JP2021190457A - ピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
12 粘着シート体
16、51、56 ステージ
17、52,58 スライド体
23 支持面
27 傾斜平面(反スライド体側テーパ面)
37 負圧室
54 窪み部
56 ステージ
62 ブロック体
M 変形防止手段
P ピックアップポジション
Q ボンディングポジション
R 受け体
Claims (10)
- 複数の矩形のチップが貼り付けられた粘着シート体から前記チップを剥離して分離するものであり、前記複数のチップのうち分離対象とするターゲットチップを順次剥離するピックアップ装置であって、
前記粘着シート体を介して前記ターゲットチップに隣接する隣接チップを支持する支持面を備え、隣接チップの辺のうち前記ターゲットチップに対向する対向辺に沿って凹部を前記支持面に形成し、前記ターゲットチップを剥離する時には、前記凹部が、前記粘着シート体から前記隣接チップに加わる力を緩和乃至打消しを可能とする負圧を作用する変形防止手段を構成することを特徴とするピックアップ装置。 - 負圧をかけることにより前記ターゲットチップと前記粘着シート体との間に剥離力を発生させる負圧室を備えることを特徴とする請求項1に記載のピックアップ装置。
- 前記支持面の凹部が前記負圧室に連通されていることを特徴とする請求項2に記載のピックアップ装置。
- 粘着シート体を介して前記ターゲットチップを支持する受け体を備え、前記受け体を移動させることにより、前記負圧室内の負圧によって前記粘着シート体と前記ターゲットチップ間の剥離を行うことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のピックアップ装置。
- 前記受け体は、前記粘着シート体が載置されるステージ上に配設され、前記粘着シート体に対して平行方向に移動可能となされたスライド体であって、前記受け体の移動によって、前記ターゲットチップと粘着シート体とを剥離することを特徴とする請求項4に記載のピックアップ装置。
- 前記受け体は、複数のチップが貼り付けられた前記粘着シート体が載置されるステージに配設され、前記粘着シート体に対して垂直方向に移動可能となされたブロック体であって、前記受け体の移動によって、前記ターゲットチップと粘着シート体とが剥離されることを特徴とする請求項4に記載のピックアップ装置。
- 前記ターゲットチップの剥離動作開始時に、前記受け体の上面より前記支持面の受け体対向面が低位置にあり、この高低差よりも前記受け体から凹部の反ターゲットチップ側の端縁部までの寸法を大きくしたことを特徴とする請求項4〜請求項6のいずれか1項に記載のピックアップ装置。
- 前記ステージ上の前記隣接チップに対応する領域に設けられ、前記ターゲットチップよりも深い所定の深さ位置から前記ターゲットチップから離れる方向に沿って上傾となる傾斜平面を備え、前記粘着シート体を介して隣接チップを前記傾斜平面に倣わせることを特徴とする請求項7に記載のピックアップ装置。
- 前記ステージは、前記ターゲットチップに対応する位置を中心として、前記隣接チップに対応する領域に設けられ、前記ターゲットチップと比較して所定の深さ位置から前記ターゲットチップから離れるいずれの方向に沿っても上傾となるよう配置された逆円錐台乃至逆円錐体形状の窪み部を備え、前記粘着シート体を介して隣接チップを前記窪み部の逆円錐台面に倣わせることを特徴とする請求項7に記載のピックアップ装置。
- 複数の矩形のチップが貼り付けられた粘着シート体から前記チップを剥離して分離するものであり、前記複数のチップのうち分離対象とするターゲットチップを順次剥離するピックアップ方法であって、
前記複数のチップのうち分離対象とするターゲットチップを剥離する時に、前記ターゲットチップに隣接する隣接チップに対して前記粘着シート体から加わる力を緩和乃至打消すようにターゲットチップを剥離していくことを特徴とするピックアップ方法。
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