JP2022160204A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置を提供する。【解決手段】開示される基板搬送装置１０は、第１方向に延びる複数の溝２２が形成された一対の側板２１を有し、溝２２により基板１が支持されると共に基板１の移動が案内される、マガジン２０と、マガジン２０の溝２２に支持された基板１を押送するためのエンドエフェクタ３０と、マガジン２０の搬出面と対向して設けられ、エンドエフェクタ３０によりマガジン２０から押送された基板１を案内するガイド部５０と、を備える。エンドエフェクタ３０により押送される基板１を第１基板１ａとし、第１基板１ａを支持する溝２２の隣の溝２２に支持される基板１を第２基板１ｂとする。ガイド部５０は、第１基板１ａの通過を許容する開口５４と、第２基板１ｂの通過を阻止するストッパ５５とを有する。【選択図】図２

Description

本開示は、基板搬送装置および基板搬送方法に関する。

従来、基板のプラズマクリーニング装置が知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１のプラズマクリーニング装置は、所定の搬送路に沿って基板を搬送するための基板搬送装置を備える。この基板搬送装置は、複数の基板を段積状に保持するマガジンから、ロッドによって基板を１つずつ押送する送り出し手段を有する。

特開平９－１２９５８１号公報

しかしながら、上述のとおり、マガジン内では複数の基板が段積状になっている。そのような段積状の複数の基板のうち１つをロッドで押送しようとする際、押送対象の基板の隣の基板も同時に送り出されてしまうことがある。この現象は、基板に反りがあって、隣り合う基板が触れ合っている場合に生じやすい。このような状況において、本開示は、押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置を提供することを目的の１つとする。

本開示に係る一局面は、基板搬送装置に関する。当該基板搬送装置は、第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、を備え、前記エンドエフェクタにより押送される前記基板を第１基板とし、前記第１基板を支持する前記溝を第１溝とし、前記第１溝の隣の前記溝を第２溝とし、かつ前記第２溝に支持される前記基板を第２基板として、前記ガイド部は、前記第１基板の通過を許容する開口と、前記第２基板の通過を阻止するストッパとを有する。

本開示に係る別の一局面は、基板搬送方法に関する。当該基板搬送方法は、第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、を備える基板搬送装置において、前記基板を搬送するための基板搬送方法であって、前記複数の溝の一つに支持される前記基板を第１基板とし、かつ前記第１基板を支持する前記溝の隣の前記溝に支持される前記基板を第２基板として、前記エンドエフェクタにより前記第１基板を押送する押送工程を備え、前記押送工程では、前記第１基板が前記ガイド部を通過するのを許容する一方、前記第２基板が前記ガイド部を通過するのをストッパで阻止する。

本開示によれば、押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置および基板搬送方法が得られる。

実施形態１に係る基板搬送装置の構成を概略的に示す正面図である。 実施形態１に係る基板搬送装置の要部を概略的に示す正面図である。 実施形態１に係るマガジンとガイド部との位置関係を説明するための概略側面図である。 実施形態２に係るマガジンとガイド部との位置関係を説明するための概略側面図である。

本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法の実施形態について例を挙げて以下に説明する。しかしながら、本開示は以下に説明する例に限定されない。以下の説明では、具体的な数値や材料を例示する場合があるが、本開示の効果が得られる限り、他の数値や材料を適用してもよい。

（基板搬送装置）
本開示に係る基板搬送装置は、マガジンと、エンドエフェクタと、ガイド部とを備える。

マガジンは、第１方向に延びる複数の溝が形成された一対の側板を有する。一対の側板は、互いに平行に配置される。複数の溝は、第１方向と交差する第２方向に並んで形成される。そのような溝により、基板の第１方向に沿った両側端部が支持されると共に当該基板の第１方向への移動が案内される。第１方向は、水平方向であってもよく、第２方向は、鉛直方向であってもよい。

エンドエフェクタは、マガジンの溝に支持された基板を第１方向に押送する。エンドエフェクタは、例えば、第１方向に沿って延びるロッド状の本体部を有してもよい。エンドエフェクタは、例えば空気圧で駆動されてもよい。

ガイド部は、マガジンの搬出面と対向して設けられる。ガイド部は、エンドエフェクタによりマガジンから押送された基板を第１方向に案内する。ガイド部は、第１方向に沿って延びるレール状部材を有してもよい。ガイド部は、第１基板の通過を許容する開口と、第２基板の通過を阻止するストッパとを有する。ストッパは、例えば、ブラケットなどの板状部材で構成されてもよいし、ブロック状部材で構成されてもよい。

ここで、第１基板とは、エンドエフェクタにより押送される基板のことである。つまり、第１基板は、押送対象の基板である。また、第２基板とは、第１基板を支持する溝を第１溝とし、かつ第１溝の隣の溝を第２溝として、第２溝に支持される基板のことである。つまり、第２基板は、押送対象の基板の隣の基板であって、意図せずにマガジンから送り出されるおそれのある基板である。

ガイド部が上記の開口およびストッパを有するため、押送対象の基板である第１基板はガイド部を通過できる一方、その隣の第２基板はガイド部を通過できない。これにより、押送対象の基板のみがマガジンから送り出される。

（基板搬送方法）
本開示に係る基板搬送方法は、例えば上述の基板搬送装置で使用可能であり、押送工程を備える。

押送工程では、エンドエフェクタにより第１基板を押送する。押送工程では、第１基板がガイド部を通過するのを許容する一方、第２基板がガイド部を通過するのをストッパで阻止する。これにより、第１基板のみ、すなわち押送対象の基板のみがマガジンから送り出される。

以上のように、本開示によれば、押送対象の基板のみをマガジンから送り出せる基板搬送装置および基板搬送方法が得られる。

開口は、第１方向から見て、第１溝を包含してもよく、ストッパの第２方向の一端は、第１方向から見て、第２溝の第１溝側の端に一致するか第１溝と第２溝との間に位置してもよく、ストッパの第２方向の他端は、第１方向から見て、第２溝の第１溝とは反対側の端に一致するか反対側の端よりも第１溝から遠くに位置してもよい。このような構成によると、第１溝から出てくる第１基板が開口に入りやすく、かつ第２溝から出てくる第２基板がストッパにぶつかりやすい。したがって、押送対象の基板のみをマガジンから送り出すことをより一層実現しやすい。

ストッパは、第１方向から見て、第２溝の底部を包含してもよい。これにより、第２基板が第２溝から出そうになっても、第２基板の両側端部がストッパにぶつかって、第２基板がガイド部を通過することが阻止される。

第２溝の第１溝とは反対側の隣の溝を第３溝とし、かつ第３溝に支持される基板を第３基板として、ストッパは、第３基板の通過を阻止してもよい。これにより、第１溝の隣の第２溝に支持される第２基板のみでなく、第２溝の隣の第３溝に支持される第３基板がガイド部を通過することも阻止される。

以下では、本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法の一例について、図面を参照して具体的に説明する。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程には、上述した構成要素および工程を適用できる。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程は、上述した記載に基づいて変更できる。また、以下で説明する事項を、上記の実施形態に適用してもよい。以下で説明する一例の基板搬送装置の構成要素および基板搬送方法の工程のうち、本開示に係る基板搬送装置および基板搬送方法に必須ではない構成要素および工程は省略してもよい。なお、以下で示す図は模式的なものであり、実際の部材の形状や数を正確に反映するものではない。

《実施形態１》
本開示の実施形態１について説明する。本実施形態の基板搬送装置１０は、所定の搬送方向（第１方向）に沿って基板１を搬送するための装置である。基板搬送装置１０は、例えば、基板１をプラズマクリーニング処理するための基板処理装置（図示せず）に適用可能である。以下では、まず基板搬送装置１０の構成について説明し、その後、基板搬送装置１０を用いた基板搬送方法について説明する。

（基板搬送装置）
図１および図２に示すように、基板搬送装置１０は、マガジン２０と、エンドエフェクタ３０と、移動部４０と、ガイド部５０とを備える。

マガジン２０は、第１方向（基板１の搬送方向）に延びる複数の溝２２が形成された一対の側板２１を有する（図３を参照）。一対の側板２１は、天板２３および底板２４によって互いに連結されている。複数の溝２２は、第１方向と交差する第２方向（例えば、鉛直方向）に並んで形成されている。複数の溝２２は、等間隔で形成されていてもよい。マガジン２０では、各溝２２により基板１の第１方向に沿った両側端部（図３における左右端部）が支持されると共に当該基板１の第１方向への移動が案内される。

マガジン２０は、不図示の昇降機構によって、上下方向に移動可能に構成される。マガジン２０は、下から順に基板１を送り出すように構成されてもよいし、上から順に基板１を送り出すように構成されてもよい。前者の場合、マガジン２０は、基板１を順次送り出しながら下方へ移動する一方、後者の場合、マガジン２０は、基板１を順次送り出しながら上方へ移動する。

エンドエフェクタ３０は、マガジン２０の溝２２に支持された基板１を第１方向に押送する。エンドエフェクタ３０は、第１方向に沿って延びるロッド状部材によって構成されてもよい。エンドエフェクタ３０は、その先端部を基板１に当接させた状態で、第１方向に移動しながら当該基板１を押送してもよい。

移動部４０は、エンドエフェクタ３０を第１方向に沿って移動させる。本実施形態の移動部４０は、空気圧アクチュエータで構成されるが、これに限られない。例えば、移動部４０は、電動アクチュエータなどの他の駆動機構で構成されてもよい。

ガイド部５０は、マガジン２０の搬出面（図１の右側面）と対向して設けられる。ガイド部５０は、エンドエフェクタ３０によりマガジン２０から押送された基板１を第１方向に案内する。ガイド部５０は、上側部材５１および下側部材５２と、ストッパ５５とを有する。

上側部材５１および下側部材５２は、それぞれ第１方向に沿って延びる部材である。上側部材５１と下側部材５２との間には、マガジン２０から出てきた基板１が移動する移動空間５３が形成されている。移動空間５３の入口は、マガジン２０に向かって広がるテーパ状になっている。これにより、マガジン２０から出てきた基板１が移動空間５３に入りやすい。

ここで、本開示における用語の定義を説明する。すなわち、エンドエフェクタ３０により押送される基板１を第１基板１ａとし、かつ第１基板１ａを支持する溝２２を第１溝２２ａとする。また、第１溝２２ａの隣の溝２２を第２溝２２ｂとし、かつ第２溝２２ｂに支持される基板１を第２基板１ｂとする。さらに、第２溝２２ｂの第１溝２２ａとは反対側の隣の溝２２を第３溝２２ｃとし、かつ第３溝２２ｃに支持される基板１を第３基板１ｃとする。

ストッパ５５は、第２基板１ｂの通過を阻止する板状部材である。ストッパ５５は、上側部材５１に固定されている。ストッパ５５は、図２に示すように、正面視で、移動空間５３の入口の上側の略半分を塞いでいる。ストッパ５５の下端よりも下側には、第１基板１ａの通過を許容する開口５４が形成されている。

図３に示すように、開口５４は、第１方向から見て（側面視で）、第１溝２２ａを包含する。このため、第１溝２２ａから出てくる第１基板１ａが、開口５４に入ってガイド部５０を通過しやすい。なお、図３では、開口５４の領域を二点鎖線で示してある。また、図３では、エンドエフェクタ３０およびストッパ５５が存在する範囲にそれぞれハッチングを付してある。

ストッパ５５の第２方向の一端（この例では、下端）は、第１方向から見て、第１溝２２ａと第２溝２２ｂとの間に位置する。なお、ストッパ５５の第２方向の一端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの第１溝２２ａ側の端に一致してもよい。

ストッパ５５の第２方向の他端（この例では、上端）は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの第１溝２２ａ側とは反対側の端よりも第１溝２２ａから遠くに位置する。具体的に、ストッパ５５の第２方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂと第３溝２２ｃとの間に位置する。なお、ストッパ５５の第２方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの第１溝２２ａ側とは反対側の端に一致してもよい。

ストッパ５５の第３方向（第１方向および第２方向と交差する方向、図３における左右方向）の一端（この例では、マガジン２０の中央側の端）は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面よりもマガジン２０の中央側に位置する。また、ストッパ５５の第３方向の一端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの開口付近に位置する。

ストッパ５５の第３方向の他端（この例では、マガジン２０の中央から遠い側の端）は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面よりもマガジン２０の中央から遠くに位置する。また、ストッパ５５の第３方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面と側板２１の外面との間に位置する。なお、ストッパ５５の第３方向の他端は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底面に一致してもよい。

ストッパ５５の各端部の位置に関する以上の説明からわかるように、ストッパ５５は、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底部を包含する。ここで、第２溝２２ｂの底部とは、第２溝２２ｂの底面から第２溝２２ｂの開口までの領域のうち、底面付近の領域（例えば、第２溝２２ｂの深さをＤとして、底面からＤ／３までの領域）のことである。このため、第２溝２２ｂから第２基板１ｂが出そうになっても、ストッパ５５で第２基板１ｂの通過を容易に阻止できる。なお、ストッパ５５は、第２基板１ｂの通過を阻止できるのであれば、第２溝２２ｂの底部を包含していなくてもよい。

（基板搬送方法）
上記の基板搬送装置１０を用いた基板搬送方法について説明する。基板搬送方法は、押送工程を備える。

押送工程では、エンドエフェクタ３０により第１基板１ａを押送する。このとき、エンドエフェクタ３０は、移動部４０によって第１方向に移動される。押送工程では、第１基板１ａが開口５４を介して移動空間５３に送り込まれる。このように、押送工程では、第１基板１ａがガイド部５０を通過することが許容される。

一方、第２基板１ｂは、エンドエフェクタ３０により押送されないが、第１基板１ａの移動に伴って、意図せずに第１方向に移動してしまうことがある。そのような場合でも、第２基板１ｂは、ストッパ５５にぶつかって当該移動を規制される。このように、押送工程では、第２基板１ｂがガイド部５０を通過することがストッパ５５により阻止される。

《実施形態２》
本開示の実施形態２について説明する。本実施形態は、ストッパ５５の構成が上記実施形態１と異なる。以下、上記実施形態１と異なる点について主に説明する。

図４に示すように、ストッパ５５の第２方向の他端（この例では、上端）は、第１方向から見て、第３溝２２ｃの第２溝２２ｂ側とは反対側の端よりも第２溝２２ｂから遠くに位置する。なお、ストッパ５５の第２方向の一端は、第１方向から見て、第３溝２２ｃの第２溝２２ｂ側とは反対側の端に一致してもよい。

本実施形態のストッパ５５は、上記実施形態１のストッパ５５よりも上下に長く、第１方向から見て、第２溝２２ｂの底部および第３溝２２ｃの底部を包含する。第２溝２２ｂから出そうになる第２基板１ｂの通過のみでなく、第３溝２２ｃから出そうになる第３基板１ｃの通過をも容易に阻止できる。なお、ストッパ５５は、第３基板１ｃの通過を阻止できるのであれば、第２溝２２ｂの底部および第３溝２２ｃの底部を包含していなくてもよい。

本開示は、基板搬送装置および基板搬送方法に利用できる。

１：基板
１ａ：第１基板
１ｂ：第２基板
１ｃ：第３基板
１０：基板搬送装置
２０：マガジン
２１：側板
２２：溝
２２ａ：第１溝
２２ｂ：第２溝
２２ｃ：第３溝
２３：天板
２４：底板
３０：エンドエフェクタ
４０：移動部
５０：ガイド部
５１：上側部材
５２：下側部材
５３：移動空間
５４：開口
５５：ストッパ

Claims (5)

1. 第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、
   前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、
   前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、
   を備え、
   前記エンドエフェクタにより押送される前記基板を第１基板とし、前記第１基板を支持する前記溝を第１溝とし、前記第１溝の隣の前記溝を第２溝とし、かつ前記第２溝に支持される前記基板を第２基板として、
   前記ガイド部は、前記第１基板の通過を許容する開口と、前記第２基板の通過を阻止するストッパとを有する、基板搬送装置。
2. 前記開口は、前記第１方向から見て、前記第１溝を包含し、
   前記ストッパの前記第２方向の一端は、前記第１方向から見て、前記第２溝の前記第１溝側の端に一致するか前記第１溝と前記第２溝との間に位置し、
   前記ストッパの前記第２方向の他端は、前記第１方向から見て、前記第２溝の前記第１溝とは反対側の端に一致するか前記反対側の端よりも前記第１溝から遠くに位置する、請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記ストッパは、前記第１方向から見て、前記第２溝の底部を包含する、請求項２に記載の基板搬送装置。
4. 前記第２溝の前記第１溝とは反対側の隣の前記溝を第３溝とし、かつ前記第３溝に支持される前記基板を第３基板として、
   前記ストッパは、前記第３基板の通過を阻止する、請求項１～３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
5. 第１方向に延びる複数の溝が前記第１方向と交差する第２方向に並んで形成された一対の側板を有し、前記溝により基板の前記第１方向に沿った両側端部が支持されると共に前記基板の前記第１方向への移動が案内される、マガジンと、
   前記マガジンの前記溝に支持された前記基板を前記第１方向に押送するためのエンドエフェクタと、
   前記マガジンの搬出面と対向して設けられ、前記エンドエフェクタにより前記マガジンから押送された前記基板を前記第１方向に案内するガイド部と、
   を備える基板搬送装置において、前記基板を搬送するための基板搬送方法であって、
   前記複数の溝の一つに支持される前記基板を第１基板とし、かつ前記第１基板を支持する前記溝の隣の前記溝に支持される前記基板を第２基板として、
   前記エンドエフェクタにより前記第１基板を押送する押送工程を備え、
   前記押送工程では、前記第１基板が前記ガイド部を通過するのを許容する一方、前記第２基板が前記ガイド部を通過するのをストッパで阻止する、基板搬送方法。

Images