JP2021140177A - 光学フィルタおよび撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(i−1)波長420〜1150nmの分光透過率曲線において、波長660〜750nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する。
(i−2)前記波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が10〜40%の範囲内である。
(i−3)波長600nmの光の透過率が80%以上であり、波長650nmの光の透過率が55%以上である。
(ii−1)波長720〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
(ii−2)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλR(0°_T50%)とすると、λSh(DA_T50%)+20nm≦λR(0°_T50%)<λLo(DA_T50%)である。(ただし、λSh(DA_T50%)は、波長650nm〜λ(DA_Tmin)において吸収層の透過率が50%となる波長であり、λLo(DA_T50%)は、波長λ(DA_Tmin)〜1150nmにおいて吸収層の透過率が50%となる波長である。)
(ii−3)波長680〜750nmにおいて、入射角30°の光の透過率が50%となる波長をλR(30°_T50%)とすると、前記λR(0°_T50%)とλR(30°_T50%)との差δλRSh(T50%)は、0nm<δλRSh(T50%)≦25nmである。
(i−4)吸収極大波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が10%のときの分光透過率曲線において、
λLo(DA_T50%)−λSh(DA_T50%)≦50nmである。
Xは、独立して1つ以上の水素原子が炭素数1〜12のアルキル基またはアルコキシ基で置換されていてもよい下記式(1)または式(2)で示される2価の有機基である。
−(CH2)n1− …(1)
式(1)中n1は、2または3である。
−(CH2)n2−O−(CH2)n3− …(2)
式(2)中、n2とn3はそれぞれ独立して0〜2の整数であり、n2+n3は1または2である。
R1は、独立して飽和環構造を含んでもよく、分岐を有してもよい炭素数1〜12の飽和もしくは不飽和炭化水素基、炭素数3〜12の飽和環状炭化水素基、炭素数6〜12のアリール基または炭素数7〜13のアルアリール基を示す。
R2およびR3は、独立して水素原子、ハロゲン原子、または、炭素数1〜10のアルキル基もしくはアルコキシ基を示す。
R4は、独立して1つ以上の水素原子がハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、スルホ基、またはシアノ基で置換されていてもよく、炭素原子間に不飽和結合、酸素原子、飽和もしくは不飽和の環構造を含んでよい、少なくとも1以上の分岐を有する炭素数5〜25の炭化水素基である。〕
(3)波長600nm以上において、入射角0°の光の透過率が50%となる波長と、入射角30°の光の透過率が50%となる波長との差の絶対値が、5nm以下である。該波長差の絶対値は4nm以下がより好ましく、2nm以下が特に好ましい
波長λで入射角θの光に対する光学フィルタの透過率をT(λ、θ)と記すと、波長λで入射角0°と30°の透過率差の絶対値△t(λ)は|T(λ、0°)−T(λ、30°)|で示される。すなわち、△Tは以下の計算式で示される。
△T={△t(650)+△t(660)+△t(670)+△t(680)+△t(690)+△t(700)+△t(710)+△t(720)}/8
(6)入射角0°〜30°の分光透過率曲線において、波長720〜1150nmの光の平均透過率が5%以下である。該平均透過率は、好ましくは3%以下、より好ましくは1%以下である。
吸収層は、NIR吸収剤を含み、(i−1)〜(i−3)の要件を満たす。
(i−1)波長420〜1150nmの分光透過率曲線において、波長660〜750nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する。
(i−2)前記波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が10〜40%の範囲内である。
(i−3)波長600nmの光の透過率が80%以上であり、波長650nmの光の透過率が55%以上である。
(i−1)は、吸収層における吸収極大波長λ(DA_Tmin)の規定であり、これは、吸収層に含まれるNIR吸収剤の吸収極大波長による。
Xは、独立して1つ以上の水素原子が炭素数1〜12のアルキル基またはアルコキシ基で置換されていてもよい下記式(1)または式(2)で示される2価の有機基である。
−(CH2)n1− …(1)
式(1)中n1は、2または3である。
−(CH2)n2−O−(CH2)n3− …(2)
式(2)中、n2とn3はそれぞれ独立して0〜2の整数であり、n2+n3は1または2である。
R1は、独立して飽和環構造を含んでもよく、分岐を有してもよい炭素数1〜12の飽和もしくは不飽和炭化水素基、炭素数3〜12の飽和環状炭化水素基、炭素数6〜12のアリール基または炭素数7〜13のアルアリール基を示す。
R2およびR3は、独立して水素原子、ハロゲン原子、または、炭素数1〜10のアルキル基もしくはアルコキシ基を示す。
R4は、独立して1つ以上の水素原子がハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、スルホ基、またはシアノ基で置換されていてもよく、炭素原子間に不飽和結合、酸素原子、飽和もしくは不飽和の環構造を含んでよい、少なくとも1以上の分岐を有する炭素数5〜25の炭化水素基である。
上記のように、吸収層のみで不十分な遮光性を改善するため、本フィルタは、以下の(ii−1)〜(ii−3)の要件を満たす反射層を併用する。反射層は、可視光を透過し、近紫外光および近赤外光の遮光性を向上させる機能を備えるので、本フィルタを備えた撮像装置では、固体撮像素子が可視光のみ有効に検知できる。
(ii−2)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλR(0°_T50%)とすると、λSh(DA_T50%)+20nm≦λR(0°_T50%)<λLo(DA_T50%)である。(ただし、λSh(DA_T50%)は、波長650nm〜λ(DA_Tmin)の光において吸収層の透過率が50%となる波長であり、λLo(DA_T50%)は、波長λ(DA_Tmin)〜1150nmにおいて吸収層の透過率が50%となる波長である。)
(ii−3)波長680〜750nmにおいて、入射角30°の光に対する透過率が50%となる波長をλR(30°_T50%)とすると、前記λR(0°_T50%)とλR(30°_T50%)との差δλRSh(T50%)は、0nm<δλRSh(T50%)≦25nmである。
(ii−4)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光の透過率が20%となる波長をλR(0°_T20%)とし、入射角30°の光の透過率が20%となる波長をλR(30°_T20%)とすると、λR(0°_T20%)とλR(30°_T20%)との差δλRSh(T20%)は、0nm<δλRSh(T20%)≦22nmである。
δλRSh(T20%)は、20nm以下が好ましく、15nm以下がより好ましい。
本フィルタに透明基板を用いる場合、透明基板は、略400〜700nmの可視光を透過すれば、構成する材料は特に制限されず、近赤外光や近紫外光を吸収する材料でもよい。例えば、ガラスや結晶等の無機材料や、透明樹脂等の有機材料が挙げられる。また、透明基板の形状も特に限定されず、ブロック状、板状、フィルム状でもよく、それの厚さは、例えば、0.03〜5mmが好ましく、薄型化の観点からは、0.03〜0.5mmがより好ましい。また、透明基板は、光学フィルタとしての光学特性、機械特性等の長期にわたる信頼性に係る形状安定性の観点、フィルタ製造時のハンドリング性等から無機材料が好ましい。加工性の観点から、板厚0.05〜0.5mmのガラスが好ましい。
反射防止層は、吸収層の表面に形成される場合、空気と、吸収層との界面で屈折率差に応じて生じる4%程度のフレネル反射損失を、略400〜700nm可視域全域における入射角0°〜30°の入射光に対し、略1.5%以下の反射率に低減する機能が得られる構成が好ましい。
図1Cに示す光学フィルタ30を製造する。
屈折率1.52で厚さ200μmのホウケイ酸ガラスD263Teco(ショット社)からなる透明基板13の片面に、NIR吸収剤(DA)としてスクアリリウム系化合物(A1)と、UV吸収剤(DU)としてSDA3382とを含む吸収層11を形成する。なお、本例で用いたスクアリリウム系化合物(A1)は、図2Aの特性を示すスクアリリウム系化合物(A1)を用いる。
まず、入射角/偏光依存性によるシフト量を低減するため、設計波長λ0=700nmでnH=2.37のTiO2とnL=1.46のSiO2とが交互に積層された多層膜構成を前提に、隣り合うTiO2/SiO2単位屈折率層の光学膜厚の和(nHdH+nLdL)をλ0/2に、光学膜厚比(nHdH/nLdL)を6.0に設定した(設計A)。
まず、波長750〜1150nmにおいて反射帯が生じるよう、設計波長λ0=950nmに対し、TiO2とSiO2を交互積層し、に光学膜厚nHdHおよびnLdLが略λ0/4となる34層構成とした(設計A’)。
実施例2は、実施例1において、NIR吸収剤(DA)としてEpolin社のEpolightTM6084を用い、他の構成は同じとした図1Cに示す光学フィルタ30を製造する。ここで、波長λ(DA_Tmin)≒695nmの光の透過率は略23%で、波長域410〜610nmの光の透過率(空気界面の反射をゼロと仮定)が80%以上、波長域400〜670nmの光の透過率が50%以上、波長650nmの光の透過率は略64%と55%以上である。すなわち、吸収層11は、(i−1)〜(i−3)の要件を満たしている。
実施例3は、実施例1において、NIR吸収剤(DA)としてQCR社のNIR728Aを用い、他の構成は同じとした図1Cに示す光学フィルタ30を製造する。ここで、波長λ(DA_Tmin)≒730nmの光の透過率は略22%で、波長域410〜620nmの光の透過率(空気界面の反射をゼロと仮定)が80%以上、波長域400〜670nmの光の透過率が50%以上、波長650nmの光の透過率は略64%で55%以上である。すなわち、吸収層11は、(i−1)〜(i−3)の要件を満たしている。
実施例1〜3の第1の反射層12aに代えて、入射角0°の波長718〜996nmの近赤外光に対して透過率5%以下の反射帯を有する(波長870nmで平均が1/4光学膜厚相当の誘電体多層膜からなる)第1の反射層12cとする。そして、第2の反射層12bに代えて、入射角0°の波長350〜388nmの紫外域および波長862nm〜1150nmの近赤外域に反射帯を有する(波長1014nmで平均が1/4光学膜厚相当の誘電体多層膜からなる)第2の反射層12dとする。
反射層を第1の反射層12cおよび第2の反射層12dに変更した以外は実施例1と同じ構成の光学フィルタとする。そして、分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°)の計算結果を図6Aに示す。波長650〜720nmの遷移波長領域で入射角0°と30°の光の透過率変化量(波長と透過率で囲まれた分光透過率曲線相違面積に相当)が拡大し、入射角依存性が劣る。
比較例1に用いた第1の反射層12cおよび第2の反射層12dからなる反射層において、λR(0°_T50%)が略10nm短波長側にシフトして696nmとなるように多層膜の膜厚を調整する。具体的には、誘電体多層膜の各層の光学膜厚に0.986(=696/706)を乗じた光学膜厚に調整した。それ以外は実施例2と同じ構成の光学フィルタとする。そして、分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°)の計算結果を図6Bに示す。波長650〜720nmの遷移波長領域で入射角0°と30°の光の透過率変化量(上記比較例1に記載の面積に相当)が拡大し、入射角依存性が劣る。
比較例2と同じ反射層を用いた以外は実施例3と同じ構成の光学フィルタとする。そして、分光透過率曲線(入射角0°、入射角30°)の計算結果を図6Cに示す。波長650〜720nmの遷移波長領域で入射角0°と30°の光の透過率変化量(上記比較例1に記載の面積に相当)が拡大し、入射角依存性が劣る。
Claims (16)
- 近赤外吸収剤を含み下記(i−1)〜(i−4)の要件を満たす吸収層と、下記(ii−1)〜(ii−3)の要件を満たす誘電体多層膜からなる反射層と、を有する光学フィルタであって、
前記近赤外吸収剤が下記式(A1)で示されるスクアリリウム系化合物を含む、光学フィルタ。
(i−1)波長420〜1150nmの分光透過率曲線において、波長660〜750nmに吸収極大波長λ(DA_Tmin)を有する。
(i−2)前記波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が10〜40%の範囲内である。
(i−3)波長600nmの光の透過率が80%以上であり、波長650nmの光の透過率が55%以上である。
(ii−1)波長720〜1150nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が5%以下となる反射帯を有する。
(ii−2)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光に対する透過率が50%となる波長をλR(0°_T50%)とすると、λSh(DA_T50%)+20nm≦λR(0°_T50%)<λLo(DA_T50%)である。(ただし、λSh(DA_T50%)は、波長650nm〜λ(DA_Tmin)において吸収層の透過率が50%となる波長であり、λLo(DA_T50%)は、波長λ(DA_Tmin)〜1150nmにおいて吸収層の透過率が50%となる波長である。)
(ii−3)波長680〜750nmにおいて、入射角30°の光の透過率が50%となる波長をλR(30°_T50%)とすると、前記λR(0°_T50%)とλR(30°_T50%)との差δλRSh(T50%)は、0nm<δλRSh(T50%)≦25nmである。
(i−4)吸収極大波長λ(DA_Tmin)の光の透過率が10%のときの分光透過率曲線において、
λLo(DA_T50%)−λSh(DA_T50%)≦50nmである。
Xは、独立して1つ以上の水素原子が炭素数1〜12のアルキル基またはアルコキシ基で置換されていてもよい下記式(1)または式(2)で示される2価の有機基である。
−(CH2)n1− …(1)
式(1)中n1は、2または3である。
−(CH2)n2−O−(CH2)n3− …(2)
式(2)中、n2とn3はそれぞれ独立して0〜2の整数であり、n2+n3は1または2である。
R1は、独立して飽和環構造を含んでもよく、分岐を有してもよい炭素数1〜12の飽和もしくは不飽和炭化水素基、炭素数3〜12の飽和環状炭化水素基、炭素数6〜12のアリール基または炭素数7〜13のアルアリール基を示す。
R2およびR3は、独立して水素原子、ハロゲン原子、または、炭素数1〜10のアルキル基もしくはアルコキシ基を示す。
R4は、独立して1つ以上の水素原子がハロゲン原子、水酸基、カルボキシ基、スルホ基、またはシアノ基で置換されていてもよく、炭素原子間に不飽和結合、酸素原子、飽和もしくは不飽和の環構造を含んでよい、少なくとも1以上の分岐を有する炭素数5〜25の炭化水素基である。〕 - 前記反射層は、下記(ii−4)の要件を満たす請求項1に記載の光学フィルタ。
(ii−4)波長680〜750nmにおいて、入射角0°の光の透過率が20%となる波長をλR(0°_T20%)とし、入射角30°の光の透過率が20%となる波長をλR(30°_T20%)とすると、前記λR(0°_T20%)と前記λR(30°_T20%)との差δλRSh(T20%)は、0nm<δλRSh(T20%)≦22nmである。 - 波長420〜600nmにおける入射角0°の光および入射角30°の光の平均透過率が90%以上である、請求項1または請求項2に記載の光学フィルタ。
- 波長600nmにおける、入射角0°の光の透過率および入射角30°の光の透過率がいずれも80%以上である、請求項1〜3いずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 波長600nm以上において、入射角0°の光の透過率が50%となる波長と、入射角30°の光の透過率が50%となる波長との差の絶対値が、5nm以下である、請求項1〜4いずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 波長650〜720nmにおける10nm毎の入射角0°の光の透過率と入射角30°の光の透過率の差の絶対値の平均値ΔTが10%以下である、請求項1〜5いずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 波長350〜390nmにおける、入射角0°の光の平均透過率が5%以下である、請求項1〜6いずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 入射角0°〜30°の分光透過率曲線において、波長720〜1150nmの光の平均透過率が5%以下である、請求項1〜7いずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記誘電体多層膜は、屈折率が2以上の高屈折率層と屈折率が1.6以下の低屈折率層とからなる単位屈折率層が複数積層された構成であり、前記単位屈折率層の全層数が15以上、かつ前記単位屈折率層における前記高屈折率層の光学膜厚をnHdH、前記低屈折率層の光学膜厚をnLdLとしたとき、前記誘電体多層膜におけるnHdH/nLdL≧3を満足する単位屈折率層の層数が10以上である請求項1〜8いずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記吸収層はさらに、ジクロロメタンに溶解して測定される波長350〜600nmの分光透過率曲線において波長370〜405nmに吸収極大波長を有する近紫外吸収剤を含有する請求項1〜9のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記吸収層は、樹脂基板である請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- さらに、透明基板を有する請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記透明基板は、透明樹脂材料からなる請求項12に記載の光学フィルタ。
- 前記透明基板は、ガラス材料からなる請求項12に記載の光学フィルタ。
- 前記ガラス材料は、フツリン酸塩系ガラスまたはリン酸塩系ガラスにCuOを添加した吸収型ガラスである請求項14に記載の光学フィルタ。
- 請求項1〜15のいずれか1項に記載の光学フィルタを備えた撮像装置。
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