JP2022072120A - ウェーハの研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】仕上げ研削時間を短縮する。【解決手段】ウェーハ１７を保持面２００に保持する保持工程を行い、保持面傾き変更手段２４を用いて粗研削砥石３４０の下面３４２に対する予め設定された所定の傾きに保持面２００を傾けて、粗研削砥石３４０を用いて保持面２００に保持されたウェーハ１７を粗研削する粗研削工程を行った後、保持面傾き変更手段２４を用いて仕上げ研削砥石５４０の下面５４２に対する予め設定された所定の傾きに保持面２００を傾けて、仕上げ研削砥石５４０を用いて保持面２００に保持されたウェーハ１７を仕上げ研削する仕上げ研削工程を行う。これにより、仕上げ研削加工の際の研削量を少なくして研削時間の短縮を図ることができる。【選択図】図１

Description

本発明は、ウェーハの研削方法に関する。

特許文献１、２に開示のように研削砥石を用いてウェーハを研削する研削装置は、ウェーハをチャックテーブルの保持面に保持させて研削砥石を用いて研削し、研削されたウェーハの径方向において厚みを測定してから、その測定された厚みが均一になるように、研削砥石の下面に対して保持面の傾きを調整している。保持面の傾きの調整は保持面の中心を中心とする正三角形の頂点に配置されたチャックテーブルの支持柱の長さを変化させることによって行われる。

また、研削装置がターンテーブルに複数のチャックテーブルを配設し粗研削手段と仕上げ研削手段との少なくとも２つの研削手段を備えている場合は、上記のような保持面の傾き調整は、仕上げ研削後のウェーハの厚みを測定して行っている。
そのため、粗研削されたウェーハの厚みが均一でなかったら、仕上げ研削する研削量を大きくすることによって仕上げ研削したウェーハの厚みを均一にしているため、仕上げ研削時間がかかるという問題がある。また、仕上げ研削砥石の消耗量が大きくなるという問題が有る。
また、特許文献３、４に開示のようにターンテーブルを回転させ粗研削砥石によって粗研削されたウェーハの被研削面に形成された砥石の円弧状の軌跡と、仕上げ研削砥石によって仕上げ研削されたウェーハの被研削面に形成された砥石の円弧状の軌跡とが対称的になるように粗研削と仕上げ研削とを実施するいわゆるクロスフィード研削加工の場合には、仕上げ研削砥石に対して保持面の傾きを変更すると、粗研削砥石によって研削されたウェーハの厚みが均一にならないため、同様に、仕上げ時間が大きくなるという問題と、仕上げ研削砥石の消耗量が大きくなるという問題とがある。

特開２００８－２６４９１３号公報 特開２０１３－１１９１２３号公報 特開２００９－１４１１７６号公報 特開２０００－２８８８８１号公報

したがって、粗研削と仕上げ研削とによってウェーハを研削するウェーハの研削方法には、仕上げ研削する時間を短縮するという課題がある。

本発明は、円錐面の保持面にウェーハを保持させるチャックテーブルを該保持面の中心を軸に回転させる保持手段と、環状の粗研削砥石をウェーハの中心を通過させウェーハの半径エリアに接触させウェーハを研削する粗研削手段と、環状の仕上げ研削砥石をウェーハの中心を通過させウェーハの半径エリアに接触させウェーハを研削する仕上げ研削手段と、該粗研削手段と該仕上げ研削手段との順に該保持手段を位置づけ可能な位置づけ手段と、該保持面の傾きを変更する保持面傾き変更手段と、を備える研削装置を用いたウェーハの研削方法であって、ウェーハを該保持面に保持させる保持工程と、該保持面傾き変更手段を用いて該粗研削砥石の下面に対する予め設定された所定の傾きに該保持面を傾けて、該粗研削砥石を用いて該保持面に保持されたウェーハを粗研削する粗研削工程と、該保持面傾き変更手段を用いて該仕上げ研削砥石の下面に対する予め設定された所定の傾きに該保持面を傾けて、該仕上げ研削砥石を用いて該保持面に保持されたウェーハを仕上げ研削する仕上げ研削工程と、からなるウェーハの研削方法である。
上記のウェーハの研削方法は、該粗研削工程で粗研削したウェーハに形成される円弧の粗研削砥石軌跡と、該仕上げ研削工程で仕上げ研削したウェーハに形成される円弧の仕上げ研削砥石軌跡と、を対称的な形状にすることが望ましい。
上記のウェーハの研削方法に用いられる該研削装置は、ウェーハの厚みを測定する厚み測定手段を備え、上記のウェーハの研削方法に備える該仕上げ研削工程における該保持面の傾き調整は、該厚み測定手段を用いてウェーハの半径の複数箇所で厚みを測定する厚み測定工程を含み、該厚み測定工程で測定した複数の厚み値が次にウェーハを仕上げ研削した際に一致するよう傾きを調整することが望ましい。

本発明の研削方法では粗研削加工の前に保持面の傾きを調整するため、仕上げ研削加工の際の研削量を少なくすることが可能となり、研削時間の短縮を図ることができる。また、仕上げ研削砥石の消耗量を削減することができる。

研削装置の全体を表す斜視図である。 チャックテーブルと保持面傾き変更手段とを表す断面図である。 チャックテーブルと保持面傾き変更手段と回転手段との外観を表す斜視図である。 粗研削加工時の粗研削手段とチャックテーブルに保持されたウェーハとを表す断面図である。 粗研削加工時の粗研削手段とチャックテーブルに保持されたウェーハとを表す斜視図である。 仕上げ研削加工時の仕上げ研削手段とチャックテーブルに保持されたウェーハとを表す断面図である。 仕上げ研削加工時の仕上げ研削手段とチャックテーブルに保持されたウェーハとを表す斜視図である。

１ 研削装置
図１に示す研削装置１は、チャックテーブル２に円板状のウェーハ１７を保持して、粗研削手段３及び仕上げ研削手段５を用いてウェーハ１７を研削加工する研削装置である。

図１に示すように、研削装置１はＹ軸方向に延設されたベース１０を備えている。ベース１０の＋Ｙ方向側かつ＋Ｘ方向側には第１コラム１１が立設されており、第１コラム１１の－Ｘ方向側には第２コラム１２が立設されている。

第１コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、粗研削手段３を昇降可能に支持する粗研削送り手段４が配設されている。粗研削手段３は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、Ｚ軸方向の軸心を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続されたマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された粗研削ホイール３４とを備えている。

スピンドルモータ３２を用いてスピンドル３０を回転させることにより、スピンドル３０に接続されたマウント３３及びマウント３３の下面に装着された粗研削ホイール３４が一体的に回転することとなる。

粗研削ホイール３４は、ホイール基台３４１とホイール基台３４１の下面に配設された略直方体状の複数の粗研削砥石３４０とを備えている。複数の粗研削砥石３４０はホイール基台３４１の下面において環状をなすように配設されている。粗研削砥石３４０の下面３４２はウェーハ１７に接触する研削面である。

粗研削送り手段４は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設されたガイドレール４１と、Ｚ軸方向の軸心を軸にしてボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、を備えている。昇降板４３には粗研削手段３のハウジング３１が支持されている。

Ｚ軸モータ４２によってボールネジ４０が駆動されてボールネジ４０が回転すると、これに伴って昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、昇降板４３に保持されている粗研削手段３がＺ軸方向に移動する構成となっている。

第２コラム１２の－Ｙ方向側の側面には、仕上げ研削手段５を昇降可能に支持する仕上げ研削送り手段６が配設されている。仕上げ研削手段５は粗研削手段３と同様に構成されている。すなわち、仕上げ研削手段５はＺ軸方向の軸心を有するスピンドル５０と、スピンドル５０を回転可能に支持するハウジング５１と、Ｚ軸方向の軸心を軸にしてスピンドル５０を回転駆動するスピンドルモータ５２と、スピンドル５０の下端に接続されたマウント５３と、マウント５３の下面に着脱可能に装着された仕上げ研削ホイール５４とを備えている。

スピンドルモータ５２を用いてスピンドル５０を回転させることにより、スピンドル５０に接続されたマウント５３及びマウント５３の下面に装着された仕上げ研削ホイール５４が一体的に回転することとなる。

仕上げ研削ホイール５４は、ホイール基台５４１とホイール基台５４１の下面に配設された略直方体状の複数の仕上げ研削砥石５４０とを備えている。複数の仕上げ研削砥石５４０はホイール基台５４１の下面において環状をなすように配設されている。仕上げ研削砥石５４０の粒径は粗研削砥石３４０の粒径よりも小さい。仕上げ研削砥石５４０の下面５４２はウェーハ１７に接触する研削面である。

仕上げ研削送り手段６は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ６０と、ボールネジ６０に対して平行に配設されたガイドレール６１と、Ｚ軸方向の軸心を軸にしてボールネジ６０を回転させるＺ軸モータ６２と、内部のナットがボールネジ６０に螺合して側部がガイドレール６１に摺接する昇降板（図示せず）と、を備えている。該昇降板には仕上げ研削手段５のハウジング５１が支持されている。

Ｚ軸モータ６２によってボールネジ６０が駆動されてボールネジ６０が回転すると、これに伴って該昇降板がガイドレール６１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、該昇降板に保持されている仕上げ研削手段５がＺ軸方向に移動する構成となっている。

研削装置１は、ベース１０の上に配設された円板状のターンテーブル２９と、ターンテーブル２９の上における同一円周上に等しい間隔を空けて配設された３つの保持手段としてのチャックテーブル２を備えている。ターンテーブル２９は図示しない回転手段に接続されており、該回転手段を用いてターンテーブル２９の中心を通るＺ軸方向の軸心を軸にして回転可能である。

ターンテーブル２９を回転させることにより、ターンテーブル２９の上に配設されている３つのチャックテーブル２をターンテーブル２９の中心を軸にして公転させることができる。そして、ターンテーブル２９を用いてチャックテーブル２を公転させることにより、３つのチャックテーブル２の各々を粗研削手段３の下方の位置と、仕上げ研削手段５の下方の位置と、保持面２００にウェーハ１７を搬入したり保持面２００からウェーハ１７を搬出したりする際のチャックテーブル２の位置である搬入出位置と、に位置づけることができる。

ターンテーブル２９はチャックテーブル２を粗研削手段３や仕上げ研削手段５の下方に位置づける位置づけ手段としての役割を有している。例えば、３つのチャックテーブル２のうちの１つが搬入出位置に位置づけられている状態でターンテーブル２９を反時計回りに回転させていくことにより、粗研削手段３の下方の水平位置と仕上げ研削手段５の下方の水平位置とに順に位置付けることが可能である。

各々のチャックテーブル２は吸引部２０と吸引部２０を支持する枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面はウェーハ１７が保持される保持面２００である。保持面２００は、その中心２０１を頂点とする円錐面状に形成されている。また、保持面２００は、枠体２１の上面２１０と面一となっている。

保持面２００には図示しない吸引源が接続されている。該吸引源を作動させることにより、生みだされた吸引力が保持面２００に伝達されることとなる。保持面２００にウェーハ１７が載置されている状態で該吸引源を作動させることにより、保持面２００にウェーハ１７を吸引保持することができる。

図２に示すように、研削装置１は保持面２００の傾きを変更する保持面傾き変更手段２４を備えている。
保持面傾き変更手段２４は、支持台２２と支持台２２に連結された位置調整ユニット２３とを備えている。支持台２２はチャックテーブル２を支持する支持筒部２２０と支持筒部２２０を支持するフランジ部２２１とを有している。位置調整ユニット２３は例えばフランジ部２２１の同一円周上に等間隔に３つ設けられている。図２にはそのうちの２つが示されている。

図３に示すように、位置調整ユニット２３はビス２８によってターンテーブル２９に固定された筒部２３０と、筒部２３０を貫通するシャフト２３１と、シャフト２３１の下端に連結された駆動部２３２と、シャフト２３１の上端に連結された固定部２３５と、から構成されている。駆動部２３２はシャフト２３１を回転させるモータ２３３とシャフト２３１の回転動作の制御等を行うエンコーダ２３４とを備えている。

固定部２３５は上部ナット２３７と下部ナット２３６とを有している。上部ナット２３７と下部ナット２３６とでフランジ部２２１が挟持されており、固定部２３５がフランジ部２２１に固定されている。

３つの位置調整ユニット２３のうちの１つまたは２つの位置調整ユニット２３に備えるモータ２３３を駆動してシャフト２３１を回転させてフランジ部２２１を上下動させることにより、フランジ部２２１を含む支持台２２に支持されたチャックテーブル２の傾きを変更することが可能である。

各々のチャックテーブル２には回転手段２６が接続されている。回転手段２６は例えばプーリ機構であり、モータ２６０によって略Ｚ軸方向の軸心２５と平行な軸を中心として回転可能な駆動軸２６２と、駆動軸２６２の上端に連結されている駆動プーリ２６３と、駆動プーリ２６３に巻回されて駆動プーリ２６３の駆動力を従動プーリ２６５に伝達する伝動ベルト２６４と、駆動プーリ２６３とともに伝動ベルト２６４に巻回されている従動プーリ２６５と、従動プーリ２６５に接続されている従動軸２６６と、従動軸２６６の下端に連結されたロータリジョイント２６７と、を備えている。

モータ２６０を用いて駆動軸２６２を回転させると駆動プーリ２６３が回転するとともに、駆動プーリ２６３の回転力が伝動ベルト２６４によって従動プーリ２６５に伝達されて従動プーリ２６５が回転することとなる。これにより、従動プーリ２６５の上に連結された支持台２２及び支持台２２に支持されたチャックテーブル２が軸心２５を軸にして回転する構成となっている。

図１に示すように、ベース１０の上における－Ｙ方向側には、研削前のウェーハ１７が収納された第１カセット７０１と、研削後のウェーハ１７が収納される第２カセット７０２とが配設されている。

第１カセット７０１の＋Ｙ方向側にはロボット７１が配設されている。ロボット７１を用いることにより第１カセット７０１に収納されているウェーハ１７を引き出して仮置き領域７２０に搬送することができる。また、ロボット７１を用いて加工後のウェーハ１７を第２カセット７０２に収納することができる。

ロボット７１の可動域における＋Ｘ方向側には、加工前のウェーハ１７が仮置きされる仮置き領域７２０が設けられており、ロボット７１の可動域における－Ｘ方向側には、加工後のウェーハ１７を洗浄する洗浄領域７３０が設けられている。

仮置き領域７２０には位置合わせ手段７２が配設されている。カセット７０から搬出されて仮置き領域７２０に載置されたウェーハ１７は、位置合わせ手段７２によって所定の位置に位置合わせされることとなる。

洗浄領域７３０にはスピンナ洗浄手段７３が配設されている。スピンナ洗浄手段７３は図示しないスピンナテーブルや洗浄水ノズルを有しており、該スピンナテーブルにウェーハ１７が保持された状態で洗浄水ノズルからウェーハ１７に洗浄水を供給することによりウェーハ１７を洗浄することができる。

仮置き領域７２０に隣接する位置には、仮置き領域７２０にて位置合わせ手段７２を用いて位置合わせされたウェーハ１７をチャックテーブル２に搬入する搬入手段７４が配設されている。また、搬入手段７４の－Ｘ方向側には、加工後のウェーハ１７を保持面２００から洗浄領域７３０に搬出する搬出手段７５が配設されている。

粗研削手段３の近傍には第１厚み測定手段１８が配設されている。第１厚み測定手段１８を用いることにより、粗研削手段３の下方に位置づけられている状態のチャックテーブル２の保持面２００に保持されたウェーハ１７の厚みを測定することができる。

仕上げ研削手段５の近傍には第２厚み測定手段１９が配設されている。第２厚み測定手段１９を用いることにより、仕上げ研削手段５の下方に位置づけられている状態のチャックテーブル２の保持面２００に保持されたウェーハ１７の厚みを測定することができる。

研削装置１は、研削装置１の諸々の動作を制御する制御部９を備えている。制御部９には、特に粗研削砥石３４０の下面３４２に対する保持面２００の傾きが予め設定され記憶されている。また、制御部９には仕上げ研削砥石５４０の下面５４２に対する保持面２００の傾きが予め設定され記憶されている。

２ ウェーハの研削方法
（保持工程）
研削装置１を用いたウェーハ１７の研削方法について説明する。まず、図１に示したロボット７１を用いて第１カセット７０１からウェーハ１７を引き出して仮置き領域７２０に載置する。そして、位置合わせ手段７２を用いて位置合わせを行ってから搬入手段７４を用いてチャックテーブル２の保持面２００に搬入する。
その後、保持面２００にウェーハ１７が載置されている状態で、保持面２００に接続された図示しない吸引源を作動させて保持面２００に吸引力を伝達することにより保持面２００にウェーハ１７を保持させる。

（粗研削工程）
次に、ターンテーブル２９を例えば反時計回りに回転させてチャックテーブル２の保持面２００に保持されたウェーハ１７を粗研削手段３の下方に位置づける。このとき、図４に示すように粗研削砥石３４０がウェーハ１７の中心１７１を通るように両者の水平位置関係を調整する。

そして、制御手段９による制御の下で、図３に示した保持面傾き変更手段２４を用いて粗研削砥石３４０の下面３４２に対する予め設定された所定の傾きに保持面２００を傾ける。

また、図１に示したスピンドルモータ３２を用いて粗研削砥石３４０を回転させておくとともに、回転手段２６を用いて保持面２００に保持されたウェーハ１７を回転させておく。

粗研削砥石３４０とウェーハ１７とが回転している状態で、粗研削送り手段４を用いて粗研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させる。これにより、粗研削砥石３４０の下面３４２がウェーハ１７の上面１７０に接触する。このとき、図５に示すように粗研削砥石３４０の下面３４２はウェーハ１７の中心１７１を通過してウェーハ１７の半径エリアに接触する。
ウェーハ１７の上面１７０に粗研削砥石３４０の下面３４２が接触している状態でさらに粗研削砥石３４０を－Ｚ方向に押し下げていくことにより、ウェーハ１７が粗研削加工される。
粗研削砥石３４０によってウェーハ１７が粗研削されると、ウェーハ１７の上面１７０に円弧状の回転軌道に倣った粗研削砥石軌跡８１が放射状に形成される。

ウェーハ１７の粗研削加工を行った後、粗研削送り手段４を用いて粗研削砥石３４０を＋Ｚ方向に上昇させてウェーハ１７の上面１７０から粗研削砥石３４０を離間させる。
次に、ターンテーブル２９を例えば反時計回りに１２０度だけ回転させて保持面２００に保持されたウェーハ１７を仕上げ研削手段５の下方に位置づける。このとき、図６に示すようにウェーハ１７の中心１７１を仕上げ研削砥石５４０が通るように両者の水平位置関係を調整する。

（仕上げ研削工程）
次に、仕上げ研削送り手段６を用いて仕上げ研削砥石５４０を－Ｚ方向に下降させて仕上げ研削砥石５４０の下面５４２をウェーハ１７の上面１７０に接触させる。図７に示すように、仕上げ研削砥石５４０の下面５４２はウェーハ１７の中心１７１を通過するようにしてウェーハ１７の半径エリアに接触する。

このとき、粗研削砥石軌跡８１と仕上げ研削工程で仕上げ研削されたウェーハ１７に形成される円弧状の仕上げ研削砥石軌跡８２とが互いに反対の向きの円弧状をなして両者が交差するようにウェーハ１７の上面１７０に仕上げ研削砥石５４０の下面５４２を接触させる。これにより、粗研削砥石軌跡８１と仕上げ研削砥石軌跡８２とが対称的な形状になるように研削される。

（厚み測定工程）
そして、ウェーハ１７が所定の仕上げ厚みに達する前に仕上げ研削砥石５４０を＋Ｚ方向に上昇させウェーハ１７の上面１７０から離間させる。
次に、第２厚み測定手段１９を用いてウェーハ１７の厚みを測定する。ここで、第２厚み測定手段１９は、ウェーハ１７の中心１７１の厚みを測定する中心厚み測定手段１９１と、ウェーハ１７の外周部分１７３の厚みを測定する外周部厚み測定手段１９３と、ウェーハ１７の中心１７１と外周部分１７３との中間部分１７２の厚みを測定する中間部厚み測定手段１９２とを備えている。
ウェーハ１７の厚みを測定する際には、まず、中心部厚み測定手段１９１を用いてウェーハの中心１７１の厚みを測定し、外周部厚み測定手段１９３を用いてウェーハ１７の外周部分１７３の厚みを測定し、中間部厚み測定手段１９２を用いてウェーハ１７の中心１７１と外周部分１７３との中間部分１７２の厚みを測定する。
なお、中間部分１７２は、ウェーハ１７の半径の中心でもよい。
そして、例えば、測定された３つの厚みのうちのウェーハ１７の中心１７１の厚みを基準にして、中心１７１の厚みと中間部分１７２の厚みとの差、及び中心１７１の厚みと外周部分１７３の厚みの差を算出する。
その後、該厚み差に基づいて保持面傾き変更手段２４を用いて保持面２００の傾きを変更して、残りの所定の仕上げ研削厚みまで仕上げ研削を行ったときに厚みの差が無くなるようにする。
なお、上記の実施例は、仕上げ厚みに達する前のウェーハ１７の厚みを測定して保持面２００の傾きを変更しているが、ウェーハ１７を所定の仕上げ厚みまで研削して、厚みを測定して、次に仕上げ研削工程を実施する際に、厚み測定した際の厚み差を基に保持面２００の傾きを変更することによって厚みの差が無くなるようにしてもよい。
また、第２厚み測定手段１９は、一つの厚み測定器を保持面２００に保持されたウェーハ１７の半径エリアを半径方向に移動可能な径方向移動機構を備え、一つの厚み測定器で中心１７１、中間部分１７２、外周部分１７３の厚みを測定するようにしてもよい。

そして、傾きが変更された保持面２００に保持されているウェーハ１７が所定の仕上げ厚みに均一に仕上げ研削されたら仕上げ研削送り手段６を用いて仕上げ研削砥石５４０を＋Ｚ方向に移動させてウェーハ１７の上面１７０から離間させる。

その後、図１に示したターンテーブル２９を例えば反時計回りに１２０度だけ回転させて保持面２００に保持されたウェーハ１７を搬入出位置に位置づける。そして、搬出手段７５を用いて保持面２００から洗浄領域７３０に搬出して、スピンナ洗浄手段７３を用いてウェーハ１７を洗浄した後、ロボット７１を用いて第２カセット７０２に収納する。

上記の研削方法では粗研削工程と仕上げ研削工程とにおいて保持面２００の傾きを調整するため、仕上げ研削加工の際の研削量を少なくすることが可能となり、研削時間の短縮を図ることができる。また、仕上げ研削砥石５４０の消耗量を削減することができる。

なお、研削装置１は粗研削手段３と仕上げ研削手段５との２つのみを備えるものに限定されず、例えば粗研削工程と仕上げ研削工程との間において中間研削を行う中間研削手段を備えるものであってもよい。そして、上記の研削方法は粗研削工程と仕上げ研削工程との間で該中間研削手段を用いてウェーハ１７を中間研削する中間研削工程を備えるものであってもよい。この場合、中間研削工程においても中間研削用の研削砥石の下面と保持面との間の傾斜を調整することが望ましい。

１：研削装置 １０：ベース １１：第１コラム １２：第２コラム
１７：ウェーハ １７０：上面 １７１：中心 １７２：中間部分 １７３：外周部分
１８：第１厚み測定手段 １９：第２厚み測定手段
１９１：中心部厚み測定手段 １９２：中間部厚み測定手段
１９３：外周部厚み測定手段
２：チャックテーブル ２０：吸引部 ２００：保持面 ２０１：中心 ２１：枠体
２４：保持面傾き変更手段
２２：支持台 ２２０：支持筒部 ２２１：フランジ部
２３：位置調整ユニット ２３０：筒部 ２３１：シャフト ２３２：駆動部
２３３：モータ ２３４：エンコーダ ２３５：固定部 ２３６：下部ナット
２３７：上部ナット
２５：軸心 ２６：回転手段 ２６０：モータ ２６２：駆動軸 ２６３：駆動プーリ
２６４：伝動ベルト ２６５：従動プーリ ２６６：従動軸
２６７：ロータリジョイント ２８：ビス ２９：ターンテーブル
３：粗研削手段 ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：粗研削ホイール ３４０：粗研削砥石 ３４１：ホイール基台
３４２：下面
４：粗研削送り手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板
５：仕上げ研削手段 ５０：スピンドル ５１：ハウジング
５２：スピンドルモータ ５３：マウント ５４：仕上げ研削ホイール
５４０：仕上げ研削砥石 ５４１：ホイール基台 ５４２：下面
６：仕上げ研削送り手段 ６０：ボールネジ ６１：ガイドレール
６２：Ｚ軸モータ
７０１：第１カセット ７０２：第２カセット ７１：ロボット
７２：位置合わせ手段 ７２０：仮置き領域
７３：スピンナ洗浄手段 ７３０：洗浄領域
７４：搬入手段 ７５：搬出手段 ８１：粗研削砥石軌跡 ８２：仕上げ研削砥石軌跡
９：制御部

Claims (3)

1. 円錐面の保持面にウェーハを保持させるチャックテーブルを該保持面の中心を軸に回転させる保持手段と、環状の粗研削砥石をウェーハの中心を通過させウェーハの半径エリアに接触させウェーハを研削する粗研削手段と、環状の仕上げ研削砥石をウェーハの中心を通過させウェーハの半径エリアに接触させウェーハを研削する仕上げ研削手段と、該粗研削手段、該仕上げ研削手段の順に該保持手段を位置づけ可能な位置づけ手段と、該保持面の傾きを変更する保持面傾き変更手段と、を備える研削装置を用いたウェーハの研削方法であって、
   ウェーハを該保持面に保持させる保持工程と、
   該保持面傾き変更手段を用いて該粗研削砥石の下面に対する予め設定された所定の傾きに該保持面を傾けて、該粗研削砥石を用いて該保持面に保持されたウェーハを粗研削する粗研削工程と、
   該保持面傾き変更手段を用いて該仕上げ研削砥石の下面に対する予め設定された所定の傾きに該保持面を傾けて、該仕上げ研削砥石を用いて該保持面に保持されたウェーハを仕上げ研削する仕上げ研削工程と、からなるウェーハの研削方法。
2. 該粗研削工程で粗研削したウェーハに形成される円弧の粗研削砥石軌跡と、
   該仕上げ研削工程で仕上げ研削したウェーハに形成される円弧の仕上げ研削砥石軌跡と、を対称的な形状にする請求項１記載のウェーハの研削方法。
3. 該研削装置は、ウェーハの厚みを測定する厚み測定手段を備え、
   該仕上げ研削工程における該保持面の傾き調整は、該厚み測定手段を用いてウェーハの半径の複数箇所で厚みを測定する厚み測定工程を含み、
   該厚み測定工程で測定された複数の厚み値が次にウェーハを仕上げ研削した際に一致するよう傾きを調整する請求項１記載のウェーハの研削方法。

Images