JP2022160223A - Substrate transfer device and substrate transfer method - Google Patents

Abstract

To prevent an end effector from interfering with a board in a magazine.SOLUTION: A substrate transfer device 10 includes a magazine 20 that has a pair of side plates 21 formed with a plurality of grooves 22 extending in a first direction, and in which the grooves 22 support both side ends of a substrate 1 along the first direction and guide the movement of the substrate 1 in the first direction, an end effector 30 for pushing the substrate 1 supported in the groove 22 of the magazine 20 in the first direction, and a moving unit 40 that moves the end effector 30 along the first direction. The end effector 30 includes a body portion 31 that pushes the substrate 1, and a guide pin 32 that protrudes from the body portion 31 in a direction intersecting the first direction. The moving unit 40 moves the end effector 30 along the first direction while the tip of the guide pin 32 is in the groove 22.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本開示は、基板搬送装置および基板搬送方法に関する。 The present disclosure relates to a substrate transfer device and a substrate transfer method.

従来、基板のプラズマクリーニング装置が知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１のプラズマクリーニング装置は、所定の搬送路に沿って基板を搬送するための基板搬送装置を備える。この基板搬送装置は、複数の基板を段積状に保持するマガジンから、ロッド状のエンドエフェクタによって基板を１つずつ押送する送り出し手段を有する。 Conventionally, a substrate plasma cleaning apparatus is known (for example, Patent Document 1). The plasma cleaning apparatus of Patent Literature 1 includes a substrate transfer device for transferring a substrate along a predetermined transfer path. This substrate conveying apparatus has sending means for pushing out substrates one by one by means of a rod-shaped end effector from a magazine that holds a plurality of substrates in a stack.

特開平９－１２９５８１号公報JP-A-9-129581

しかしながら、上述のとおり、マガジン内では複数の基板が段積状になっている。そのような段積状の複数の基板のうち１つをロッド状のエンドエフェクタで押送しようとする際、エンドエフェクタが自重などで撓んで、押送対象の基板の隣の基板と干渉するおそれがある。このような状況において、本開示は、エンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉するのを抑止することを目的の１つとする。 However, as described above, a plurality of substrates are stacked in the magazine. When trying to push one of such stacked substrates with a rod-shaped end effector, the end effector may bend due to its own weight or the like and interfere with the substrate next to the substrate to be pushed. . Under such circumstances, one object of the present disclosure is to prevent the end effector from interfering with the substrates in the magazine.

本開示に係る一局面は、基板搬送装置に関する。当該基板搬送装置は、第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタを前記第１方向に沿って移動させる移動部と、を備え、前記エンドエフェクタは、前記基板を押送する本体部と、前記本体部から前記第１方向と交差する方向に突出するガイドピンと、を有し、前記移動部は、前記ガイドピンの先端が前記溝内に入った状態で、前記エンドエフェクタを前記第１方向に沿って移動させる。 One aspect of the present disclosure relates to a substrate transport apparatus. The substrate transfer apparatus has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction, the grooves supporting both side end portions of the substrate along the first direction, and supporting the substrate in the first direction. a magazine guided to move in one direction; an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction; and moving the end effector along the first direction. The end effector has a main body for pushing the substrate, and a guide pin projecting from the main body in a direction intersecting the first direction, and the moving part includes the The end effector is moved along the first direction while the tip of the guide pin is in the groove.

本開示に係る別の一局面は、基板搬送方法に関する。当該基板搬送方法は、第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、を備え、前記エンドエフェクタは、前記基板を押送する本体部と、前記本体部から前記第１方向と交差する方向に突出するガイドピンと、を有する、基板搬送装置において、前記基板を搬送するための基板搬送方法であって、前記ガイドピンの先端が前記溝内に入った状態で、前記エンドエフェクタを前記第１方向に沿って移動させる移動工程を備える。 Another aspect of the present disclosure relates to a substrate transfer method. The substrate transport method includes a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction, both side end portions of the substrate along the first direction being supported by the grooves, and the substrate being transported in the first direction. a magazine guided to move in one direction; and an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction, wherein the end effector pushes the substrate. and a guide pin protruding from the main body in a direction intersecting the first direction, wherein the substrate is conveyed by a tip of the guide pin. moving the end effector along the first direction while the end effector is in the groove.

本開示によれば、エンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉するのを抑止することができる。 According to the present disclosure, it is possible to prevent the end effector from interfering with the board in the magazine.

本開示に係る基板搬送装置の構成を概略的に示す正面図である。1 is a front view schematically showing the configuration of a substrate transfer device according to the present disclosure; FIG. マガジンとエンドエフェクタの構成を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of a magazine and an end effector; エンドエフェクタの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of an end effector.

本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法の実施形態について例を挙げて以下に説明する。しかしながら、本開示は以下に説明する例に限定されない。以下の説明では、具体的な数値や材料を例示する場合があるが、本開示の効果が得られる限り、他の数値や材料を適用してもよい。 Embodiments of a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method according to the present disclosure will be described below with examples. However, the disclosure is not limited to the examples described below. In the following description, specific numerical values and materials may be exemplified, but other numerical values and materials may be applied as long as the effects of the present disclosure can be obtained.

（基板搬送装置）
本開示に係る基板搬送装置は、マガジンと、エンドエフェクタと、移動部とを備える。 (substrate transfer device)
A substrate transport apparatus according to the present disclosure includes a magazine, an end effector, and a moving section.

マガジンは、第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有する。一対の側板は、互いに平行に配置される。複数の溝は、第１方向と交差する第２方向に並んで形成されてもよい。そのような溝により、基板の第１方向に沿った両側端部が支持されると共に当該基板の第１方向への移動が案内される。第１方向は、水平方向であってもよく、第２方向は、鉛直方向であってもよい。 The magazine has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction. A pair of side plates are arranged parallel to each other. A plurality of grooves may be formed side by side in a second direction that intersects with the first direction. Such grooves support both side edges of the substrate along the first direction and guide movement of the substrate in the first direction. The first direction may be horizontal and the second direction may be vertical.

エンドエフェクタは、マガジンの溝に支持された基板を第１方向に押送する。エンドエフェクタは、基板を押送する本体部と、本体部から第１方向と交差する第３方向に突出するガイドピンとを有する。本体部は、例えば、第１方向に沿って延びるロッド状であってもよい。ガイドピンは、第３方向と直交する断面の形状が、例えば略Ｄ字状であってもよいし、円形であってもよい。第３方向は、第１方向および第２方向と交差してもよく、特に第１方向および第２方向と直交してもよい。 The end effector pushes the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction. The end effector has a main body for pushing the substrate, and a guide pin protruding from the main body in a third direction intersecting the first direction. The main body may be, for example, rod-shaped extending along the first direction. The guide pin may have, for example, a substantially D-shaped or circular shape in a cross section perpendicular to the third direction. The third direction may intersect the first direction and the second direction, in particular perpendicular to the first direction and the second direction.

移動部は、エンドエフェクタを第１方向に沿って移動させる。移動部は、例えば、空気圧によってエンドエフェクタを移動させてもよい。移動部は、ガイドピンの先端がマガジンの溝内に入った状態で、エンドエフェクタを第１方向に沿って移動させる。エンドエフェクタの移動中にガイドピンが溝に入ることにより、エンドエフェクタが自重などによって撓むことが抑止される。これにより、エンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉することが抑止される。 The moving part moves the end effector along the first direction. The moving part may move the end effector by air pressure, for example. The moving part moves the end effector along the first direction while the tip of the guide pin is in the groove of the magazine. By inserting the guide pin into the groove while the end effector is moving, the end effector is prevented from bending due to its own weight or the like. This prevents the end effector from interfering with the substrates in the magazine.

（基板搬送方法）
本開示に係る基板搬送方法は、例えば上述の基板搬送装置で使用可能であり、移動工程を備える。 (Substrate transport method)
A substrate transfer method according to the present disclosure, which can be used, for example, in the substrate transfer apparatus described above, comprises a transfer step.

移動工程では、エンドエフェクタのガイドピンの先端がマガジンの溝内に入った状態で、エンドエフェクタを第１方向に沿って移動させる。ガイドピンが溝に入ることにより、エンドエフェクタが移動中に自重などによって撓むことが抑止される。これにより、エンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉することが抑止される。 In the moving step, the end effector is moved along the first direction while the tip of the guide pin of the end effector is in the groove of the magazine. By inserting the guide pin into the groove, the end effector is prevented from bending due to its own weight or the like during movement. This prevents the end effector from interfering with the substrates in the magazine.

以上のように、本開示によれば、エンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉するのを抑止することができる。 As described above, according to the present disclosure, it is possible to prevent the end effector from interfering with the board in the magazine.

ガイドピンは、エンドエフェクタで押送される基板が溝から出るときに、溝内に入っていてもよい。基板、特に撓んだ基板は、マガジンの溝から出るときに揺動することがある。基板を押送するエンドエフェクタは、そのような揺動する基板から揺動方向の力を受ける。しかし、そのような力をエンドエフェクタが受けるときにガイドピンが溝に入っていると、当該エンドエフェクタはほとんど揺動しない。これにより、エンドエフェクタで押送される基板が溝から出るときに、エンドエフェクタが揺動してマガジン内の基板と干渉することが抑止される。 The guide pin may be in the groove when the substrate pushed by the end effector exits the groove. Substrates, especially bowed substrates, may wobble as they emerge from the grooves of the magazine. An end effector that pushes the substrate receives a force in the swinging direction from such a swinging substrate. However, if the guide pin is in the groove when the end effector receives such force, the end effector hardly swings. This prevents the end effector from swinging and interfering with the substrate in the magazine when the substrate pushed by the end effector comes out of the groove.

ガイドピンは、第１方向に間隔をおいて複数設けられてもよい。複数のガイドピンが溝に入る場合、エンドエフェクタの撓みがより一層抑制され、よってエンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉することがより一層抑止される。また、エンドエフェクタの位置によっては、マガジンの溝に入っていたガイドピンが当該溝から出ることがある。そのように、あるガイドピンが溝から出ても、別のガイドピンが溝に入っていれば、エンドエフェクタの撓みが抑制され得る。よって、エンドエフェクタのより広い移動範囲において、エンドエフェクタがマガジン内の基板と干渉することが抑止される。 A plurality of guide pins may be provided at intervals in the first direction. When a plurality of guide pins enter the grooves, the bending of the end effector is further suppressed, thereby further suppressing the end effector from interfering with the substrates in the magazine. Also, depending on the position of the end effector, the guide pin that was in the groove of the magazine may come out of the groove. In this way, even if one guide pin is out of the groove, if another guide pin is in the groove, the deflection of the end effector can be suppressed. Therefore, the end effector is prevented from interfering with the substrates in the magazine over a wider movement range of the end effector.

複数のガイドピンのうち少なくとも１つは、エンドエフェクタによる基板の押送が完了するときに、マガジンの溝に入っていてもよい。これにより、エンドエフェクタが待機位置に戻り始める際に、溝に入っているガイドピンによってエンドエフェクタの移動が案内される。なお、待機位置とは、基板の押送を開始する前にエンドエフェクタが待機する位置である。 At least one of the plurality of guide pins may be in the groove of the magazine when pushing the substrate by the end effector is completed. As a result, when the end effector begins to return to the standby position, the movement of the end effector is guided by the guide pin in the groove. Note that the standby position is a position where the end effector waits before starting to push the substrate.

以下では、本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法の一例について、図面を参照して具体的に説明する。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程には、上述した構成要素および工程を適用できる。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程は、上述した記載に基づいて変更できる。また、以下で説明する事項を、上記の実施形態に適用してもよい。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程のうち、本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法に必須ではない構成要素および工程は省略してもよい。なお、以下で示す図は模式的なものであり、実際の部材の形状や数を正確に反映するものではない。 An example of a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method according to the present disclosure will be specifically described below with reference to the drawings. The components and steps described above can be applied to the components of the substrate transfer apparatus and the steps of the substrate transfer method of the example described below. The components of the exemplary substrate transport apparatus and the steps of the substrate transport method described below may vary based on the above description. Also, the matters described below may be applied to the above embodiments. Among the components of the substrate transfer apparatus and the steps of the substrate transfer method of the example described below, the components and steps that are not essential to the substrate transfer apparatus and substrate transfer method according to the present disclosure may be omitted. It should be noted that the drawings shown below are schematic and do not accurately reflect the actual shape and number of members.

本実施形態の基板搬送装置１０は、所定の搬送方向（第１方向）に沿って基板１を搬送するための装置である。基板搬送装置１０は、例えば、基板１をプラズマクリーニング処理するための基板処理装置（図示せず）に適用可能である。以下では、まず基板搬送装置１０の構成について説明し、その後、基板搬送装置１０を用いた基板搬送方法について説明する。 A substrate transfer apparatus 10 of this embodiment is an apparatus for transferring a substrate 1 along a predetermined transfer direction (first direction). The substrate transfer apparatus 10 can be applied to, for example, a substrate processing apparatus (not shown) for plasma cleaning the substrate 1 . Below, the configuration of the substrate transfer device 10 will be described first, and then the substrate transfer method using the substrate transfer device 10 will be described.

（基板搬送装置）
図１に示すように、基板搬送装置１０は、マガジン２０と、エンドエフェクタ３０と、移動部４０と、ガイド部５０とを備える。 (substrate transfer device)
As shown in FIG. 1, the substrate transfer device 10 includes a magazine 20, an end effector 30, a moving section 40, and a guide section 50. As shown in FIG.

マガジン２０は、第１方向（基板１の搬送方向）に延びる複数の溝２２が形成された一対の側板２１を有する（図２を参照）。一対の側板２１は、天板２３および底板２４によって互いに連結されている。複数の溝２２は、第１方向と交差する第２方向（例えば、鉛直方向）に並んで形成されている。複数の溝２２は、等間隔で形成されていてもよい。マガジン２０では、各溝２２により基板１の第１方向に沿った両側端部が支持されると共に当該基板１の第１方向への移動が案内される。 The magazine 20 has a pair of side plates 21 formed with a plurality of grooves 22 extending in the first direction (conveying direction of the substrate 1) (see FIG. 2). A pair of side plates 21 are connected to each other by a top plate 23 and a bottom plate 24 . The plurality of grooves 22 are formed side by side in a second direction (eg, vertical direction) intersecting the first direction. The plurality of grooves 22 may be formed at regular intervals. In the magazine 20, the grooves 22 support both side ends of the substrate 1 along the first direction and guide the movement of the substrate 1 in the first direction.

マガジン２０は、不図示の昇降機構によって、上下方向に移動可能に構成される。マガジン２０は、下から順に基板１を送り出すように構成されてもよいし、上から順に基板１を送り出すように構成されてもよい。前者の場合、マガジン２０は、基板１を順次送り出しながら下方へ移動する一方、後者の場合、マガジン２０は、基板１を順次送り出しながら上方へ移動する。 The magazine 20 is configured to be vertically movable by an elevating mechanism (not shown). The magazine 20 may be configured to deliver the substrates 1 in order from the bottom, or may be configured to deliver the substrates 1 in order from the top. In the former case, the magazine 20 moves downward while sequentially delivering the substrates 1 , whereas in the latter case, the magazine 20 moves upward while sequentially delivering the substrates 1 .

図１～図３に示すように、エンドエフェクタ３０は、マガジン２０の溝２２に支持された基板１を第１方向に押送する。エンドエフェクタ３０は、基板１を押送する本体部３１と、本体部３１から第３方向に突出するガイドピン３２とを有する。ここで、第３方向とは、第１方向および第２方向と交差する方向であって、特に第１方向および第２方向と直交する方向であってもよい。また、第３方向は、マガジン２０の一対の側板２１が対向する方向でもある。 As shown in FIGS. 1 to 3, the end effector 30 pushes the substrate 1 supported in the grooves 22 of the magazine 20 in the first direction. The end effector 30 has a body portion 31 for pushing the substrate 1 and a guide pin 32 projecting from the body portion 31 in the third direction. Here, the third direction may be a direction crossing the first direction and the second direction, and particularly a direction orthogonal to the first direction and the second direction. The third direction is also the direction in which the pair of side plates 21 of the magazine 20 face each other.

本体部３１は、第１方向に沿って延びるロッド３１ａと、ロッド３１ａの先端に固定された爪３１ｂとを有する。爪３１ｂは、例えば、ネジ止めによりロッド３１ａに固定されていてもよい。エンドエフェクタ３０は、爪３１ｂの先端を基板１に当接させた状態で、第１方向に移動しながら当該基板１を押送してもよい。 The body portion 31 has a rod 31a extending along the first direction and a claw 31b fixed to the tip of the rod 31a. The claw 31b may be fixed to the rod 31a by screwing, for example. The end effector 30 may push the substrate 1 while moving in the first direction while the tip of the claw 31b is in contact with the substrate 1 .

ガイドピン３２は、第１方向に間隔をおいて複数（この例では、１つの本体部３１に対して２つずつ）設けられる。各ガイドピン３２は、第３方向において、マガジン２０の側板２１に向かって突出している。各ガイドピン３２は、例えば、ネジ止めにより本体部３１に固定されていてもよい。 A plurality of guide pins 32 are provided at intervals in the first direction (in this example, two guide pins for each main body portion 31). Each guide pin 32 protrudes toward the side plate 21 of the magazine 20 in the third direction. Each guide pin 32 may be fixed to the body portion 31 by screwing, for example.

複数のガイドピン３２は、第１方向（すなわち、基板１の搬送方向）において、爪３１ｂよりも後ろに配置される。第１方向において、爪３１ｂの先端と、爪３１ｂに最も近いガイドピン３２との間の距離は、マガジン２０の長さよりも短い。したがって、少なくとも１つのガイドピン３２は、エンドエフェクタ３０で押送される基板１がマガジン２０の溝２２から出るときに、当該溝２２内に入っている。 The plurality of guide pins 32 are arranged behind the claws 31b in the first direction (that is, the transport direction of the substrate 1). The distance between the tip of the claw 31b and the guide pin 32 closest to the claw 31b is shorter than the length of the magazine 20 in the first direction. Therefore, at least one guide pin 32 is in the groove 22 of the magazine 20 when the substrate 1 pushed by the end effector 30 exits the groove 22 of the magazine 20 .

ガイドピン３２は、第３方向と直交する断面の形状（横断面形状）が、略Ｄ字状である。そのような略Ｄ字状の平坦部分は、ガイドピン３２の下面を構成している。このように、ガイドピン３２の横断面形状は、第１方向の両端部の高さ寸法（第２方向の寸法）が、第１方向の中央部の高さ寸法よりも小さくなっている。このため、ガイドピン３２がマガジン２０の溝２２に出入りしやすい。なお、ガイドピン３２の横断面形状は、円形など他の形状であってもよい。 The guide pin 32 has a substantially D-shaped cross-sectional shape (horizontal cross-sectional shape) perpendicular to the third direction. Such a substantially D-shaped flat portion constitutes the lower surface of the guide pin 32 . Thus, the cross-sectional shape of the guide pin 32 is such that the height dimension at both ends in the first direction (dimension in the second direction) is smaller than the height dimension at the central portion in the first direction. Therefore, the guide pin 32 can easily move in and out of the groove 22 of the magazine 20 . The cross-sectional shape of the guide pin 32 may be other shapes such as circular.

ガイドピン３２の最大高さ寸法は、マガジン２０の溝２２の幅（第２方向長さ）よりもわずかに小さい。例えば、ガイドピン３２の最大高さ寸法は、マガジン２０の溝２２の幅よりも約０．５ｍｍ小さくてもよい。これにより、ガイドピン３２が溝２２に入った状態で、エンドエフェクタ３０が上下方向に揺動しにくい。 The maximum height dimension of the guide pin 32 is slightly smaller than the width (second direction length) of the groove 22 of the magazine 20 . For example, the maximum height dimension of guide pin 32 may be about 0.5 mm less than the width of groove 22 of magazine 20 . This makes it difficult for the end effector 30 to swing vertically when the guide pin 32 is in the groove 22 .

移動部４０は、エンドエフェクタ３０を第１方向に沿って移動させる。ここで、移動部４０は、ガイドピン３２の先端がマガジン２０の溝２２内に入った状態で、エンドエフェクタ３０を第１方向に沿って移動させる。本実施形態の移動部４０は、空気圧アクチュエータで構成されるが、これに限られない。例えば、移動部４０は、電動アクチュエータなどの他の駆動機構で構成されてもよい。 The moving part 40 moves the end effector 30 along the first direction. Here, the moving section 40 moves the end effector 30 along the first direction while the tip of the guide pin 32 is in the groove 22 of the magazine 20 . The moving part 40 of the present embodiment is composed of a pneumatic actuator, but is not limited to this. For example, the moving part 40 may be configured with another driving mechanism such as an electric actuator.

ガイド部５０は、マガジン２０の搬出面（図１の右側面）と対向して設けられる。ガイド部５０は、エンドエフェクタ３０によりマガジン２０から押送された基板１を第１方向に案内する。ガイド部５０は、上側部材５１および下側部材５２を有する。 The guide portion 50 is provided so as to face the unloading surface of the magazine 20 (the right side surface in FIG. 1). The guide portion 50 guides the substrate 1 pushed from the magazine 20 by the end effector 30 in the first direction. The guide portion 50 has an upper member 51 and a lower member 52 .

上側部材５１および下側部材５２は、それぞれ第１方向に沿って延びる部材である。上側部材５１と下側部材５２との間には、マガジン２０から出てきた基板１が移動する移動空間５３が形成されている。移動空間５３の入口は、マガジン２０に向かって広がるテーパ状になっている。これにより、マガジン２０から出てきた基板１が移動空間５３に入りやすい。 The upper member 51 and the lower member 52 are members extending along the first direction. Between the upper member 51 and the lower member 52, a movement space 53 is formed in which the substrates 1 coming out of the magazine 20 are moved. The entrance of the moving space 53 has a tapered shape that widens toward the magazine 20 . This makes it easier for the substrate 1 coming out of the magazine 20 to enter the moving space 53 .

（基板搬送方法）
上記の基板搬送装置１０を用いた基板搬送方法について説明する。基板搬送方法は、移動工程を備える。 (Substrate transport method)
A substrate transfer method using the substrate transfer apparatus 10 will be described. The substrate transfer method includes a transfer step.

移動工程では、ガイドピン３２の先端がマガジン２０の溝２２内に入った状態で、エンドエフェクタ３０を第１方向に沿って移動させる。このとき、エンドエフェクタ３０は、移動部４０によって第１方向に移動される。移動するエンドエフェクタ３０によって、マガジン２０内の基板１が第１方向に押送される。押送される基板１は、マガジン２０から出てガイド部５０の移動空間５３に送り込まれる。 In the moving step, the end effector 30 is moved along the first direction while the tip of the guide pin 32 is in the groove 22 of the magazine 20 . At this time, the end effector 30 is moved in the first direction by the moving part 40 . The board 1 in the magazine 20 is pushed in the first direction by the moving end effector 30 . The pushed substrate 1 comes out of the magazine 20 and is fed into the movement space 53 of the guide section 50 .

本開示は、基板搬送装置および基板搬送方法に利用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present disclosure can be used for substrate transfer apparatuses and substrate transfer methods.

１：基板
１０：基板搬送装置
２０：マガジン
２１：側板
２２：溝
２３：天板
２４：底板
３０：エンドエフェクタ
３１：本体部
３１ａ：ロッド
３１ｂ：爪
３２：ガイドピン
４０：移動部
５０：ガイド部
５１：上側部材
５２：下側部材
５３：移動空間 1: Substrate 10: Substrate transfer device 20: Magazine 21: Side plate 22: Groove 23: Top plate 24: Bottom plate 30: End effector 31: Main body 31a: Rod 31b: Claw 32: Guide pin 40: Moving part 50: Guide part 51: Upper member 52: Lower member 53: Moving space

Claims (4)

第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、
前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタを前記第１方向に沿って移動させる移動部と、
を備え、
前記エンドエフェクタは、前記基板を押送する本体部と、前記本体部から前記第１方向と交差する方向に突出するガイドピンと、を有し、
前記移動部は、前記ガイドピンの先端が前記溝内に入った状態で、前記エンドエフェクタを前記第１方向に沿って移動させる、基板搬送装置。 It has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction, and the grooves support both side end portions of the substrate along the first direction and prevent the substrate from moving in the first direction. Guided magazines and
an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction;
a moving unit that moves the end effector along the first direction;
with
The end effector has a body portion for pushing the substrate, and a guide pin projecting from the body portion in a direction intersecting the first direction,
The moving part moves the end effector along the first direction while the tip of the guide pin is in the groove. 前記ガイドピンは、前記エンドエフェクタで押送される前記基板が前記溝から出るときに、前記溝内に入っている、請求項１に記載の基板搬送装置。 2. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein said guide pin is in said groove when said substrate pushed by said end effector comes out of said groove. 前記ガイドピンは、前記第１方向に間隔をおいて複数設けられる、請求項１または２に記載の基板搬送装置。 3. The substrate transfer apparatus according to claim 1, wherein a plurality of said guide pins are provided at intervals in said first direction. 第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、
前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、
を備え、
前記エンドエフェクタは、前記基板を押送する本体部と、前記本体部から前記第１方向と交差する方向に突出するガイドピンと、を有する、基板搬送装置において、前記基板を搬送するための基板搬送方法であって、
前記ガイドピンの先端が前記溝内に入った状態で、前記エンドエフェクタを前記第１方向に沿って移動させる移動工程を備える、基板搬送方法。 It has a pair of side plates formed with a plurality of grooves extending in a first direction, and the grooves support both side end portions of the substrate along the first direction and prevent the substrate from moving in the first direction. Guided magazines and
an end effector for pushing the substrate supported in the groove of the magazine in the first direction;
with
A substrate conveying method for conveying the substrate in a substrate conveying apparatus, wherein the end effector has a body portion for pushing the substrate, and guide pins projecting from the body portion in a direction intersecting the first direction. and
A substrate transfer method, comprising a moving step of moving the end effector along the first direction in a state where the tip of the guide pin is in the groove.

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