JP2021173791A - 光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態にかかる薄膜LN光変調器を示す平面図、図2は、実施の形態にかかる薄膜LN光変調器の断面図である。図2は、図1のA−A’線断面図を示す。実施の形態では、光導波路デバイスとして薄膜LN光変調器100を例に説明する。
図7は、実施の形態と対比用の従来の薄膜LN光変調器の構成例の断面図である。図7において、実施の形態と同様の構成部には同じ符号を付してある。従来の薄膜LN光変調器700では、バッファ層123の凹部123a上に電極111を配置している。
前記光導波路を中心とした両側部に配置された電極を有し、
前記電極の底面が、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けられたことを特徴とする光導波路デバイス。
前記光導波路を中心とした両側部に配置された電極を有し、
前記電極の底面が、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けられたことを特徴とする光導波路デバイス。
前記中間層上にXcutニオブ酸リチウムの薄膜LN層を積層し、
前記薄膜LN層にリッジ形状の光導波路を形成し、
前記光導波路を含む前記薄膜LN層上にバッファ層を積層し、
前記光導波路を中心とした両側部に電極を形成する、光導波路デバイスの製造方法において、
前記電極の底面を、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けることを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
前記バッファ層内部にXcutニオブ酸リチウムからなる矩形コアの光導波路を形成し、
前記光導波路を中心とした両側部に電極を形成する、光導波路デバイスの製造方法において、
前記電極の底面を、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けることを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。
101〜104,122a 光導波路
111 電極
111b 底面(電極)
120 基板
121 中間層
121b,122b,123b 段差部
122 薄膜LN層
123 バッファ層
123a 凹部
Claims (9)
- 基板上に、中間層、Xcutニオブ酸リチウムの薄膜LN層、バッファ層が積層され、前記薄膜LN層にリッジ形状の光導波路が形成された光導波路デバイスにおいて、
前記光導波路を中心とした両側部に配置された電極を有し、
前記電極の底面が、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けられたことを特徴とする光導波路デバイス。 - 前記電極の底面は、前記バッファ層の内部の所定深さ位置の段差部上に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路デバイス。
- 前記電極の底面は、前記バッファ層の表面から前記薄膜LN層の内部に達する所定深さ位置の段差部上に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路デバイス。
- 前記電極の底面は、前記バッファ層の表面から前記中間層の内部に達する所定深さ位置の段差部上に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の光導波路デバイス。
- 前記薄膜LN層に形成される前記光導波路の前記リッジ形状に対応して、前記薄膜LN層に積層する前記バッファ層に生じる凹部が平坦化されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の光導波路デバイス。
- 基板上に、バッファ層が積層され、前記バッファ層内部にXcutニオブ酸リチウムからなる矩形コアの光導波路が形成された光導波路デバイスにおいて、
前記光導波路を中心とした両側部に配置された電極を有し、
前記電極の底面が、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けられたことを特徴とする光導波路デバイス。 - 基板上に中間層を積層し、
前記中間層上にXcutニオブ酸リチウムの薄膜LN層を積層し、
前記薄膜LN層にリッジ形状の光導波路を形成し、
前記光導波路を含む前記薄膜LN層上にバッファ層を積層し、
前記光導波路を中心とした両側部に電極を形成する、光導波路デバイスの製造方法において、
前記電極の底面を、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けることを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。 - 基板上に、バッファ層を積層し、
前記バッファ層内部にXcutニオブ酸リチウムからなる矩形コアの光導波路を形成し、
前記光導波路を中心とした両側部に電極を形成する、光導波路デバイスの製造方法において、
前記電極の底面を、前記バッファ層の表面の位置よりも低い位置に設けることを特徴とする光導波路デバイスの製造方法。 - 前記光導波路の形状に対応して、前記バッファ層に生じる凹部を削り、前記バッファ層の表面を平坦化したことを特徴とする請求項7または8に記載の光導波路デバイスの製造方法。
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