すること等により、当該水で洗浄する。洗浄工程を経ることにより、反応生成粉末に含まれていた塩素が有効に取り除かれ、塩素含有量が少ないニッケル合金粉末が得られる。 The reaction product powder produced as described above is subjected to a washing process. In the washing step, for example, the reaction product powder is washed with pure water or other water, for example. Through the washing step, the chlorine contained in the reaction product powder is effectively removed, resulting in a nickel alloy powder with a low chlorine content.
洗浄工程での洗浄は、窒素又はアルゴン等の不活性雰囲気下で行う。それにより、反応生成粉末の洗浄時の酸化が抑えられて、酸素含有量の増大を抑制することができる。 Cleaning in the cleaning step is performed under an inert atmosphere such as nitrogen or argon. Thereby, oxidation of the reaction product powder during cleaning can be suppressed, and an increase in oxygen content can be suppressed.
洗浄では、たとえば、反応生成粉末を水に投入した後に、攪拌後、静置して反応生成粉末を沈降させてから上澄みを除去する操作を行うことができ、この操作の回数は１回又は、必要に応じて複数回とすることができる。 In washing, for example, an operation can be performed in which the reaction product powder is poured into water, stirred, and left to settle, and then the supernatant is removed, and the number of times of this operation is once or This can be done multiple times if necessary.
また、洗浄に用いる水は、溶存酸素量が３ｍｇ／Ｌ未満に低減されたものであることが好適である。洗浄用の水の溶存酸素量がある程度多いと、その溶存酸素によって反応生成粉末の酸化が進行し、ニッケル合金粉末の酸素含有量が増大し得るからである。この観点から、洗浄に先立ち、洗浄に用いる水に対して、当該水中にアルゴン等の不活性ガスを供給してバブリングを行い、溶存酸素量を低減しておくことが望ましい。 Further, it is preferable that the amount of dissolved oxygen in the water used for washing is reduced to less than 3 mg/L. This is because if the amount of dissolved oxygen in the cleaning water is large to a certain extent, the dissolved oxygen may progress the oxidation of the reaction product powder, increasing the oxygen content of the nickel alloy powder. From this point of view, it is desirable to reduce the amount of dissolved oxygen by supplying an inert gas such as argon to the water used for cleaning and bubbling the water before cleaning.
洗浄工程の後、乾燥その他の処理を行い、ニッケル合金粉末を製造することができる。このニッケル合金粉末は、ニッケルを９０質量％～９７質量％、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有するものであって、塩素及び酸素の含有量が比較的少ないものになる。 After the washing step, drying and other treatments can be performed to produce nickel alloy powder. This nickel alloy powder contains 90% to 97% by mass of nickel, 3.0% to 10.0% by mass of tantalum, and has relatively low chlorine and oxygen contents. Become.
次に、この発明のニッケル合金粉末を製造する試験を行ったので、その詳細について以下に説明する。但し、この説明は単なる例示を目的としたものであり、これに限定されることを意図するものではない。 Next, a test was conducted to produce the nickel alloy powder of the present invention, and the details thereof will be described below. However, this description is merely for the purpose of illustration, and is not intended to be limiting.
実施例１及び２では、気相還元法により、塩化ニッケルガス、塩化タンタルガス及び、還元性ガスとしての水素ガスを含むガスを混合させて反応させ、反応生成粉末を得た。実施例２では、実施例１よりも水素ガスの供給比率を低くした。 In Examples 1 and 2, nickel chloride gas, tantalum chloride gas, and a gas containing hydrogen gas as a reducing gas were mixed and reacted by a gas phase reduction method to obtain a reaction product powder. In Example 2, the hydrogen gas supply ratio was lower than in Example 1.
その後、上記の反応生成粉末をアルゴン雰囲気の下、水で洗浄した。洗浄に用いた水は、アルゴンガスを供給してバブリングを行い、予め溶存酸素を３ｍｇ／Ｌ未満に低減させたものとした。洗浄では、水の投入、攪拌５分、静置１０分～１５分、沈降及び上澄み除去の操作を５回行った。洗浄後にアルゴン雰囲気の下で乾燥させ、ニッケル合金粉末を得た。参考として、実施例１のＳＥＭ画像を図１に示す。 Thereafter, the reaction product powder was washed with water under an argon atmosphere. The water used for cleaning was bubblinged by supplying argon gas to reduce dissolved oxygen to less than 3 mg/L in advance. For washing, the operations of adding water, stirring for 5 minutes, standing still for 10 to 15 minutes, settling, and removing the supernatant were performed 5 times. After washing, it was dried under an argon atmosphere to obtain a nickel alloy powder. For reference, a SEM image of Example 1 is shown in FIG.
比較例１では、気相還元法での水素ガスの供給比率を低くしたことを除いて、実施例１と同様にしてニッケル合金粉末を製造した。比較例２では、水素ガスの供給比率を若干低くしたこと、洗浄を大気雰囲気下で行ったこと、及び、洗浄に用いた水の溶存酸素量が７ｍｇ／Ｌであったことを除いて、実施例１と同様にしてニッケル合金粉末を製造した。比較例３では、反応生成粉末に対して洗浄を行わなかったことを除いて、実施例２と同様にしてニッケル合金粉末を製造した。 In Comparative Example 1, a nickel alloy powder was produced in the same manner as in Example 1, except that the supply ratio of hydrogen gas in the gas phase reduction method was lowered. In Comparative Example 2, the implementation was carried out except that the supply ratio of hydrogen gas was slightly lowered, the cleaning was performed in an atmospheric atmosphere, and the amount of dissolved oxygen in the water used for cleaning was 7 mg/L. A nickel alloy powder was produced in the same manner as in Example 1. In Comparative Example 3, nickel alloy powder was produced in the same manner as in Example 2, except that the reaction product powder was not washed.
実施例１及び２並びに比較例１～３の各ニッケル合金粉末について、塩素含有量、酸素含有量、ＢＥＴ比表面積、平均円形度、１０％粒子径Ｄ１０、５０％粒子径Ｄ５０、９０％粒子径Ｄ９０、ＳＰＡＮ値、平均径、標準偏差及び、ＣＶ値を、先述した方法により求めた。その結果を表１、２に示す。なお、表１中、酸素（Ｏ）含有量の「増分」とは、ニッケル合金粉末の酸素含有量から、反応生成粉末の酸素含有量を差し引いたものであり、洗浄によって増加した酸素含有量を意味する。 For each nickel alloy powder of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3, chlorine content, oxygen content, BET specific surface area, average circularity, 10% particle size D10, 50% particle size D50, 90% particle size D90, SPAN value, average diameter, standard deviation, and CV value were determined by the methods described above. The results are shown in Tables 1 and 2. In Table 1, the "increment" in oxygen (O) content is the oxygen content of the reaction product powder subtracted from the oxygen content of the nickel alloy powder. means.
表１より、実施例１及び２では、反応生成粉末を水で洗浄したことにより、ニッケル合金粉末の塩素含有量が十分に少なくなった。また、実施例１及び２のニッケル合金粉末は、洗浄したことにより、反応生成粉末よりも酸素含有量が増加しているが、その増分を小さく抑えることができた。 From Table 1, in Examples 1 and 2, the chlorine content of the nickel alloy powder was sufficiently reduced by washing the reaction product powder with water. In addition, although the nickel alloy powders of Examples 1 and 2 had increased oxygen content compared to the reaction product powder due to washing, the increase could be kept small.
また、実施例１のニッケル合金粉末（Ｎｉ－Ｔａ）及び、実質的にニッケルのみからなるニッケル粉末（Ｎｉ）のそれぞれについて、熱機械分析装置（ＴＭＡ、株式会社リガク製のＴＭＡ８３１１）を用いて、昇温時の収縮率を測定する分析を行った。測定条件は、φ５×１０ｍｍｈのプレス成型体を作製し、２％Ｈ2－Ｎ2雰囲気下にて５℃／ｍｉｎの連続昇温にて測定した。その結果を図２に示す。図２のＴＭＡ分析結果より、実施例１は、ニッケル粉末（Ｎｉ単体）と比較して、焼結開始温度（収縮率２％に到達するときの温度）が２８０℃向上したことが確認された。 Further, for each of the nickel alloy powder (Ni-Ta) of Example 1 and the nickel powder (Ni) consisting essentially only of nickel, using a thermomechanical analyzer (TMA, TMA8311 manufactured by Rigaku Co., Ltd.), An analysis was conducted to measure the shrinkage rate during temperature rise. The measurement conditions were as follows: A press-molded body of φ5×10 mmh was prepared, and the temperature was continuously raised at 5° C./min in a 2% H 2 -N 2 atmosphere. The results are shown in FIG. From the TMA analysis results shown in Figure 2, it was confirmed that the sintering start temperature (temperature when shrinkage rate reaches 2%) was improved by 280°C in Example 1 compared to nickel powder (Ni alone). .
比較例１では、気相還元法で水素ガスの供給比率が低かったことにより、反応生成粉末の塩素含有量が多くなり、洗浄後のニッケル合金粉末でも多くの塩素が残留した。比較例２では、反応生成粉末の洗浄を大気雰囲気下で行ったことにより、その洗浄によって酸素含有量が大きく増加し、酸素を多く含有するニッケル合金粉末となった。比較例３は、洗浄を行わなかったことにより、ニッケル合金粉末に塩素が多量に含まれていた。 In Comparative Example 1, since the supply ratio of hydrogen gas was low in the gas phase reduction method, the chlorine content of the reaction product powder increased, and a large amount of chlorine remained even in the nickel alloy powder after washing. In Comparative Example 2, the reaction product powder was washed in an air atmosphere, and the washing greatly increased the oxygen content, resulting in a nickel alloy powder containing a large amount of oxygen. In Comparative Example 3, the nickel alloy powder contained a large amount of chlorine because it was not washed.
以上より、この発明によれば、塩素及び酸素の含有量が比較的少ないニッケル合金粉末が得られることがわかった。 From the above, it has been found that according to the present invention, a nickel alloy powder with relatively low chlorine and oxygen contents can be obtained.
Claims (6)
ニッケルを９０質量％～９７質量％、タンタルを３．０質量％～１０．０質量％でそれぞれ含有し、
塩素含有量が０．０５質量％以下、ＢＥＴ比表面積（ｍ2／ｇ）に対する酸素含有量（質量％）の割合が０．２５（質量％・ｇ／ｍ2）以下であるニッケル合金粉末。 A nickel alloy powder,
Containing nickel at 90% by mass to 97% by mass and tantalum at 3.0% by mass to 10.0% by mass,
A nickel alloy powder having a chlorine content of 0.05% by mass or less and a ratio of oxygen content (mass%) to BET specific surface area (m 2 /g) of 0.25 (mass%·g/m 2 ) or less.
塩化ニッケルガス、塩化タンタルガス及び還元性ガスを接触させ、塩化ニッケルガス及び塩化タンタルガスを還元しながら、ニッケルとタンタルとを合金化させて、反応生成粉末を得る還元工程と、
前記反応生成粉末を、不活性雰囲気の下、水で洗浄する洗浄工程と
を含む、ニッケル合金粉末の製造方法。 A method for producing a nickel alloy powder containing 90% to 97% by mass of nickel and 3.0% to 10.0% by mass of tantalum, the method comprising:
A reduction step in which nickel chloride gas, tantalum chloride gas, and a reducing gas are brought into contact to alloy nickel and tantalum while reducing the nickel chloride gas and tantalum chloride gas to obtain a reaction product powder;
A method for producing a nickel alloy powder, comprising a washing step of washing the reaction product powder with water under an inert atmosphere.
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