JP2021085747A - 試料表面切削方法、試験切片の作製方法、及び、試料表面切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、実施形態に係る試料表面切削方法、その試料表面切削方法を用いた試験切片の作製方法、及び、その試料表面切削方法を実施できる試料表面切削装置について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施形態の試料表面切削装置の断面構成図であり、図2は、本実施形態の試料表面切削装置の一部の斜視図である。
以下、図1、図2に示す試料表面切削装置1を用いた本実施形態の試料表面切削方法について、説明する。
以上に説明したように、本実施形態の試料表面切削方法によると、試料表面切削装置1の制御手段40を用いて、「切刃2を、縦方向(切削ラインの延びる方向)における前向き(切削方向)、及び、高さ方向における下向きに相対的に移動させて、試料3の表面を切削する」工程(D)と、「切刃2を高さ方向における上向きに移動させる」工程(E)と、「切刃2が先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に移動するように、試料台4を横方向に移動させる」工程(G)とを行う。このため、試料3の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが横方向に並ぶように自動で切削して試験切片を得ることが可能となる。従って、試料3の表面の切削中に作業者による操作が不要となるので、試料表面切削を簡単に行うことができる。
図9は、変形例1に係る試料表面切削方法における試料台4に対する切刃2の相対的な移動軌跡を示す図である。尚、図9は、試料3を上から見た軌跡を示し、図7に示す前記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。
図10は、変形例2に係る試料表面切削方法における試料台4に対する切刃2の相対的な移動軌跡を示す図である。尚、図10は、試料3を上から見た軌跡を示し、図7に示す前記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。
図11は、変形例3に係る試料表面切削方法における試料台4に対する切刃2の相対的な移動軌跡を示す図である。尚、図11は、試料3を上から見た軌跡を示し、図7に示す前記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。
前記実施形態では、試料表面切削装置1は、切刃2と試料台4とを相対的に移動させる駆動手段として、切刃2を縦方向に移動させる前後移動モータ12と、切刃2を高さ方向に移動させる垂直移動モータ18と、試料台4を横方向に移動させる左右移動モータ31とを有した。しかし、本発明では、切刃2と試料台4とは、少なくとも縦方向、横方向、高さ方向の3軸方向に相対的に移動可能であれば、切刃2及び試料台4のいずれが移動してもよい。
2 切刃
3 試料
4 試料台
10 本体部
11 切刃支持部
12 駆動手段(前後移動モータ)
13 縦方向ネジ切棒
14 支持台
15 縦方向変位計
16 縦方向摺動部材
17 縦方向案内軸
18 駆動手段(垂直移動モータ)
19 連結部
20 高さ方向ネジ切棒
21 ナット
22 垂直変位計
23 垂直方向案内軸
24 垂直方向摺動部材
25 垂直圧力検知器
26 縦方向圧力検知用摺動部材
27 横方向摺動部材
28 横方向案内軸
29 縦方向圧力検知器
30 本体支持部
31 駆動手段(左右移動モータ)
32 横方向ネジ切棒
35 縦方向圧力検知用案内軸
36 縦方向傾斜調整手段
37 横方向傾斜調整手段
38 縦横方向位置調整部材
40 制御手段
41 入力インタフェース
42 第1出力インタフェース
43 第2出力インタフェース
50 圧子
Claims (6)
- 試料表面切削装置によって平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが前記縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、前記試料から試験切片を取り出すための試料表面切削方法であって、
前記試料表面切削装置は、
切刃と、
前記試料を固定する試料台と、
前記切刃と前記試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、
前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、
前記切刃と前記試料台とは、前記縦方向、前記横方向、及び、前記試料の前記表面に対して垂直な高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記縦方向における前向き、及び、前記高さ方向における下向きに相対的に移動させることによって、前記試料の前記表面を切削する工程(D)と、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記高さ方向における上向きに相対的に移動させる工程(E)と、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記先の切削ライン上から前記後の切削ライン上まで相対的に移動させる工程(G)とを含む、試料表面切削方法。 - 前記工程(G)において、前記試料台に対して前記切刃を、前記先の切削ライン上から前記後の切削ライン上まで前記横方向に相対的に移動させ、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記縦方向における後向きに相対的に移動させる工程(F)をさらに含み、
前記工程(D)、前記工程(E)、前記工程(F)、前記工程(G)の順番に、又は、前記工程(D)、前記工程(E)、前記工程(G)、前記工程(F)の順番に、切削動作を繰り返す、請求項1に記載の試料表面切削方法。 - 前記駆動手段は、前記切刃を前記縦方向に移動させる第1駆動手段と、前記切刃を前記高さ方向に移動させる第2駆動手段と、前記試料台を前記横方向に移動させる第3駆動手段とを有し、
前記工程(D)において、前記切刃が前記前向き及び前記下向きに移動し、
前記工程(E)において、前記切刃が前記上向きに移動し、
前記工程(G)において、前記試料台が前記横方向に移動する、請求項1又は2に記載の試料表面切削方法。 - 前記試料表面切削装置は、
前記試料の前記表面の傾斜を測定する傾斜測定手段と、
前記試料の前記表面の傾斜を調整する傾斜調整手段とをさらに備え、
前記工程(D)、前記工程(E)及び前記工程(G)よりも前に、
前記試料を前記試料台に固定する工程(A)と、
前記試料の前記表面の傾斜を測定する工程(B)と、
前記試料の前記表面の傾斜を調整する工程(C)とをさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料表面切削方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料表面切削方法を用いて、前記試料の前記表面を切削した後に、前記試験切片を回収する工程を含む、試験切片の作製方法。
- 平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが前記縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、前記試料から試験切片を取り出すための試料表面切削装置であって、
切刃と、
前記試料を固定する試料台と、
前記切刃と前記試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、
前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、
前記切刃と前記試料台とは、前記縦方向、前記横方向、及び、前記試料の前記表面に対して垂直な高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、
前記制御手段に、
前記試料台に対して前記切刃を、前記縦方向における前向き、及び、前記高さ方向における下向きに相対的に第1の距離だけ移動させる第1の指令と、
前記試料台に対して前記切刃を、前記高さ方向における上向きに相対的に第2の距離だけ移動させる第2の指令と、
前記試料台に対して前記切刃を、前記先の切削ライン上から前記後の切削ライン上まで相対的に第3の距離だけ移動させる第3の指令と
がプログラムされる、試料表面切削装置。
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JP2005114679A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Daipura Uintesu Kk | 試料分析方法および試料採取装置 |
JP2011237366A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Daipla Wnres Co Ltd | 試料表層切削装置における試料設置方法および試料設置装置 |
US20150138532A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-21 | 3Scan Inc. | Motion strategies for scanning microscope imaging |
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