JP2022120278A - ブレード固定具及びブレードマウンタ - Google Patents
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Abstract
【課題】消耗品である切削ブレードの製造にかかる費用を低く抑えながら、被加工物に供給される切削液の量を増やすことができるブレード固定具及びブレードマウンタを提供する。【解決手段】外周面にねじ山が設けられた円柱状のボス部を有するマウントフランジに対して、開口部を有し切削液が供給された状態で使用される環状の切削ブレードを固定するためのブレード固定具であって、ボス部が挿入される開口部を有し、開口部の内周面にボス部のねじ山に対応するねじ山が設けられた環状のナットと、ボス部が挿入される開口部を有し、外径がナットよりも大きな円盤状の切削液返しプレートと、を含む。【選択図】図２
Description
本発明は、マウントフランジに対して環状の切削ブレードを固定するためのブレード固定具及びこのブレード固定具を含むブレードマウンタに関する。
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を加工する際には、例えば、環状の切削ブレードをスピンドルに装着した切削装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードを被加工物に切り込ませながら、切削ブレードと被加工物とを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿って被加工物を切削加工（切削）できる。
ところで、回転させた切削ブレードを被加工物に切り込ませると、被加工物が削られ、多量の屑（切削屑）が発生する。切削屑が被加工物に付着すると、被加工物に設けられているデバイス等に不良が発生し易くなる。また、被加工物に切削屑が固着すると、後に被加工物を洗浄したとしても、被加工物から切削屑を容易には除去できない。
そこで、被加工物を切削する際には、切削ブレードや被加工物に純水等の液（切削液）を供給することで、発生する切削屑が直ちに洗い流されるようにしている。近年では、この切削液による洗浄の効果を高めるために、切削ブレードに供給される切削液を効率良く落下させて被加工物に供給される切削液の量を増やすことができる板状の構造を一体に備えた切削ブレードが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、切削ブレードに対して上述のような板状の構造を一体に設けると、切削ブレードの製造にかかる費用が高くなり、切削ブレードの価格が上昇する。切削ブレードは、いわゆる消耗品であり高い頻度で交換されるので、切削ブレードの価格の上昇は、被加工物の加工のコストを大きく上昇させてしまう。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、消耗品である切削ブレードの製造にかかる費用を低く抑えながら、被加工物に供給される切削液の量を増やすことができるブレード固定具及びブレードマウンタを提供することである。
本発明の一側面によれば、外周面にねじ山が設けられた円柱状のボス部を有するマウントフランジに対して、開口部を有し切削液が供給された状態で使用される環状の切削ブレードを固定するためのブレード固定具であって、該ボス部が挿入される開口部を有し、該開口部の内周面に該ボス部のねじ山に対応するねじ山が設けられた環状のナットと、該ボス部が挿入される開口部を有し、外径が該ナットよりも大きな円盤状の切削液返しプレートと、を含み、該切削ブレードの該開口部に該ボス部が挿入された状態で該切削液返しプレートが該切削ブレード側に配置されるように、該切削液返しプレートの該開口部と該ナットの該開口部とに該ボス部が挿入されることで、該マウントフランジに該切削ブレードを固定するブレード固定具が提供される。好ましくは、該ナットと、該切削液返しプレートと、が一体に形成されている。
また、本発明の別の一側面によれば、開口部を有し切削液が供給された状態で使用される環状の切削ブレードをスピンドルに装着するためのブレードマウンタであって、円盤状のフランジ部と、該フランジ部の一方の面から突出し外周面にねじ山が設けられた円柱状のボス部と、を有し、該フランジ部の他方の面側から該スピンドルに装着されるマウントフランジと、該ボス部が挿入される開口部を有し、該開口部の内周面に該ボス部のねじ山に対応するねじ山が設けられた環状のナットと、該ボス部が挿入される開口部を有し、外径が該ナットよりも大きな円盤状の切削液返しプレートと、を含み、該切削ブレードの該開口部に該ボス部が挿入された状態で該切削液返しプレートが該切削ブレード側に配置されるように、該切削液返しプレートの該開口部と該ナットの該開口部とに該ボス部が挿入されることで、該ナットと該フランジ部との間に該切削ブレードを挟み込んで固定するブレードマウンタが提供される。好ましくは、該ナットと、該切削液返しプレートと、が一体に形成されている。
本発明の一側面にかかるブレード固定具及び別の一側面にかかるブレードマウンタは、いずれも、環状のナットと、外径がナットよりも大きな円盤状の切削液返しプレートと、を含んでいるので、消耗品である切削ブレードに対して板状の構造を設ける必要がない。よって、本発明によれば、消耗品である切削ブレードの製造にかかる費用を低く抑えながら、被加工物に供給される切削液の量を増やすことができる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態のブレード固定具が使用される切削装置２を模式的に示す斜視図である。なお、図１では、切削装置２を構成する一部の要素が機能ブロックで表現されている。また、以下の説明で用いられるＸ軸方向（加工送り方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）、及びＺ軸方向（切り込み送り方向）は、互いに垂直である。
切削装置２は、各要素を支持するフレーム（不図示）を備えている。このフレームは、図１に示すように、カバー４によって覆われている。フレーム及びカバー４の内側には、板状の被加工物１１を切削するための空間が形成されており、この空間内には、切削ユニット６が収容されている。切削ユニット６は、切削ユニット移動機構（不図示）に支持されており、この切削ユニット移動機構によって、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
被加工物１１は、代表的には、シリコン等の半導体を用いて形成される円盤状のウェーハである。例えば、被加工物１１の表面は、格子状に設定された分割予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。
ただし、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等を用いて形成される基板を被加工物１１として用いることもできる。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていないこともある。
切削ユニット６の下方には、被加工物１１を保持できるチャックテーブル８が配置されている。チャックテーブル８は、モータを含むチャックテーブル回転機構（不図示）に連結されており、このチャックテーブル回転機構によって、Ｚ軸方向に対して概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル８は、チャックテーブル移動機構（不図示）に支持されており、このチャックテーブル移動機構によって、Ｘ軸方向に移動する。
チャックテーブル８の上面の一部は、例えば、多孔質材で構成され、被加工物１１を保持する保持面８ａとして機能する。保持面８ａは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して概ね平行であり、チャックテーブル８の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。保持面８ａに被加工物１１を載せた状態で吸引源の負圧を作用させれば、被加工物１１は、この保持面８ａにより吸引される。
フレーム及びカバー４の外部には、カセット支持台１０が設けられている。カセット支持台１０の上面には、複数の異なる高さの位置（Ｚ軸方向の位置）にそれぞれ被加工物１１を収容できるカセット１２が載せられる。カセット支持台１０の高さは、例えば、カセット１２からカバー４の内側の空間へと被加工物１１を搬送し、又は、カバー４の内側の空間からカセット１２へと被加工物１１を搬送する際に、カセット昇降機構（不図示）によって制御される。
カバー４の正面４ａには、ユーザーインターフェースとなるタッチスクリーン（表示装置、入力装置）１４が配置されている。また、カバー４の上面４ｂには、表示灯１６が配置されている。タッチスクリーン１４や表示灯１６は、上述した切削ユニット６、切削ユニット移動機構、チャックテーブル回転機構、チャックテーブル移動機構、カセット昇降機構等とともに、制御ユニット１８に接続される。
制御ユニット１８は、例えば、処理装置と、記憶装置と、を含むコンピュータによって構成され、被加工物１１の切削に必要な一連の工程に合わせて、上述した複数の要素を制御する。処理装置は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）であり、各要素を制御するために必要な種々の処理を行う。
記憶装置は、例えば、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含む。この制御ユニット１８の機能は、例えば、記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置が動作することにより実現される。ただし、制御ユニット１８の機能は、ハードウェアのみにより実現されても良い。
図２は、切削ユニット６の構造を模式的に示す分解斜視図である。切削ユニット６は、筒状のハウジング２０を備えている。ハウジング２０には、Ｙ軸方向に対して概ね平行な回転軸となる円柱状のスピンドル２２が収容されている。スピンドル２２の先端部（一端側）は、ハウジング２０の外部に露出している。スピンドル２２の先端部の先端面には、ねじ穴２２ａが設けられている。また、スピンドル２２の基端部（他端側）には、モータを含む回転機構（不図示）が連結されている。
スピンドル２２の先端部には、ブレードマウンタ２４を介して環状の切削ブレード２６が装着される。ブレードマウンタ２４は、スピンドル２２の先端部に取り付けられるマウントフランジ２８を含む。マウントフランジ２８は、切削ブレード２６を支持する円盤状のフランジ部３０と、フランジ部３０の円形の表面（一方の面）３０ａの中央部から突出する円柱状のボス部３２と、を備える。
マウントフランジ２８には、フランジ部３０の中央部を表面３０ａ側から裏面（他方の面）３０ｂ側に貫通するとともに、ボス部３２の中央部を先端３２ａ側から基端側（フランジ部３０側）に貫通する貫通孔２８ａが形成されている。フランジ部３０の裏面３０ｂ側からスピンドル２２の先端部が貫通孔２８ａに挿入されることで、マウントフランジ２８は、フランジ部３０の裏面３０ｂ側からスピンドル２２に装着される。
貫通孔２８ａには、ねじ３４の頭を受ける環状の受け部が設けられている。よって、ボス部３２の先端３２ａ側から貫通孔２８ａにねじ３４を挿入し、この貫通孔２８ａを介してスピンドル２２のねじ穴２２ａにねじ３４を締め込めば、マウントフランジ２８は、スピンドル２２の先端部に固定される。
フランジ部３０の表面３０ａ側の外周部には、表面３０ａに対して交差する方向（代表的には、表面３０ａに対して垂直な方向）に僅かに突出する環状の凸部３０ｃが設けられている。凸部３０ｃの先端面３０ｄは、概ね平坦に形成されている。ボス部３２の外周面３２ｂの先端３２ａ側の領域には、ねじ山が設けられている。
切削ブレード２６は、例えば、金属等でなる円錐台状の基台３６と、基台３６の外周縁に沿って設けられた環状の切刃３８と、を一体に備えた、いわゆるハブタイプの切削ブレードである。切削ブレード２６の中央部（基台３６の中央部）には、切削ブレード２６（基台３６）を厚さの方向に貫通する開口部２６ａが設けられている。マウントフランジ２８に対して切削ブレード２６を取り付ける際には、この開口部２６ａにボス部３２が挿入される。
基台３６は、円錐台の側面に相当する湾曲面（第１面）３６ａと、円錐台の底面に相当し、湾曲面３６ａの概ね反対側に位置する平坦面（第２面）（不図示）と、を有する。マウントフランジ２８に対して切削ブレード２６を取り付ける際には、基台３６の平坦面がフランジ部３０の先端面３０ｄに接触するように、開口部２６ａにボス部３２を挿入させる。切刃３８は、例えば、ダイヤモンド等でなる砥粒がニッケル等の金属を含む結合剤によって固定された構造を有している。
ブレードマウンタ２４は、マウントフランジ２８に対して環状の切削ブレード２６を固定する際に用いられるブレード固定具４０を更に含んでいる。ブレード固定具４０は、例えば、環状のナット（ナット部）４２と、ナット４２の外径（直径）よりも大きく、切削ブレード２６の外径（直径）よりも小さな外径（直径）の円盤状の切削液返しプレート（切削液返し部）４４と、を含む。ナット４２と、切削液返しプレート４４と、は一体に形成されている。
ナット４２の中央部には、マウントフランジ２８のボス部３２が挿入される開口部４２ａが設けられている。開口部４２ａの内周面には、ボス部３２のねじ山に対応するねじ山が形成されている。同様に、切削液返しプレート４４の中央部にも、ボス部３２が挿入される開口部４４ａが設けられている。ナット４２の開口部４２ａと、切削液返しプレート４４の開口部４４ａと、は互いに接続されている。なお、開口部４４ａの内周面には、ねじ山が設けられていても良いし、ねじ山が設けられていなくても良い。
マウントフランジ２８に対して切削ブレード２６を固定する際には、切削ブレード２６の開口部２６ａにボス部３２が挿入された状態で、ブレード固定具４０のナット４２の開口部４２ａと切削液返しプレート４４の開口部４４ａとにボス部３２を挿入させる。ブレード固定具４０の向きは、切削液返しプレート４４が切削ブレード２６側に配置されるように調整される。
そして、ボス部３２とブレード固定具４０とを相対的に回転させて、ブレード固定具４０にボス部３２を締め込む。これにより、ブレード固定具４０の切削液返しプレート４４側が切削ブレード２６の基台３６の湾曲面３６ａ側に接触し、切削ブレード２６は、マウントフランジ２８とブレード固定具４０とで挟持される。つまり、切削ブレード２６は、ナット４２とフランジ部３０との間に挟み込まれるようにして固定される。
図３は、切削液返しプレート４４の機能を模式的に示す正面図であり、図４は、切削液返しプレート４４の機能を模式的に示す側面図である。切削ユニット６には、切削ブレード２６の外周部を部分的に覆うブレードカバーが設けられており、このブレードカバーには、図３に示すように、切削ブレード２６の外周部に切削液２１を供給できるノズル４６が配置されている。
図３及び図４に示すように、例えば、切削ブレード２６の側方に配置されたノズル４６から切削ブレード２６の外周部に位置する目標エリア２１ａに向けて切削液２１を噴射すると、切削液２１の一部は、湾曲面３６ａを流れて切削ブレード２６の中央部に向かう。切削液返しプレート４４が存在しない場合には、切削ブレード２６の中央部に到達した切削液２１の多くが切削ブレード２６の正面側に飛散するので、切削ブレード２６の切刃３８と被加工物１１とが接触する加工点の傍に、十分な量の切削液２１が供給されない。
これに対して、本実施形態のブレード固定具４０は、ナット４２とともに、ナット４２よりも大きな外径の円盤状の切削液返しプレート４４を含んでいる。よって、切削ブレード２６の中央部に到達した切削液２１は、切削液返しプレート４４により跳ね返されて、加工点の傍に落下する。これにより、被加工物１１の加工点の傍に供給される切削液２１の量を増やして、被加工物１１への切削屑の付着及び固着を防止できる。
以上のように、本実施形態のブレード固定具４０（及びブレードマウンタ２４）は、環状のナット４２と、外径がナット４２よりも大きな円盤状の切削液返しプレート４４と、を含んでいるので、消耗品である切削ブレード２６に対して、切削液返しプレート４４に相当する板状の構造を設ける必要がない。よって、消耗品である切削ブレード２６の製造にかかる費用を低く抑えながら、被加工物１１に供給される切削液２１の量を増やすことができる。
更に、本実施形態では、消耗品である切削ブレード２６から切削液返しプレート４４が分離されているので、切削ブレード２６と切削液返しプレート４４とが一体に形成されている場合のように、切削ブレード２６とともに切削液返しプレート４４を廃棄する必要がない。つまり、切削液返しプレート４４を繰り返し用いることができる。
なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、ナット４２と、切削液返しプレート４４と、を一体に備えるブレード固定具４０を例示したが、ナット４２と、切削液返しプレート４４と、は分離されていても良い。また、マウントフランジ２８の裏面３０ｂ側に、追加の切削液返しプレートが設けられても良い。
更に、本発明のブレード固定具は、いわゆるワッシャータイプの切削ブレードをマウントフランジに固定する際にも用いられ得る。図５は、変形例にかかる切削ユニット１０６の構造を模式的に示す分解斜視図である。なお、以下では、上述した実施形態の切削ユニット６と共通の要素に同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
スピンドル２２の先端部には、ブレードマウンタ１２４を介して環状の切削ブレード１２６が装着される。ブレードマウンタ１２４は、スピンドル２２の先端部に取り付けられるマウントフランジ１２８を含む。マウントフランジ１２８は、スピンドル２２の先端部に固定される固定マウント１３０と、固定マウント１３０に取り付けられた切削ブレード１２６を押さえる押さえフランジ１３２と、で構成されている。
固定マウント１３０は、切削ブレード１２６を支持する円盤状のフランジ部１３４と、フランジ部１３４の円形の表面（一方の面）１３４ａの中央部から突出する円柱状のボス部１３６と、を備える。固定マウント１３０には、フランジ部１３４の中央部を表面１３４ａ側から裏面（他方の面）１３４ｂ側に貫通するとともに、ボス部１３６の中央部を先端１３６ａ側から基端側（フランジ部１３４側）に貫通する貫通孔１３０ａが形成されている。
フランジ部１３４の裏面１３４ｂ側からスピンドル２２の先端部が貫通孔１３０ａに挿入されることで、マウントフランジ１２８の固定マウント１３０は、フランジ部１３４の裏面１３４ｂ側からスピンドル２２に装着される。貫通孔１３０ａには、ワッシャー１３８を受ける環状の受け部が設けられている。よって、貫通孔１３０ａにワッシャー１３８を配置し、このワッシャー１３８を介してスピンドル２２のねじ穴２２ａにねじ１４０を締め込めば、固定マウント１３０は、スピンドル２２の先端部に固定される。
フランジ部１３４の表面１３４ａ側の外周部には、表面１３４ａに対して交差する方向（代表的には、表面１３４ａに対して垂直な方向）に僅かに突出する環状の凸部１３４ｃが設けられている。凸部１３４ｃの先端面１３４ｄは、概ね平坦に形成されている。ボス部１３６の外周面１３６ｂの先端１３６ａ側の領域には、ねじ山が設けられている。
切削ブレード１２６は、ダイヤモンド等でなる砥粒が、金属、樹脂、セラミックス等の結合剤によって固定された構造を持つ環状の切刃によって構成される、ワッシャータイプの切削ブレードである。つまり、切削ブレード１２６の中央部には、切削ブレード１２６を厚さの方向に貫通する円形の開口部１２６ａが設けられている。固定マウント１３０に対して切削ブレード１２６を取り付ける際には、切削ブレード１２６の一方の面をフランジ部１３４の先端面１３４ｄに接触させるように、この開口部１２６ａにボス部１３６が挿入される。
固定マウント１３０に切削ブレード１２６が取り付けられた状態で、固定マウント１３０には、押さえフランジ１３２が取り付けられる。押さえフランジ１３２は、例えば、金属等を用いて円錐台状に形成されており、円錐台の側面に相当する湾曲面（第１面）１３２ａと、円錐台の底面に相当し、湾曲面１３２ａの概ね反対側に位置するする平坦面（第２面）１３２ｂと、を有している。
押さえフランジ１３２の中央部には、押さえフランジ１３２を厚さの方向に貫通する開口部１３２ｃが設けられている。固定マウント１３０に対して押さえフランジ１３２を取り付ける際には、この開口部１３２ｃにボス部１３６が挿入される。固定マウント１３０に切削ブレード１２６が取り付けられた状態で、更に押さえフランジ１３２を固定マウント１３０に取り付けると、押さえフランジ１３２の平坦面１３２ｂが切削ブレード１２６の他方の面に接触する。
ブレードマウンタ１２４は、マウントフランジ１２８に対して環状の切削ブレード１２６を固定する際に用いられるブレード固定具１４２を更に含んでいる。ブレード固定具１４２は、例えば、環状のナット（ナット部）１４４と、ナット１４４の外径（直径）よりも大きく、切削ブレード１２６の外径（直径）よりも小さな外径（直径）の円盤状の切削液返しプレート（切削液返し部）１４６と、を含む。ナット１４４と、切削液返しプレート１４６と、は一体に形成されている。
ナット１４４の中央部には、固定マウント１３０のボス部１３６が挿入される開口部１４４ａが設けられている。開口部１４４ａの内周面には、ボス部１３６のねじ山に対応するねじ山が形成されている。同様に、切削液返しプレート１４６の中央部にも、ボス部１３６が挿入される開口部１４６ａが設けられている。ナット１４４の開口部１４４ａと、切削液返しプレート１４６の開口部１４６ａと、は互いに接続されている。なお、開口部１４６ａの内周面には、ねじ山が設けられていても良いし、ねじ山が設けられていなくても良い。
マウントフランジ１２８に対して切削ブレード１２６を固定する際には、切削ブレード１２６の開口部１２６ａと押さえフランジ１３２の開口部１３２ｃとにボス部１３６が挿入された状態で、ブレード固定具１４２のナット１４４の開口部１４４ａと切削液返しプレート１４６の開口部１４６ａとにボス部１３６を挿入させる。ブレード固定具１４２の向きは、切削液返しプレート１４６が切削ブレード１２６側（押さえフランジ１３２側）に配置されるように調整される。
そして、ボス部１３６とブレード固定具１４２とを相対的に回転させて、ブレード固定具１４２にボス部１３６を締め込む。これにより、ブレード固定具１４２の切削液返しプレート１４６側が押さえフランジ１３２の湾曲面１３２ａ側に接触し、切削ブレード１２６は、固定マウント１３０と押さえフランジ１３２とで挟持される。つまり、切削ブレード１２６は、ナット１４４とフランジ部１３４との間に挟み込まれるようにして固定される。
なお、このブレード固定具１４２において、ナット１４４と、切削液返しプレート１４６と、は分離されていても良い。また、固定マウント１３０の裏面１３４ｂ側に、追加の切削液返しプレートが設けられても良い。
その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
２ ：切削装置
４ ：カバー
４ａ ：正面
４ｂ ：上面
６ ：切削ユニット
８ ：チャックテーブル
８ａ ：保持面
１０ ：カセット支持台
１２ ：カセット
１４ ：タッチスクリーン（表示装置、入力装置）
１６ ：表示灯
１８ ：制御ユニット
２０ ：ハウジング
２２ ：スピンドル
２２ａ ：ねじ穴
２４ ：ブレードマウンタ
２６ ：切削ブレード
２６ａ ：開口部
２８ ：マウントフランジ
２８ａ ：貫通孔
３０ ：フランジ部
３０ａ ：表面（一方の面）
３０ｂ ：裏面（他方の面）
３０ｃ ：凸部
３０ｄ ：先端面
３２ ：ボス部
３２ａ ：先端
３２ｂ ：外周面
３４ ：ねじ
３６ ：基台
３６ａ ：湾曲面（第１面）
３８ ：切刃
４０ ：ブレード固定具
４２ ：ナット（ナット部）
４２ａ ：開口部
４４ ：切削液返しプレート（切削液返し部）
４４ａ ：開口部
４６ ：ノズル
１０６ ：切削ユニット
１２４ ：ブレードマウンタ
１２６ ：切削ブレード
１２６ａ ：開口部
１２８ ：マウントフランジ
１３０ ：固定マウント
１３０ａ ：貫通孔
１３２ ：押さえフランジ
１３２ａ ：湾曲面（第１面）
１３２ｂ ：平坦面（第２面）
１３２ｃ ：開口部
１３４ ：フランジ部
１３４ａ ：表面（一方の面）
１３４ｂ ：裏面（他方の面）
１３４ｃ ：凸部
１３４ｄ ：先端面
１３６ ：ボス部
１３６ａ ：先端
１３６ｂ ：外周面
１３８ ：ワッシャー
１４０ ：ねじ
１４２ ：ブレード固定具
１４４ ：ナット（ナット部）
１４４ａ ：開口部
１４６ ：切削液返しプレート（切削液返し部）
１４６ａ ：開口部
１１ ：被加工物
２１ ：切削液
２１ａ ：目標エリア
４ ：カバー
４ａ ：正面
４ｂ ：上面
６ ：切削ユニット
８ ：チャックテーブル
８ａ ：保持面
１０ ：カセット支持台
１２ ：カセット
１４ ：タッチスクリーン（表示装置、入力装置）
１６ ：表示灯
１８ ：制御ユニット
２０ ：ハウジング
２２ ：スピンドル
２２ａ ：ねじ穴
２４ ：ブレードマウンタ
２６ ：切削ブレード
２６ａ ：開口部
２８ ：マウントフランジ
２８ａ ：貫通孔
３０ ：フランジ部
３０ａ ：表面（一方の面）
３０ｂ ：裏面（他方の面）
３０ｃ ：凸部
３０ｄ ：先端面
３２ ：ボス部
３２ａ ：先端
３２ｂ ：外周面
３４ ：ねじ
３６ ：基台
３６ａ ：湾曲面（第１面）
３８ ：切刃
４０ ：ブレード固定具
４２ ：ナット（ナット部）
４２ａ ：開口部
４４ ：切削液返しプレート（切削液返し部）
４４ａ ：開口部
４６ ：ノズル
１０６ ：切削ユニット
１２４ ：ブレードマウンタ
１２６ ：切削ブレード
１２６ａ ：開口部
１２８ ：マウントフランジ
１３０ ：固定マウント
１３０ａ ：貫通孔
１３２ ：押さえフランジ
１３２ａ ：湾曲面（第１面）
１３２ｂ ：平坦面（第２面）
１３２ｃ ：開口部
１３４ ：フランジ部
１３４ａ ：表面（一方の面）
１３４ｂ ：裏面（他方の面）
１３４ｃ ：凸部
１３４ｄ ：先端面
１３６ ：ボス部
１３６ａ ：先端
１３６ｂ ：外周面
１３８ ：ワッシャー
１４０ ：ねじ
１４２ ：ブレード固定具
１４４ ：ナット（ナット部）
１４４ａ ：開口部
１４６ ：切削液返しプレート（切削液返し部）
１４６ａ ：開口部
１１ ：被加工物
２１ ：切削液
２１ａ ：目標エリア
Claims (4)
- 外周面にねじ山が設けられた円柱状のボス部を有するマウントフランジに対して、開口部を有し切削液が供給された状態で使用される環状の切削ブレードを固定するためのブレード固定具であって、
該ボス部が挿入される開口部を有し、該開口部の内周面に該ボス部のねじ山に対応するねじ山が設けられた環状のナットと、
該ボス部が挿入される開口部を有し、外径が該ナットよりも大きな円盤状の切削液返しプレートと、を含み、
該切削ブレードの該開口部に該ボス部が挿入された状態で該切削液返しプレートが該切削ブレード側に配置されるように、該切削液返しプレートの該開口部と該ナットの該開口部とに該ボス部が挿入されることで、該マウントフランジに該切削ブレードを固定するブレード固定具。 - 該ナットと、該切削液返しプレートと、が一体に形成されている請求項１に記載のブレード固定具。
- 開口部を有し切削液が供給された状態で使用される環状の切削ブレードをスピンドルに装着するためのブレードマウンタであって、
円盤状のフランジ部と、該フランジ部の一方の面から突出し外周面にねじ山が設けられた円柱状のボス部と、を有し、該フランジ部の他方の面側から該スピンドルに装着されるマウントフランジと、
該ボス部が挿入される開口部を有し、該開口部の内周面に該ボス部のねじ山に対応するねじ山が設けられた環状のナットと、
該ボス部が挿入される開口部を有し、外径が該ナットよりも大きな円盤状の切削液返しプレートと、を含み、
該切削ブレードの該開口部に該ボス部が挿入された状態で該切削液返しプレートが該切削ブレード側に配置されるように、該切削液返しプレートの該開口部と該ナットの該開口部とに該ボス部が挿入されることで、該ナットと該フランジ部との間に該切削ブレードを挟み込んで固定するブレードマウンタ。 - 該ナットと、該切削液返しプレートと、が一体に形成されている請求項３に記載のブレードマウンタ。
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