JP2022160204A - Substrate transfer device and substrate transfer method - Google Patents

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Abstract

To provide a substrate transfer device capable of sending out only a substrate to be pushed from a magazine.SOLUTION: A substrate transfer device 10 includes a magazine 20 that has a pair of side plates 21 formed with a plurality of grooves 22 extending in a first direction, and in which the grooves 22 support the substrate 1 and guide the movement of the substrate 1, an end effector 30 for pushing the substrate 1 supported in the groove 22 of the magazine 20, and a guide portion 50 provided facing the carry-out surface of the magazine 20 and guiding the substrate 1 pushed out from the magazine 20 by the end effector 30. The substrate 1 pushed by the end effector 30 is referred to as a first substrate 1a, and the substrate 1 supported in the groove 22 next to the groove 22 supporting the first substrate 1a is referred to as a second substrate 1b. The guide portion 50 includes an opening 54 that allows passage of the first substrate 1a, and a stopper 55 that blocks passage of the second substrate 1b.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本開示は、基板搬送装置および基板搬送方法に関する。 The present disclosure relates to a substrate transfer device and a substrate transfer method.

従来、基板のプラズマクリーニング装置が知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１のプラズマクリーニング装置は、所定の搬送路に沿って基板を搬送するための基板搬送装置を備える。この基板搬送装置は、複数の基板を段積状に保持するマガジンから、ロッドによって基板を１つずつ押送する送り出し手段を有する。 Conventionally, a substrate plasma cleaning apparatus is known (for example, Patent Document 1). The plasma cleaning apparatus of Patent Literature 1 includes a substrate transfer device for transferring a substrate along a predetermined transfer path. This substrate conveying apparatus has sending means for pushing out substrates one by one by a rod from a magazine holding a plurality of substrates in a stack.

特開平９－１２９５８１号公報JP-A-9-129581

しかしながら、上述のとおり、マガジン内では複数の基板が段積状になっている。そのような段積状の複数の基板のうち１つをロッドで押送しようとする際、押送対象の基板の隣の基板も同時に送り出されてしまうことがある。この現象は、基板に反りがあって、隣り合う基板が触れ合っている場合に生じやすい。このような状況において、本開示は、押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置を提供することを目的の１つとする。 However, as described above, a plurality of substrates are stacked in the magazine. When trying to push one of such stacked substrates with a rod, the substrate adjacent to the substrate to be pushed may also be pushed out at the same time. This phenomenon is likely to occur when the substrates are warped and adjacent substrates are in contact with each other. Under such circumstances, one object of the present disclosure is to provide a substrate transfer apparatus capable of sending out only substrates to be pushed from a magazine.

本開示に係る一局面は、基板搬送装置に関する。当該基板搬送装置は、第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、を備え、前記エンドエフェクタにより押送される前記基板を第１基板とし、前記第１基板を支持する前記溝を第１溝とし、前記第１溝の隣の前記溝を第２溝とし、かつ前記第２溝に支持される前記基板を第２基板として、前記ガイド部は、前記第１基板の通過を許容する開口と、前記第２基板の通過を阻止するストッパとを有する。 One aspect of the present disclosure relates to a substrate transport apparatus. The substrate transfer apparatus has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction and aligned in a second direction intersecting the first direction. a magazine in which both ends are supported and movement of the substrate in the first direction is guided; and an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction. and a guide portion provided opposite to the carry-out surface of the magazine and guiding the substrate pushed from the magazine by the end effector in the first direction, wherein the substrate pushed by the end effector is guided in the first direction. The groove supporting the first substrate is defined as a first groove, the groove adjacent to the first groove is defined as a second groove, and the substrate supported by the second groove is defined as a second substrate. As such, the guide section has an opening that allows passage of the first substrate and a stopper that blocks passage of the second substrate.

本開示に係る別の一局面は、基板搬送方法に関する。当該基板搬送方法は、第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、を備える基板搬送装置において、前記基板を搬送するための基板搬送方法であって、前記複数の溝の一つに支持される前記基板を第１基板とし、かつ前記第１基板を支持する前記溝の隣の前記溝に支持される前記基板を第２基板として、前記エンドエフェクタにより前記第１基板を押送する押送工程を備え、前記押送工程では、前記第１基板が前記ガイド部を通過するのを許容する一方、前記第２基板が前記ガイド部を通過するのをストッパで阻止する。 Another aspect of the present disclosure relates to a substrate transfer method. The substrate conveying method has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction and aligned in a second direction intersecting the first direction, and the grooves allow the substrate to move along the first direction. a magazine in which both ends are supported and movement of the substrate in the first direction is guided; and an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction. and a guide portion provided opposite to the carry-out surface of the magazine and guiding the substrate pushed out from the magazine by the end effector in the first direction, for transporting the substrate. wherein the substrate supported in one of the plurality of grooves is defined as a first substrate, and the substrate supported in the groove adjacent to the groove supporting the first substrate is defined as a first substrate. As two substrates, a pushing step of pushing the first substrate by the end effector is provided, and in the pushing step, the first substrate is allowed to pass through the guide portion, while the second substrate is pushed through the guide portion. Stop passing through with a stopper.

本開示によれば、押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置および基板搬送方法が得られる。 According to the present disclosure, it is possible to obtain a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method that can send out only substrates to be pushed from a magazine.

実施形態１に係る基板搬送装置の構成を概略的に示す正面図である。1 is a front view schematically showing the configuration of a substrate transfer device according to Embodiment 1; FIG. 実施形態１に係る基板搬送装置の要部を概略的に示す正面図である。1 is a front view schematically showing a main part of a substrate transfer device according to Embodiment 1; FIG. 実施形態１に係るマガジンとガイド部との位置関係を説明するための概略側面図である。4 is a schematic side view for explaining the positional relationship between the magazine and the guide section according to Embodiment 1. FIG. 実施形態２に係るマガジンとガイド部との位置関係を説明するための概略側面図である。FIG. 11 is a schematic side view for explaining the positional relationship between the magazine and the guide section according to the second embodiment;

本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法の実施形態について例を挙げて以下に説明する。しかしながら、本開示は以下に説明する例に限定されない。以下の説明では、具体的な数値や材料を例示する場合があるが、本開示の効果が得られる限り、他の数値や材料を適用してもよい。 Embodiments of a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method according to the present disclosure will be described below with examples. However, the disclosure is not limited to the examples described below. In the following description, specific numerical values and materials may be exemplified, but other numerical values and materials may be applied as long as the effects of the present disclosure can be obtained.

（基板搬送装置）
本開示に係る基板搬送装置は、マガジンと、エンドエフェクタと、ガイド部とを備える。 (Substrate transfer device)
A substrate transport device according to the present disclosure includes a magazine, an end effector, and a guide section.

マガジンは、第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有する。一対の側板は、互いに平行に配置される。複数の溝は、第１方向と交差する第２方向に並んで形成される。そのような溝により、基板の第１方向に沿った両側端部が支持されると共に当該基板の第１方向への移動が案内される。第１方向は、水平方向であってもよく、第２方向は、鉛直方向であってもよい。 The magazine has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction. A pair of side plates are arranged parallel to each other. The plurality of grooves are formed side by side in a second direction that intersects with the first direction. Such grooves support both side edges of the substrate along the first direction and guide movement of the substrate in the first direction. The first direction may be horizontal and the second direction may be vertical.

エンドエフェクタは、マガジンの溝に支持された基板を第１方向に押送する。エンドエフェクタは、例えば、第１方向に沿って延びるロッド状の本体部を有してもよい。エンドエフェクタは、例えば空気圧で駆動されてもよい。 The end effector pushes the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction. The end effector may have, for example, a rod-shaped body extending along the first direction. The end effector may be pneumatically driven, for example.

ガイド部は、マガジンの搬出面と対向して設けられる。ガイド部は、エンドエフェクタによりマガジンから押送された基板を第１方向に案内する。ガイド部は、第１方向に沿って延びるレール状部材を有してもよい。ガイド部は、第１基板の通過を許容する開口と、第２基板の通過を阻止するストッパとを有する。ストッパは、例えば、ブラケットなどの板状部材で構成されてもよいし、ブロック状部材で構成されてもよい。 The guide portion is provided so as to face the unloading surface of the magazine. The guide section guides the substrate pushed from the magazine by the end effector in the first direction. The guide section may have a rail-shaped member extending along the first direction. The guide portion has an opening that allows passage of the first substrate and a stopper that prevents passage of the second substrate. The stopper may be configured by a plate-shaped member such as a bracket, or may be configured by a block-shaped member.

ここで、第１基板とは、エンドエフェクタにより押送される基板のことである。つまり、第１基板は、押送対象の基板である。また、第２基板とは、第１基板を支持する溝を第１溝とし、かつ第１溝の隣の溝を第２溝として、第２溝に支持される基板のことである。つまり、第２基板は、押送対象の基板の隣の基板であって、意図せずにマガジンから送り出されるおそれのある基板である。 Here, the first substrate is the substrate pushed by the end effector. That is, the first substrate is a substrate to be pushed. Further, the second substrate means a substrate supported by a second groove having a groove supporting the first substrate as a first groove and a groove adjacent to the first groove as a second groove. That is, the second board is a board adjacent to the board to be pushed, and is a board that may be unintentionally delivered from the magazine.

ガイド部が上記の開口およびストッパを有するため、押送対象の基板である第１基板はガイド部を通過できる一方、その隣の第２基板はガイド部を通過できない。これにより、押送対象の基板のみがマガジンから送り出される。 Since the guide portion has the opening and the stopper, the first substrate, which is the substrate to be pushed, can pass through the guide portion, while the second substrate adjacent thereto cannot pass through the guide portion. As a result, only substrates to be pushed are delivered from the magazine.

（基板搬送方法）
本開示に係る基板搬送方法は、例えば上述の基板搬送装置で使用可能であり、押送工程を備える。 (Substrate transport method)
A substrate transport method according to the present disclosure, which can be used, for example, in the substrate transport apparatus described above, comprises a pushing process.

押送工程では、エンドエフェクタにより第１基板を押送する。押送工程では、第１基板がガイド部を通過するのを許容する一方、第２基板がガイド部を通過するのをストッパで阻止する。これにより、第１基板のみ、すなわち押送対象の基板のみがマガジンから送り出される。 In the pushing step, the end effector pushes the first substrate. In the pushing step, the first substrate is permitted to pass through the guide portion, while the second substrate is prevented from passing through the guide portion by the stopper. As a result, only the first board, that is, only the board to be pushed is delivered from the magazine.

以上のように、本開示によれば、押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置および基板搬送方法が得られる。 As described above, according to the present disclosure, it is possible to obtain a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method that can send out only substrates to be pushed from a magazine.

開口は、第１方向から見て、第１溝を包含してもよく、ストッパの第２方向の一端は、第１方向から見て、第２溝の第１溝側の端に一致するか第１溝と第２溝との間に位置してもよく、ストッパの第２方向の他端は、第１方向から見て、第２溝の第１溝とは反対側の端に一致するか反対側の端よりも第１溝から遠くに位置してもよい。このような構成によると、第１溝から出てくる第１基板が開口に入りやすく、かつ第２溝から出てくる第２基板がストッパにぶつかりやすい。したがって、押送対象の基板のみをマガジンから送り出すことをより一層実現しやすい。 The opening may encompass the first groove when viewed from the first direction, and one end of the stopper in the second direction may coincide with the end of the second groove on the first groove side when viewed from the first direction. It may be positioned between the first groove and the second groove, and the other end of the stopper in the second direction coincides with the end of the second groove opposite to the first groove when viewed from the first direction. or farther from the first groove than the opposite end. With such a configuration, the first substrate coming out of the first groove can easily enter the opening, and the second substrate coming out of the second groove can easily hit the stopper. Therefore, it is easier to feed out only the substrates to be pushed from the magazine.

ストッパは、第１方向から見て、第２溝の底部を包含してもよい。これにより、第２基板が第２溝から出そうになっても、第２基板の両側端部がストッパにぶつかって、第２基板がガイド部を通過することが阻止される。 The stopper may encompass the bottom of the second groove when viewed from the first direction. As a result, even when the second substrate is about to come out of the second groove, both side end portions of the second substrate collide with the stoppers to prevent the second substrate from passing through the guide portion.

第２溝の第１溝とは反対側の隣の溝を第３溝とし、かつ第３溝に支持される基板を第３基板として、ストッパは、第３基板の通過を阻止してもよい。これにより、第１溝の隣の第２溝に支持される第２基板のみでなく、第２溝の隣の第３溝に支持される第３基板がガイド部を通過することも阻止される。 The groove adjacent to the second groove opposite to the first groove is the third groove, and the substrate supported by the third groove is the third substrate, and the stopper may prevent passage of the third substrate. . This prevents not only the second substrate supported in the second groove adjacent to the first groove, but also the third substrate supported in the third groove adjacent to the second groove from passing through the guide portion. .

以下では、本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法の一例について、図面を参照して具体的に説明する。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程には、上述した構成要素および工程を適用できる。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程は、上述した記載に基づいて変更できる。また、以下で説明する事項を、上記の実施形態に適用してもよい。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程のうち、本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法に必須ではない構成要素および工程は省略してもよい。なお、以下で示す図は模式的なものであり、実際の部材の形状や数を正確に反映するものではない。 An example of a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method according to the present disclosure will be specifically described below with reference to the drawings. The components and steps described above can be applied to the components of the substrate transfer apparatus and the steps of the substrate transfer method of the example described below. The components of the exemplary substrate transport apparatus and the steps of the substrate transport method described below may vary based on the above description. Also, the matters described below may be applied to the above embodiments. Among the components of the substrate transfer apparatus and the steps of the substrate transfer method of the example described below, the components and steps that are not essential to the substrate transfer apparatus and substrate transfer method according to the present disclosure may be omitted. It should be noted that the drawings shown below are schematic and do not accurately reflect the actual shape and number of members.

《実施形態１》
本開示の実施形態１について説明する。本実施形態の基板搬送装置１０は、所定の搬送方向（第１方向）に沿って基板１を搬送するための装置である。基板搬送装置１０は、例えば、基板１をプラズマクリーニング処理するための基板処理装置（図示せず）に適用可能である。以下では、まず基板搬送装置１０の構成について説明し、その後、基板搬送装置１０を用いた基板搬送方法について説明する。 <<Embodiment 1>>
A first embodiment of the present disclosure will be described. A substrate transfer apparatus 10 of this embodiment is an apparatus for transferring a substrate 1 along a predetermined transfer direction (first direction). The substrate transfer apparatus 10 can be applied to, for example, a substrate processing apparatus (not shown) for plasma cleaning the substrate 1 . Below, the configuration of the substrate transfer device 10 will be described first, and then the substrate transfer method using the substrate transfer device 10 will be described.

（基板搬送装置）
図１および図２に示すように、基板搬送装置１０は、マガジン２０と、エンドエフェクタ３０と、移動部４０と、ガイド部５０とを備える。 (Substrate transfer device)
As shown in FIGS. 1 and 2, the substrate transfer device 10 includes a magazine 20, an end effector 30, a moving section 40, and a guide section 50. As shown in FIGS.

マガジン２０は、第１方向（基板１の搬送方向）に延びる複数の溝２２が形成された一対の側板２１を有する（図３を参照）。一対の側板２１は、天板２３および底板２４によって互いに連結されている。複数の溝２２は、第１方向と交差する第２方向（例えば、鉛直方向）に並んで形成されている。複数の溝２２は、等間隔で形成されていてもよい。マガジン２０では、各溝２２により基板１の第１方向に沿った両側端部（図３における左右端部）が支持されると共に当該基板１の第１方向への移動が案内される。 The magazine 20 has a pair of side plates 21 formed with a plurality of grooves 22 extending in the first direction (conveying direction of the substrate 1) (see FIG. 3). A pair of side plates 21 are connected to each other by a top plate 23 and a bottom plate 24 . The plurality of grooves 22 are formed side by side in a second direction (eg, vertical direction) intersecting the first direction. The plurality of grooves 22 may be formed at regular intervals. In the magazine 20, the grooves 22 support both side ends (left and right ends in FIG. 3) of the substrate 1 along the first direction and guide the movement of the substrate 1 in the first direction.

マガジン２０は、不図示の昇降機構によって、上下方向に移動可能に構成される。マガジン２０は、下から順に基板１を送り出すように構成されてもよいし、上から順に基板１を送り出すように構成されてもよい。前者の場合、マガジン２０は、基板１を順次送り出しながら下方へ移動する一方、後者の場合、マガジン２０は、基板１を順次送り出しながら上方へ移動する。 The magazine 20 is configured to be vertically movable by an elevating mechanism (not shown). The magazine 20 may be configured to deliver the substrates 1 in order from the bottom, or may be configured to deliver the substrates 1 in order from the top. In the former case, the magazine 20 moves downward while sequentially delivering the substrates 1 , whereas in the latter case, the magazine 20 moves upward while sequentially delivering the substrates 1 .

エンドエフェクタ３０は、マガジン２０の溝２２に支持された基板１を第１方向に押送する。エンドエフェクタ３０は、第１方向に沿って延びるロッド状部材によって構成されてもよい。エンドエフェクタ３０は、その先端部を基板１に当接させた状態で、第１方向に移動しながら当該基板１を押送してもよい。 The end effector 30 pushes the substrate 1 supported in the groove 22 of the magazine 20 in the first direction. The end effector 30 may be configured by a rod-shaped member extending along the first direction. The end effector 30 may push the substrate 1 while moving in the first direction while the tip thereof is in contact with the substrate 1 .

移動部４０は、エンドエフェクタ３０を第１方向に沿って移動させる。本実施形態の移動部４０は、空気圧アクチュエータで構成されるが、これに限られない。例えば、移動部４０は、電動アクチュエータなどの他の駆動機構で構成されてもよい。 The moving part 40 moves the end effector 30 along the first direction. The moving part 40 of the present embodiment is composed of a pneumatic actuator, but is not limited to this. For example, the moving part 40 may be configured with another driving mechanism such as an electric actuator.

ガイド部５０は、マガジン２０の搬出面（図１の右側面）と対向して設けられる。ガイド部５０は、エンドエフェクタ３０によりマガジン２０から押送された基板１を第１方向に案内する。ガイド部５０は、上側部材５１および下側部材５２と、ストッパ５５とを有する。 The guide portion 50 is provided so as to face the unloading surface of the magazine 20 (the right side surface in FIG. 1). The guide portion 50 guides the substrate 1 pushed from the magazine 20 by the end effector 30 in the first direction. The guide portion 50 has an upper member 51 , a lower member 52 and a stopper 55 .

上側部材５１および下側部材５２は、それぞれ第１方向に沿って延びる部材である。上側部材５１と下側部材５２との間には、マガジン２０から出てきた基板１が移動する移動空間５３が形成されている。移動空間５３の入口は、マガジン２０に向かって広がるテーパ状になっている。これにより、マガジン２０から出てきた基板１が移動空間５３に入りやすい。 The upper member 51 and the lower member 52 are members extending along the first direction. Between the upper member 51 and the lower member 52, a movement space 53 is formed in which the substrates 1 coming out of the magazine 20 are moved. The entrance of the moving space 53 has a tapered shape that widens toward the magazine 20 . This makes it easier for the substrate 1 coming out of the magazine 20 to enter the moving space 53 .

ここで、本開示における用語の定義を説明する。すなわち、エンドエフェクタ３０により押送される基板１を第１基板１ａとし、かつ第１基板１ａを支持する溝２２を第１溝２２ａとする。また、第１溝２２ａの隣の溝２２を第２溝２２ｂとし、かつ第２溝２２ｂに支持される基板１を第２基板１ｂとする。さらに、第２溝２２ｂの第１溝２２ａとは反対側の隣の溝２２を第３溝２２ｃとし、かつ第３溝２２ｃに支持される基板１を第３基板１ｃとする。 Definitions of terms used in the present disclosure will now be described. That is, the substrate 1 pushed by the end effector 30 is referred to as the first substrate 1a, and the groove 22 for supporting the first substrate 1a is referred to as the first groove 22a. The groove 22 adjacent to the first groove 22a is referred to as a second groove 22b, and the substrate 1 supported by the second groove 22b is referred to as a second substrate 1b. Further, the groove 22 adjacent to the second groove 22b on the side opposite to the first groove 22a is referred to as a third groove 22c, and the substrate 1 supported by the third groove 22c is referred to as a third substrate 1c.

ストッパ５５は、第２基板１ｂの通過を阻止する板状部材である。ストッパ５５は、上側部材５１に固定されている。ストッパ５５は、図２に示すように、正面視で、移動空間５３の入口の上側の略半分を塞いでいる。ストッパ５５の下端よりも下側には、第１基板１ａの通過を許容する開口５４が形成されている。 The stopper 55 is a plate-like member that prevents passage of the second substrate 1b. The stopper 55 is fixed to the upper member 51 . As shown in FIG. 2, the stopper 55 closes substantially the upper half of the entrance of the movement space 53 in a front view. An opening 54 is formed below the lower end of the stopper 55 to allow passage of the first substrate 1a.

図３に示すように、開口５４は、第１方向から見て（側面視で）、第１溝２２ａを包含する。このため、第１溝２２ａから出てくる第１基板１ａが、開口５４に入ってガイド部５０を通過しやすい。なお、図３では、開口５４の領域を二点鎖線で示してある。また、図３では、エンドエフェクタ３０およびストッパ５５が存在する範囲にそれぞれハッチングを付してある。 As shown in FIG. 3, the opening 54 includes the first groove 22a when viewed from the first direction (side view). Therefore, the first substrate 1a coming out of the first groove 22a easily enters the opening 54 and passes through the guide portion 50. As shown in FIG. In addition, in FIG. 3, the region of the opening 54 is indicated by a two-dot chain line. Also, in FIG. 3, the ranges where the end effector 30 and the stopper 55 exist are hatched.

ストッパ５５の第２方向の一端（この例では、下端）は、第１方向から見て、第１溝２２ａと第２溝２２ｂとの間に位置する。なお、ストッパ５５の第２方向の一端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの第１溝２２ａ側の端に一致してもよい。 One end (lower end in this example) of the stopper 55 in the second direction is positioned between the first groove 22a and the second groove 22b when viewed from the first direction. One end of the stopper 55 in the second direction may coincide with the end of the second groove 22b on the side of the first groove 22a when viewed from the first direction.

ストッパ５５の第２方向の他端（この例では、上端）は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの第１溝２２ａ側とは反対側の端よりも第１溝２２ａから遠くに位置する。具体的に、ストッパ５５の第２方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂと第３溝２２ｃとの間に位置する。なお、ストッパ５５の第２方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの第１溝２２ａ側とは反対側の端に一致してもよい。 The other end (in this example, the upper end) of the stopper 55 in the second direction is farther from the first groove 22a than the end of the second groove 22b opposite to the first groove 22a when viewed from the first direction. To position. Specifically, the other end of the stopper 55 in the second direction is located between the second groove 22b and the third groove 22c when viewed from the first direction. The other end of the stopper 55 in the second direction may coincide with the end of the second groove 22b on the side opposite to the first groove 22a side when viewed from the first direction.

ストッパ５５の第３方向（第１方向および第２方向と交差する方向、図３における左右方向）の一端（この例では、マガジン２０の中央側の端）は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面よりもマガジン２０の中央側に位置する。また、ストッパ５５の第３方向の一端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの開口付近に位置する。 One end of the stopper 55 in the third direction (the direction intersecting the first direction and the second direction, the left-right direction in FIG. 3) (the end on the center side of the magazine 20 in this example) is the third It is positioned closer to the center of the magazine 20 than the bottom surface of the second groove 22b. One end of the stopper 55 in the third direction is positioned near the opening of the second groove 22b when viewed from the first direction.

ストッパ５５の第３方向の他端（この例では、マガジン２０の中央から遠い側の端）は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面よりもマガジン２０の中央から遠くに位置する。また、ストッパ５５の第３方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面と側板２１の外面との間に位置する。なお、ストッパ５５の第３方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面に一致してもよい。 The other end of the stopper 55 in the third direction (in this example, the end farther from the center of the magazine 20) is located farther from the center of the magazine 20 than the bottom surface of the second groove 22b when viewed from the first direction. . The other end of the stopper 55 in the third direction is positioned between the bottom surface of the second groove 22b and the outer surface of the side plate 21 when viewed from the first direction. The other end of the stopper 55 in the third direction may coincide with the bottom surface of the second groove 22b when viewed from the first direction.

ストッパ５５の各端部の位置に関する以上の説明からわかるように、ストッパ５５は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底部を包含する。ここで、第２溝２２ｂの底部とは、第２溝２２ｂの底面から第２溝２２ｂの開口までの領域のうち、底面付近の領域（例えば、第２溝２２ｂの深さをＤとして、底面からＤ／３までの領域）のことである。このため、第２溝２２ｂから第２基板１ｂが出そうになっても、ストッパ５５で第２基板１ｂの通過を容易に阻止できる。なお、ストッパ５５は、第２基板１ｂの通過を阻止できるのであれば、第２溝２２ｂの底部を包含していなくてもよい。 As can be seen from the above description of the position of each end of stopper 55, stopper 55 encompasses the bottom of second groove 22b when viewed from the first direction. Here, the bottom of the second groove 22b means a region near the bottom of the region from the bottom of the second groove 22b to the opening of the second groove 22b. to D/3). Therefore, even when the second substrate 1b is about to come out of the second groove 22b, the stopper 55 can easily prevent the passage of the second substrate 1b. It should be noted that the stopper 55 does not need to cover the bottom of the second groove 22b as long as it can prevent passage of the second substrate 1b.

（基板搬送方法）
上記の基板搬送装置１０を用いた基板搬送方法について説明する。基板搬送方法は、押送工程を備える。 (Substrate transport method)
A substrate transfer method using the substrate transfer apparatus 10 will be described. The substrate transfer method includes a pushing step.

押送工程では、エンドエフェクタ３０により第１基板１ａを押送する。このとき、エンドエフェクタ３０は、移動部４０によって第１方向に移動される。押送工程では、第１基板１ａが開口５４を介して移動空間５３に送り込まれる。このように、押送工程では、第１基板１ａがガイド部５０を通過することが許容される。 In the pushing step, the end effector 30 pushes the first substrate 1a. At this time, the end effector 30 is moved in the first direction by the moving part 40 . In the pushing step, the first substrate 1a is fed into the moving space 53 through the opening 54. As shown in FIG. Thus, the first substrate 1a is allowed to pass through the guide portion 50 in the pushing process.

一方、第２基板１ｂは、エンドエフェクタ３０により押送されないが、第１基板１ａの移動に伴って、意図せずに第１方向に移動してしまうことがある。そのような場合でも、第２基板１ｂは、ストッパ５５にぶつかって当該移動を規制される。このように、押送工程では、第２基板１ｂがガイド部５０を通過することがストッパ５５により阻止される。 On the other hand, although the second substrate 1b is not pushed by the end effector 30, it may unintentionally move in the first direction along with the movement of the first substrate 1a. Even in such a case, the second substrate 1b collides with the stopper 55 and is restricted from moving. In this manner, the second substrate 1b is prevented from passing through the guide portion 50 by the stopper 55 in the pushing process.

《実施形態２》
本開示の実施形態２について説明する。本実施形態は、ストッパ５５の構成が上記実施形態１と異なる。以下、上記実施形態１と異なる点について主に説明する。 <<Embodiment 2>>
A second embodiment of the present disclosure will be described. This embodiment differs from the first embodiment in the configuration of the stopper 55 . Differences from the first embodiment will be mainly described below.

図４に示すように、ストッパ５５の第２方向の他端（この例では、上端）は、第１方向から見て、第３溝２２ｃの第２溝２２ｂ側とは反対側の端よりも第２溝２２ｂから遠くに位置する。なお、ストッパ５５の第２方向の一端は、第１方向から見て、第３溝２２ｃの第２溝２２ｂ側とは反対側の端に一致してもよい。 As shown in FIG. 4, the other end (in this example, the upper end) of the stopper 55 in the second direction is positioned further than the end of the third groove 22c opposite to the second groove 22b side when viewed from the first direction. It is located far from the second groove 22b. One end of the stopper 55 in the second direction may coincide with the end of the third groove 22c opposite to the second groove 22b when viewed from the first direction.

本実施形態のストッパ５５は、上記実施形態１のストッパ５５よりも上下に長く、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底部および第３溝２２ｃの底部を包含する。第２溝２２ｂから出そうになる第２基板１ｂの通過のみでなく、第３溝２２ｃから出そうになる第３基板１ｃの通過をも容易に阻止できる。なお、ストッパ５５は、第３基板１ｃの通過を阻止できるのであれば、第２溝２２ｂの底部および第３溝２２ｃの底部を包含していなくてもよい。 The stopper 55 of the present embodiment is vertically longer than the stopper 55 of the first embodiment, and includes the bottom of the second groove 22b and the bottom of the third groove 22c when viewed from the first direction. It is possible to easily prevent not only the second substrate 1b from passing through the second groove 22b, but also the third substrate 1c from passing through the third groove 22c. It should be noted that the stopper 55 does not have to cover the bottom of the second groove 22b and the bottom of the third groove 22c as long as it can prevent passage of the third substrate 1c.

本開示は、基板搬送装置および基板搬送方法に利用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present disclosure can be used for substrate transfer apparatuses and substrate transfer methods.

１：基板
１ａ：第１基板
１ｂ：第２基板
１ｃ：第３基板
１０：基板搬送装置
２０：マガジン
２１：側板
２２：溝
２２ａ：第１溝
２２ｂ：第２溝
２２ｃ：第３溝
２３：天板
２４：底板
３０：エンドエフェクタ
４０：移動部
５０：ガイド部
５１：上側部材
５２：下側部材
５３：移動空間
５４：開口
５５：ストッパ 1: Substrate 1a: First substrate 1b: Second substrate 1c: Third substrate 10: Substrate transfer device 20: Magazine 21: Side plate 22: Groove 22a: First groove 22b: Second groove 22c: Third groove 23: Top Plate 24: Bottom plate 30: End effector 40: Moving part 50: Guide part 51: Upper member 52: Lower member 53: Moving space 54: Opening 55: Stopper

Claims (5)

第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、
前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、
前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、
を備え、
前記エンドエフェクタにより押送される前記基板を第１基板とし、前記第１基板を支持する前記溝を第１溝とし、前記第１溝の隣の前記溝を第２溝とし、かつ前記第２溝に支持される前記基板を第２基板として、
前記ガイド部は、前記第１基板の通過を許容する開口と、前記第２基板の通過を阻止するストッパとを有する、基板搬送装置。 The board has a pair of side plates in which a plurality of grooves extending in a first direction are formed side by side in a second direction intersecting the first direction, and both side edges of the substrate along the first direction are supported by the grooves. a magazine for guiding movement of the substrate in the first direction;
an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction;
a guide portion provided opposite to the carry-out surface of the magazine for guiding the substrate pushed out from the magazine by the end effector in the first direction;
with
The substrate pushed by the end effector is defined as a first substrate, the groove for supporting the first substrate is defined as a first groove, the groove adjacent to the first groove is defined as a second groove, and the second groove is defined as a second groove. Using the substrate supported by the second substrate as a second substrate,
The substrate conveying device, wherein the guide portion has an opening that allows passage of the first substrate and a stopper that blocks passage of the second substrate. 前記開口は、前記第１方向から見て、前記第１溝を包含し、
前記ストッパの前記第２方向の一端は、前記第１方向から見て、前記第２溝の前記第１溝側の端に一致するか前記第１溝と前記第２溝との間に位置し、
前記ストッパの前記第２方向の他端は、前記第１方向から見て、前記第２溝の前記第１溝とは反対側の端に一致するか前記反対側の端よりも前記第１溝から遠くに位置する、請求項１に記載の基板搬送装置。 the opening includes the first groove when viewed from the first direction;
One end of the stopper in the second direction coincides with the end of the second groove on the first groove side or is positioned between the first groove and the second groove when viewed from the first direction. ,
The other end of the stopper in the second direction, when viewed from the first direction, coincides with the end of the second groove opposite to the first groove, or is closer to the first groove than the opposite end. 2. The substrate transport apparatus of claim 1, wherein the substrate transport apparatus is located remotely from. 前記ストッパは、前記第１方向から見て、前記第２溝の底部を包含する、請求項２に記載の基板搬送装置。 3. The substrate transfer apparatus according to claim 2, wherein said stopper includes a bottom portion of said second groove when viewed from said first direction. 前記第２溝の前記第１溝とは反対側の隣の前記溝を第３溝とし、かつ前記第３溝に支持される前記基板を第３基板として、
前記ストッパは、前記第３基板の通過を阻止する、請求項１～３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。 The groove adjacent to the second groove opposite to the first groove is defined as a third groove, and the substrate supported by the third groove is defined as a third substrate,
4. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein said stopper prevents passage of said third substrate. 第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、
前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、
前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、
を備える基板搬送装置において、前記基板を搬送するための基板搬送方法であって、
前記複数の溝の一つに支持される前記基板を第１基板とし、かつ前記第１基板を支持する前記溝の隣の前記溝に支持される前記基板を第２基板として、
前記エンドエフェクタにより前記第１基板を押送する押送工程を備え、
前記押送工程では、前記第１基板が前記ガイド部を通過するのを許容する一方、前記第２基板が前記ガイド部を通過するのをストッパで阻止する、基板搬送方法。 The board has a pair of side plates in which a plurality of grooves extending in a first direction are formed side by side in a second direction intersecting the first direction, and both side edges of the substrate along the first direction are supported by the grooves. a magazine for guiding movement of the substrate in the first direction;
an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction;
a guide portion provided opposite to the carry-out surface of the magazine for guiding the substrate pushed out from the magazine by the end effector in the first direction;
A substrate transport method for transporting the substrate in a substrate transport apparatus comprising
The substrate supported in one of the plurality of grooves is defined as a first substrate, and the substrate supported in the groove adjacent to the groove supporting the first substrate is defined as a second substrate,
A pushing step of pushing the first substrate by the end effector;
In the substrate transporting step, the first substrate is permitted to pass through the guide portion, while the second substrate is prevented from passing through the guide portion by a stopper.
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