JP2023088000A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

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Abstract

【課題】適度な倍率で高い開口数と長い作動距離とを実現する対物レンズを提供する。【解決手段】顕微鏡対物レンズ１は、物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む正の第１レンズ群Ｇ１と、最も物体側に正レンズと負レンズからなる第１接合レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、正の単レンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４と、正レンズと負レンズからなる像側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズからなる第５レンズ群Ｇ５と、正レンズと負レンズからなる物体側に凹面を向けた第３接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６からなり、以下の条件式を満たす。０＜|ｆ／ｆ５|＜０．１５ ・・・（１）但し、ｆは、顕微鏡対物レンズ１の焦点距離、ｆ５は、第５レンズ群Ｇ５の焦点距離である。【選択図】図１

Description

本明細書の開示は、顕微鏡対物レンズに関する。
ウェハの検査などの産業用途で用いられる対物レンズには、高い分解能を実現するために高い開口数（以降、ＮＡと記す。）が要求される。また、高いスループットを実現するため、広い視野とともに、被験物と対物レンズとの衝突リスクを回避しながら搬送速度を向上させるための長い作動距離（以降、ＷＤと記す。）も要求される。
特許第３０９３８３５号公報
例えば、特許文献１には、２０倍でＮＡ０．７の対物レンズが開示されているが、この対物レンズは、ＷＤが１ｍｍと短く、十分ではない。
以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、適度な倍率で高い開口数と長い作動距離とを実現する対物レンズを提供することである。
本発明の一態様に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に配置された、前記物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む正の屈折力を有する第１レンズ群と、最も前記物体側に第１接合レンズを含む第２レンズ群であって、前記第１接合レンズは正レンズと負レンズからなる第２レンズ群と、正の単レンズからなる第３レンズ群と、前記物体側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズを含む第４レンズ群と、像側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズからなる第５レンズ群であって、前記第２接合メニスカスレンズは正レンズと負レンズからなる第５レンズ群と、前記物体側に凹面を向けた第３接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群であって、前記第３接合メニスカスレンズは正レンズと負レンズからなる第６レンズ群と、からなる。前記顕微鏡対物レンズは、以下の条件式を満たす。
０＜|ｆ／ｆ５|＜０．１５ ・・・（１）
但し、ｆは、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離である。ｆ５は、前記第５レンズ群の焦点距離である。
上記の態様によれば、適度な倍率で高い開口数と長い作動距離とを実現する対物レンズを提供することができる。
本発明の実施例１に係る顕微鏡対物レンズ１の断面図である。 結像レンズ１０の断面図である。 顕微鏡対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例２に係る顕微鏡対物レンズ２の断面図である。 顕微鏡対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。 本発明の実施例３に係る顕微鏡対物レンズ３の断面図である。 顕微鏡対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。
本願の一実施形態に係る顕微鏡対物レンズについて説明する。本実施形態に係る顕微鏡対物レンズ（以降、単に顕微鏡対物レンズと記す）は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。
顕微鏡対物レンズは、物体側から順に配置された、第１レンズ群から第６レンズ群までからなる。第１レンズ群は、正の屈折力を有し、物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む。第２レンズ群は、最も物体側に正レンズと負レンズからなる接合レンズ（以降、第１接合レンズと記す。）を含む。第３レンズ群は、正の単レンズからなる。第４レンズ群は、物体側に凹面を向けた全体としてメニスカス形状を有する接合メニスカスレンズ（以降、第１接合メニスカスレンズと記す。）を含む。第５レンズ群は、像側に凹面を向けた全体としてメニスカス形状を有する接合メニスカスレンズ（以降、第２接合メニスカスレンズと記す。）からなる。第６レンズ群は、物体側に凹面を向けた全体としてメニスカス形状を有する接合メニスカスレンズ（以降、第３接合メニスカスレンズと記す。）を含む。なお、第２接合メニスカスレンズと第３接合メニスカスレンズは、それぞれ正レンズと負レンズからなる。
物点からの光は、第１レンズ群から第３レンズ群には、発散光として入射し、第３レンズ群が発散光を収斂光に変換して、第４レンズ群に入射させる。第４レンズ群から第６レンズ群は、第３レンズ群からの収斂光を平行光に変換する。第１レンズ群から第３レンズ群が物点からの発散光を一旦収斂光に変換してから第４レンズ群に入射させることにより、第４レンズ群以降でのマージナル光線高さを第１レンズ群内部でのマージナル光線高さよりも低くすることができる。これにより、ガウス群を構成する第５レンズ群と第６レンズ群でペッツバール和を効果的に補正することが可能となり、その結果、広視野に亘り像面湾曲を良好に補正することが可能となっている。
さらに、最も光線高の高い第３レンズ群の周辺領域（第２レンズ群、第４レンズ群）に接合レンズ（第１接合レンズ、第１接合メニスカスレンズ）を配置することで、色収差を補正することができる。特に、これらの接合レンズを低分散の正レンズと高分散の負レンズからなる色消しレンズとして構成することで良好な色収差が可能となる。
また、顕微鏡対物レンズは、以下の条件式（１）を満たすように構成されている。
０＜|ｆ／ｆ５|＜０．１５ ・・・（１）
但し、ｆは、顕微鏡対物レンズの焦点距離である。ｆ５は、第５レンズ群の焦点距離である。
条件式（１）は、第５レンズ群のパワーを規定したものであり、主にコマ収差を良好に補正するための条件式である。｜ｆ／ｆ５｜が上限値（０．１５）を上回ると、焦点距離に対して第５レンズ群のパワーが大きくなりすぎる。その結果、大きなコマ収差が発生して、コマ収差の対称性が悪化してしまう。
以上のように構成された顕微鏡対物レンズによれば、適度な倍率で高い開口数と長い作動距離とを実現することができる。
なお、対物レンズは、条件式（１）の代わりに下記の条件式（１－１）を満たすように構成されてもよい。
－０．１５＜ｆ／ｆ５＜０ ・・・（１－１）
条件式（１－１）は条件式（１）における第５レンズ群のパワーを更に規定したものであり、結像レンズ１０で発生する微弱なコマ収差も合せて良好に補正するための条件式である。
以下、顕微鏡対物レンズの望ましい構成について説明する。
第１レンズ群は、物体側に凹面を向けた第１メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けた第２メニスカスレンズと、からなることが望ましい。第１レンズ群を物体側に凹面を向けた２枚のメニスカスレンズのみで構成することで、球面収差の発生を低減しつつ、光線を収斂させてゆくことができる。
第２レンズ群は、第１接合レンズからなることが望ましい。第２レンズ群を第１接合レンズだけで構成することで、第１レンズ群で発生した色収差を補正しつつ、光線を収斂させてゆくことができる。
第４レンズ群は、第１接合メニスカスレンズからなることが望ましい。第４レンズ群を第１接合メニスカスレンズだけで構成することで、色収差を低減しつつ高次の球面収差の発生を低減することができる。
第６レンズ群は、第３接合メニスカスレンズからなることが望ましい。第６レンズ群を第３接合メニスカスレンズだけで構成することで、ペッツバール和を効果的に補正しつつ、倍率色収差を良好に補正することができる。
また、顕微鏡対物レンズは、以下の条件式（２）から条件式（４）の少なくとも１つを満たすことが望ましい。
０．５＜ｆ／ｆ１＜１．０ ・・・（２）
３．４＜ｎ１＋ｎ２＜４．０ ・・・（３）
６０＜ν３＜９０ ・・・（４）
但し、ｆ１は、第１レンズ群の焦点距離である。ｎ１は、第１レンズ群に含まれる複数のメニスカスレンズのうち最も物体側に配置されたメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ｎ２は、第１レンズ群に含まれる複数のメニスカスレンズのうち２番目に物体側に配置されたメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ν３は、第３レンズ群を構成する単レンズのアッベ数である。
条件式（２）は、第１レンズ群のパワーを規定したものであり、主に球面収差を効果的に補正するための条件式である。ｆ／ｆ１が下限値（０．５）を下回ると、第１レンズ群のパワーが弱すぎるため、ペッツバール和についてバランスを取りづらくなってしまう。その結果、光学系全体の性能が劣化してしまう。ｆ／ｆ１が上限値（１．０）を上回ると、第１レンズ群のパワーが大きすぎるため、大きな負の球面収差が第１レンズ群で発生してしまう。その結果、他のレンズ群で球面収差を補正しきれず、良好な収差補正が困難となる。
条件式（３）は、第１レンズ群に含まれるメニスカスレンズのうち物体側から２枚分の屈折率の和を規定したものであり、主に高ＮＡの顕微鏡対物レンズを実現しながらペッツバール和を小さくするための条件式である。ｎ１＋ｎ２が下限値（３．４）を下回ると、第１レンズ群のパワーを稼ぐためにメニスカスレンズの曲率半径を小さくする必要があり、その結果、光学系全体でペッツバール和を補正しきれなくなってしまう。ｎ１＋ｎ２が上限値（４．０）を上回ると、各色間の屈折力差が大きくなりすぎてしまい、軸上色収差を良好に補正することが困難になる。
条件式（４）は、第３レンズ群のアッベ数を規定したものであり、主に色収差を良好の補正するための条件式である。ν３が下限値（６０）を下回ると、軸上色収差が増加し、軸上色収差を良好に補正することが困難になる。ν３が上限値（９０）を上回ると、倍率色収差の補正が困難になる。
なお、上述した構成の顕微鏡対物レンズは、２０倍程度で高ＮＡ長ＷＤの顕微鏡対物レンズである。より具体的には、顕微鏡対物レンズは、８ｍｍ以上１０ｍｍ以下の焦点距離を有し、さらに、３ｍｍ以上６ｍｍ以下のＷＤを有する。
以下、上述した顕微鏡対物レンズの実施例について具体的に説明する。
［実施例１］
図１は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１の断面図である。顕微鏡対物レンズ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、最も物体側に第１接合レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、正の単レンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４と、像側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズからなる第５レンズ群Ｇ５と、物体側に凹面を向けた第３接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６と、からなる。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる。
第２レンズ群Ｇ２は、第１接合レンズである接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ４と、からなる。レンズＬ４は、負レンズである。
第３レンズ群Ｇ３は、正の単レンズ、より具体的には両凸レンズである、レンズＬ５からなる。
第４レンズ群Ｇ４は、第１接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７からなる。
第５レンズ群Ｇ５は、第２接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ８と、両凹レンズであるレンズＬ９からなる。
第６レンズ群Ｇ６は、第３接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１１からなる。レンズＬ１０は負レンズであり、レンズＬ１１は正レンズである。
顕微鏡対物レンズ１の各種データは、以下のとおりである。なお、ＮＡｏｂは、顕微鏡対物レンズ１の物体側の開口数である。ＷＤは、顕微鏡対物レンズ１の作動距離である。ｆ２、ｆ３、ｆ４、ｆ６は、それぞれ第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離、第４レンズ群Ｇ４の焦点距離、第６レンズ群Ｇ６の焦点距離である。その他のパラメータは上述したとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.6、ＷＤ＝3.6004ｍ、ｆ＝8.9968ｍｍ、ｆ１＝13.5880ｍｍ、ｆ２＝1789.8ｍｍ、ｆ３＝26.2961ｍｍ、ｆ４＝-104.3538ｍｍ、ｆ５＝-63.4877ｍｍ、ｆ6＝-98.2662ｍｍ、ｎ１＝1.88815、ｎ２＝1.75844、ν３＝71.3
顕微鏡対物レンズ１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
顕微鏡対物レンズ１
s r d ne νd
1 INF 3.6004
2 -10.6173 9 1.88815 40.76
3 -12.4513 0.3
4 -534.4304 2.5576 1.75844 52.32
5 -17.5195 0.9526
6 90.9109 4.8718 1.43986 94.66
7 -11.2089 1.2 1.61664 44.49
8 -54.4275 0.7449
9 43.0506 3.2787 1.57098 71.3
10 -22.4173 0.3
11 -93.0246 1.2 1.62409 36.26
12 11.0585 4.9999 1.43986 94.66
13 -34.4567 0.2664
14 9.5094 4.971 1.62033 63.33
15 -33.7076 1.5 1.67717 38.26
16 6.3158 4.7868
17 -6.5289 1.2 1.7434 32.33
18 -282.4159 3.5697 1.81643 22.76
19 -10.2299 120
ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、νdはアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s1が示す面は、標本面である。面番号s2,s19が示す面は、それぞれ顕微鏡対物レンズ１の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。また、例えば、面間隔d1は、面番号s1が示す面から面番号s2が示す面までの光軸上の距離を示している。なお、面間隔d19は、面番号s19が示す面から結像レンズまでの光軸上の距離（１２０ｍｍ）を示している。
顕微鏡対物レンズ１は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ５｜＝｜-0.142｜＝0.142
（２）ｆ／ｆ１＝0.66
（３）ｎ１＋ｎ２＝3.65
（４）ν３＝71.3
図２は、顕微鏡対物レンズ１と組み合わせて使用される結像レンズ１０の断面図である。結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、物体側から順に配置された、接合レンズＴＣＬ１と、接合レンズＴＣＬ２からなる。接合レンズＴＣＬ１は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＴＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＴＬ２と、からなる。接合レンズＴＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＴＬ３と、両凹レンズであるレンズＴＬ４と、からなる。結像レンズ１０は、顕微鏡対物レンズ１の最も像側のレンズ面（面番号s19）から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面（面番号s1）までの光軸上の距離が120mmになるように、配置されている。なお、結像レンズ１０の焦点距離は180mmである。
結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１０
s r d ne νd
1 68.7541 7.7321 1.48915 70.23
2 -37.5679 3.4742 1.81078 40.92
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83932 37.16
5 -50.7100 3.0298 1.64824 40.82
6 40.6619
図３は、顕微鏡対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、顕微鏡対物レンズ１と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図３（ａ）は球面収差図である。図３（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図３（ｃ）は非点収差図である。図３（ｄ）は像高比8割（像高10.60mm）でのコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図３に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
［実施例２］
図４は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ２の断面図である。顕微鏡対物レンズ２は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、最も物体側に第１接合レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、正の単レンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４と、像側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズからなる第５レンズ群Ｇ５と、物体側に凹面を向けた第３接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６と、からなる。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる。
第２レンズ群Ｇ２は、第１接合レンズである接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ４と、からなる。レンズＬ４は、負レンズである。
第３レンズ群Ｇ３は、正の単レンズ、より具体的には両凸レンズである、レンズＬ５からなる。
第４レンズ群Ｇ４は、第１接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７からなる。
第５レンズ群Ｇ５は、第２接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ８と、両凹レンズであるレンズＬ９からなる。
第６レンズ群Ｇ６は、第３接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けた平凹レンズであるレンズＬ１０と、像側に凸面を向けた平凸レンズであるレンズＬ１１からなる。
顕微鏡対物レンズ２の各種データは、以下のとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.55、ＷＤ＝3.4666ｍ、ｆ＝8.9970ｍｍ、ｆ１＝13.8127ｍｍ、ｆ２＝106.4855ｍｍ、ｆ３＝29.9445ｍｍ、ｆ４＝-60.8870ｍｍ、ｆ５＝-65.0208ｍｍ、ｆ6＝-122.8208ｍｍ、ｎ１＝1.88815、ｎ２＝1.75844、ν３＝81.54
顕微鏡対物レンズ２のレンズデータは、以下のとおりである。
顕微鏡対物レンズ２
s r d ne νd
1 INF 3.4666
2 -11.5092 9.9104 1.88815 40.76
3 -13.0336 0.371
4 -88.3803 2.5 1.75844 52.32
5 -16.0029 0.7708
6 33.9655 5.0365 1.43986 94.66
7 -11.6881 1.5715 1.61669 44.27
8 -54.1718 1.603
9 57.8054 2.6729 1.49846 81.54
10 -19.8121 0.4311
11 -54.2778 1.502 1.62409 36.26
12 11.0436 3.8454 1.43986 94.66
13 -40.0417 0.317
14 9.2998 4.925 1.62033 63.33
15 -21.2324 1.5 1.67717 38.26
16 6.2637 4.2895
17 -6.2403 1.2064 1.7434 32.33
18 INF 3.3809 1.81643 22.76
19 -9.5936 120
顕微鏡対物レンズ２は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ５｜＝｜-0.138｜＝0.138
（２）ｆ／ｆ１＝0.65
（３）ｎ１＋ｎ２＝3.65
（４）ν３＝81.5
図５は、顕微鏡対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、顕微鏡対物レンズ２と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図５（ａ）は球面収差図である。図５（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図５（ｃ）は非点収差図である。図５（ｄ）は像高比8割（像高10.60mm）でのコマ収差図である。図５に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
［実施例３］
図６は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ３の断面図である。顕微鏡対物レンズ３は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、最も物体側に第１接合レンズを含む第２レンズ群Ｇ２と、正の単レンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４と、像側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズからなる第５レンズ群Ｇ５と、物体側に凹面を向けた第３接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６と、からなる。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２と、からなる。
第２レンズ群Ｇ２は、第１接合レンズである接合レンズＣＬ１からなる。接合レンズＣＬ１は、２枚接合レンズであり、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ４と、からなる。レンズＬ４は、負レンズである。
第３レンズ群Ｇ３は、正の単レンズ、より具体的には両凸レンズである、レンズＬ５からなる。
第４レンズ群Ｇ４は、第１接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ２からなる。接合レンズＣＬ２は、物体側から順に配置された、両凹レンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７からなる。
第５レンズ群Ｇ５は、第２接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ３からなる。接合レンズＣＬ３は、物体側から順に配置された、両凸レンズであるレンズＬ８と、両凹レンズであるレンズＬ９からなる。
第６レンズ群Ｇ６は、第３接合メニスカスレンズである接合レンズＣＬ４からなる。接合レンズＣＬ４は、物体側から順に配置された、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１１からなる。レンズＬ１０は負レンズであり、レンズＬ１１は正レンズである。
顕微鏡対物レンズ３の各種データは、以下のとおりである。
ＮＡｏｂ＝0.65、ＷＤ＝3.4661ｍ、ｆ＝8.9970ｍｍ、ｆ１＝15.6389ｍｍ、ｆ２＝109.3313ｍｍ、ｆ３＝29.0448ｍｍ、ｆ４＝-101.9587ｍｍ、ｆ５＝-67.4160ｍｍ、ｆ6＝-128.6295ｍｍ、ｎ１＝1.8976、ｎ２＝1.82017、ν３＝71.3
顕微鏡対物レンズ３のレンズデータは、以下のとおりである。
顕微鏡対物レンズ３
s r d ne νd
1 INF 3.4661
2 -10.2076 8.4722 1.8976 37.13
3 -12.167 0.2237
4 -59.6793 2.7935 1.82017 46.62
5 -16.7783 1.3465
6 61.0527 5.457 1.43986 94.66
7 -11.0138 1 1.64132 42.41
8 -31.8199 0.2295
9 87.9055 3.3187 1.57098 71.3
10 -20.1597 0.2007
11 -500 1 1.62409 36.26
12 10.6634 4.9398 1.43986 94.66
13 -53.6246 0.2
14 9.3665 5.4442 1.6052 65.44
15 -36.3792 1.541 1.67717 38.26
16 6.284 5.506
17 -6.3324 1.1255 1.7434 32.33
18 -40.2859 3.2353 1.81643 22.76
19 -9.4276 120
顕微鏡対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。
（１）｜ｆ／ｆ５｜＝｜-0.133｜＝0.133
（２）ｆ／ｆ１＝0.58
（３）ｎ１＋ｎ２＝3.72
（４）ν３＝71.3
図７は、顕微鏡対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、顕微鏡対物レンズ３と結像レンズ１０が光学像を形成する像面における収差を示している。図７（ａ）は球面収差図である。図７（ｂ）は正弦条件違反量を示した図である。図７（ｃ）は非点収差図である。図７（ｄ）は像高比8割（像高10.60mm）でのコマ収差図である。図７に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。
１、２、３ ・・・顕微鏡対物レンズ
１０ ・・・結像レンズ
Ｇ１ ・・・第１レンズ群
Ｇ２ ・・・第２レンズ群
Ｇ３ ・・・第３レンズ群
Ｇ４ ・・・第４レンズ群
Ｇ５ ・・・第５レンズ群
Ｇ６ ・・・第６レンズ群
Ｌ１～Ｌ１１、ＴＬ１～ＴＬ４ ・・・レンズ
ＣＬ１～ＣＬ４、ＣＴＬ１、ＣＴＬ２ ・・・接合レンズ

Claims (8)

  1. 顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に配置された、
    前記物体側に凹面を向けた複数のメニスカスレンズを含む正の屈折力を有する第１レンズ群と、
    最も前記物体側に第１接合レンズを含む第２レンズ群であって、前記第１接合レンズは正レンズと負レンズからなる第２レンズ群と、
    正の単レンズからなる第３レンズ群と、
    前記物体側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズを含む第４レンズ群と、
    像側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズからなる第５レンズ群であって、前記第２接合メニスカスレンズは正レンズと負レンズからなる第５レンズ群と、
    前記物体側に凹面を向けた第３接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群であって、前記第３接合メニスカスレンズは正レンズと負レンズからなる第６レンズ群と、からなり、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    ０＜|ｆ／ｆ５|＜０．１５ ・・・（１）
    但し、ｆは、前記顕微鏡対物レンズの焦点距離である。ｆ５は、前記第５レンズ群の焦点距離である。
  2. 請求項１に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    前記第６レンズ群は、前記第３接合メニスカスレンズからなる
    ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  3. 請求項１又は請求項２に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    前記第１レンズ群は、
    前記物体側に凹面を向けた第１メニスカスレンズと、
    前記物体側に凹面を向けた第２メニスカスレンズと、からなる
    ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    前記第２レンズ群は、前記第１接合レンズからなる
    ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  5. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    前記第４レンズ群は、前記第１接合メニスカスレンズからなる
    ことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  6. 請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    ０．５＜ｆ／ｆ１＜１．０ ・・・（２）
    但し、ｆ１は、前記第１レンズ群の焦点距離である。
  7. 請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    ３．４＜ｎ１＋ｎ２＜４．０ ・・・（３）
    但し、ｎ１は、前記第１レンズ群に含まれる前記複数のメニスカスレンズのうち最も前記物体側に配置されたメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。ｎ２は、前記第１レンズ群に含まれる前記複数のメニスカスレンズのうち２番目に前記物体側に配置されたメニスカスレンズのe線に対する屈折率である。
  8. 請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
    以下の条件式を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
    ６０＜ν３＜９０ ・・・（４）
    但し、ν３は、前記第３レンズ群を構成する前記単レンズのアッベ数である。
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