JP2008180844A - 吸収型多層膜片面ndフィルター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】樹脂フィルムから成る基板の入射側片面に透過光を減衰させる吸収型多層膜が設けられた吸収型多層膜片面NDフィルターであって、上記吸収型多層膜が誘電体膜層と金属膜層とを交互に積層させた4層以上の多層膜により構成され、吸収型多層膜における各層の膜厚を増減させて目標とする分光光学特性に近づける膜厚最適化手法として評価関数が用いられると共に、評価関数が最小の値になるように吸収型多層膜における各層の膜厚が選定され、かつ[入射側反射率]の値と[透過率×出射側反射率]の値がほぼ等しくなっていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
入射側の(反射光量Iin ref)=(入射光量Iin)×(入射側反射率Rin)の式、
出射側の(反射光量Iout ref)=(出射光量Iout)×(出射側反射率Rout)の式、および、(出射光量Iout)=(入射光量Iin)×(透過率Tout)の式から、
出射側の(反射光量Iout ref)=(入射光量Iin)×(透過率Tout)×(出射側反射率Rout)となり、
(入射側反射率Rin)=(透過率Tout)×(出射側反射率Rout)の条件を満たす吸収膜を膜厚最適化手法により求めればよいことが見出される。
樹脂フィルムから成る基板の入射側片面に、透過光を減衰させる吸収型多層膜が設けられた吸収型多層膜片面NDフィルターを前提とし、
上記吸収型多層膜が誘電体膜層と金属膜層とを交互に積層させた4層以上の多層膜により構成され、上記吸収型多層膜における各層の膜厚を増減させて目標とする分光光学特性に近づける膜厚最適化手法として数式(1)で示されるError Function(評価関数)が用いられると共に、Error Function(評価関数)が最小の値になるように吸収型多層膜における各層の膜厚が選定され、かつ、[入射側反射率]の値と[透過率×出射側反射率]の値がほぼ等しくなっていることを特徴とし、
請求項1記載の発明に係る吸収型多層膜片面NDフィルターを前提とし、
上記誘電体膜層がSiO2若しくはAl2O3またはこれ等の混合物から成り、金属膜層の空気側最外層が次層の金属膜層より厚くないことを特徴とする。
請求項1記載の発明に係る吸収型多層膜片面NDフィルターを前提とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1記載の発明に係る吸収型多層膜片面NDフィルターを前提とし、
請求項5に係る発明は、
請求項1記載の発明に係る吸収型多層膜片面NDフィルターを前提とし、
請求項1〜5のいずれかに記載の発明に係る吸収型多層膜片面NDフィルターを前提とし、
上記吸収型多層膜が、真空蒸着法、イオンビームスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法およびイオンプレーティング法から選択された成膜法により成膜されていることを特徴とする。
上記吸収型多層膜が誘電体膜層と金属膜層とを交互に積層させた4層以上の多層膜により構成され、上記吸収型多層膜における各層の膜厚を増減させて目標とする分光光学特性に近づける膜厚最適化手法として上記数式(1)で示されるError Function(評価関数)が用いられると共に、Error Function(評価関数)が最小の値になるように吸収型多層膜における各層の膜厚が選定され、かつ、[入射側反射率]の値と[透過率×出射側反射率]の値がほぼ等しくなっていることを特徴としている。
次に、実施例1と2に係る吸収型多層膜片面NDフィルター、および、比較例に係る吸収型多層膜両面NDフィルターの波長450nmにおける透過率、入射側反射率と出射側反射率を評価した。また、出射側反射率については、基板出射側から光を照射してその出射側反射パワーを測定すると共に、実際の使用状況に近づけるため、各NDフィルターに対して基板入射側から光を照射しかつNDフィルターを一度透過し減衰した光をAlミラーに入射し略100%反射させてほぼ完全にNDフィルターに戻すと共に基板出射側で反射された出射側反射率パワーの測定も実施した。
Claims (6)
- 樹脂フィルムから成る基板の入射側片面に、透過光を減衰させる吸収型多層膜が設けられた吸収型多層膜片面NDフィルターにおいて、
上記吸収型多層膜が誘電体膜層と金属膜層とを交互に積層させた4層以上の多層膜により構成され、上記吸収型多層膜における各層の膜厚を増減させて目標とする分光光学特性に近づける膜厚最適化手法として数式(1)で示されるError Function(評価関数)が用いられると共に、Error Function(評価関数)が最小の値になるように吸収型多層膜における各層の膜厚が選定され、かつ、[入射側反射率]の値と[透過率×出射側反射率]の値がほぼ等しくなっていることを特徴とする吸収型多層膜片面NDフィルター。
- 上記誘電体膜層がSiO2若しくはAl2O3またはこれ等の混合物から成り、金属膜層の空気側最外層が次層の金属膜層より厚くないことを特徴とする請求項1記載の吸収型多膜層片面NDフィルター。
- 上記吸収型多層膜が、真空蒸着法、イオンビームスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法およびイオンプレーティング法から選択された成膜法により成膜されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の吸収型多層膜片面NDフィルター。
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