JP2013534692A - 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ - Google Patents
順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013534692A JP2013534692A JP2013511720A JP2013511720A JP2013534692A JP 2013534692 A JP2013534692 A JP 2013534692A JP 2013511720 A JP2013511720 A JP 2013511720A JP 2013511720 A JP2013511720 A JP 2013511720A JP 2013534692 A JP2013534692 A JP 2013534692A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- detection system
- radiation
- cathodoluminescence detection
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000080 cathodoluminescence detection Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 title description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 287
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 121
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 112
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 17
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 241000252073 Anguilliformes Species 0.000 claims description 3
- 238000005430 electron energy loss spectroscopy Methods 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 49
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 12
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/023—Means for mechanically adjusting components not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/226—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object
- H01J37/228—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object whereby illumination and light collection take place in the same area of the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/024—Moving components not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/248—Components associated with the control of the tube
- H01J2237/2482—Optical means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
Dsi/2≦1.2Dei+1/2−Δi+1 for i=1...N−1
上記式中で、
Δi+1は光学部品iの中心に対する光学部品i+1のオフセットで、
Dei+1は光学部品i+1の有効入力直径で、
Dsiは光学部品iから出て光学部品i+1の入力部において測定される放射線の直径である。
Dsi/2≦Dei+1/2−Δi+1 for i=1...N−1
上記式中で、
Δi+1は光学部品iの中心に対する光学部品i+1のオフセットで、
Dei+1は光学部品i+1の有効入力直径で、
Dsiは光学部品iから出て光学部品i+1の入力部において測定される放射線の直径である。
・スペクトロメータの入力部における寸法、即ち、スペクトロメータの倍率によって割られ且つ荷電粒子ソースとスペクトロメータの入力部との間の光路で生じる倍率によって割られるディテクタのピクセルの寸法、又は、
・スペクトロメータの前の光学部品が光ファイバー又は光ファイバー束である場合における、光ファイバー又は光ファイバー束の入力部に至る光路で生じる総倍率によって割られる、光ファイバーの又は光ファーバー束における最も大きな光ファイバーの直径。
・スペクトロメータの入力部における寸法、即ち、スペクトロメータの倍率によって割られ且つ荷電粒子ソースとスペクトロメータの入力面との間の光路で生じる倍率と第一の光学部品の最大受光角とによって割られるディテクタのピクセルの寸法、又は、
・最後の光学部品が光ファイバー又は光ファイバー束である場合における、荷電粒子ソースと光ファイバーの又は光ファイバー束の入力面との間の光路に生ずる倍率と第一の光学部品の最大受光角とによって割られる、光ファイバーの又は光ファーバー束における最も大きな光ファイバーの直径。
が放物面鏡202によって集光される。電子ビーム放出ソース102に対向する貫通穴206の正確な位置決めは、放物面204によって集光される光放射線の光輝/輝度を最適化するために非常に重要である。
図3〜5を参照して、本発明によるカソードルミネッセンス検出システムの第一にアスペクトについて以下に説明する。
図6及び7を参照して、本発明に係るカソードルミネッセンス検出システムの第二のアスペクトについて説明する。
図8は、本発明の第三のアスペクトによるカソードルミネッセンス検出システムの光路の第一の例を示した図である。
・放物面鏡802は、2mmのpの値と、3mmの厚みを有する。
・放物面鏡802の最大出力角度はゼロ(平行ビーム)で、レンズ804の最大入力角度はゼロ(平行ビーム)である。
・放物面鏡802から出る光放射線のレンズ804の入力面におけるプロフィールは、その入力面の一方向において9mmであり、入力面の別の方向において3mmで、レンズ802の有効入力面は8mmである。
・放物面鏡の中心が(レンズの光軸と平行な)該放物面鏡の水平面と垂直面との間の中間点であるとすると、放物面鏡の中心に対するレンズ804のオフセットは100ミクロンよりも小さい。このような状況下で、放物面鏡の焦点の位置を算出して放物面鏡の最大集光角度を確保する。
・レンズ804の最大出力角度は6.3°である。
また、
・スペクトロメータの入力部における分散方向でのビームの幅は典型的には100又は70ミクロンで、スペクトロメータの入力部における限界径(limit diameter)は70μmであり、それを下回ると、スペクトロメータの解像度は最早スペクトロメータの入力部における光放射線のウエストの直径に左右されなくなる。
更に、
・光軸に直交する空間の二つの方向の少なくとも一方と光軸の方向におけるシリンダの移動の精度は、1μmより大きいか又は等しく、それにより、スペクトロメータの入力部における、30ミクロンよりも大きく、即ち、スペクトロメータの入力部における限界寸法よりも小さい分解能を担保し、それを下回る場合には分解能が低下する。
検査対象が非常に小さい場合には、光ファイバー902の入力部における放射線の幅は約15ミクロンで、光ファイバーの有効入力部直径は70μmである。
また、レンズ804から出る放射線の最大角度は6.3°で、光ファイバー902の入力部における限界入射角は6.9°である。
更に、レンズ804の中心に対する光ファイバー902のオフセットは100ミクロンよりも小さい。
また、スペクトロメータの入力部におけるビームの分散方向での幅は70μmで、スペクトロメータの入力部における限界径は70μmで、その限界径を下回る場合には、スペクトロメータの分解能は、スペクトロメータの入力部における光放射線のウエストの直径に最早左右されなくなる。
更に、光軸に直交する空間の二つの方向の少なくとも一方と光軸の方向とにおけるシリンダの移動の精度は、1μmよりも大きく、それにより、30ミクロンより大きい、即ち、スペクトロメータの入力部における限界寸法よりも小さい分解能を担保し、それを下回る場合には分解能が低下する。
また、光ファイバー束1002に至る光路において生ずる倍率によって割られる各光ファイバーの直径は2μmである。
光ファイバー束1002の入力部における放射線の幅は200ミクロンよりも大きいか又は等しく、光ファイバー束1002を構成している各光ファイバーの直径は70μmである。
また、レンズ804から出る光放射線の最大入力角は6.3°で、光ファイバー束1002を構成している各光ファイバーの入力部における限界入射角は6.9°である。
更に、レンズの中心に対する光ファイバー束1002のオフセットは約百ミクロンである。
また、スペクトロメータの入力部における分散方向でのビームの幅は70μmで、スペクトロメータの入力部における限界直径は70μmであり、それを下回る場合には、スペクトロメータの分解能は、スペクトロメータの入力部における光放射線のウエスト(waist)の直径に最早左右されなくなる。
更に、光軸に直交する空間の二つの方向の少なくとも一方と光軸の方向とにおけるシリンダの移動の精度は、1μm又は、1μmよりも大きく、それにより、30ミクロンより大きい、即ち、スペクトロメータの入力部における限界ウエストよりも小さい分解能を担保し、それを下回る場合には分解能が低下する。
また、光ファイバー束1002に至る光路において生ずる倍率によって割られる各光ファイバーの直径は2μmである。
Claims (15)
- 内部の圧力が大気圧を下回っている真空チャンバ(302)内に配置されて、荷電粒子ビーム(104)によって照射されるサンプル(106)から出る光放射線(108)を集光して分析手段(118)へ送る集光光学系(112)と、
前記集光光学系(112)のダウンストリームに配置されて、前記分析手段(118)の入力部における前記光放射線(108)を調整することの可能な光放射線調整手段(114、316)と、
前記集光光学系(112)の軸に対して整列され且つ前記集光光学系(112)と一体となったシリンダ形態の外側シリンダと呼ばれるチューブ(306、602)とを有し、
前記調整手段(114、316)の全て又は一部が前記真空チャンバ(302)内の前記圧力よりも大きな圧力を有する環境内に配置され、
前記外側シリンダ(306、602)が、前記集光光学系(112)が配置される前記真空チャンバ内の前記圧力を維持することを担保するウィンドウシール(312)を有しているカソードルミネッセンス検出システム(110)であって、
前記外側シリンダ(306、602)内に中心合わせされて配置されて、前記光放射線(108)を光ファイバー(116)又はディテクタ内に注入させる目的で前記光放射線調整手段(316)を受けることのできる、内側シリンダと呼ばれるシリンダ形態のチューブ(314)を更に有していることを特徴とするカソードルミネッセンス検出システム(110)。 - 前記集光光学系(112)と前記調整手段(114、316)との間に配置されて、前記光放射線(108)が通過することを許容しつつ前記真空チャンバ(302)の気密性を担保することのできるシーリング手段(310、312、606)を有していることを特徴とする、請求項1に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記調整手段が、光ファイバー(116)のアップストリームに配置され且つ前記光放射線(108)を前記光ファイバー(116)に送ることのできる少なくとも一つのレンズ(316)を含んでいることを特徴とする、請求項1又は2に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記集光光学系が、放物面鏡(112、202)を含んでいることを特徴とする、請求項1〜3の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記集光光学系が、平面鏡、又は、少なくとも一つの光学レンズと結合された楕円鏡を含んでいることを特徴とする、請求項1〜4の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記内側シリンダ(314)が、前記外側シリンダ(306、602)内に取外し自在に取り付けられ、前記外側シリンダ(306、602)に対して自由に回転できるようになっている、請求項1〜5の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記調整手段(316)が、集光された前記光放射線(108)の角度及び寸法をディテクタ又は光ファイバー(116)の寸法及び開口数に適合させるように構成されている、請求項1〜6の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記調整手段(316)が、集光光学系(112)から出る光放射線が通過して前記分析手段に至ることを許容し且つ少なくとも一つの望ましくない光信号をブロックするように構成されたダイアフラムを含んでいることを特徴とする、請求項1〜7の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記光放射線の伝播方向と反対の方向で伝播する光ビームを放出するソースを更に含み、前記光ビームが前記集光光学系(112)によって前記サンプル(106)に向けられるようになっていることを特徴とする、請求項1〜8の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記調整手段(114、316)のダウンストリームに配置されて、前記光放射線(108)を分析するための手段(118)を更に有していることを特徴とする、請求項1〜9の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記分析手段(118)が、スペクトロメータ、CCDカメラ、又は、光電子増倍管を含んでいることを特徴とする、請求項10に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記集光光学系(112)が、少なくとも一つの次元内を移動可能に実装され、前記システムが前記集光光学系(112)を少なくとも一つの次元内を移動させることの可能な位置決め手段(614〜618)を含んでいることを特徴とする、請求項1〜11の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 前記位置決め手段が、少なくとも一つに次元内を移動可能に実装されたステージ(612)を含み、前記集光光学系(112)が前記ステージに確りと取り付けられ、前記システムが、前記ステージを少なくとも一つの次元内を移動させることの可能な少なくとも一つの位置決め部品を更に含んでいることを特徴とする、請求項12に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)。
- 荷電粒子ビーム(104)を発するソース(102)と請求項1〜13の何れか一項に記載のカソードルミネッセンス検出システム(110)とを有する顕微鏡(100、600)。
- 少なくとも、
一つの明視野ディテクタ(126)と、
一つの暗視野ディテクタ(128)と、
一つのEELSディテクタ(130)と、
撮像又は回折用の一つのカメラ、又は、
一つのEDXディテクタを更に含んでいることを特徴とする、請求項14に記載の顕微鏡(100、600)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1054109 | 2010-05-27 | ||
FR1054109A FR2960699B1 (fr) | 2010-05-27 | 2010-05-27 | Systeme de detection de cathodoluminescence souple et microscope mettant en oeuvre un tel systeme. |
PCT/FR2011/050986 WO2011148072A1 (fr) | 2010-05-27 | 2011-04-29 | Systeme de detection de cathodoluminescence souple et microscope mettant en oeuvre un tel systeme |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015015903A Division JP5947928B2 (ja) | 2010-05-27 | 2015-01-29 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
JP2015211726A Division JP6208198B2 (ja) | 2010-05-27 | 2015-10-28 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用した顕微鏡 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013534692A true JP2013534692A (ja) | 2013-09-05 |
JP2013534692A5 JP2013534692A5 (ja) | 2015-07-02 |
JP5833109B2 JP5833109B2 (ja) | 2015-12-16 |
Family
ID=43127317
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013511720A Active JP5833109B2 (ja) | 2010-05-27 | 2011-04-29 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
JP2015015903A Active JP5947928B2 (ja) | 2010-05-27 | 2015-01-29 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
JP2015211726A Active JP6208198B2 (ja) | 2010-05-27 | 2015-10-28 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用した顕微鏡 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015015903A Active JP5947928B2 (ja) | 2010-05-27 | 2015-01-29 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
JP2015211726A Active JP6208198B2 (ja) | 2010-05-27 | 2015-10-28 | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用した顕微鏡 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10157726B2 (ja) |
EP (1) | EP2577706B1 (ja) |
JP (3) | JP5833109B2 (ja) |
FR (1) | FR2960699B1 (ja) |
WO (1) | WO2011148072A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019067749A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 株式会社堀場製作所 | ルミネッセンス採光装置 |
JP2023022310A (ja) * | 2018-05-30 | 2023-02-14 | ガタン インコーポレイテッド | 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置および方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107703060B (zh) * | 2017-10-09 | 2020-12-15 | 苏州市光生环境科技有限公司 | 一种用于大气红外检测装置的调节支架 |
CN108007488B (zh) * | 2017-11-29 | 2020-04-28 | 赫立科技(成都)有限公司 | 一种用于真空腔室内的位置调节装置 |
CN115803843A (zh) * | 2020-04-07 | 2023-03-14 | 加坦公司 | 用于透射电子显微镜阴极发光的装置 |
JP7431349B2 (ja) * | 2020-06-10 | 2024-02-14 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 荷電粒子装置用の交換可能モジュール |
EP3971938A1 (en) * | 2020-09-22 | 2022-03-23 | ASML Netherlands B.V. | Replaceable module for a charged particle apparatus |
BR102020015402A2 (pt) * | 2020-07-28 | 2022-02-08 | Universidade Estadual De Campinas - Unicamp | Sistema de detecção de luz para microscópios de varredura de sonda |
US11211223B1 (en) * | 2020-08-25 | 2021-12-28 | Fei Company | System and method for simultaneous phase contrast imaging and electron energy-loss spectroscopy |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002514747A (ja) * | 1998-05-09 | 2002-05-21 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 電子顕微鏡および分光システム |
JP2003139703A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Unisoku Co Ltd | カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置 |
JP2004279328A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 物質同定システム |
JP2008192617A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Fei Co | 粒子と光子で同時に試料を観察する粒子光学装置 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS614348U (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-11 | 株式会社日立製作所 | カソ−ドルミネツセンス装置 |
DE3729846A1 (de) * | 1987-09-05 | 1989-03-23 | Zeiss Carl Fa | Kathodolumineszenzdetektor |
US5013915A (en) * | 1988-05-20 | 1991-05-07 | Hitachi, Ltd. | Transmission type electron microscope |
GB8920344D0 (en) * | 1989-09-08 | 1989-10-25 | Isis Innovation | Method and apparatus for imaging dislocations in materials |
US5517033A (en) * | 1994-07-25 | 1996-05-14 | Gatan, Inc. | Apparatus for improved image resolution in electron microscopy |
US5536941A (en) * | 1995-02-22 | 1996-07-16 | Gatan, Inc. | Rotatable wide angle camera and prism assembly for electron microscopes |
US5724131A (en) * | 1995-06-14 | 1998-03-03 | The National University Of Singapore | Integrated emission microscope for panchromatic imaging, continuous wavelength spectroscopy and selective area spectroscopic mapping |
JPH0945271A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-14 | Hitachi Ltd | 撮像装置付き電子顕微鏡 |
JP3718300B2 (ja) * | 1996-09-17 | 2005-11-24 | 株式会社トプコン | 試料分析装置 |
US6061085A (en) * | 1997-02-07 | 2000-05-09 | Soft Imaging System Gmbh | Camera system for a transmission electron microscope |
US6885445B2 (en) * | 1998-05-09 | 2005-04-26 | Renishaw Plc | Electron microscope and spectroscopy system |
GB0118981D0 (en) * | 2001-08-03 | 2001-09-26 | Renishaw Plc | Electron microscope and spectroscopy system |
DE59911709D1 (de) * | 1998-12-21 | 2005-04-07 | Evotec Ag | Positionierung des messvolumens in einem scanning-mikroskopischen verfahren |
JP3429282B2 (ja) * | 2001-02-02 | 2003-07-22 | リサーチ・インターナショナル・インコーポレーテッド | 自動化されたシステム、及びサンプルの分析方法 |
JP4198325B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2008-12-17 | 株式会社フォトロン | 多画面分光撮影装置 |
GB0106342D0 (en) * | 2001-03-15 | 2001-05-02 | Renishaw Plc | Spectroscopy apparatus and method |
GB0123053D0 (en) * | 2001-09-25 | 2001-11-14 | Oxford Instr Analytical Ltd | Electron detection device |
JP2003157789A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置 |
JP4025836B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2007-12-26 | コニカミノルタオプト株式会社 | 撮像装置及び携帯通信機器 |
EP1739715A3 (en) * | 2005-06-29 | 2008-12-10 | Horiba, Ltd. | Sample measuring device |
EP1956632A1 (en) * | 2007-02-14 | 2008-08-13 | FEI Company | Particle-optical apparatus for simultaneous observing a sample with particles and photons |
JP4988444B2 (ja) * | 2007-06-19 | 2012-08-01 | 株式会社日立製作所 | 検査方法および装置 |
US7964846B2 (en) * | 2008-08-01 | 2011-06-21 | Gatan, Inc. | Retractable lens-coupled electron microscope camera with image sensor in electron microscope vacuum chamber |
-
2010
- 2010-05-27 FR FR1054109A patent/FR2960699B1/fr active Active
-
2011
- 2011-04-29 JP JP2013511720A patent/JP5833109B2/ja active Active
- 2011-04-29 WO PCT/FR2011/050986 patent/WO2011148072A1/fr active Application Filing
- 2011-04-29 US US13/699,975 patent/US10157726B2/en active Active
- 2011-04-29 EP EP11723542.4A patent/EP2577706B1/fr active Active
-
2015
- 2015-01-29 JP JP2015015903A patent/JP5947928B2/ja active Active
- 2015-10-28 JP JP2015211726A patent/JP6208198B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002514747A (ja) * | 1998-05-09 | 2002-05-21 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 電子顕微鏡および分光システム |
JP2003139703A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-14 | Unisoku Co Ltd | カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置 |
JP2004279328A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 物質同定システム |
JP2008192617A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Fei Co | 粒子と光子で同時に試料を観察する粒子光学装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019067749A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | 株式会社堀場製作所 | ルミネッセンス採光装置 |
JP7141874B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-09-26 | 株式会社堀場製作所 | ルミネッセンス採光装置 |
JP2023022310A (ja) * | 2018-05-30 | 2023-02-14 | ガタン インコーポレイテッド | 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置および方法 |
JP7416900B2 (ja) | 2018-05-30 | 2024-01-17 | ガタン インコーポレイテッド | 波長分解され角度分解されたカソードルミネッセンスのための装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6208198B2 (ja) | 2017-10-04 |
EP2577706A1 (fr) | 2013-04-10 |
JP2016054152A (ja) | 2016-04-14 |
JP2015122324A (ja) | 2015-07-02 |
US20130087706A1 (en) | 2013-04-11 |
EP2577706B1 (fr) | 2014-07-23 |
FR2960699A1 (fr) | 2011-12-02 |
US10157726B2 (en) | 2018-12-18 |
JP5947928B2 (ja) | 2016-07-06 |
WO2011148072A1 (fr) | 2011-12-01 |
FR2960699B1 (fr) | 2013-05-10 |
JP5833109B2 (ja) | 2015-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6208198B2 (ja) | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用した顕微鏡 | |
US9228962B2 (en) | Adjustable cathodoluminescence detection system and microscope employing such a system | |
JP2013534692A5 (ja) | ||
JP5095587B2 (ja) | 標本の光学的分析を行うためのアダプタ | |
US6965663B2 (en) | X-ray analysis apparatus and method | |
US9812288B2 (en) | Sample holder with light emitting and transferring elements for a charged particle beam apparatus | |
US11764032B2 (en) | Apparatus for wavelength resolved angular resolved cathodoluminescence | |
EP2924707B1 (en) | Raman microscope and electron microscope analytical system | |
EP3570311B1 (en) | Cathodoluminescence optical hub | |
JPH05113418A (ja) | 表面分析装置 | |
JP5090134B2 (ja) | 紫外・可視・近赤外吸収スペクトル測定用試料ホルダー | |
KR101954328B1 (ko) | 고분해능 주사전자현미경 | |
CN115389538B (zh) | X射线分析装置及方法 | |
JP2020149885A (ja) | 走査型電子顕微鏡および分析装置 | |
JP5589555B2 (ja) | X線分析装置 | |
JPH07161332A (ja) | 電子ビーム照射分析装置 | |
JP2011003484A (ja) | 集束イオンビームを用いる微細部位解析装置および微細部位解析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130611 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140424 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140710 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20140922 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140922 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140922 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150113 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150410 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20150512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150929 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5833109 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |