JP2021085747A

JP2021085747A - Sample surface cutting method, manufacturing method for test section, and sample surface cutting device

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Publication number: JP2021085747A
Application number: JP2019214550A
Authority: JP
Inventors: 智敏玉田; Tomotoshi Tamada; 上田　勉; Tsutomu Ueda; 勉上田; 琢磨藤井; Takuma Fujii
Original assignee: Takiron Co Ltd; Daipla Wintes Co Ltd
Current assignee: Takiron Co Ltd; Daipla Wintes Co Ltd
Priority date: 2019-11-27
Filing date: 2019-11-27
Publication date: 2021-06-03
Anticipated expiration: 2039-11-27
Also published as: JP7398254B2

Abstract

To provide a sample surface cutting method capable of automatizing the manufacturing of a test section.SOLUTION: A sample surface cutting device 1 comprises a cutting blade 2, a sample table 4 that fixes a sample 3, drive means 12, 18, 31 that relatively move the cutting blade 2 and the sample table 4, and control means 40 that controls the drive of the drive means 12 and the like. The sample surface cutting device uses the control means 40 to execute: a process of "cutting a surface of the sample by moving the cutting blade 2 relatively to the sample table 4 forward in a vertical direction and downward in a height direction"; a process of "moving the cutting blade 2 relatively to the sample table 4 upward in the height direction" and a process of "moving the cutting blade 2 relatively to the sample table 4 from a previous cutting line to a later cutting line".SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、試料の表面を切削することにより、試験切片を作製するための試料表面切削技術に関するものである。 The present invention relates to a sample surface cutting technique for producing a test section by cutting the surface of a sample.

各種試料の試験方法として、試料の表面を切削して薄い試験切片を作製し、当該試験切片を検査、観察する方法が知られている（例えば特許文献１）。このような試験切片の作製においては、目的とする切削対象範囲を高精度で正確に切削することが要求される。そのため、従来の試験切片作製は、専用の切削装置を使用した熟練作業者による手作業に委ねられることが多かった。 As a test method for various samples, a method is known in which the surface of a sample is cut to prepare a thin test section, and the test section is inspected and observed (for example, Patent Document 1). In the preparation of such a test section, it is required to cut the target cutting target range with high accuracy and accuracy. Therefore, the conventional test section preparation is often left to manual work by a skilled worker using a dedicated cutting device.

特開２００６−３３４７０３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-334703

しかし、近年、熟練作業者の減少に伴い、試験切片作製の自動化が望まれている。 However, in recent years, as the number of skilled workers has decreased, automation of test section preparation has been desired.

前記に鑑み、本発明は、試験切片作製の自動化を可能とする試料表面切削方法、その試料表面切削方法を用いた試験切片の作製方法、及び、その試料表面切削方法を実施できる試料表面切削装置を提供することを目的とする。 In view of the above, the present invention provides a sample surface cutting method that enables automation of test section preparation, a test section preparation method that uses the sample surface cutting method, and a sample surface cutting device that can carry out the sample surface cutting method. The purpose is to provide.

前記の目的を達成するために、本発明に係る試料表面切削方法は、試料表面切削装置によって平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、試料から試験切片を取り出すための試料表面切削方法であって、試料表面切削装置は、切刃と、試料を固定する試料台と、切刃と試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、切刃と試料台とは、縦方向、横方向、及び、試料の表面に対して垂直な高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに相対的に移動させることによって、試料の表面を切削する工程（Ｄ）と、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、高さ方向における上向きに相対的に移動させる工程（Ｅ）と、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に移動させる工程（Ｇ）とを含む。 In order to achieve the above object, in the sample surface cutting method according to the present invention, the surface of a flat plate-shaped sample is cut in the vertical direction by a sample surface cutting device, and the front cutting line and the rear cutting line are in the vertical direction. This is a sample surface cutting method for taking out a test section from a sample by cutting the test section a plurality of times so as to be aligned in a horizontal direction orthogonal to the above. The sample surface cutting device includes a cutting edge, a sample table for fixing the sample, and a sample table. A driving means for relatively moving the cutting edge and the sample table and a control means for controlling the driving of the driving means are provided, and the cutting edge and the sample table are provided with respect to the vertical direction, the horizontal direction, and the surface of the sample. The cutting edge is relatively movable in each of the vertical height directions, and the cutting edge is relatively moved forward in the vertical direction and downward in the height direction with respect to the sample table by using a control means. A step (D) of cutting the surface of the sample, a step (E) of moving the cutting edge relative to the sample table with respect to the sample table by using the control means, and a step (E) using the control means. The step (G) of moving the cutting edge relative to the sample table from the first cutting line to the second cutting line is included.

本発明に係る試料表面切削方法によると、試料表面切削装置の制御手段を用いて、「試料台に対して切刃を、縦方向（切削ラインの延びる方向）における前向き（切削方向）、及び、高さ方向における下向きに相対的に移動させて、試料の表面を切削する」工程（Ｄ）と、「試料台に対して切刃を、高さ方向における上向きに相対的に移動させる」工程（Ｅ）と、「試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に移動させる」工程（Ｇ）とを行う。このため、試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが横方向に並ぶように自動で切削して試験切片を得ることが可能となる。従って、試料表面の切削中に作業者による操作が不要となるので、試料表面切削を簡単に行うことができる。 According to the sample surface cutting method according to the present invention, using the control means of the sample surface cutting device, "the cutting edge is oriented forward (cutting direction) in the vertical direction (direction in which the cutting line extends) with respect to the sample table, and A step (D) of "cutting the surface of the sample by moving it relatively downward in the height direction" and a step of "moving the cutting edge relatively upward in the height direction with respect to the sample table" (D). E) and the step (G) of "moving the cutting edge relative to the sample table from the previous cutting line to the later cutting line" are performed. Therefore, it is possible to obtain a test section by cutting the surface of the sample in the vertical direction and automatically cutting the front cutting line and the rear cutting line so as to be aligned in the horizontal direction. Therefore, since no operation by an operator is required during cutting of the sample surface, the sample surface can be easily cut.

本発明に係る試料表面切削方法において、工程（Ｇ）において、試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで横方向に相対的に移動させ、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、縦方向における後向きに相対的に移動させる工程（Ｆ）をさらに含み、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｆ）、工程（Ｇ）の順番に、又は、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｇ）、工程（Ｆ）の順番に、切削動作を繰り返してもよい。このようにすると、試料の表面の切削が常に「縦方向における前向き」という単一の向きで行われるため、切削中に切刃の向きを変更する構成が不必要になるので、コストを抑制できる。また、切刃の移動動作が単純化されるため、複雑な切刃の移動動作を要する場合と比べて、切削精度を向上させることができる。 In the sample surface cutting method according to the present invention, in step (G), the cutting edge is moved relative to the sample table in the lateral direction from the upper cutting line to the later cutting line, and a control means is used. Further includes a step (F) of moving the cutting edge relative to the sample table in the vertical direction, in the order of step (D), step (E), step (F), and step (G). Alternatively, the cutting operation may be repeated in the order of step (D), step (E), step (G), and step (F). In this way, since the surface of the sample is always cut in a single direction of "forward in the vertical direction", it is not necessary to change the direction of the cutting edge during cutting, so that the cost can be suppressed. .. Further, since the moving operation of the cutting edge is simplified, the cutting accuracy can be improved as compared with the case where a complicated moving operation of the cutting edge is required.

本発明に係る試料表面切削方法において、駆動手段は、切刃を縦方向に移動させる第１駆動手段と、切刃を高さ方向に移動させる第２駆動手段と、試料台を横方向に移動させる第３駆動手段とを有し、工程（Ｄ）において、切刃が前向き及び下向きに移動し、工程（Ｅ）において、切刃が上向きに移動し、工程（Ｇ）において、試料台が横方向に移動してもよい。このようにすると、切刃の移動動作が、切削に必要な縦方向及び高さ方向の２軸方向のみに限定されるため、切刃を３軸方向に移動動作させる場合と比べて、装置の制御機構を簡素化することができるので、コストを抑制できる。 In the sample surface cutting method according to the present invention, the driving means include a first driving means for moving the cutting edge in the vertical direction, a second driving means for moving the cutting edge in the height direction, and moving the sample base in the horizontal direction. In the step (D), the cutting edge moves forward and downward, in the step (E), the cutting edge moves upward, and in the step (G), the sample table moves laterally. You may move in the direction. In this way, the moving operation of the cutting edge is limited to only the biaxial directions in the vertical direction and the height direction required for cutting. Therefore, as compared with the case where the cutting edge is moved in the triaxial direction, the apparatus Since the control mechanism can be simplified, the cost can be suppressed.

本発明に係る試料表面切削方法において、試料表面切削装置は、試料の表面の傾斜を測定する傾斜測定手段と、試料の表面の傾斜を調整する傾斜調整手段とをさらに備え、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）及び工程（Ｇ）よりも前に、試料を試料台に固定する工程（Ａ）と、試料の表面の傾斜を測定する工程（Ｂ）と、試料の表面の傾斜を調整する工程（Ｃ）とをさらに含んでいてもよい。このようにすると、試料の表面の傾斜を調整した上で自動切削を行うことができるので、切削精度を向上させることができる。 In the sample surface cutting method according to the present invention, the sample surface cutting apparatus further includes an inclination measuring means for measuring the inclination of the surface of the sample and an inclination adjusting means for adjusting the inclination of the surface of the sample. Prior to the steps (E) and (G), a step (A) of fixing the sample on the sample table, a step (B) of measuring the inclination of the surface of the sample, and a step of adjusting the inclination of the surface of the sample. (C) may be further included. In this way, automatic cutting can be performed after adjusting the inclination of the surface of the sample, so that the cutting accuracy can be improved.

本発明に係る試験切片の作製方法は、前述の本発明に係る試料表面切削方法を用いて、試料の表面を切削した後に、試験切片を回収する工程を含む。 The method for producing a test section according to the present invention includes a step of recovering the test section after cutting the surface of the sample using the above-mentioned method for cutting the surface of the sample according to the present invention.

本発明に係る試験切片の作製方法によると、本発明に係る試料表面切削方法を用いて、試料の表面を切削するため、試験切片作製を自動化することができる。また、本発明に係る試験切片の作製方法によれば、試料表面から一定の厚みの試験切片を多量に回収することが可能となるので、試料表面から一定の厚みまでの範囲を対象とする試料分析が容易になる。 According to the test section preparation method according to the present invention, the sample surface cutting method according to the present invention is used to cut the surface of the sample, so that the test section preparation can be automated. Further, according to the method for producing a test section according to the present invention, a large amount of a test section having a certain thickness can be recovered from the sample surface, so that the sample covers a range from the sample surface to a certain thickness. Easy to analyze.

本発明に係る試料表面切削装置は、平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、試料から試験切片を取り出すための試料表面切削装置であって、切刃と、試料を固定する試料台と、切刃と試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、切刃と試料台とは、縦方向、横方向、及び、試料の表面に対して垂直な高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、制御手段に、試料台に対して切刃を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに相対的に第１の距離だけ移動させる第１の指令と、試料台に対して切刃を、高さ方向における上向きに相対的に第２の距離だけ移動させる第２の指令と、試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に第３の距離だけ移動させる第３の指令とがプログラムされる。 The sample surface cutting apparatus according to the present invention cuts the surface of a flat plate-shaped sample in the vertical direction and cuts the surface of the flat sample a plurality of times so that the front cutting line and the rear cutting line are lined up in the horizontal direction orthogonal to the vertical direction. A sample surface cutting device for taking out a test section from a sample, the cutting edge, the sample table for fixing the sample, the driving means for relatively moving the cutting edge and the sample table, and the driving of the driving means. The cutting edge and the sample table can be moved relatively in the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction perpendicular to the surface of the sample. The first command to move the cutting edge with respect to the sample table by a first distance relative to the forward direction in the vertical direction and the downward direction in the height direction, and the height of the cutting edge with respect to the sample table. A second command to move the cutting edge upward by a second distance in the direction and a third command to move the cutting edge relative to the sample table from the previous cutting line to the later cutting line. A third command to cause is programmed.

本発明に係る試料表面切削装置によると、本発明に係る試料表面切削方法と同様に、試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが横方向に並ぶように自動で切削して試験切片を得ることが可能となる。従って、試料表面の切削中に作業者の操作が不要となるので、試料表面切削を簡単に行うことができる。 According to the sample surface cutting apparatus according to the present invention, similarly to the sample surface cutting method according to the present invention, the surface of the sample is cut in the vertical direction and the front cutting line and the rear cutting line are aligned in the horizontal direction. It is possible to obtain a test section by cutting automatically. Therefore, since no operator's operation is required during the cutting of the sample surface, the sample surface can be easily cut.

本発明によると、試験切片作製の自動化を可能とする試料表面切削方法、その試料表面切削方法を用いた試験切片の作製方法、及び、その試料表面切削方法を実施できる試料表面切削装置を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a sample surface cutting method that enables automation of test section preparation, a test section preparation method that uses the sample surface cutting method, and a sample surface cutting device that can carry out the sample surface cutting method. be able to.

実施形態に係る試料表面切削装置の断面構成図である。It is sectional drawing of the sample surface cutting apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削装置の一部の斜視図である。It is a perspective view of a part of the sample surface cutting apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削方法における試料表面の傾斜測定を説明する図である。It is a figure explaining the inclination measurement of a sample surface in the sample surface cutting method which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削方法における試料表面の傾斜測定を説明する図である。It is a figure explaining the inclination measurement of a sample surface in the sample surface cutting method which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削方法における試料表面の傾斜測定に用いる圧子の一例の斜視図である。It is a perspective view of an example of an indenter used for measuring the inclination of a sample surface in the sample surface cutting method which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削方法における試料台に対する切刃の相対的な移動方向を説明する図である。It is a figure explaining the relative moving direction of a cutting edge with respect to a sample table in the sample surface cutting method which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削方法における試料台に対する切刃の相対的な移動軌跡の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relative movement locus of a cutting edge with respect to a sample table in the sample surface cutting method which concerns on embodiment. 実施形態に係る試料表面切削方法における試料台に対する切刃の相対的な移動軌跡の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the relative movement locus of a cutting edge with respect to a sample table in the sample surface cutting method which concerns on embodiment. 変形例１に係る試料表面切削方法における試料台に対する切刃の相対的な移動軌跡を示す図である。It is a figure which shows the relative movement locus of a cutting edge with respect to a sample table in the sample surface cutting method which concerns on modification 1. FIG. 変形例２に係る試料表面切削方法における試料台に対する切刃の相対的な移動軌跡を示す図である。It is a figure which shows the relative movement locus of a cutting edge with respect to a sample table in the sample surface cutting method which concerns on modification 2. FIG. 変形例３に係る試料表面切削方法における試料台に対する切刃の相対的な移動軌跡を示す図である。It is a figure which shows the relative movement locus of a cutting edge with respect to a sample table in the sample surface cutting method which concerns on modification 3. FIG.

（実施形態）
以下、実施形態に係る試料表面切削方法、その試料表面切削方法を用いた試験切片の作製方法、及び、その試料表面切削方法を実施できる試料表面切削装置について、図面を参照しながら説明する。 (Embodiment)
Hereinafter, the sample surface cutting method according to the embodiment, the method for producing a test section using the sample surface cutting method, and the sample surface cutting device capable of carrying out the sample surface cutting method will be described with reference to the drawings.

＜試料表面切削装置＞
図１は、本実施形態の試料表面切削装置の断面構成図であり、図２は、本実施形態の試料表面切削装置の一部の斜視図である。 <Sample surface cutting device>
FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram of the sample surface cutting apparatus of the present embodiment, and FIG. 2 is a perspective view of a part of the sample surface cutting apparatus of the present embodiment.

図１、図２に示すように、本実施形態の試料表面切削装置１は、切刃２と、試料３を固定する試料台４と、切刃２と試料台４とを相対的に移動させる駆動手段１２、１８、３１と、駆動手段１２、１８、３１の駆動を制御する制御手段４０とを備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the sample surface cutting apparatus 1 of the present embodiment relatively moves the cutting edge 2, the sample table 4 for fixing the sample 3, and the cutting edge 2 and the sample table 4. The drive means 12, 18, 31 and the control means 40 for controlling the drive of the drive means 12, 18, 31 are provided.

切刃２は、本体部１０に保持された切刃支持部１１に支持される。切刃２は、本体部１０を挟んで切刃２の反対側に設けられた駆動手段（前後移動モータ）１２によって、本体部１０及び切刃支持部１１と共に縦方向（切削ラインの延びる方向）に移動可能である。前後移動モータ１２は、支持台１４を介して本体支持部３０上に設けられる。本体部１０は、本体支持部３０上を縦方向に移動できるように、縦方向摺動部材１６を挟んで、本体支持部３０上の縦方向案内軸１７上に設けられる。前後移動モータ１２は、縦方向ネジ切棒１３を通じて縦方向摺動部材１６と共に本体部１０を縦方向に移動させる。縦方向案内軸１７上には、切刃２の縦方向変位（縦方向移動距離）を測定するための縦方向変位計１５が設けられる。縦方向変位計１５としては、例えばレーザー式変位計、マイクロメータ等を用いる。 The cutting edge 2 is supported by the cutting edge support portion 11 held by the main body portion 10. The cutting edge 2 is provided in the vertical direction (direction in which the cutting line extends) together with the main body 10 and the cutting edge support 11 by a drive means (front-rear moving motor) 12 provided on the opposite side of the cutting edge 2 with the main body 10 interposed therebetween. It is possible to move to. The front-rear moving motor 12 is provided on the main body support portion 30 via the support base 14. The main body portion 10 is provided on the vertical guide shaft 17 on the main body support portion 30 with the vertical sliding member 16 interposed therebetween so that the main body portion 10 can move in the vertical direction on the main body support portion 30. The front-rear movement motor 12 moves the main body 10 in the vertical direction together with the vertical sliding member 16 through the vertical thread cutting rod 13. A vertical displacement meter 15 for measuring the vertical displacement (longitudinal moving distance) of the cutting edge 2 is provided on the vertical guide shaft 17. As the longitudinal displacement meter 15, for example, a laser displacement meter, a micrometer, or the like is used.

切刃２は、切刃支持部１１の上方に設けられた駆動手段（垂直移動モータ）１８によって、切刃支持部１１と共に高さ方向（試料３の表面に対して垂直な方向）に移動可能である。垂直移動モータ１８は、連結部１９を介して本体部１０に支持される。垂直移動モータ１８は、高さ方向ネジ切棒２０を通じて、本体部１０の側面上に設けられたナット２１を高さ方向に移動させ、当該ナット２１が切刃支持部１１と共に切刃２を高さ方向に移動させる。本体部１０には、ナット２１の高さ方向変位つまり切刃２の高さ方向変位（高さ方向移動距離）を測定するための垂直変位計２２が設けられる。垂直変位計２２としては、例えばスケール方式等の接触式変位計、マイクロメータ等を用いる。ナット２１は、本体部１０の側面上を高さ方向に移動できるように、本体部１０上の側面上の垂直方向案内軸２３上に、垂直方向摺動部材２４を挟んで設けられる。切刃支持部１１には、切刃２から試料３に高さ方向に印加される圧力（垂直方向圧力）を測定するための垂直圧力検知器２５が設けられる。 The cutting edge 2 can be moved together with the cutting edge support portion 11 in the height direction (direction perpendicular to the surface of the sample 3) by the driving means (vertical moving motor) 18 provided above the cutting edge support portion 11. Is. The vertical movement motor 18 is supported by the main body portion 10 via the connecting portion 19. The vertical movement motor 18 moves the nut 21 provided on the side surface of the main body 10 in the height direction through the thread cutting rod 20 in the height direction, and the nut 21 raises the cutting edge 2 together with the cutting edge support portion 11. Move in the vertical direction. The main body 10 is provided with a vertical displacement meter 22 for measuring the height displacement of the nut 21, that is, the height displacement (moving distance in the height direction) of the cutting edge 2. As the vertical displacement meter 22, for example, a contact type displacement meter such as a scale type, a micrometer, or the like is used. The nut 21 is provided on the vertical guide shaft 23 on the side surface of the main body 10 with the vertical sliding member 24 sandwiched so that the nut 21 can move on the side surface of the main body 10 in the height direction. The cutting edge support portion 11 is provided with a vertical pressure detector 25 for measuring the pressure (vertical pressure) applied in the height direction from the cutting edge 2 to the sample 3.

試料台４は、上から順に縦方向圧力検知用摺動部材２６、縦方向圧力検知用案内軸３５、縦方向傾斜調整手段３６、横方向傾斜調整手段３７、縦横方向位置調整部材３８、横方向摺動部材２７及び横方向案内軸２８を挟んで、本体支持部３０上に設けられる。ここで、「横方向」とは、「縦方向」及び「高さ方向」と直交する方向である。また、縦方向圧力検知用摺動部材２６は、切削時に切刃２から印加される荷重を縦方向圧力検知器２９に伝達するための部材であり、切刃２から印加される荷重に応じて縦方向圧力検知用案内軸３５に沿って摺動する。縦方向傾斜調整手段３６は、縦方向に試料台４の試料固定面を回転させる（回転軸は横方向に沿う）部材であり、具体的にはマイクロメータが使用できる。横方向傾斜調整手段３７は、横方向に試料台４の試料固定面を回転させる（回転軸は縦方向に沿う）部材であり、具体的にはマイクロメータが使用できる。縦横方向位置調整部材３８は、自動切削開始前に、試料台４を手動で移動させて切削開始位置にセッティングするための部材である。試料台４は、縦方向圧力検知用摺動部材２６、縦方向圧力検知用案内軸３５、縦方向傾斜調整手段３６、横方向傾斜調整手段３７及び縦横方向位置調整部材３８と共に、本体支持部３０上を横方向に移動できるように、本体支持部３０上の横方向案内軸２８上に、横方向摺動部材２７を挟んで設けられる。縦方向圧力検知用案内軸３５には、切刃２から試料３に縦方向に印加される圧力（縦方向圧力）を測定するための縦方向圧力検知器２９が設けられる。 From the top, the sample table 4 has a vertical pressure detecting sliding member 26, a vertical pressure detecting guide shaft 35, a vertical tilt adjusting means 36, a horizontal tilt adjusting means 37, a vertical and horizontal position adjusting member 38, and a horizontal direction. It is provided on the main body support portion 30 with the sliding member 27 and the lateral guide shaft 28 interposed therebetween. Here, the "horizontal direction" is a direction orthogonal to the "vertical direction" and the "height direction". Further, the sliding member 26 for longitudinal pressure detection is a member for transmitting the load applied from the cutting edge 2 to the longitudinal pressure detector 29 at the time of cutting, and is a member according to the load applied from the cutting edge 2. It slides along the vertical pressure detection guide shaft 35. The vertical inclination adjusting means 36 is a member that rotates the sample fixing surface of the sample table 4 in the vertical direction (the rotation axis is along the horizontal direction), and specifically, a micrometer can be used. The lateral inclination adjusting means 37 is a member that rotates the sample fixing surface of the sample table 4 in the lateral direction (the rotation axis is along the vertical direction), and specifically, a micrometer can be used. The vertical / horizontal position adjusting member 38 is a member for manually moving the sample table 4 to set it at the cutting start position before starting automatic cutting. The sample table 4 includes a main body support portion 30 together with a sliding member 26 for detecting vertical pressure, a guide shaft 35 for detecting vertical pressure, a vertical tilt adjusting means 36, a horizontal tilt adjusting means 37, and a vertical and horizontal position adjusting member 38. A lateral sliding member 27 is provided on the lateral guide shaft 28 on the main body support portion 30 so as to be movable in the lateral direction. The vertical pressure detection guide shaft 35 is provided with a vertical pressure detector 29 for measuring the pressure (longitudinal pressure) applied in the vertical direction from the cutting edge 2 to the sample 3.

試料台４は、横方向摺動部材２７の横方向側方に配置された駆動手段（左右移動モータ）３１によって、横方向に移動可能である。左右移動モータ３１は、横方向ネジ切棒３２を通じて、横方向摺動部材２７と共に試料台４を横方向に移動させる。 The sample table 4 can be moved in the lateral direction by a driving means (left-right moving motor) 31 arranged laterally in the lateral direction of the lateral sliding member 27. The left-right movement motor 31 moves the sample base 4 in the lateral direction together with the lateral sliding member 27 through the lateral thread cutting rod 32.

本実施形態の試料表面切削装置１においては、前後移動モータ１２、垂直移動モータ１８、左右移動モータ３１の駆動は、例えばパソコン等のコンピュータを備える制御手段４０によって自動的に制御される。制御手段４０は、入力インタフェース４１を通じて、縦方向変位計１５、縦方向圧力検知器２９、垂直変位計２２及び垂直圧力検知器２５で検出された情報を読み込み、当該情報に基づいて、第１出力インタフェース４２を通じて前後移動モータ１２及び垂直移動モータ１８の駆動を制御すると共に第２出力インタフェース４３を通じて左右移動モータ３１の駆動を制御する。 In the sample surface cutting device 1 of the present embodiment, the driving of the front-rear moving motor 12, the vertical moving motor 18, and the left-right moving motor 31 is automatically controlled by a control means 40 including a computer such as a personal computer. The control means 40 reads the information detected by the vertical displacement meter 15, the vertical pressure detector 29, the vertical displacement meter 22, and the vertical pressure detector 25 through the input interface 41, and outputs the first output based on the information. The drive of the front-rear moving motor 12 and the vertical moving motor 18 is controlled through the interface 42, and the driving of the left-right moving motor 31 is controlled through the second output interface 43.

制御手段４０は、切刃２の横方向変位（横方向移動距離）については、左右移動モータ３１への駆動指令の移動距離を用いてもよいし、別途、横方向移動距離を測定するための横方向変位計を設け、当該変位計で検出された情報を用いてもよい。また、制御手段４０は、切刃２の縦方向変位（縦方向移動距離）について、縦方向変位計１５で検出された情報に代えて、前後移動モータ１２への駆動指令の移動距離を用いてもよいし、切刃２の高さ方向変位（高さ方向移動距離）について、垂直変位計２２で検出された情報に代えて、垂直移動モータ１８への駆動指令の移動距離を用いてもよい。但し、試料３の切削時には、切刃２が試料３から受ける反力等により移動距離のブレが発生する可能性があるため、精度良く試料３を切削するためには、縦方向移動距離及び高さ方向移動距離については、変位計によって実際の移動距離を精密にモニタリングしながら、切削を行った方が良い。 The control means 40 may use the movement distance of the drive command to the left-right movement motor 31 for the lateral displacement (lateral movement distance) of the cutting edge 2, or separately for measuring the lateral movement distance. A lateral displacement meter may be provided and the information detected by the displacement meter may be used. Further, the control means 40 uses the moving distance of the drive command to the front-rear moving motor 12 instead of the information detected by the vertical displacement meter 15 for the vertical displacement (longitudinal moving distance) of the cutting edge 2. Alternatively, for the height displacement (height movement distance) of the cutting edge 2, the movement distance of the drive command to the vertical movement motor 18 may be used instead of the information detected by the vertical displacement meter 22. .. However, when cutting the sample 3, the movement distance may fluctuate due to the reaction force received by the cutting edge 2 from the sample 3, so that the vertical movement distance and the height are high in order to cut the sample 3 with high accuracy. Regarding the longitudinal movement distance, it is better to perform cutting while precisely monitoring the actual movement distance with a displacement meter.

制御手段４０においては、コンピュータがプログラムを実行することによって、各機能が実施される。具体的には、制御手段４０には、「試料台４に対して切刃２を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに相対的に第１の距離だけ移動させる」第１の指令と、「試料台４に対して切刃２を、高さ方向における上向きに相対的に第２の距離だけ移動させる」第２の指令と、「試料台４に対して切刃２を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に第３の距離だけ移動させる」第３の指令とが少なくともプログラムされる。ここで、第３の指令が、「試料台４に対して切刃２を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで横方向に相対的に第３の距離だけ移動させる」指令である場合、制御手段４０には、「試料台４に対して切刃２を、縦方向における後向きに相対的に第４の距離だけ移動させる」第４の指令がプログラムされていてもよい。ここで、「先の（後の）切削ライン上」には、実際に切削した（する）軌跡の上方のみでなく、その軌跡を延長した延長線上の上方も含まれるものとする。 In the control means 40, each function is executed by executing a program by a computer. Specifically, the control means 40 has a first "move the cutting edge 2 with respect to the sample table 4 by a first distance relative to the forward direction in the vertical direction and the downward direction in the height direction". The command and the second command "to move the cutting edge 2 relative to the sample table 4 by a second distance upward in the height direction" and "the cutting edge 2 to the sample table 4". At least a third command is programmed to "move a relative third distance from the first cutting line to the later cutting line." Here, the third command is a command to "move the cutting edge 2 relative to the sample table 4 by a third distance in the lateral direction from the upper cutting line to the later cutting line". In this case, the control means 40 may be programmed with a fourth command of "moving the cutting edge 2 relative to the sample table 4 in the rearward direction by a fourth distance". Here, it is assumed that "on the (rear) cutting line" includes not only the upper part of the actually cut locus but also the upper part on the extension line extending the locus.

尚、コンピュータは、プログラムに従って動作するプロセッサ、プログラムの実行に必要なデータを記憶するメモリ等を主なハードウェア構成として備える。プロセッサは、プログラムを実行することによって機能を実現することができれば、その種類は問わないが、例えば半導体集積回路（ＩＣ）又はＬＳＩ（large scale integration）を含む一つ又は複数の電子回路により構成されていてもよい。プログラムやデータは、コンピュータが読み取り可能なＲＯＭ、光ディスク、ハードディスクドライブなどの非一時的記録媒体に記録される。プログラムやデータは、記録媒体に予め格納されていてもよいし、インターネット等を含む広域通信網を介して記録媒体に供給されてもよい。 The computer is provided with a processor that operates according to the program, a memory that stores data necessary for executing the program, and the like as a main hardware configuration. A processor may be of any type as long as its function can be realized by executing a program, and is composed of one or a plurality of electronic circuits including, for example, a semiconductor integrated circuit (IC) or an LSI (large scale integration). You may be. Programs and data are recorded on non-temporary recording media such as computer-readable ROMs, optical discs, and hard disk drives. The program or data may be stored in a recording medium in advance, or may be supplied to the recording medium via a wide area communication network including the Internet or the like.

＜試料表面切削方法＞
以下、図１、図２に示す試料表面切削装置１を用いた本実施形態の試料表面切削方法について、説明する。 <Sample surface cutting method>
Hereinafter, the sample surface cutting method of the present embodiment using the sample surface cutting device 1 shown in FIGS. 1 and 2 will be described.

本実施形態の試料表面切削方法においては、まず、試料３を試料台４上に固定する工程（Ａ）を行う。例えば、試料台４は、試料３が載置される上面に試料吸引部（吸引孔）を有する箱状体からなり、当該箱状体の側部には吸引管（図示省略）が接続され、当該吸引管は真空ポンプ（図示省略）に接続されていてもよい。これにより、真空ポンプを動作させることにより、試料台４上において試料３が下方に吸引され、試料台４に試料３を固定することができる。このような固定方法に代えて、接着剤やホットメルト等を用いた化学的固定方法、又は、ボルト等を用いた物理的固定方法によって、試料３を試料台４上に固定してもよい。但し、固定精度や操作の簡便性の点では、前述の吸引固定が好ましい。 In the sample surface cutting method of the present embodiment, first, the step (A) of fixing the sample 3 on the sample table 4 is performed. For example, the sample table 4 is composed of a box-shaped body having a sample suction portion (suction hole) on the upper surface on which the sample 3 is placed, and a suction tube (not shown) is connected to the side portion of the box-shaped body. The suction pipe may be connected to a vacuum pump (not shown). As a result, by operating the vacuum pump, the sample 3 is sucked downward on the sample table 4, and the sample 3 can be fixed to the sample table 4. Instead of such a fixing method, the sample 3 may be fixed on the sample table 4 by a chemical fixing method using an adhesive, hot melt or the like, or a physical fixing method using a bolt or the like. However, the above-mentioned suction fixing is preferable from the viewpoint of fixing accuracy and ease of operation.

次に、試料３の表面の傾斜を測定する工程（Ｂ）を行う。工程（Ｂ）は、傾斜測定手段として、例えば、試料３の表面に接触させる圧子と、試料表面切削装置１における垂直変位計２２及び垂直圧力検知器２５とを用いて実施可能である。具体的には、切刃支持部１１に切刃２に代えて圧子を取り付け、圧子を試料３に接触させながら、垂直圧力検知器２５を用いて一定の荷重をかけた状態で圧子を動かし、垂直変位計２２を用いて圧子の変位を連続的に検出する。これによって、試料３の表面の高さ情報を取得することできるので、試料３の表面の傾斜を測定することができる。また、試料３の表面の複数箇所において、垂直変位計２２を用いて一定の高さ位置まで圧子を試料３の表面に押圧し、その際に圧子が受ける荷重を垂直圧力検知器２５を用いて検出してもよい。これによって、一定の高さ位置で受ける荷重を複数点で比較することができるので、試料３の表面の傾斜を測定することができる。 Next, the step (B) of measuring the inclination of the surface of the sample 3 is performed. The step (B) can be carried out by using, for example, an indenter that comes into contact with the surface of the sample 3 and a vertical displacement meter 22 and a vertical pressure detector 25 in the sample surface cutting device 1 as the inclination measuring means. Specifically, an indenter is attached to the cutting edge support portion 11 instead of the cutting edge 2, and the indenter is moved while applying a constant load using the vertical pressure detector 25 while bringing the indenter into contact with the sample 3. The displacement of the indenter is continuously detected by using the vertical displacement meter 22. As a result, the height information of the surface of the sample 3 can be acquired, so that the inclination of the surface of the sample 3 can be measured. Further, at a plurality of locations on the surface of the sample 3, the indenter is pressed against the surface of the sample 3 to a certain height position using the vertical displacement meter 22, and the load received by the indenter at that time is applied by the vertical pressure detector 25. It may be detected. As a result, the load received at a constant height position can be compared at a plurality of points, so that the inclination of the surface of the sample 3 can be measured.

尚、図３に示すように、傾斜測定時には、圧子を少なくとも縦方向（ａ）及び横方向（ｂ）の２方向に動かして傾斜測定を行うことが好ましく、傾斜測定精度をさらに向上させるためには、図４に示すように、圧子を縦方向（ａ）、横方向（ｂ）及び斜め方向（ｃ）の３方向に動かして傾斜測定を行うことがより好ましい。 As shown in FIG. 3, at the time of tilt measurement, it is preferable to move the indenter in at least two directions, the vertical direction (a) and the horizontal direction (b), to perform the tilt measurement, and in order to further improve the tilt measurement accuracy. More preferably, as shown in FIG. 4, the indenter is moved in three directions of the vertical direction (a), the horizontal direction (b), and the oblique direction (c) to perform the inclination measurement.

また、傾斜測定に用いる圧子の先端形状は、試料３と接触させた際に試料３を傷つけないように、曲面を有していることが好ましく、傾斜測定精度をさらに向上させるためには、圧子の先端形状は、球面状であることがより好ましい。図５は、傾斜測定に用いる圧子の一例の斜視図である。図５に示す圧子５０の先端５０ａの形状は球面状である。 Further, the tip shape of the indenter used for the inclination measurement is preferably curved so as not to damage the sample 3 when it comes into contact with the sample 3, and in order to further improve the inclination measurement accuracy, the indenter is used. The tip shape of is more preferably spherical. FIG. 5 is a perspective view of an example of an indenter used for tilt measurement. The shape of the tip 50a of the indenter 50 shown in FIG. 5 is spherical.

次に、試料３の表面の傾斜を調整する工程（Ｃ）を行う。例えば、縦方向に試料台４の試料固定面を回転させる（回転軸は横方向に沿う）マイクロメータ（つまり縦方向傾斜調整手段３６）と、横方向に試料台４の試料固定面を回転させる（回転軸は縦方向に沿う）マイクロメータ（つまり横方向傾斜調整手段３７）とを用いて、試料３の角度調整が可能である。或いは、マイクロメータに代えて、アクチュエータ等の傾斜調整手段を用いてもよい。工程（Ｃ）を実施した後に、再度、工程（Ｂ）の傾斜測定を行い、試料３の表面が水平に近づいたことを確認してもよい。 Next, the step (C) of adjusting the inclination of the surface of the sample 3 is performed. For example, a micrometer (that is, the vertical inclination adjusting means 36) that rotates the sample fixing surface of the sample table 4 in the vertical direction (the rotation axis is along the horizontal direction) and the sample fixing surface of the sample table 4 are rotated in the horizontal direction. The angle of the sample 3 can be adjusted by using a micrometer (that is, the lateral inclination adjusting means 37) (the rotation axis is along the vertical direction). Alternatively, instead of the micrometer, an inclination adjusting means such as an actuator may be used. After performing the step (C), the inclination measurement of the step (B) may be performed again to confirm that the surface of the sample 3 is close to horizontal.

以上の工程（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を行った後、試料表面切削装置１の切刃２による切削動作を開始する。図６は、試料台４に対する切刃２の相対的な移動方向を説明する図である。本実施形態では、試料台４に対して切刃２は、図６に示す３軸方向に沿って、つまり、切削ラインの延びる方向である縦方向、縦方向と直交する横方向（先の切削ラインと後の切削ラインとが並ぶ方向）、及び、高さ方向（試料３の表面に対して垂直な方向）のそれぞれに沿って、相対的に移動可能である。尚、縦方向のうち切削方向を「前向き」、その反対方向を「後向き」と称する。 After performing the above steps (A), (B), and (C), the cutting operation by the cutting edge 2 of the sample surface cutting device 1 is started. FIG. 6 is a diagram illustrating a relative moving direction of the cutting edge 2 with respect to the sample table 4. In the present embodiment, the cutting edge 2 has the cutting edge 2 with respect to the sample table 4 along the three-axis direction shown in FIG. It is relatively movable along each of the direction in which the line and the subsequent cutting line are lined up) and the height direction (direction perpendicular to the surface of the sample 3). Of the vertical directions, the cutting direction is referred to as "forward" and the opposite direction is referred to as "backward".

切削動作を開始する際に、作業者は、まず、制御手段４０に対して、切削回数、縦方向の切削距離、高さ方向の切り込み深さ、及び、横方向の移動距離を設定する。横方向の移動距離は、切刃２の刃幅に合わせて設定されるが、横方向の移動距離を切刃２の刃幅と同等以下に設定すると、先の切削ラインと後の切削ラインとが一部重なるか又は隙間無く並列するので、試料３の表面から無駄なく試験切片を取り出すことができる。 When starting the cutting operation, the operator first sets the number of cuttings, the cutting distance in the vertical direction, the cutting depth in the height direction, and the moving distance in the horizontal direction for the control means 40. The lateral movement distance is set according to the blade width of the cutting blade 2, but if the lateral movement distance is set to be equal to or less than the blade width of the cutting blade 2, the front cutting line and the rear cutting line are set. Can be taken out from the surface of the sample 3 without waste because the test sections are partially overlapped or arranged in parallel without gaps.

次に、制御手段４０が前後移動モータ１２及び垂直移動モータ１８を駆動して、切刃２を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに移動させることによって、試料３の表面を自動切削する工程（Ｄ）を行う。具体的には、試料３が固定された試料台４を切削開始位置にセッティングした段階では、切刃２と試料３とは、高さ方向に離間しているので、まず、制御手段４０が垂直移動モータ１８を駆動して、切刃２を高さ方向における下向きに移動させて、試料３の表面における切削開始位置に切刃２を接触させる。この接触操作は、例えば垂直方向に切刃２を任意に移動させる機構を設けて、手動で行ってもよい。また、試料３と切刃２との接触確認は、例えば垂直圧力検知器２５を用いて試料３と切刃２との接触を確認するか、或いは、試料３と切刃２とをビデオカメラ等で撮影しパソコン等に拡大表示することによって、試料３と切刃２との距離を作業者が目視で確認しながら行ってもよい。続いて、制御手段４０が前後移動モータ１２及び垂直移動モータ１８を駆動して、設定した切り込み深さの位置に切刃２が達するまで、切刃２を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに移動させる。続いて、切刃２が、設定した切り込み深さの位置に達すると、制御手段４０は前後移動モータ１２のみを駆動して、切刃２を高さ方向には変位させずに、設定した切削距離の位置まで切刃２を縦方向のみに変位させながら切削動作を行う。 Next, the control means 40 drives the front-rear moving motor 12 and the vertical moving motor 18 to move the cutting edge 2 forward in the vertical direction and downward in the height direction, thereby automatically moving the surface of the sample 3 in the vertical direction. Perform the cutting step (D). Specifically, at the stage where the sample table 4 to which the sample 3 is fixed is set at the cutting start position, the cutting edge 2 and the sample 3 are separated in the height direction, so that the control means 40 is vertical first. The moving motor 18 is driven to move the cutting edge 2 downward in the height direction so that the cutting edge 2 comes into contact with the cutting start position on the surface of the sample 3. This contact operation may be performed manually, for example, by providing a mechanism for arbitrarily moving the cutting edge 2 in the vertical direction. Further, to confirm the contact between the sample 3 and the cutting edge 2, for example, the contact between the sample 3 and the cutting edge 2 is confirmed by using the vertical pressure detector 25, or the sample 3 and the cutting edge 2 are connected to each other by a video camera or the like. The operator may visually check the distance between the sample 3 and the cutting edge 2 by taking a picture of the sample and displaying it on a personal computer or the like. Subsequently, the control means 40 drives the front-rear moving motor 12 and the vertical moving motor 18, and keeps the cutting edge 2 in the forward direction and the height in the vertical direction until the cutting edge 2 reaches the position of the set cutting depth. Move downward in the direction. Subsequently, when the cutting edge 2 reaches the position of the set cutting depth, the control means 40 drives only the front-rear moving motor 12 to perform the set cutting without displace the cutting edge 2 in the height direction. The cutting operation is performed while the cutting edge 2 is displaced only in the vertical direction to a position of a distance.

尚、工程（Ｄ）においては、縦方向圧力検知器２９及び垂直圧力検知器２５を用いて、切刃２の縦方向圧力及び垂直方向圧力を検知してもよい。このようにすると、切削状況をモニタリングできるため、試料３の硬度等に起因する影響によって、切り込み深さの設定値に対するばらつきが発生しているかどうかを知ることができる。切り込み深さに無視できないばらつきが発生した場合、工程（Ｄ）を中断して、工程（Ｂ）、（Ｃ）を再度行ってもよい。 In the step (D), the vertical pressure detector 29 and the vertical pressure detector 25 may be used to detect the vertical pressure and the vertical pressure of the cutting edge 2. By doing so, since the cutting state can be monitored, it is possible to know whether or not the set value of the cutting depth is varied due to the influence caused by the hardness of the sample 3. If there is a non-negligible variation in the cutting depth, the step (D) may be interrupted and the steps (B) and (C) may be repeated.

次に、制御手段４０が垂直移動モータ１８を駆動して、切刃２を高さ方向における上向きに移動させる工程（Ｅ）を行う。このとき、制御手段４０が垂直移動モータ１８と共に前後移動モータ１２を駆動して、切刃２を高さ方向における上向きに移動させると同時に縦方向における前向きに移動させると、試料３から試験切片を切り離すことができるので、試験切片の回収が容易になる。また、切刃２が試料３の表面の高さまで移動した後は、制御手段４０が垂直移動モータ１８を駆動して、切刃２をさらに上向きに移動させて、切刃２と試料３とを高さ方向に離間させてもよい。 Next, the control means 40 drives the vertical movement motor 18 to move the cutting edge 2 upward in the height direction (E). At this time, when the control means 40 drives the front-rear moving motor 12 together with the vertical moving motor 18 to move the cutting edge 2 upward in the height direction and at the same time forward in the vertical direction, the test section is separated from the sample 3. Since it can be separated, the test section can be easily collected. After the cutting edge 2 has moved to the height of the surface of the sample 3, the control means 40 drives the vertical movement motor 18 to move the cutting edge 2 further upward to move the cutting edge 2 and the sample 3 together. It may be separated in the height direction.

次に、制御手段４０が前後移動モータ１２を駆動して、切刃２が前述の切削開始位置に戻るまで、切刃２を縦方向における後向きに移動させる工程（Ｆ）を行う。ここで、試料切削時間を短縮するために、工程（Ｄ）における切刃２の動作速度（切削動作速度）と比べて、工程（Ｆ）における切刃２の動作速度（戻り移動速度）の方を大きくしてもよい。また、切刃２を前述の切削開始位置まで戻す際に、切削開始位置の直前つまり切刃２の停止位置の直前で戻り移動速度を小さくしてもよい。このようにすると、切刃２を大きい戻り移動速度から切削開始位置で急停止させた場合に生じる切刃２の位置ずれを防止することができる。 Next, the step (F) is performed in which the control means 40 drives the front-rear moving motor 12 to move the cutting edge 2 backward in the vertical direction until the cutting edge 2 returns to the above-mentioned cutting start position. Here, in order to shorten the sample cutting time, the operating speed (returning moving speed) of the cutting blade 2 in the process (F) is higher than the operating speed (cutting operating speed) of the cutting blade 2 in the process (D). May be increased. Further, when returning the cutting edge 2 to the above-mentioned cutting start position, the return moving speed may be reduced immediately before the cutting start position, that is, immediately before the stop position of the cutting edge 2. By doing so, it is possible to prevent the misalignment of the cutting edge 2 that occurs when the cutting edge 2 is suddenly stopped at the cutting start position from a large return moving speed.

次に、制御手段４０が左右移動モータ３１を駆動して、切刃２が次回の切削ライン上に位置するように、試料台４を横方向に移動させる工程（Ｇ）を行う。すなわち、工程（Ｇ）において、試料台４に対して切刃２は、先（前回）の切削ライン上から後（次回）の切削ライン上まで横方向に相対的に移動する。 Next, a step (G) is performed in which the control means 40 drives the left-right movement motor 31 to move the sample table 4 in the lateral direction so that the cutting edge 2 is located on the next cutting line. That is, in the step (G), the cutting edge 2 moves relative to the sample table 4 in the lateral direction from the previous (previous) cutting line to the subsequent (next) cutting line.

本実施形態の試料表面切削方法においては、予め設定した切削回数に達するまで、工程（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）の切削動作が繰り返し自動で実施される。その後、例えば、ピンセット等を使用して、作業者が試料３の上に残る複数の試験切片を回収することにより、試験切片の作製が完了する。試験切片の回収は、自動で行ってもよい。 In the sample surface cutting method of the present embodiment, the cutting operations of steps (D), (E), (F), and (G) are automatically repeated until the preset number of cuttings is reached. Then, for example, using tweezers or the like, the operator collects a plurality of test sections remaining on the sample 3, and the preparation of the test sections is completed. The test section may be collected automatically.

図７、図８は、本実施形態の試料表面切削方法における試料台４に対する切刃２の相対的な移動軌跡の一例を示し、図７は、試料３を上から見た軌跡を示し、図８は、試料３を横から見た軌跡を示す。尚、図７、図８において、図１、図２に示す試料表面切削装置１と同じ構成要素には同じ符号を付す。また、図７、図８において、切刃２の相対的な移動軌跡を矢印（実線又は破線）で示し、各矢印には該当する工程（Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ）を付記する。 7 and 8 show an example of the relative movement locus of the cutting edge 2 with respect to the sample table 4 in the sample surface cutting method of the present embodiment, and FIG. 7 shows a locus of the sample 3 viewed from above. Reference numeral 8 shows a trajectory of the sample 3 as viewed from the side. In FIGS. 7 and 8, the same components as those of the sample surface cutting apparatus 1 shown in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals. Further, in FIGS. 7 and 8, the relative movement locus of the cutting edge 2 is indicated by an arrow (solid line or broken line), and the corresponding steps (D, E, F, G) are added to each arrow.

＜実施形態の効果＞
以上に説明したように、本実施形態の試料表面切削方法によると、試料表面切削装置１の制御手段４０を用いて、「切刃２を、縦方向（切削ラインの延びる方向）における前向き（切削方向）、及び、高さ方向における下向きに相対的に移動させて、試料３の表面を切削する」工程（Ｄ）と、「切刃２を高さ方向における上向きに移動させる」工程（Ｅ）と、「切刃２が先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に移動するように、試料台４を横方向に移動させる」工程（Ｇ）とを行う。このため、試料３の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが横方向に並ぶように自動で切削して試験切片を得ることが可能となる。従って、試料３の表面の切削中に作業者による操作が不要となるので、試料表面切削を簡単に行うことができる。 <Effect of embodiment>
As described above, according to the sample surface cutting method of the present embodiment, the control means 40 of the sample surface cutting device 1 is used to "cut the cutting edge 2 forward (cutting in the direction in which the cutting line extends). Direction) and the step of "cutting the surface of the sample 3 by moving it relatively downward in the height direction" (D) and the step (E) of "moving the cutting edge 2 upward in the height direction". And the step (G) of "moving the sample table 4 in the lateral direction so that the cutting edge 2 moves relatively from the cutting line before to the cutting line after" is performed. Therefore, it is possible to obtain a test section by cutting the surface of the sample 3 in the vertical direction and automatically cutting the front cutting line and the rear cutting line so as to be aligned in the horizontal direction. Therefore, since no operation by an operator is required during cutting of the surface of the sample 3, the surface of the sample can be easily cut.

また、本実施形態の試料表面切削方法において、制御手段４０を用いて、切刃２を縦方向における後向きに相対的に移動させる工程（Ｆ）をさらに含み、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｆ）、工程（Ｇ）の順番に、切削動作を繰り返すと、試料３の表面の切削が常に「縦方向における前向き」という単一の向きで行われる。このため、切削中に切刃２の向きを変更する構成が不必要になるので、コストを抑制できる。また、切刃２の移動動作が単純化されるため、複雑な切刃の移動動作を要する場合と比べて、切削精度を向上させることができる。 Further, in the sample surface cutting method of the present embodiment, the step (F) of moving the cutting edge 2 relatively backward in the vertical direction by using the control means 40 is further included, and the steps (D) and (E) are included. When the cutting operation is repeated in the order of step (F) and step (G), the surface of the sample 3 is always cut in a single direction of "forward in the vertical direction". Therefore, it is not necessary to change the direction of the cutting edge 2 during cutting, so that the cost can be suppressed. Further, since the moving operation of the cutting edge 2 is simplified, the cutting accuracy can be improved as compared with the case where a complicated moving operation of the cutting edge is required.

また、本実施形態の試料表面切削方法において、試料表面切削装置１は、切刃２と試料台４とを相対的に移動させる駆動手段として、切刃２を縦方向に移動させる前後移動モータ１２と、切刃２を高さ方向に移動させる垂直移動モータ１８と、試料台４を横方向に移動させる左右移動モータ３１とを有し、工程（Ｄ）において、切刃２が前向き及び下向きに移動し、工程（Ｅ）において、切刃が上向きに移動し、工程（Ｇ）において、試料台４が横方向に移動すると、切刃２の移動動作が、切削に必要な縦方向及び高さ方向の２軸方向のみに限定される。このため、切刃を３軸方向に移動動作させる場合と比べて、試料表面切削装置１の制御機構を簡素化することができるので、コストを抑制できる。 Further, in the sample surface cutting method of the present embodiment, the sample surface cutting device 1 is a front-rear moving motor 12 that moves the cutting edge 2 in the vertical direction as a driving means for relatively moving the cutting edge 2 and the sample base 4. A vertical moving motor 18 for moving the cutting edge 2 in the height direction and a left-right moving motor 31 for moving the sample base 4 in the lateral direction. In the step (D), the cutting edge 2 is directed forward and downward. When the cutting edge moves upward in the step (E) and the sample table 4 moves in the lateral direction in the step (G), the moving operation of the cutting edge 2 moves in the vertical direction and the height required for cutting. It is limited to the biaxial direction of the direction. Therefore, the control mechanism of the sample surface cutting device 1 can be simplified as compared with the case where the cutting edge is moved in the three axial directions, so that the cost can be suppressed.

また、本実施形態の試料表面切削方法において、試料表面切削装置１が、試料３の表面の傾斜を測定する傾斜測定手段と、試料３の表面の傾斜を調整する傾斜調整手段（具体的には縦方向傾斜調整手段３６及び横方向傾斜調整手段３７）とをさらに備え、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）及び工程（Ｇ）よりも前に、試料３を試料台４に固定する工程（Ａ）と、試料３の表面の傾斜を測定する工程（Ｂ）と、試料３の表面の傾斜を調整する工程（Ｃ）とをさらに含むと、試料３の表面の傾斜を調整した上で自動切削を行うことができるので、切削精度を向上させることができる。 Further, in the sample surface cutting method of the present embodiment, the sample surface cutting device 1 has an inclination measuring means for measuring the inclination of the surface of the sample 3 and an inclination adjusting means for adjusting the inclination of the surface of the sample 3 (specifically, A step (A) of fixing the sample 3 to the sample table 4 prior to the step (D), the step (E) and the step (G), further including the vertical tilt adjusting means 36 and the horizontal tilt adjusting means 37). ), The step of measuring the inclination of the surface of the sample 3 (B), and the step of adjusting the inclination of the surface of the sample 3 (C) are further included, and the automatic cutting is performed after adjusting the inclination of the surface of the sample 3. Therefore, the cutting accuracy can be improved.

以上に説明した本実施形態の試料表面切削方法を用いて試料３の表面を切削した後に、試験切片を回収する工程を含む試験切片の作製方法によると、試験切片作製を自動化することができる。また、この試験切片の作製方法によれば、試料３の表面から一定の厚みの試験切片を多量に回収することが可能となるので、試料３の表面から一定の厚みまでの範囲を対象とする試料分析が容易になる。 According to the test section preparation method including the step of collecting the test section after cutting the surface of the sample 3 using the sample surface cutting method of the present embodiment described above, the test section preparation can be automated. Further, according to this method for preparing a test section, a large amount of a test section having a certain thickness can be recovered from the surface of the sample 3, and therefore, the range from the surface of the sample 3 to a certain thickness is targeted. Sample analysis becomes easier.

本実施形態の試料表面切削装置１によると、本実施形態の試料表面切削方法について説明したように、試料３の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが横方向に並ぶように自動で切削して試験切片を得ることが可能となる。従って、試料３の表面の切削中に作業者の操作が不要となるので、試料表面切削を簡単に行うことができる。 According to the sample surface cutting device 1 of the present embodiment, as described in the sample surface cutting method of the present embodiment, the surface of the sample 3 is cut in the vertical direction, and the front cutting line and the rear cutting line are in the horizontal direction. It is possible to obtain a test section by automatically cutting so as to line up with. Therefore, since no operator's operation is required during cutting of the surface of the sample 3, the surface of the sample can be easily cut.

（変形例１）
図９は、変形例１に係る試料表面切削方法における試料台４に対する切刃２の相対的な移動軌跡を示す図である。尚、図９は、試料３を上から見た軌跡を示し、図７に示す前記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。 (Modification example 1)
FIG. 9 is a diagram showing a relative movement locus of the cutting edge 2 with respect to the sample table 4 in the sample surface cutting method according to the first modification. Note that FIG. 9 shows a trajectory of the sample 3 as viewed from above, and the same components as those in the embodiment shown in FIG. 7 are designated by the same reference numerals.

前記実施形態では、図７に示すように、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｇ）、工程（Ｆ）の順番に切削動作を繰り返したのに対して、本変形例の試料表面切削方法では、図９に示すように、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｇ）、工程（Ｆ）の順番に切削動作を繰り返す。すなわち、前記実施形態では、先の切削ライン上で工程（Ｆ）の戻り移動を行ったが、本変形例では、後の切削ライン上で工程（Ｆ）の戻り移動を行う。 In the above embodiment, as shown in FIG. 7, the cutting operation is repeated in the order of step (D), step (E), step (G), and step (F), whereas the sample surface of this modification is obtained. In the cutting method, as shown in FIG. 9, the cutting operation is repeated in the order of step (D), step (E), step (G), and step (F). That is, in the above-described embodiment, the return movement of the step (F) is performed on the previous cutting line, but in this modification, the return movement of the step (F) is performed on the later cutting line.

以上に説明した本変形例においても、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。 Also in the present modification described above, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained.

（変形例２）
図１０は、変形例２に係る試料表面切削方法における試料台４に対する切刃２の相対的な移動軌跡を示す図である。尚、図１０は、試料３を上から見た軌跡を示し、図７に示す前記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。 (Modification 2)
FIG. 10 is a diagram showing a relative movement locus of the cutting edge 2 with respect to the sample table 4 in the sample surface cutting method according to the modified example 2. Note that FIG. 10 shows a trajectory of the sample 3 as viewed from above, and the same components as those in the embodiment shown in FIG. 7 are designated by the same reference numerals.

本変形例が前記実施形態と異なっている点は、切刃２若しくは試料台４を１８０°回転させる機構を設けるか、又は、切刃２が縦方向における前向き及び後向きの両方で試料３を切削可能に形成されていることである。これにより、図１０に示すように、工程（Ｆ）の戻り移動を行うことなく、切削動作を繰り返すことができる。 The difference between this modification and the above embodiment is that a mechanism for rotating the cutting edge 2 or the sample base 4 by 180 ° is provided, or the cutting edge 2 cuts the sample 3 both forward and backward in the vertical direction. It is possible to form. As a result, as shown in FIG. 10, the cutting operation can be repeated without performing the return movement in the step (F).

以上に説明した本変形例においても、前記実施形態と同様の効果を得ることができるが、試料表面切削装置１の機構や切刃２の構造が複雑化する点で前記実施形態よりもコストが増大する場合がある。 In the present modification described above, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained, but the cost is higher than that of the above-described embodiment in that the mechanism of the sample surface cutting device 1 and the structure of the cutting edge 2 are complicated. May increase.

（変形例３）
図１１は、変形例３に係る試料表面切削方法における試料台４に対する切刃２の相対的な移動軌跡を示す図である。尚、図１１は、試料３を上から見た軌跡を示し、図７に示す前記実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付す。 (Modification example 3)
FIG. 11 is a diagram showing a relative movement locus of the cutting edge 2 with respect to the sample table 4 in the sample surface cutting method according to the modified example 3. Note that FIG. 11 shows a trajectory of the sample 3 as viewed from above, and the same components as those in the embodiment shown in FIG. 7 are designated by the same reference numerals.

本変形例が前記実施形態と異なっている点は、図１１に示すように、「試料台４に対して切刃２を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に移動させる」工程（Ｇ）において、工程（Ｆ）の戻り移動を同時に実施することである。 The difference between this modification and the embodiment is that, as shown in FIG. 11, "the cutting edge 2 is relatively moved from the first cutting line to the later cutting line with respect to the sample table 4." In step (G), the return movement of step (F) is carried out at the same time.

以上に説明した本変形例においても、前記実施形態と同様の効果を得ることができるが、試料台４に対して切刃２を３軸（縦方向、横方向、高さ方向）以外の方向に相対的に移動させるため、前記実施形態と比べて、切削精度が低下する場合がある。 In the present modification described above, the same effect as that of the above-described embodiment can be obtained, but the cutting edge 2 is placed in a direction other than the three axes (vertical direction, horizontal direction, height direction) with respect to the sample table 4. Since it is moved relative to the above-described embodiment, the cutting accuracy may be lowered as compared with the above-described embodiment.

（その他の実施形態）
前記実施形態では、試料表面切削装置１は、切刃２と試料台４とを相対的に移動させる駆動手段として、切刃２を縦方向に移動させる前後移動モータ１２と、切刃２を高さ方向に移動させる垂直移動モータ１８と、試料台４を横方向に移動させる左右移動モータ３１とを有した。しかし、本発明では、切刃２と試料台４とは、少なくとも縦方向、横方向、高さ方向の３軸方向に相対的に移動可能であれば、切刃２及び試料台４のいずれが移動してもよい。 (Other embodiments)
In the above embodiment, the sample surface cutting device 1 raises the front-rear moving motor 12 for moving the cutting edge 2 in the vertical direction and the cutting edge 2 as a driving means for relatively moving the cutting edge 2 and the sample base 4. It had a vertical moving motor 18 for moving in the vertical direction and a left-right moving motor 31 for moving the sample table 4 in the lateral direction. However, in the present invention, if the cutting edge 2 and the sample table 4 can move relatively in at least three axial directions of the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction, either the cutting edge 2 or the sample table 4 can be moved. You may move.

すなわち、本発明に係る試料表面切削方法は、試料表面切削装置によって平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、試料から試験切片を取り出すための試料表面切削方法であって、試料表面切削装置は、切刃と、試料を固定する試料台と、切刃と試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、切刃と試料台とは、縦方向、横方向、及び、高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに相対的に移動させることによって、試料の表面を切削する工程（Ｄ）と、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、高さ方向における上向きに相対的に移動させる工程（Ｅ）と、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に移動させる工程（Ｇ）とを含む。 That is, in the sample surface cutting method according to the present invention, the surface of a flat plate-shaped sample is cut in the vertical direction by the sample surface cutting device, and the front cutting line and the rear cutting line are lined up in the horizontal direction orthogonal to the vertical direction. This is a sample surface cutting method for taking out a test section from a sample by cutting a plurality of times as described above. The sample surface cutting device includes a cutting edge, a sample table for fixing a sample, and a cutting edge and a sample table. It is provided with a driving means for relatively moving and a control means for controlling the driving of the driving means, and the cutting edge and the sample table can be relatively movable in each of the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction. Yes, a step (D) of cutting the surface of a sample by moving the cutting edge relative to the sample table in the vertical direction and downward in the height direction using a control means, and control. The step (E) of moving the cutting edge relative to the sample table upward using the means, and moving the cutting edge to the sample table using the control means from the cutting line. It includes a step (G) of relatively moving it onto a later cutting line.

また、本発明に係る試料表面切削方法において、工程（Ｇ）において、試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで横方向に相対的に移動させ、制御手段を用いて試料台に対して切刃を、縦方向における後向きに相対的に移動させる工程（Ｆ）をさらに含み、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｆ）、工程（Ｇ）の順番に、又は、工程（Ｄ）、工程（Ｅ）、工程（Ｇ）、工程（Ｆ）の順番に、切削動作を繰り返してもよい。 Further, in the sample surface cutting method according to the present invention, in step (G), the cutting edge is moved relative to the sample table in the lateral direction from the upper cutting line to the later cutting line, and the control means. Further includes a step (F) of moving the cutting edge relative to the sample table in the vertical direction using the above, and of the steps (D), step (E), step (F), and step (G). The cutting operation may be repeated in order or in the order of step (D), step (E), step (G), and step (F).

また、本発明に係る試料表面切削装置は、平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、試料から試験切片を取り出すための試料表面切削装置であって、切刃と、試料を固定する試料台と、切刃と試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、切刃と試料台とは、縦方向、横方向、及び、高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、制御手段に、試料台に対して切刃を、縦方向における前向き、及び、高さ方向における下向きに相対的に第１の距離だけ移動させる第１の指令と、試料台に対して切刃を、高さ方向における上向きに相対的に第２の距離だけ移動させる第２の指令と、試料台に対して切刃を、先の切削ライン上から後の切削ライン上まで相対的に第３の距離だけ移動させる第３の指令とがプログラムされる。 Further, the sample surface cutting apparatus according to the present invention cuts the surface of a flat plate-shaped sample in the vertical direction and cuts the surface of the flat plate a plurality of times so that the front cutting line and the rear cutting line are lined up in the horizontal direction orthogonal to the vertical direction. This is a sample surface cutting device for taking out a test section from a sample, and is a cutting edge, a sample table for fixing the sample, a driving means for relatively moving the cutting edge and the sample table, and a driving means. The cutting edge and the sample table can be moved relatively in each of the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction, and the control means can be used with respect to the sample table. The first command to move the cutting edge forward by the vertical direction and the downward direction in the height direction by the first distance, and the cutting edge relative to the sample table upward in the height direction. A second command to move the cutting edge by a second distance, and a third command to move the cutting edge relative to the sample table by a third distance from the previous cutting line to the later cutting line. Is programmed.

以上、実施形態及び変形例を説明したが、特許請求の範囲の趣旨及び範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。また、以上の実施形態及び変形例は、本開示の対象の機能を損なわない限り、適宜組み合わせたり、置換したりしてもよい。さらに、以上に述べた「第１」、「第２」、…という記載は、これらの記載が付与された語句を区別するために用いられており、その語句の数や順序までも限定するものではない。 Although the embodiments and modifications have been described above, it will be understood that various modifications of the forms and details are possible without departing from the purpose and scope of the claims. Further, the above embodiments and modifications may be appropriately combined or replaced as long as the functions of the subject of the present disclosure are not impaired. Furthermore, the above-mentioned descriptions of "first", "second", ... Are used to distinguish the words and phrases to which these descriptions are given, and also limit the number and order of the words and phrases. is not it.

１試料表面切削装置
２切刃
３試料
４試料台
１０本体部
１１切刃支持部
１２駆動手段（前後移動モータ）
１３縦方向ネジ切棒
１４支持台
１５縦方向変位計
１６縦方向摺動部材
１７縦方向案内軸
１８駆動手段（垂直移動モータ）
１９連結部
２０高さ方向ネジ切棒
２１ナット
２２垂直変位計
２３垂直方向案内軸
２４垂直方向摺動部材
２５垂直圧力検知器
２６縦方向圧力検知用摺動部材
２７横方向摺動部材
２８横方向案内軸
２９縦方向圧力検知器
３０本体支持部
３１駆動手段（左右移動モータ）
３２横方向ネジ切棒
３５縦方向圧力検知用案内軸
３６縦方向傾斜調整手段
３７横方向傾斜調整手段
３８縦横方向位置調整部材
４０制御手段
４１入力インタフェース
４２第１出力インタフェース
４３第２出力インタフェース
５０圧子 1 Sample surface cutting device 2 Cutting blade 3 Sample 4 Sample stand 10 Main body 11 Cutting blade support 12 Driving means (forward / backward moving motor)
13 Vertical thread cutting rod 14 Support base 15 Vertical displacement meter 16 Vertical sliding member 17 Vertical guide shaft 18 Driving means (vertical moving motor)
19 Connecting part 20 Height direction thread cutting rod 21 Nut 22 Vertical displacement meter 23 Vertical direction guide shaft 24 Vertical direction sliding member 25 Vertical pressure detector 26 Vertical direction pressure detection sliding member 27 Lateral direction sliding member 28 Lateral direction Guide shaft 29 Vertical pressure detector 30 Main body support 31 Drive means (left-right movement motor)
32 Horizontal threading rod 35 Vertical pressure detection guide shaft 36 Vertical tilt adjusting means 37 Horizontal tilt adjusting means 38 Vertical and horizontal position adjusting member 40 Control means 41 Input interface 42 First output interface 43 Second output interface 50 Indenter

Claims

試料表面切削装置によって平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが前記縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、前記試料から試験切片を取り出すための試料表面切削方法であって、
前記試料表面切削装置は、
切刃と、
前記試料を固定する試料台と、
前記切刃と前記試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、
前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、
前記切刃と前記試料台とは、前記縦方向、前記横方向、及び、前記試料の前記表面に対して垂直な高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記縦方向における前向き、及び、前記高さ方向における下向きに相対的に移動させることによって、前記試料の前記表面を切削する工程（Ｄ）と、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記高さ方向における上向きに相対的に移動させる工程（Ｅ）と、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記先の切削ライン上から前記後の切削ライン上まで相対的に移動させる工程（Ｇ）とを含む、試料表面切削方法。 The sample is cut by a sample surface cutting device in the vertical direction and the front cutting line and the rear cutting line are cut a plurality of times so as to be aligned in the horizontal direction orthogonal to the vertical direction. A sample surface cutting method for extracting test sections from
The sample surface cutting device is
With a cutting edge
A sample table for fixing the sample and
A driving means for relatively moving the cutting edge and the sample table, and
A control means for controlling the drive of the drive means is provided.
The cutting edge and the sample table can move relatively in each of the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction perpendicular to the surface of the sample.
A step of cutting the surface of the sample by using the control means to move the cutting edge relative to the sample table in the forward direction in the vertical direction and downward in the height direction. D) and
The step (E) of moving the cutting edge upward relative to the sample table using the control means, and the step (E) of moving the cutting edge upward in the height direction.
A method for cutting a sample surface, which comprises a step (G) of moving the cutting edge relative to the sample table using the control means from the cutting line at the tip to the cutting line after the cutting line.

前記工程（Ｇ）において、前記試料台に対して前記切刃を、前記先の切削ライン上から前記後の切削ライン上まで前記横方向に相対的に移動させ、
前記制御手段を用いて前記試料台に対して前記切刃を、前記縦方向における後向きに相対的に移動させる工程（Ｆ）をさらに含み、
前記工程（Ｄ）、前記工程（Ｅ）、前記工程（Ｆ）、前記工程（Ｇ）の順番に、又は、前記工程（Ｄ）、前記工程（Ｅ）、前記工程（Ｇ）、前記工程（Ｆ）の順番に、切削動作を繰り返す、請求項１に記載の試料表面切削方法。 In the step (G), the cutting edge is relatively moved in the lateral direction from the cutting line ahead to the cutting line after the sample table.
The step (F) of moving the cutting edge relative to the sample table in the vertical direction by using the control means is further included.
The step (D), the step (E), the step (F), the step (G) in this order, or the step (D), the step (E), the step (G), the step ( The sample surface cutting method according to claim 1, wherein the cutting operation is repeated in the order of F).

前記駆動手段は、前記切刃を前記縦方向に移動させる第１駆動手段と、前記切刃を前記高さ方向に移動させる第２駆動手段と、前記試料台を前記横方向に移動させる第３駆動手段とを有し、
前記工程（Ｄ）において、前記切刃が前記前向き及び前記下向きに移動し、
前記工程（Ｅ）において、前記切刃が前記上向きに移動し、
前記工程（Ｇ）において、前記試料台が前記横方向に移動する、請求項１又は２に記載の試料表面切削方法。 The driving means includes a first driving means for moving the cutting edge in the vertical direction, a second driving means for moving the cutting edge in the height direction, and a third driving means for moving the sample table in the horizontal direction. Has a drive means and
In the step (D), the cutting edge moves forward and downward, and the cutting edge moves forward and downward.
In the step (E), the cutting edge moves upward, and the cutting edge moves upward.
The sample surface cutting method according to claim 1 or 2, wherein in the step (G), the sample table moves in the lateral direction.

前記試料表面切削装置は、
前記試料の前記表面の傾斜を測定する傾斜測定手段と、
前記試料の前記表面の傾斜を調整する傾斜調整手段とをさらに備え、
前記工程（Ｄ）、前記工程（Ｅ）及び前記工程（Ｇ）よりも前に、
前記試料を前記試料台に固定する工程（Ａ）と、
前記試料の前記表面の傾斜を測定する工程（Ｂ）と、
前記試料の前記表面の傾斜を調整する工程（Ｃ）とをさらに含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の試料表面切削方法。 The sample surface cutting device is
An inclination measuring means for measuring the inclination of the surface of the sample, and
Further provided with an inclination adjusting means for adjusting the inclination of the surface of the sample,
Prior to the step (D), the step (E) and the step (G),
The step (A) of fixing the sample to the sample table and
The step (B) of measuring the inclination of the surface of the sample and
The sample surface cutting method according to any one of claims 1 to 3, further comprising a step (C) of adjusting the inclination of the surface of the sample.

請求項１〜４のいずれか１項に記載の試料表面切削方法を用いて、前記試料の前記表面を切削した後に、前記試験切片を回収する工程を含む、試験切片の作製方法。 A method for producing a test section, which comprises a step of collecting the test section after cutting the surface of the sample using the sample surface cutting method according to any one of claims 1 to 4.

平板状の試料の表面を縦方向に切削すると共に先の切削ラインと後の切削ラインとが前記縦方向と直交する横方向に並ぶように複数回切削することにより、前記試料から試験切片を取り出すための試料表面切削装置であって、
切刃と、
前記試料を固定する試料台と、
前記切刃と前記試料台とを相対的に移動させる駆動手段と、
前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備え、
前記切刃と前記試料台とは、前記縦方向、前記横方向、及び、前記試料の前記表面に対して垂直な高さ方向のそれぞれに相対的に移動可能であり、
前記制御手段に、
前記試料台に対して前記切刃を、前記縦方向における前向き、及び、前記高さ方向における下向きに相対的に第１の距離だけ移動させる第１の指令と、
前記試料台に対して前記切刃を、前記高さ方向における上向きに相対的に第２の距離だけ移動させる第２の指令と、
前記試料台に対して前記切刃を、前記先の切削ライン上から前記後の切削ライン上まで相対的に第３の距離だけ移動させる第３の指令と
がプログラムされる、試料表面切削装置。 A test section is taken out from the sample by cutting the surface of the flat sample in the vertical direction and cutting the first cutting line and the subsequent cutting line a plurality of times so as to be aligned in the horizontal direction orthogonal to the vertical direction. It is a sample surface cutting device for
With a cutting edge
A sample table for fixing the sample and
A driving means for relatively moving the cutting edge and the sample table, and
A control means for controlling the drive of the drive means is provided.
The cutting edge and the sample table can move relatively in each of the vertical direction, the horizontal direction, and the height direction perpendicular to the surface of the sample.
To the control means
A first command to move the cutting edge with respect to the sample table by a first distance relative to the forward direction in the vertical direction and the downward direction in the height direction.
A second command to move the cutting edge upward by a second distance relative to the sample table in the height direction,
A sample surface cutting apparatus in which a third command is programmed to move the cutting edge relative to the sample table by a third distance from the cutting line ahead to the cutting line after the cutting line.