JP2007010392A - 試料測定装置 - Google Patents
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Abstract
簡単な構成でありながら、エネルギ線の照射位置と集光ミラー部の焦点との位置調節を容易にすること及び振動などによる集光ミラー部の位置ずれを防ぐことである。
【解決手段】
エネルギ線EBを試料Wに照射することにより生じる光を測定する試料測定装置1であって、エネルギ線EBを収束させる鏡筒部23と、前記鏡筒部23及び前記試料Wの間に設けられ、前記鏡筒部23で収束されたエネルギ線EBを通過させ、そのエネルギ線EBを試料Wに照射するためのエネルギ線通路312と、その通路312の軸線上に焦点Fが設定されたミラー面311と、を有し、試料Wから生じる光Lを前記ミラー面311により集光する集光ミラー部31と、を備え、前記エネルギ線EBの軸と前記焦点Fとを一致させるように、前記鏡筒部23に前記集光ミラー部31を支持させている。
【選択図】図1
Description
EB ・・・エネルギ線(電子線)
W ・・・試料
21 ・・・エネルギ線発生部(電子銃)
23A・・・エネルギ線射出口
23 ・・・鏡筒部
311・・・ミラー面
312・・・エネルギ線通路
31 ・・・集光ミラー部
O ・・・エネルギ線の軸線
5 ・・・位置決め構造
313・・・筒状凸部
F ・・・焦点
P ・・・照射位置
Claims (4)
- エネルギ線を試料に照射することにより生じる光を測定する試料測定装置であって、
エネルギ線を発生させるエネルギ線発生部と、
前記エネルギ線発生部で発生したエネルギ線を収束させるエネルギ線制御手段を有し、当該エネルギ線制御手段によりそのエネルギ線制御手段の軸線に対し、エネルギ線をその軸が一致するように収束させる鏡筒部と、
前記鏡筒部及び前記試料の間に設けられ、前記鏡筒部で収束されたエネルギ線を通過させ、そのエネルギ線を前記試料に照射するためのエネルギ線通路と、その通路の軸線上に焦点が設定されたミラー面とを有し、前記試料から生じる光を前記ミラー面により集光する集光ミラー部と、を備え、
前記エネルギ線の軸と前記焦点とを一致させるように、前記鏡筒部に前記集光ミラー部を支持させている試料測定装置。 - 前記鏡筒部及び前記集光ミラー部をそれぞれ着脱可能にする一方、前記エネルギ線制御手段の軸線と前記エネルギ線通路の軸線とを同軸に位置決めして、前記エネルギ線の軸と前記焦点とを一致させるように、前記鏡筒部に前記集光ミラー部を支持させる位置決め構造を設けた請求項1記載の試料測定装置。
- 前記位置決め構造が、前記鏡筒部及び前記集光ミラー部の一方に設けられた凸構造と、他方に設けられ前記凸構造に対応する凹構造とから構成される請求項2記載の試料測定装置。
- 前記位置決め構造が、少なくとも前記集光ミラー部上面に形成され、内周面で前記エネルギ線通路を規定した筒状凸部と、その筒状凸部の外周面と略同一に形成された前記鏡筒部の内周面と、から構成される請求項2又は3記載の試料測定装置。
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