JP5123357B2 - ダイボンダ及びピックアップ装置 - Google Patents
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Description
また、特許文献2では、ダイの中心部に行く程突き上げ高さを高くできる3つのブロックを設け、最も外側の外側ブロックの4コーナーに一体形成されダイのコーナー方向に突き出た突起を設け、3つのブロックを順次突き上げていく技術が開示されている。
また、本発明の第2の目的は、第1の目的を達成するピックアップ装置を用い、信頼性の高いダイボンダを提供することである。
さらに、本発明は、上記の目的を達成するために、第2の特徴に加え、ダイの4コーナー部分のうち少なくとも1つのコーナー部分に設けられていることを第3の特徴とする
また、本発明は、上記の目的を達成するために、第2の特徴に加え、2つの突き上げの駆動は、単一の駆動源で上下に駆動される作動体で駆動され、前記作動体の上昇時には前記2つの突き上げのうち一方を行い、前記作動体の下降時には前記下降を上昇に変える反転部を介して前記他方を行うことを第4の特徴とする。
さらに、本発明は、上記の目的を達成するために、第4の特徴に加え、前記他方は前記剥離起点を形成する前記突き上げであることを第5の特徴とする。
また、本発明によれば、上記のピックアップ方法またはピックアップ装置を用い、信頼性の高いダイボンダを提供できる。
図1は本発明の一実施形態であるダイボンダ10を上から見た概念図である。ダイボンダは大別してウエハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3とを有する。
ダイボンディング部3はプリフォーム部31とボンディングヘッド部32とを有する。プリフォーム部31はフレームフィーダ22により搬送されてきたワークにダイ接着剤を塗布する。ボンディングヘッド部32は、ピックアップ装置12からダイをピックアップして上昇し、ダイを平行移動してフレームフィーダ22上のボンディングポイントまで移動させる。そして、ボンディングヘッド部32はダイを下降させダイ接着剤が塗布されたワーク上にボンディングする。
剥離起点形成ピン部は、図4(b)に示すように、外側ブロック52の4つのコーナーの外側、即ちダイの4隅にそれぞれ設けられた4本の剥離起点形成ピン51と、剥離起点形成ピンを保持し、上下に移動可能なピン上下リンク55と、56aを支点に回転しピン上下リンク55を上下させるピン駆動リンク56とを有する。
ドーム本体58の上部には、ダイ4を吸着し保持する多くの吸着孔58aを具備するドームヘッド58bを有する。図4(b)ではブロック部の周囲に一列のみ示しているが、ピックアップ対象でないダイ4dを安定し保持するために複数列設けている。また、図4(b)に示すように、内側ブロック54と外側ブック52との隙間54v、並びに外側ブロック52とドームヘッド58bとの隙間52vを吸引しダイシングテープ16をブッロク部に側に保持している。
まず、図6(a)に示すように、剥離起点形成ピン51、外側ブロック52、内側ブロック54がドームヘッド58bの表面と同一平面を形成するようにし、ドームヘッド58bの吸着孔58aと、ブロック間の隙間52v、54vとによってダイシングテープ16を吸着する(ステップ1)。次に、コレット部40を下降させ、ピックアップするダイ4の上に位置決めし、吸引孔41v、42vによってダイ4を吸着する(ステップ2)。ステップ1,2により図6(a)に示す状態になり、このとき、駆動動作は、図7(a)に示すように、作動体53は剥離起点形成ピン51やブロック52、54を動作させないニュートラル状態である。このような状態で、コレット42の鍔42tから漏れがないかを空気流量を検出し、リークが正常な範囲に収まるまで吸引する(ステップ3)。
この突き上げでは、図6(b)に示すようにコレット42の鍔42tが若干変形し、空気の流入を防いでいる。本ステップにおいて、ステップ3と同様に空気流量を検出し、リークが正常な範囲に収まるまで吸引する(ステップ5)。
この結果、ピックアップミスを低減でき、信頼性の高いダイボンダまたはピックアップ方法を提供できる
図8(a)から図8(d)は、本発明の第2の実施形態である突き上げユニット50の構成と動作状態を示した図で、第1の実施形態の図7(a)から図7(d)に対応する図である。なお、図8において、第1の実施形態と同一の構造を有するものは同一符号を記す。
同方向部は、駆動軸57に連結されたタイミング制御プレート71と、前記タイミング制御プレート71との間に圧縮バネ72を有するピン駆動リンク73とを有する。また、ピン駆動リンクは、前記タイミング制御プレート71とによって、剥離起点形成ピン51を突き上げていない図8(a)に示すニュートラル状態を保持する為に保持プレート74を有する。
この結果、本発明の第2の実施形態においても、ピックアップミスを低減でき、信頼性の高いダイボンダまたはピックアップ方法を提供できる
図11は、本発明の第2の実施形態の突き上げユニット50に、鍔42tのないコレットに適用した例を示す図で、図10に対するステップを示したものである。
図11から分かるように、図11(b)に示す剥離起点形成ピン51を上昇させるステップにおいて若干コレットリークが大きくなる可能性があるもの、実処理では問題なく処理を行うことがきた。以上説明したように、コレット形状には関係なく本実施形態を適用できる。
3:ダイボンディング部 4:ダイ(半導体チップ)
10:ダイボンダ 11:ウエハカセットリフタ
12:ピックアップ装置 14:ウエハリング
15:エキスパンドリング 16:ダイシングテープ
17:支持リング 18:ダイアタッチフィルム
32:ボンディングヘッド部 40:コレット部
41:コレットホルダー 41v:コレットホルダーにおける吸着孔
42:コレット 42v:コレットにおける吸着孔
42t:コレットの鍔 50:突き上げユニット
51:剥離起点形成ピン 51a:剥離起点
51A:球状または丸みを帯びたローラ形状の磁石51A
51B:リニアモータで構成されたレール
52:外側ブロック
52b:1/2切替えバネ
52v:外側ブロックとドームヘッドとの隙間
53:作動体 54:内側ブロック
54v:内側ブロックと外側ブックとの隙間
55:ピン上下リンク 56:ピン駆動リンク
56a:ピン駆動リンクの回転支点 57:駆動軸
58:ドーム本体 58a:ドームヘッドにおける吸着孔
58b:ドームヘッド 59:ブロック本体
60:突き上げピン 61:ピンベース
71:タイミング制御プレート 72:圧縮バネ72
73:ピン駆動リンク 74:保持プレート。
Claims (3)
- ダイの周辺部のうちの所定部におけるダイシングフィルムを突き上げて剥離起点を形成する剥離起点形成手段と、前記所定部とは異なる部分の前記ダイシングフィルムを突き上げて前記ダイを前記ダイシングフィルムから剥離する剥離手段と、前記剥離起点形成手段の前記突き上げと前記剥離手段の前記突き上げとを別々に駆動する駆動手段を有する突き上げユニットと、
前記ダイを吸着するコレットと、
前記コレットで吸着され前記突き上げられた前記ダイを前記ダイシングフィルムから剥離して基板に装着するボンディングヘッドと、を有し、
前記剥離起点形成手段は前記剥離起点を形成するピンを有し、
前記所定部は前記ダイの4コーナー部分のうち少なくとも1つのコーナー部分に設けられており、
前記駆動手段は、単一の駆動源で上下に駆動される作動体を有し、前記作動体の上昇時には前記剥離手段の前記突き上げを行い、前記作動体の下降時には前記下降を上昇に変
える反転部を介して前記剥離起点形成手段の前記突き上げを行うことを特徴とするダイボンダ。 - 前記反転部は前記所定部の前記ピン単位に設けられ、前記駆動手段は前記作動体を回転させる駆動源を有し、前記作動体は、前記反転部を駆動するための突起部を有し、順次前記反転部を駆動することを特徴とする請求項1に記載のダイボンダ。
- ウエハリングを保持するエキスパンドリングと、
前記ウエハリングに保持され複数のダイが貼り付けられたダイシングフィルムを保持する保持手段と、
前記ダイの周辺部のうちの所定部におけるダイシングフィルムを突き上げて剥離起点を形成する剥離起点形成手段と、前記所定部とは異なる部分の前記ダイシングフィルムを突き上げて前記ダイを前記ダイシングフィルムから剥離する剥離手段と、前記剥離起点形成手段の前記突き上げと前記剥離手段の前記突き上げとを別々に駆動する駆動手段を有する突き上げユニットと、を有し、
前記剥離起点形成手段は前記剥離起点を形成するピンを有し、
前記駆動手段は、単一の駆動源で上下に駆動される作動体を有し、前記作動体の上昇時には前記2つの突き上げのうち一方を行い、前記作動体の下降時には前記下降を上昇に変える反転部を介して前記他方を行い、
前記他方は前記剥離起点形成手段の前記突き上げであることを特徴とするピックアップ装置。
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