JP2020194874A - 切削ブレードの固定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 38
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 18
- 238000006748 scratching Methods 0.000 abstract description 10
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
図1は、本実施形態にかかる切削ブレードの固定方法が用いられる切削装置2の構成例を示す斜視図である。なお、図1では、切削装置2の一部の構成要素を機能ブロックで示している。また、以下の説明に用いられるX軸方向、Y軸方向、及びZ軸方向は、互いに垂直である。
本実施形態では、実施形態1とは異なる態様の切削ユニットに対応した切削ブレードの固定方法を説明する。図6は、本実施形態にかかる切削ユニット118の構成例を示す分解斜視図であり、図7は、切削ユニット118の構成例を示す断面図である。
18 :切削ユニット
44 :スピンドルハウジング
44a :前端面
44b :開口
44c :ねじ孔
46 :スピンドル
46a :前端部
46b :ねじ山
48 :ロータリージョイント
50 :基部
50a :前面
50b :開口
50c :開口
52 :収容部
52a :開口
54 :接続部
54a :流路
56 :開閉弁
58 :吸引源
60 :マウントフランジ
62 :ボス部
62a :ねじ山
64 :フランジ部
64a :開口
64b :後部
64c :接触面
64d :流路
64e :開口
64f :開口
66 :ナット(リング)
66a :開口
66b :ねじ山
68 :切削ブレード
70 :ハブ基台
70a :嵌合穴
72 :切り刃
74 :ナット(リング)
74a :開口
74b :ねじ山
118 :切削ユニット
160 :マウントフランジ
162 :ボス部
162a :ねじ山
164 :フランジ部
164a :開口
164b :後部
164c :接触面
164d :流路
164e :開口
164f :開口
168 :切削ブレード
168a :嵌合穴
170 :前フランジ
170a :嵌合穴
170b :接触面
172 :ナット(リング)
172a :開口
172b :ねじ山
Claims (4)
- 中央部に嵌合穴を有する環状のハブ基台と、該ハブ基台の外周部に設けられた切り刃と、を備える切削ブレードをスピンドルに固定する際に用いられる切削ブレードの固定方法であって、
外周面の一部にねじ山を有し該切削ブレードの該嵌合穴に嵌合する円柱状のボス部と、該円柱の一方の底面に相当する該ボス部の後端部から径方向に突出し該切削ブレードと接触する接触面を外周部の前方側に有する円盤状のフランジ部と、を備え、該フランジ部の該接触面より径方向で内側の位置に一端が開口し他端が開閉弁を介して吸引源に接続された吸引路を有するマウントフランジを、該スピンドルに固定するマウントフランジ固定ステップと、
該ボス部を該切削ブレードの該嵌合穴に嵌合させるように該マウントフランジに該切削ブレードを装着し、該フランジ部の該接触面に該切削ブレードを接触させるブレード装着ステップと、
該ブレード装着ステップを実施した後、該ボス部の該ねじ山に対応するねじ山を内周面に有するナットを該ボス部に締結するナット締結ステップと、を備え、
該ナット締結ステップでは、該開閉弁が開かれ該切削ブレードが該フランジ部の該接触面に密着した状態で該ナットを該ボス部に締結することを特徴とする切削ブレードの固定方法。 - 中央部に嵌合穴を有する環状の切り刃を備える切削ブレードをスピンドルの先端に固定する際に用いられる切削ブレードの固定方法であって、
外周面の一部にねじ山を有し該切削ブレードの該嵌合穴に嵌合する円柱状のボス部と、該円柱の一方の底面に相当する該ボス部の後端部から径方向に突出し該切削ブレードと接触する接触面を外周部の前方側に有する円盤状のフランジ部と、を備え、該フランジ部の該接触面より径方向で内側の位置に一端が開口し他端が開閉弁を介して吸引源に接続された吸引路を有するマウントフランジを、該スピンドルに固定するマウントフランジ固定ステップと、
該ボス部を該切削ブレードの該嵌合穴に嵌合させるように該マウントフランジに該切削ブレードを装着し、該フランジ部の該接触面に該切削ブレードを接触させるブレード装着ステップと、
該ブレード装着ステップを実施した後、中央部に嵌合穴を有し該切削ブレードと接触する接触面を外周部の後方側に有する円盤状の前フランジの該嵌合穴に該ボス部を嵌合させるように該マウントフランジに該前フランジを装着し、該切削ブレードに該前フランジの該接触面を接触させる前フランジ装着ステップと、
該前フランジ装着ステップを実施した後、該ボス部の該ねじ山に対応するねじ山を内周面に有するナットを該ボス部に締結するナット締結ステップと、を備え、
該ナット締結ステップでは、該開閉弁が開かれ該切削ブレードが該フランジ部の該接触面に密着した状態で該ナットを該ボス部に締結することを特徴とする切削ブレードの固定方法。 - 該前フランジ装着ステップでは、該開閉弁が開かれ該切削ブレードが該フランジ部の該面に密着した状態で該前フランジを該マウントフランジに装着することを特徴とする請求項2に記載の切削ブレードの固定方法。
- 該ナットの後面側には、低摩擦コーティングが施されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の切削ブレードの固定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019099403A JP7229643B2 (ja) | 2019-05-28 | 2019-05-28 | 切削ブレードの固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019099403A JP7229643B2 (ja) | 2019-05-28 | 2019-05-28 | 切削ブレードの固定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020194874A true JP2020194874A (ja) | 2020-12-03 |
JP7229643B2 JP7229643B2 (ja) | 2023-02-28 |
Family
ID=73548725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019099403A Active JP7229643B2 (ja) | 2019-05-28 | 2019-05-28 | 切削ブレードの固定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7229643B2 (ja) |
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