JP2023022310A - 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年5月30日に出願された米国特許仮出願第62/677,871号に基づく、合衆国法典第35巻第119条に基づく優先権を主張し、その開示がここに、参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (9)
- 波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス(CL)光の、集光及び分析のための装置であって、
集光ミラーであって、前記集光ミラーによって集光されたCL光が、光強度を前記CL光の放出の角度の関数として表す2次元光パターンを形成するように、構成されており、前記集光ミラーは、シンメトリック軸及びアシンメトリック軸を有する、集光ミラーと、
イメージコンジットであって、前記2次元光パターンが、前記イメージコンジット上に投射され、前記イメージコンジットは、前記2次元光パターンの狭い範囲のみが前記分光器に受け入れられ得るように構成されている、イメージコンジットと
を備える、装置。 - 前記イメージコンジットは、前記2次元光パターンから前記アシンメトリック軸に沿って光を受け入れるように向き付けられている、請求項1に記載の装置。
- 前記イメージコンジット上にわたって前記2次元光パターンを走査し、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するように構成された、平行移動フォールドミラーをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 平行移動フォールドミラーが、前記イメージコンジット上にわたって前記2次元光パターンを走査し、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するように構成されている、請求項2に記載の装置。
- 波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス(CL)光を集光及び分析する方法であって、
集光ミラーによって集光されたCL光が、光強度を前記CL光の放出の角度の関数として表す2次元光パターンを形成するように、前記CL光を集光ミラーに導くステップであって、前記集光ミラーは、シンメトリック軸及びアシンメトリック軸を有する、ステップと、
前記2次元光パターンをイメージコンジットに投射するステップと、
前記イメージコンジットを、前記2次元光パターンの狭い範囲のみが分光器によって受け入れられ得るように構成するステップと
を備える、方法。 - 前記イメージコンジットを、前記シンメトリック軸に沿って前記2次元光パターンからの光を受け入れるように向き付けるステップをさらに備える、請求項5に記載の方法。
- 前記2次元光パターンを前記イメージコンジット上で平行移動フォールドミラーにより走査し、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するステップをさらに備える、請求項5に記載の方法。
- 前記2次元光パターンを前記イメージコンジット上で平行移動フォールドミラーにより走査し、波長分解及び角度分解されたCL光データセットを収集するステップをさらに備える、請求項6に記載の方法。
- 波長分解及び角度分解されたカソードルミネッセンス(CL)光の、集光及び分析のための装置であって、
集光ミラーであって、前記集光ミラーによって集光されたCL光が、光強度を前記カソードルミネッセンス光の放出の角度の関数として表す2次元光パターンを形成するように、配置されている、集光ミラーと、
ハイパースペクトル・イメージング・フィルタであって、前記2次元光パターンが、前記ハイパースペクトル・イメージング・フィルタ上に投射され、前記ハイパースペクトル・イメージング・フィルタは、前記2次元光パターンを2次元イメージ検出器上にイメージングされるように実質的に保存する一方、狭い範囲の波長だけが伝達されることを許すように配置されている、ハイパースペクトル・イメージング・フィルタと、
を備え、
前記ハイパースペクトル・イメージング・フィルタは、前記狭い範囲の波長をフィルタリングして、波長分解及び角度分解されたCL光を表すデータセットを収集するように配置されている、装置。
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