JP2023031660A - 半導体装置及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】放熱性を改善する半導体装置及び電子機器を提供する。【解決手段】半導体装置1Aは、基板14と、基板上に配置されたコントローラ11と、基板上にコントローラと離隔して配置された不揮発性メモリと、コントローラの上面に接して配置される第1のヒートシンク40と、不揮発性メモリの上面に接して配置される第2のヒートシンク41と、コントローラ、不揮発性メモリ、第1のヒートシンク及び第2のヒートシンクを封止する第1の樹脂封止体15と、を備える。第1のヒートシンク及び第2のヒートシンクは、第1の樹脂封止体の上面又は側面の少なくとも一方の面に露出している。【選択図】図2A

Description

本発明の実施形態は、半導体装置及び電子機器に関する。
近年の一般的な半導体装置は、樹脂でモールドされたパッケージの状態で使用されている。この樹脂でモールドされたパッケージは、一般的にエポキシ樹脂とシリカの混合物が用いられるが熱伝導率が低いため、放熱の妨げになる可能性がある。
米国特許第9,960,099号明細書
実施形態が解決しようとする課題は、放熱性を改善する半導体装置を提供することにある。
実施形態に係る半導体装置は、基板と、基板上に配置されたコントローラと、基板上にコントローラと離隔して配置された不揮発性メモリと、コントローラの上面に接して配置される第1のヒートシンクと、不揮発性メモリの上面に接して配置される第2のヒートシンクと、コントローラ、不揮発性メモリ、第1のヒートシンク、及び第2のヒートシンクを封止する第1の樹脂封止体とを備える。第1のヒートシンク及び第2のヒートシンクは、第1の樹脂封止体の上面または側面の少なくとも一方の面に露出している。
第1の実施形態に係る半導体装置の構成の一例を示すブロック図。 第1の実施形態に係る半導体装置の断面図。 第1の実施形態に係る半導体装置の上面図。 第2の実施形態に係る半導体装置の断面図。 第2の実施形態に係る半導体装置の上面図。 第2の実施形態の変形例に係る半導体装置の断面図。 第2の実施形態の変形例に係る半導体装置の上面図。 第3の実施形態に係る半導体装置の断面図。 第3の実施形態に係る半導体装置の上面図。 第3の実施形態の変形例に係る半導体装置の断面図。 第3の実施形態の変形例に係る半導体装置の上面図。 第4の実施形態に係る半導体装置の断面図。 第4の実施形態に係る半導体装置の上面図。 第4の実施形態の変形例に係る半導体装置の断面図。 第4の実施形態の変形例に係る半導体装置の上面図。 第5の実施形態に係る半導体装置の断面図。 第5の実施形態に係る半導体装置の上面図。 第5の実施形態の変形例に係る半導体装置の断面図。 第5の実施形態の変形例に係る半導体装置の上面図。 第6の実施形態に係る半導体装置の断面図。 第6の実施形態に係る半導体装置の上面図。 実施形態に係る半導体装置が搭載される電子機器の一例を示す図。 電子機器の回路基板のブロック図。 実施形態に係る半導体装置が搭載される電子機器の一例を示す図。 実施形態に係る半導体装置が搭載される電子機器の一例を示す図。 実施形態に係る半導体装置が搭載される電子機器の一例を示す図。
次に、図面を参照して、実施形態について説明する。以下に説明する図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。図面は模式的なものである。
また、以下に示す実施形態は、技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、各構成部品の材質、形状、構造、配置等を特定するものではない。この実施形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
[第1の実施形態]
(半導体装置の構成)
第1の実施形態に係る半導体装置1について説明する。図1は、第1の実施形態に係る半導体装置1のブロック図である。半導体装置1は、図1に示すように、コントローラの一例であるメモリコントローラ11と、不揮発性メモリの一例であるNANDフラッシュメモリ12とを備える。メモリコントローラ11は、NANDインタフェース13によってNANDフラッシュメモリ12に接続している。なお、不揮発性メモリとしては、NANDフラッシュメモリ12のような不揮発性半導体メモリに限定されず、ReRAM(Resistive Random Access Memory)、FeRAM(Ferroelectric Random Access Memory)などのデータ格納可能なメモリであればよい。なお、以下の説明において、不揮発性メモリの一例であるNANDフラッシュメモリ12について説明する。
メモリコントローラ11は、プロセッサ111、内蔵メモリ112、ECC回路113、NANDインタフェース回路114、バッファメモリ115、及びホストインタフェース回路116を備える。
プロセッサ111は、複数の信号ライン9を介して、ホストコントローラ5の命令を受け取り、受け取られた命令に基づいて、NANDフラッシュメモリ12を制御する集積回路である。
内蔵メモリ112は、例えば、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM:Dynamic Random Access Memory)等の半導体メモリであり、プロセッサ111の作業領域として使用される。なお、内蔵メモリ112は、NANDフラッシュメモリ12を管理するためのファームウェア、及び各種の管理テーブル等を保持してもよい。
ECC回路113は、エラー検出及びエラー訂正処理を行う。具体的には、データの書き込み時には、ホストコントローラ5から受信したデータに基づいて、或る数のデータの組毎にECC符号を生成する。また、データの読み出し時には、ECC符号に基づいてECC復号し、エラーの有無を検出する。そして、エラー検出された際には、そのビット位置を特定し、エラーを訂正する。
NANDインタフェース回路114は、NANDインタフェース13を介して、NANDフラッシュメモリ12と接続され、NANDフラッシュメモリ12との通信を司る。NANDインタフェース回路114は、プロセッサ111の指示により、例えば、コマンドCMD、アドレスADD、及び書き込みデータをNANDフラッシュメモリ12に送信する。また、NANDインタフェース回路114は、NANDフラッシュメモリ12から読み出しデータを受信する。
バッファメモリ115は、メモリコントローラ11がNANDフラッシュメモリ12及びホストコントローラ5から受信したデータ等を一時的に保持する。バッファメモリ115は、例えば、NANDフラッシュメモリ12からの読み込みデータ、及び読み出しデータに対する演算結果等を一時的に保持する記憶領域としても使用される。
ホストインタフェース回路116は、複数の信号ライン9を介して、ホストコントローラ5と接続され、ホストコントローラ5との通信を司る。ホストインタフェース回路116は、例えば、ホストコントローラ5から受信した命令及びデータをそれぞれプロセッサ111及びバッファメモリ115に転送する。
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
次に、第1の実施形態に係る半導体装置1Aのパッケージ構造について説明する。図2Aは、第1の実施形態に係る半導体装置1Aの断面図である。図2Bは、第1の実施形態に係る半導体装置1Aの上面図である。以下の説明において、X方向は、半導体装置1Aの長手方向、Y方向は、X方向と直交する半導体装置1Aの短手方向、Z方向はX-Y平面に垂直な方向を示している。
半導体装置1Aは、図2Aに示すように、メモリコントローラ11、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)、基板14、第1の樹脂封止体15、ボンディングワイヤ(18A、18B、19A、19B)、はんだボール16、第1のヒートシンク20A、及び第2のヒートシンク20Bを備える。
基板14は、多層の配線基板を備える。基板14は、配線17を備える。基板14において、配線17を介して、はんだボール16とボンディングワイヤ(18A、18B、19A、19B)は、電気的に接続されている。
ボンディングワイヤは、第1のボンディングワイヤ18A、第2のボンディングワイヤ18B、第3のボンディングワイヤ19A、及び第4のボンディングワイヤ19Bを有する。
メモリコントローラ11は、基板14上に配置されている。メモリコントローラ11は、第1~第2のボンディングワイヤ(18A、18B)を介して、配線17と電気的に接続されている。
メモリコントローラ11は、図2A及び図2Bに示すように、第1の一端50と第1の一端50と対向する第1の他端51を有する。
具体的には、図2Bに示すように、メモリコントローラ11上において、第1の一端50に第1のボンディングワイヤ18Aが電気的に接続されている。また、第1の他端51に第2のボンディングワイヤ18Bが電気的に接続されている。また、メモリコントローラ11は、第1~第2のボンディングワイヤ(18A、18B)を介して、配線17と電気的に接続されている。
NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)は、基板14上に配置されている。NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)は、基板14上にメモリコントローラ11と離隔して配置されている。NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)は、第3~第4のボンディングワイヤ(19A、19B)を介して、配線17と電気的に接続されている。
NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)は、図2A及び図2Bに示すように、第2の一端52と第2の一端52と対向する第2の他端53を有する。
具体的には、図2Bに示すように、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)上において、第2の一端52に第3のボンディングワイヤ19Aが電気的に接続されている。また、第2の他端53に第4のボンディングワイヤ19Bが電気的に接続されている。
第1の樹脂封止体15は、メモリコントローラ11、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)、第1~第4のボンディングワイヤ(18A、18B、19A、19B)、第1のヒートシンク20A、及び第2のヒートシンク20Bを封止する。なお、第1の樹脂封止体15は、例えば、エポキシ樹脂とシリカの混合物であってもよい。
第1のヒートシンク20A及び第2のヒートシンク20Bは、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第1のヒートシンク20Aは、メモリコントローラ11の上面に接して配置されている。すなわち、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第1のヒートシンク20Aから放散する。
第1のヒートシンク20Aの上面40は、図2Bに示すように、第1の樹脂封止体15の上面と面一に露出している。
第1のヒートシンク20Aは、図2A及び図2Bに示すように、メモリコントローラ11上において、平面視において、第1のボンディングワイヤ18Aと、第2のボンディングワイヤ18Bとの間に配置されている。すなわち、第1~第2のボンディングワイヤ(18A、18B)は、平面視において、第1のヒートシンク20Aの外側に配置されている。なお、図2Aに示すように、第1のヒートシンク20Aの厚さは、第2のヒートシンクのZ方向の厚さよりも厚くてもよい。
第2のヒートシンク20Bは、NANDフラッシュメモリ12の上面に接して配置されている。このため、第2のヒートシンク20Bは、NANDフラッシュメモリ12と熱伝導性が良好である。具体的には、第2のヒートシンク20Bは、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)が積層された最上部のNANDフラッシュメモリ12Dの上面に接して配置されている。このため、第2のヒートシンク20Bは、NANDフラッシュメモリ12Dと熱伝導性が良好である。すなわち、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)から発生する熱を主として、第2のヒートシンク20Bから放散する。
第2のヒートシンク20Bの上面41が、図2Bに示すように、第1の樹脂封止体15の上面と面一に露出している。なお、第2のヒートシンク20Bの露出する面積は、第1のヒートシンク20Aの露出する面積よりも大きくてもよい。以下に説明において、Z方向のプラス側の主面を上面と称する。
第2のヒートシンク20Bは、図2A及び図2Bに示すように、NANDフラッシュメモリ12上において、平面視において、第3のボンディングワイヤ19Aと、第2の他端53側で電気的に接続している第4のボンディングワイヤ19Bとの間に配置されている。すなわち、第3~第4のボンディングワイヤ(19A、19B)は、平面視において、第2のヒートシンク20Bの外側に配置されている。なお、NANDフラッシュメモリ12は、ここでは、NANDフラッシュメモリ12を4個で説明したが、個数に限定するものではなく、単層であっても良い。
はんだボール16は、半導体装置1Aの入出力ピンとして用いられる。具体的には、半導体装置1Aは、はんだボール16を介して、電源電圧を供給し、また、信号を入出力可能である。
(第1の実施形態の効果)
第1の実施形態に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[第2の実施形態]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図3Aは、第2の実施形態に係る半導体装置1Bの断面図である。図3Bは、第2の実施形態に係る半導体装置1Bの上面図である。
第2の実施形態に係る半導体装置1Bは、図3Aに示すように、第1の実施形態に係る半導体装置1Aに対し、さらに、第1の樹脂封止体15の上面15aを覆う第1の外部ヒートシンク20Cを備える。以下の説明において、第1の樹脂封止体15の外部のヒートシンクを外部ヒートシンク(例えば、第1の外部ヒートシンク20C)と称する。なお、他の構成は、第1の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第1の外部ヒートシンク20Cは、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第1の外部ヒートシンク20Cは、図3Aに示すように、第1の樹脂封止体15の上面15aに接して配置されている。第1の外部ヒートシンク20Cは、第1の樹脂封止体15の上面15aに露出している第1のヒートシンク20Aの上面40及び第2のヒートシンク20Bの上面41に接して配置されている。すなわち、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第1のヒートシンク20Aから放散する。また、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)から発生する熱を主として、第2のヒートシンク20Bから放散する。さらに、第1のヒートシンク20A及び第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第1の外部ヒートシンク20Cから放散する。
第1の外部ヒートシンク20Cは、図3Bに示すように、第1のヒートシンク20A及び第2のヒートシンク20Bの上面(40、41)を覆うように配置されている。第1の外部ヒートシンク20Cの面積は、平面視において、第1の樹脂封止体15の面積よりも小さく配置されている。
(第2の実施形態の効果)
第2の実施形態に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。また、第1のヒートシンク、第2のヒートシンクの熱を第1の外部ヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[第2の実施形態の変形例]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図4Aは、第2の実施形態の変形例に係る半導体装置1Cの断面図である。図4Bは、第2の実施形態の変形例に係る半導体装置1Cの上面図である。
第2の実施形態の変形例に係る半導体装置1Cは、図4Aに示すように、第2の実施形態に係る半導体装置1Bの第1の外部ヒートシンク20Cに対し、第1の樹脂封止体15の上面15aを覆う第2の外部ヒートシンク20C1及び第3の外部ヒートシンク20C2を備える。なお、他の構成は、第1の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第2の外部ヒートシンク20C1及び第3の外部ヒートシンク20C2は、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、金属は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第2の外部ヒートシンク20C1は、図4Aに示すように、第1の樹脂封止体15の上面15aに接して配置されている。第2の外部ヒートシンク20C1は、第1の樹脂封止体15の上面15aに露出している第1のヒートシンク20Aの上面40に接して配置されている。すなわち、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第1のヒートシンク20Aから放散する。また、具体的には、第1のヒートシンク20Aの熱を主として、第2の外部ヒートシンク20C1から放散する。
第2の外部ヒートシンク20C1は、図4Bに示すように、第1のヒートシンク20Aが露出している上面40を覆うように配置されている。
第3の外部ヒートシンク20C2は、図4Aに示すように、第1の樹脂封止体15の上面15aに接して配置されている。第3の外部ヒートシンク20C2は、第1の樹脂封止体15の上面15aに露出している第2のヒートシンク20Bに接して配置されている。
第3の外部ヒートシンク20C2は、図4Bに示すように、第2のヒートシンク20Bが露出している上面41を覆うように配置されている。すなわち、第3の外部ヒートシンク20C2は、第2の外部ヒートシンク20C1と離隔して配置されている。すなわち、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第1のヒートシンク20Aから放散する。また、NANDフラッシュメモリ12(12A、12B、12C、12D)から発生する熱を主として、第2のヒートシンク20Bから放散する。つまり、メモリコントローラ及びNANDフラッシュメモリから発生する熱を第2の外部ヒートシンク20C1、第3の外部ヒートシンク20C2に分離して放散する。なお、第3の外部ヒートシンク20C2の面積は、平面視において、第2の外部ヒートシンク20C1よりも大きく配置してもよい。
(第2の実施形態の変形例の効果)
第2の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
また、第2の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、第2の外部ヒートシンク、第3の外部ヒートシンクを有することにより、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱を分離して放散し、放熱性を改善することができる。
[第3の実施形態]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図5Aは、第3の実施形態に係る半導体装置1Dの断面図である。図5Bは、第3の実施形態に係る半導体装置1Dの上面図である。
第3の実施形態に係る半導体装置1Dは、図5Aに示すように、第1の実施形態に係る半導体装置1Aの第1のヒートシンク20Aに対し、第1のヒートシンクの一例である第3のヒートシンク20A1を備える。半導体装置1Dは、さらに、第1の樹脂封止体15の上面15a及び側面15bを覆う第4の外部ヒートシンク20Dを備える。なお、他の構成は、第1の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第3のヒートシンク20A1及び第4の外部ヒートシンク20Dは、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、金属は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第3のヒートシンク20A1は、メモリコントローラ11の上面に接して配置されている。すなわち、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第3のヒートシンク20A1から放散する。また、第3のヒートシンク20A1は、Z方向に延在する部分と、X方向に延在する部分とから形成されている。なお、X方向に延在する部分は、Y方向に延在していてもよい。
第3のヒートシンク20A1のX方向に延在する部分は、図5A及び図5Bに示すように、第3のヒートシンク20A1の側面42が第1の樹脂封止体15のX方向に露出している。なお、第3のヒートシンク20A1の側面42は、Y方向に露出してもよい。
第3のヒートシンク20A1のZ方向に延在する部分は、図5A及び図5Bに示すように、メモリコントローラ11上において、平面視において、第1のボンディングワイヤ18Aと、第2のボンディングワイヤ18Bとの間に配置されている。すなわち、第1~第2のボンディングワイヤ(18A、18B)は、平面視において、第3のヒートシンク20A1の外側に配置されている。なお、第3のヒートシンク20A1の厚さは、図5Aに示すように、第2のヒートシンクのZ方向の厚さよりも厚くてもよい。
第4の外部ヒートシンク20Dは、図5Aに示すように、第1の樹脂封止体15の上面15a及び側面15bに接して配置されている。また、第4の外部ヒートシンク20Dは、第3のヒートシンク20A1の側面42及び第2のヒートシンク20Bの上面41に接して配置されている。すなわち、第3のヒートシンク20A1、第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第4の外部ヒートシンク20Dから放散する。
第4の外部ヒートシンク20Dは、図5Bに示すように、第3のヒートシンク20A1の側面42及び第2のヒートシンク20Bの上面41を覆うように配置されている。なお、側面の第3のヒートシンク20A1の面積は、平面視において、第2のヒートシンク20Bの面積より小さく配置してもよい。
(第3の実施形態の効果)
第3の実施形態に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第3のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に拡散し、放熱性を改善することができる。また、第3のヒートシンク、第2のヒートシンクの熱を主として、第4の外部ヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[第3の実施形態の変形例]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図6Aは、第3の実施形態変形例に係る半導体装置1Eの断面図である。図6Bは、第3の実施形態の変形例に係る半導体装置1Eの上面図である。
第3の実施形態の変形例に係る半導体装置1Eは、図6Aに示すように、第3の実施形態に係る半導体装置1Dの第4の外部ヒートシンク20Dに対し、第1の樹脂封止体15の上面15a及び側面15bを覆う第5の外部ヒートシンク20D1及び第6の外部ヒートシンク20D2を備える。なお、他の構成は、第3の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第5の外部ヒートシンク20D1及び第6の外部ヒートシンク20D2は、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、金属は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第5の外部ヒートシンク20D1は、図6Aに示すように、第1の樹脂封止体15上面15a及び側面15bに接して配置されている。第5の外部ヒートシンク20D1は、第3のヒートシンク20A1の側面42に接して配置されている。すなわち、第3のヒートシンク20A1の熱を主として、第5の外部ヒートシンク20D1から放散する。
第6の外部ヒートシンク20D2は、図6Aに示すように、第1の樹脂封止体15上面15a及び側面15bに接して配置されている。第6の外部ヒートシンク20D2は、第2のヒートシンク20Bの上面41に接して配置されている。
第5の外部ヒートシンク20D1は、図6A及び図6Bに示すように、第3のヒートシンク20A1の露出している側面42を覆うように配置されている。
第6の外部ヒートシンク20D2は、図6Bに示すように、第2のヒートシンク20Bが露出している上面41を覆うように配置されている。すなわち、第6の外部ヒートシンク20D2は、第5の外部ヒートシンク20D1と離隔して配置されている。すなわち、第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第6の外部ヒートシンク20D2から放散する。なお、第6の外部ヒートシンク20D2の面積は、平面視において、第5の外部ヒートシンク20D1よりも大きく配置してもよい。
(第3の実施形態の変形例の効果)
第3の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第3のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
また、第3の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、第5の外部ヒートシンク及び第6の外部ヒートシンクを有することにより、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱を分離して放散し、放熱性を改善することができる。
[第4の実施形態]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図7Aは、第4の実施形態に係る半導体装置1Fの断面図である。図7Bは、第4の実施形態に係る半導体装置1Fの上面図である。
第4の実施形態に係る半導体装置1Fは、図7Aに示すように、第1の実施形態に係る半導体装置1Aに対し、さらに、第1の樹脂封止体15の上面15a及び側面15bを覆う第4の外部ヒートシンク20Dと、第1の樹脂封止体15の内部に第1の内部ヒートシンク20Eとを備える。なお、他の構成は、第1の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第1の内部ヒートシンク20Eは、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、金属は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第4の外部ヒートシンク20Dは、図7Aに示すように、第1の樹脂封止体15の上面15a及び側面15bに接して配置されている。
第1の内部ヒートシンク20Eは、図7A及び図7Bに示すように、第1のヒートシンク20Aの上面40及び第2のヒートシンク20Bの上面41に接して配置されている。すなわち、第1のヒートシンク20A、第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第1の内部ヒートシンク20Eから放散する。
第1の内部ヒートシンク20Eの面積は、平面視において、図7Bに示すように、第1の樹脂封止体15の面積よりも小さく配置されている。
(第4の実施形態の効果)
第4の実施形態に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。また、第1のヒートシンク、第2のヒートシンクの熱を第1の内部ヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[第4の実施形態の変形例]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図8Aは、第4の実施形態の変形例に係る半導体装置1Gの断面図である。図8Bは、第4の実施形態の変形例に係る半導体装置1Gの上面図である。
第4の実施形態の変形例に係る半導体装置1Gは、図8Aに示すように、第4の実施形態に係る半導体装置1Fの第1の内部ヒートシンク20Eに対し、第1の樹脂封止体15の内部に第2の内部ヒートシンク20E1と、第3の内部ヒートシンク20E2とを備える。なお、他の構成は、第3の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第2の内部ヒートシンク20E1及び第3の内部ヒートシンク20E2は、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、金属は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
第2の内部ヒートシンク20E1は、図8A及び図8Bに示すように、第1のヒートシンク20Aの上面40に接して配置されている。すなわち、第1のヒートシンク20Aの熱を主として、第2の内部ヒートシンク20E1から放散する。
第3の内部ヒートシンク20E2は、第2のヒートシンク20Bの上面41に接して配置されている。
第3の内部ヒートシンク20E2は、図8Bに示すように、第3の内部ヒートシンク20E2は、第2の内部ヒートシンク20E1と離隔して配置されている。すなわち、第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第3の内部ヒートシンク20E2から放散する。なお、第3の内部ヒートシンク20E2の面積は、平面視において、第2の内部ヒートシンク20E1よりも大きく配置してもよい。
(第4の実施形態の変形例の効果)
第4の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
また、第4の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、第2の内部ヒートシンク、第3の内部ヒートシンクを有することにより、メモリコントローラ11、NANDフラッシュメモリ12から発生する熱を分離して放散し、放熱性を改善することができる。
[第5の実施形態]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図9Aは、第5の実施形に係る半導体装置1Hの断面図である。図9Bは、第5の実施形態に係る半導体装置1Hの上面図である。
第5の実施形態に係る半導体装置1Hは、図9Aに示すように、第2の実施形態に係る半導体装置1Bに対し、さらに、実装基板22と、熱伝導体21と、金属筐体23とを備える。なお、他の構成は、第3の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
実装基板22は、多層の配線基板を備える。なお、実装基板22は、図示はしていないが配線を備えてもよい。実装基板22は、はんだボール16と実装基板22が有する配線とで電気的に接続されている。
熱伝導体21は、熱伝導率の高い金属または金属酸化物の粒子を有する熱伝導ペーストにより製造可能である。熱伝導ペーストには、例えば、銀(Ag)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)などの熱伝導率の高い金属を適用可能である。また、例えば、酸化アルミニウム(Al)、酸化マグネシウム(MgO)、窒化アルミニウム(AlN)などの金属酸化物を適用可能である。なお、熱伝導体21は、熱伝導シートまたは、熱伝導グリスであってもよい。
熱伝導体21は、図9Aに示すように、第1の外部ヒートシンク20C上に設けられる。熱伝導体21は、第1の外部ヒートシンク20Cの上面43及び金属筐体23の下面44に接して配置されている。以下の説明において、金属筐体23と熱伝導体21と接する主面を金属筐体23の下面44と称する。
金属筐体23は、電磁波をシールドする金属で形成されている。例えば、銅(Cu)とベリリウム(Be)の合金、鉄(Fe)とニッケル(Ni)の合金などを適用可能である。なお、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能してもよい。具体的には、例えば、金属で形成されているノイズシールドなどがある。
金属筐体23は、図9Bに示すように、実装基板22上に第1の樹脂封止体15、第1の外部ヒートシンク20C、及び熱伝導体21を覆うように配置されている。すなわち、第1のヒートシンク20A、第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第1の外部ヒートシンク20C、熱伝導体21を介し、金属筐体23から放散する。
(第5の実施形態の効果)
第5の実施形態に係る半導体装置よれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。さらに、第1のヒートシンク、第2のヒートシンクの熱を第1の外部ヒートシンク、熱伝導体を介し、金属筐体に適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[第5の実施形態の変形例]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図10Aは、第5の実施形の変形例に係る半導体装置1Kの断面図である。図10Bは、第5の実施形態の変形例に係る半導体装置1Kの上面図である。
第5の実施形態の変形例に係る半導体装置1Kは、図10Aに示すように、第5の実施形態に係る半導体装置1Hの第1の外部ヒートシンク20Cに対し、第2の外部ヒートシンク20C1と、第3の外部ヒートシンク20C2とを備える。また、半導体装置1Kは、第5の実施形態に係る半導体装置1Hの熱伝導体21に対し、熱伝導体21A、熱伝導体21Bを備える。なお、他の構成は、第5の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第2の外部ヒートシンク20C1及び第3の外部ヒートシンク20C2は、例えば、熱伝導率のよい金属で形成されている。具体的には、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)などを適用可能である。
熱伝導体21A及び熱伝導体21Bは、熱伝導体21と同様に、熱伝導率の高い金属または金属酸化物の粒子を有する熱伝導ペーストにより製造可能である。なお、熱伝導体21A及び熱伝導体21Bは、熱伝導シートまたは、熱伝導グリスであってもよい。
第2の外部ヒートシンク20C1は、図10Aに示すように、第1のヒートシンク20Aの上面40に接して配置されている。すなわち、第1のヒートシンク20Aの熱を主として、第2の外部ヒートシンク20C1から放散する。
第3の外部ヒートシンク20C2は、第2のヒートシンク20Bの上面41に接して配置されている。すなわち、第3の外部ヒートシンク20C2は、図10Bに示すように、第2の外部ヒートシンク20C1と離隔して配置されている。また、第2のヒートシンク20Bの熱を主として、第3の外部ヒートシンク20C2から放散する。
熱伝導体21Aは、図10Aに示すように、第2の外部ヒートシンク20C1上に設けられる。熱伝導体21Aは、第2の外部ヒートシンク20C1の上面45及び金属筐体23の下面46に接して配置されている。すなわち、第2の外部ヒートシンク20C1の熱を主として、熱伝導体21Aを介して、金属筐体23から放散する。
熱伝導体21Bは、図10Aに示すように、第3の外部ヒートシンク20C2上に設けられる。熱伝導体21Bは、第3の外部ヒートシンク20C2の上面47及び金属筐体23の下面48に接して配置されている。すなわち、熱伝導体21Bは、図10Bに示すように、熱伝導体21Aと離隔して配置されている。すなわち、第3の外部ヒートシンク20C2の熱を主として、熱伝導体21Bを介して、金属筐体23から放散する。
(第5の実施形態の変形例の効果)
第5の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱をそれぞれ第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
また、第5の実施形態の変形例に係る半導体装置によれば、第2の外部ヒートシンク、第3の外部ヒートシンクを有することにより、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱を分離して放散し、放熱性を改善することができる。さらに、第2の外部ヒートシンク、第3の外部ヒートシンクの熱を主として、熱伝導体を介して、金属筐体に適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[第6の実施形態]
(半導体装置のパッケージ構造の構成)
図11Aは、第6の実施形に係る半導体装置1Lの断面図である。図11Bは、第6の実施形態に係る半導体装置1Lの上面図である。
第6の実施形態に係る半導体装置1Lは、図11Aに示すように、第1の実施形態に係る半導体装置1Aに対し、さらに、第2の樹脂封止体30を備える。なお、他の構成は、第1の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
第2の樹脂封止体30は、図11Bに示すように、第1の樹脂封止体15の上面15aと、第1のヒートシンク20A及び第2のヒートシンク20Bとを覆うように封止する。すなわち、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第1のヒートシンク20Aから放散する。また、メモリコントローラ11から発生する熱を主として、第1のヒートシンク20Aから放散する。なお、第1の樹脂封止体15と第2の樹脂封止体30との間には、上記の第2の実施形態~第5の実施形態の変形例の一例であげたように、第1の樹脂封止体15の上部に外部ヒートシンク、熱伝導体、及び金属筐体を備えていても良い。また、第1の樹脂封止体15の内部に内部ヒートシンクを備えていても良い。
第2の樹脂封止体30は、例えば、エポキシ樹脂である熱硬化性樹脂とシリカの混合物であってもよい。また、第2の樹脂封止体30は、カーボンブラックを含有するエポキシ樹脂等であってもよい。
第2の樹脂封止体30の上面30aには、図11Bに示すように、例えば、レーザ照射により、社名、製品番号、製造月日、製造工場等の製品情報が刻印(マーキング:MARKING)されている。
刻印の位置は、図11Bに示すように、平面視において、第1のヒートシンク20A及び第2のヒートシンク20Bの位置以外に刻印している。
(第6の実施形態の効果)
第6の実施形態に係る半導体装置によれば、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱を第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
また、第6の実施形態に係る半導体装置によれば、平面視において、第1のヒートシンク、第2のヒートシンクの位置以外に刻印していることにより、レーザ照射のダメージを抑制しつつ、メモリコントローラ、NANDフラッシュメモリから発生する熱を第1のヒートシンク、第2のヒートシンクに適切に放散し、放熱性を改善することができる。
[電子機器]
実施形態に係る半導体装置1が搭載される電子機器2の構成について説明する。
図12は、実施形態に係る半導体装置1が搭載される電子機器2の構成図である。図13は、電子機器2の回路基板4のブロック図である。
電子機器2は、図12に示すように、筐体3を備える。筐体3は、回路基板4を収容している。回路基板4は、半導体装置1、ホストコントローラ5、揮発性メモリの一例であるDRAM6、及び電源回路7を備える。具体的には、電子機器2は、例えば、スマートフォン、タブレット、及び携帯端末であってもよい。実際には、これらの例に限定されない。ここでは、電子機器2をスマートフォンとして説明する。
すなわち、電子機器2Bには、第1~第6の実施形態に記載の半導体装置1を適用可能である。
回路基板4は、図13に示すように、電源回路7が設けられる。電源回路7は、電源ライン8(8a、8b、8c)を介して、半導体装置1、ホストコントローラ5、及びDRAM6に接続する。電源回路7は、電源ライン8aを介して電源電圧をホストコントローラ5に供給する。また、電源回路7は、電源ライン8bを介して電源電圧を半導体装置1に供給する。同様に、電源回路7は、電源ライン8cを介して電源電圧をDRAM6に供給する。
半導体装置1とホストコントローラ5との間には、例えば、複数の信号ライン9が設けられる。半導体装置1は、電子機器2の記憶装置として機能する。半導体装置1は、複数の信号ライン9を介して、ホストコントローラ5との間で信号をやりとりする。半導体装置1は、例えば、複数のメモリチップによって構成されるマルチチップパッケージであってもよい。
DRAM6とホストコントローラ5との間には、例えば、信号ライン10が設けられる。DRAM6は、ホストコントローラ5におけるプログラム実行処理中に利用されるデータ等を一時的に格納し、作業領域として利用される一時的なメモリ等として機能する。DRAM6は、信号ライン10を介して、ホストコントローラ5との間で信号をやりとりする。
ホストコントローラ5は、半導体装置1を含む電子機器2の全体の動作を制御する集積回路である。ホストコントローラ5は、なお、ホストコントローラ5は、例えば、サウスブリッジを含んでもよい。
図14は、実施形態に係る半導体装置1が搭載される電子機器2Bの構成図である。
電子機器2Bは、図14に示すように、筐体3Bを備える。筐体3Bは、回路基板4を収容している。回路基板4は、半導体装置1と、ホストコントローラ5Bとを備える。具体的には、電子機器2Bは、例えば、ラックトップであってもよい。
すなわち、電子機器2Bには、第1~第6の実施形態に記載の半導体装置1を適用可能である。
図15は、実施形態に係る半導体装置1が搭載される電子機器2Cの構成図である。
電子機器2Cは、図15に示すように、回路基板4を備える。回路基板4は、半導体装置1と、ホストコントローラ5Cとを備える。具体的には、電子機器2Cは、例えば、記憶装置(ストレージ:Storage)の一例であるM.2 SSD(Solid State Drives)であってもよい。
すなわち、電子機器2Cには、第1~第6の実施形態に記載の半導体装置1を適用可能である。
図16は、実施形態に係る半導体装置1が搭載される電子機器2Dの構成図である。
電子機器2Dは、図16に示すように、筐体3Dを備える。筐体3Dは、回路基板4を収容している。回路基板4は、半導体装置1と、ホストコントローラ5Dと、DRAM6と、電源回路7とを備える。具体的には、電子機器2Dは、例えば、SSDであってもよい。
すなわち、電子機器2Dには、第1~第6の実施形態に記載の半導体装置1を適用可能である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1、1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G、1H、1K、1L・・・半導体装置
2、2B、2C、2D・・・電子機器
3、3B、3C、3D・・・筐体
4・・・回路基板
5、5B、5C、5D・・・ホストコントローラ
6・・・DRAM
7・・・電源回路
11・・・メモリコントローラ
12、12A、12B、12C、12D・・・NANDフラッシュメモリ
13・・・NANDインタフェース
14・・・基板
15・・・第1の樹脂封止体
15a・・・第1の樹脂封止体の上面
15b・・・第1の樹脂封止体の側面
16・・・はんだボール
17・・・配線
18A・・・第1のボンディングワイヤ
18B・・・第2のボンディングワイヤ
19A・・・第3のボンディングワイヤ
19B・・・第4のボンディングワイヤ
20A・・・第1のヒートシンク
20A1・・・第3のヒートシンク
20B・・・第2のヒートシンク
20C・・・第1の外部ヒートシンク
20C1・・・第2の外部ヒートシンク
20C2・・・第3の外部ヒートシンク
20D・・・第4の外部ヒートシンク
20D1・・・第5の外部ヒートシンク
20D2・・・第6の外部ヒートシンク
20E・・・第1の内部ヒートシンク
20E1・・・第2の内部ヒートシンク
20E2・・・第3の内部ヒートシンク
21、21A、21B・・・熱伝導体
22・・・実装基板
23・・・金属筐体
30・・・第2の樹脂封止体
40・・・第1のヒートシンクの上面
41・・・第2のヒートシンクの上面
42・・・第3のヒートシンクの側面
43・・・第1の外部ヒートシンクの上面
44、46、48・・・金属筐体の下面
45・・・第2の外部ヒートシンクの上面
47・・・第3の外部ヒートシンクの上面
50・・・第1の一端
51・・・第1の他端
52・・・第2の一端
53・・・第2の他端
XXX・・・マーキング

Claims (17)

  1. 基板と、
    前記基板上に配置されたコントローラと、
    前記基板上に前記コントローラと離隔して配置された不揮発性メモリと、
    前記コントローラの上面に接して配置される第1のヒートシンクと、
    前記不揮発性メモリの上面に接して配置される第2のヒートシンクと、
    前記コントローラ、前記不揮発性メモリ、前記第1のヒートシンク、及び前記第2のヒートシンクを封止する第1の樹脂封止体とを備え、
    前記第1のヒートシンク及び前記第2のヒートシンクは、前記第1の樹脂封止体の上面または側面の少なくとも一方の面に露出している、半導体装置。
  2. 前記第1のヒートシンクの厚さは、前記第2のヒートシンクの厚さよりも厚い、
    請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記基板は、配線を有し、
    前記基板上に、前記配線と前記コントローラ及び前記不揮発性メモリとを電気的に接続するボンディングワイヤと、
    前記配線と電気的に接続するはんだボールをさらに備え、
    前記コントローラは、
    第1の一端と前記第1の一端と対向する第1の他端とを有し、
    前記不揮発性メモリは、
    第2の一端と前記第2の一端と対向する第2の他端とを有し、
    前記ボンディングワイヤは、
    前記コントローラ上において、前記第1の一端に電気的に接続される第1のボンディングワイヤ及び前記第1の他端に電気的に接続されている第2のボンディングワイヤと、
    前記不揮発性メモリ上において、前記第2の一端に電気的に接続される第3のボンディングワイヤ及び前記第2の他端に電気的に接続される第4のボンディングワイヤとを備え、
    前記第1のヒートシンクは、前記コントローラ上において、平面視において、前記第1のボンディングワイヤと、前記第2のボンディングワイヤとの間に配置され、
    前記第2のヒートシンクは、前記不揮発性メモリ上において、平面視において、前記第3のボンディングワイヤと、前記第4のボンディングワイヤとの間に配置される、
    請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
  4. 前記第1の樹脂封止体の上面に露出する前記第2のヒートシンクの面積が前記第1の樹脂封止体の上面に露出する前記第1のヒートシンクの面積よりも大きい、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
  5. 前記第1の樹脂封止体上の上面に、前記第1のヒートシンク及び前記第2のヒートシンクと、前記第1のヒートシンク及び前記第2のヒートシンクを覆うように配置される第1の外部ヒートシンクをさらに備える、請求項3に記載の半導体装置。
  6. 前記第1の外部ヒートシンクの上面の面積は、前記前記第1の樹脂封止体の上面の面積より小さい、請求項5に記載の半導体装置。
  7. 前記第1の樹脂封止体上に、前記第1のヒートシンクに接して、前記第1のヒートシンクを覆うように配置される第2の外部ヒートシンクと、
    前記第1の樹脂封止体上に、前記第2のヒートシンクに接して、前記第2のヒートシンクを覆うように配置される第3の外部ヒートシンクとをさらに備える、請求項3に記載の半導体装置。
  8. 前記第3の外部ヒートシンクの上面の面積は、前記第2の外部ヒートシンクの上面の面積よりも大きい、請求項7に記載の半導体装置。
  9. 前記第1の樹脂封止体の上面に露出する前記第2のヒートシンクの面積が前記第1の樹脂封止体の側面に露出する第3のヒートシンクの面積よりも大きい、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
  10. 前記第1の樹脂封止体上の上面及び側面に、前記第3のヒートシンク及び前記第2のヒートシンクに接して、前記第3のヒートシンク及び前記第2のヒートシンクを覆うように配置される第4の外部ヒートシンクをさらに備える、請求項9に記載の半導体装置。
  11. 前記第1の樹脂封止体上に、前記第3のヒートシンクに接して、前記第3のヒートシンクを覆うように配置される第5の外部ヒートシンクと、
    前記第1の樹脂封止体上に、前記第2のヒートシンクに接して、前記第2のヒートシンクを覆うように配置される第6の外部ヒートシンクとをさらに備える、請求項9に記載の半導体装置。
  12. 前記はんだボールと電気的に接続する実装基板と、
    前記実装基板上に配置される金属筐体と、
    前記第1の外部ヒートシンク上に配置され、前記第1の外部ヒートシンク及び前記金属筐体に接する熱伝導体と、
    をさらに備える、請求項5または請求項6に記載の半導体装置。
  13. 前記はんだボールと電気的に接続する実装基板と、
    前記実装基板上に配置される金属筐体と、
    前記第2の外部ヒートシンク及び前記第3の外部ヒートシンク上に配置され、前記第2の外部ヒートシンク、前記第3の外部ヒートシンク、及び前記金属筐体に接する熱伝導体と、
    をさらに備える、請求項7または請求項8に記載の半導体装置。
  14. 前記第1の樹脂封止体上に、前記第1の樹脂封止体、前記第1のヒートシンク、及び前記第2のヒートシンクを覆うように積層して配置される第2の樹脂封止体をさらに備える、請求項1~4のいずれか1項に記載の半導体装置。
  15. 前記第2の樹脂封止体の上面には、前記第1のヒートシンク及び前記第2のヒートシンクの位置以外に刻印がされる、請求項14に記載の半導体装置。
  16. 回路基板と、
    前記回路基板に実装された請求項1~15のいずれか1項に記載の半導体装置と、
    前記回路基板に実装され、前記半導体装置を制御するホストコントローラと、
    を備える、電子機器。
  17. 前記回路基板に実装され、前記ホストコントローラの一時的なメモリを記憶する揮発性メモリと、
    前記回路基板に実装され、前記ホストコントローラ、前記半導体装置、及び前記揮発性メモリに電源を供給する電源回路と、
    前記回路基板を収容する筐体をさらに備える、請求項16に記載の電子機器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3680065B2 (ja) * 2003-05-26 2005-08-10 沖電気工業株式会社 半導体装置
JP2008218669A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Nec Electronics Corp 半導体装置
JP2011035352A (ja) * 2009-08-06 2011-02-17 Fujitsu Semiconductor Ltd 半導体装置
US8987876B2 (en) * 2013-03-14 2015-03-24 General Electric Company Power overlay structure and method of making same
JP6314729B2 (ja) * 2014-07-30 2018-04-25 株式会社ソシオネクスト 半導体装置及び半導体装置の製造方法
US20160049383A1 (en) * 2014-08-12 2016-02-18 Invensas Corporation Device and method for an integrated ultra-high-density device
JP6290758B2 (ja) * 2014-09-19 2018-03-07 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
TWI553799B (zh) * 2015-08-26 2016-10-11 力成科技股份有限公司 半導體封裝結構
US10461014B2 (en) * 2017-08-31 2019-10-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Heat spreading device and method
JP6839897B2 (ja) * 2017-11-06 2021-03-10 日立Astemo株式会社 電子制御装置
KR102439761B1 (ko) * 2017-12-22 2022-09-02 삼성전자주식회사 전자 장치 및 전자 장치의 제조 방법
JP2020047651A (ja) * 2018-09-14 2020-03-26 キオクシア株式会社 半導体装置
CN109863596B (zh) * 2019-01-22 2020-05-26 长江存储科技有限责任公司 集成电路封装结构及其制造方法
JP7124795B2 (ja) * 2019-06-27 2022-08-24 株式会社村田製作所 電子部品モジュール、電子部品ユニット、および、電子部品モジュールの製造方法
JP2021077698A (ja) * 2019-11-06 2021-05-20 キオクシア株式会社 半導体パッケージ

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