JP2021032823A - 液滴量計測装置 - Google Patents
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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- G—PHYSICS
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Abstract
【課題】液滴吐出ノズルから吐出された飛翔中の液滴を高倍率・高解像度で撮像できる液滴量計測装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ノズルNから吐出された液滴Qを撮像し液滴の体積を測定する液滴量計測装置1であって、液滴吐出ノズルを所定の姿勢で保持する液滴ノズル姿勢保持部2と、液滴吐出ノズルの吐出口の側方に設けられた反射面Rに向けて所定の傾斜角度で照明光Lを照射させ、反射面で反射した照明光が液滴の飛翔する経路を横切るように傾斜角度が設定されている照明光照射部3と、液滴の飛翔する経路を横切った照明光を撮像素子43で受光して液滴の横断面形状を撮像する撮像カメラ4と、撮像カメラで撮像された液滴の横断面形状から液滴の体積を算出する体積算出部5を備え、撮像カメラは撮像素子と液滴の飛翔する経路とがシャインプルーフ配置またはシフト配置に設定された結像レンズ41を備えている。【選択図】図1
Description
本発明は、インクジェット方式により基板等に液滴塗布を行う塗布装置に用いられる液滴吐出ノズルから吐出された液滴の体積を測定する液滴量計測装置に関する。
カラー液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、色形成の中核を成す部材としてカラーフィルタが用いられている。カラーフィルタは、ガラス基板上に微細なR(赤色)、G(緑色)、B(青色)の3色の画素が多数並べられて形成されている。
このカラーフィルタを製造する装置として、R、G、Bの各インク(以下、液滴と言う)を吐出するノズル(以下、液滴吐出ノズルと言う)を有する吐出ユニット(いわゆる、インクジェットヘッド)の各ノズルからガラス基板上に形成された多数の微細な画素部に向けて液滴を吐出(つまり、塗布)して、R、G、Bの色画素を形成するインクジェット方式の塗布装置が近年用いられるようになってきている。
吐出ユニットには各色用の液滴吐出ノズルが多数配列されており、これらの液滴吐出ノズルから複数の画素部へ同時にインクを吐出することにより複数の色画素を同時に形成することができるが、これらノズルからインクが正常に吐出されていなかったり、ノズル近傍に異物が存在したりすると、色抜けや混色のある不良のカラーフィルタとなってしまう。そこで、各液滴吐出ノズルから吐出される液滴の体積(いわゆる、液滴量)を予め計測し、液滴量を高精度にコントロールしたいという要望がある。
具体的には、吐出中の液滴をストロボ撮影して吐出量を計測する技術が提案されている(例えば、特許文献1)。
液滴吐出ノズルから吐出された液滴の体積(いわゆる、ワンショットの液滴量)等を高精度で測定しようとすると、飛翔中の液滴を高倍率・高解像度で撮像する必要がある。そのために、撮像カメラのレンズやフィルタ、照明光を照射するユニット等を大型化させることとなる。
しかし、撮像カメラのレンズ等を大型化しようとすると、吐出ユニットと接近しすぎて干渉が生じる。つまり、所望の精度を得るために大型化ができず、液滴を高精度で測定できないという課題があった。そして、この課題は、吐出ユニットを複数備えている場合に、検査対象でない他の吐出ユニットとの干渉が顕著となるため、液滴の高倍率・高解像度で撮像がより困難であった。
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、液滴吐出ノズルから吐出された飛翔中の液滴を高倍率・高解像度で撮像することができる液滴量計測装置を提供することを目的としている。
以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
液滴吐出ノズルから吐出された液滴を撮像し、当該液滴の体積を測定する液滴量計測装置であって、
液滴吐出ノズルを所定の姿勢で保持する液滴ノズル姿勢保持部と、
液滴吐出ノズルの吐出口の側方に設けられた反射面に向けて、所定の傾斜角度で照明光を照射させ、当該反射面で反射した照明光が液滴の飛翔する経路を横切るように傾斜角度が設定されている照明光照射部と、
液滴の飛翔する経路を横切った照明光を撮像素子で受光しつつ当該液滴の横断面形状を撮像する撮像カメラと、
撮像カメラで撮像された液滴の横断面形状から、当該液滴の体積を算出する体積算出部を備え、
撮像カメラは、撮像素子と液滴の飛翔する経路とがシャインプルーフ配置またはシフト配置に設定された結像レンズを備えている。
液滴吐出ノズルから吐出された液滴を撮像し、当該液滴の体積を測定する液滴量計測装置であって、
液滴吐出ノズルを所定の姿勢で保持する液滴ノズル姿勢保持部と、
液滴吐出ノズルの吐出口の側方に設けられた反射面に向けて、所定の傾斜角度で照明光を照射させ、当該反射面で反射した照明光が液滴の飛翔する経路を横切るように傾斜角度が設定されている照明光照射部と、
液滴の飛翔する経路を横切った照明光を撮像素子で受光しつつ当該液滴の横断面形状を撮像する撮像カメラと、
撮像カメラで撮像された液滴の横断面形状から、当該液滴の体積を算出する体積算出部を備え、
撮像カメラは、撮像素子と液滴の飛翔する経路とがシャインプルーフ配置またはシフト配置に設定された結像レンズを備えている。
上記の液滴量計測装置によれば、撮像カメラのレンズ等及び/又は照明光照射部の光軸が、液滴吐出ノズルに対して斜め配置されているため、当該液滴吐出ユニットとの干渉を避けることができる。
撮像カメラのレンズ等及び/又は照明光照射部を大型化させることが容易となり、液滴吐出ノズルから吐出された飛翔中の液滴を高倍率・高解像度で撮像することができる。
以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の3軸をX、Y、Zとし、水平方向をX方向、Y方向と表現し、XY平面に垂直な方向(つまり、重力方向)をZ方向と表現する。また、Z方向は、重力に逆らう方向を上、重力がはたらく方向を下と表現する。
図1は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図1には、本発明に係る液滴量計測装置1の概略図が示されている。
液滴量計測装置1は、吐出ユニットJに備えられた液滴吐出ノズルNの状態を検査するものである。具体的には、液滴量計測装置1は、検査対象とする液滴吐出ノズルNから吐出された塗布液の液滴(以下、単に「液滴」と言う)Qを撮像し、当該液滴吐出ノズルの状態を検査する。より具体的には、液滴量計測装置1は、液滴ノズル姿勢保持部2、照明光照射部3、撮像カメラ4、体積算出部5、液滴回収部6、制御部CN等を備えている。
図2は、本発明による検査対象とする液滴吐出ノズルの一例を示す斜視図である。図2には、検査対象とする液滴吐出ノズルNが備えられた吐出ユニットJを下方から斜め上方に見上げた様子が示されている。
吐出ユニットJは、基板や検査面等3に向けて複数の液滴Qを逐次吐出するものである。具体的には、吐出ユニットJは、液滴Qを吐出する複数の液滴吐出ノズルNを有しており、任意の液滴吐出ノズルNから液滴Qを下方に吐出させる構成をしている。より具体的には、吐出ユニットJには、吐液タンクTから塗布液が供給される。また、吐液タンクTには、圧力調節機構(レギュレータ等)が備えられ、内部を所定の圧力(正圧〜負圧)に維持することができる構成をしている。
なお、図2では具体例として、Y方向に一列のみ複数の液滴吐出ノズルNが並んだ構成を示しているが、より具体的には、吐出ユニットJは、赤色の液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズル(以下、赤色用の液滴吐出ノズル群と言う)と、緑色の液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズル(以下、緑色用の液滴吐出ノズル群と言う)と、青色の液滴を吐出する複数の液滴吐出ノズル(以下、青色用の液滴吐出ノズル群と言う)とを有し、各色用の液滴吐出ノズル群を複数列備えた構成の場合もある。
なお、各液滴吐出ノズルNは、吐出ユニットJの本体内部に備えられた液滴吐出機構(図示せず)と個別に接続されている。具体的には、液滴吐出機構はピエゾバルブなどの体積変化により液滴Qを吐出させるものが例示できる。そして、各液滴吐出機構は、制御部CNからの制御信号に基づいて、各液滴吐出ノズルから液滴Qを吐出させる/吐出させないの制御ができる構成をしている。
そして、吐出ユニットJは、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rが設けられている。この反射面Rは、下述する照明光Lを反射させるものであり、平坦で所定の面積を有している。具体的には、反射面Rとして、吐出ユニットJの下面に露出しているガラス基板や鏡面部分、ミラーや反射シール等を貼り付けたもの等が例示できる。
液滴ノズル姿勢保持部2は、液滴吐出ノズルNを所定の姿勢で保持するものである。
具体的には、液滴吐出ノズルNから吐出される液滴Qが後述する撮像カメラ4で撮像できる姿勢となるよう、吐出ユニットJの筐体の一部(例えば、下面側の端部)をL字型の固定用金具21等で支持しつつ挟持する構成をしている。
具体的には、液滴吐出ノズルNから吐出される液滴Qが後述する撮像カメラ4で撮像できる姿勢となるよう、吐出ユニットJの筐体の一部(例えば、下面側の端部)をL字型の固定用金具21等で支持しつつ挟持する構成をしている。
照明光照射部3は、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に設けられた反射面Rに向けて、所定の傾斜角度で照明光Lを照射させるものである。なお、反射面Rで反射した照明光Lが、液滴吐出ノズルNから吐出された液滴Qの飛翔する経路を横切るように傾斜角度が設定されている。
具体的には、照明光照射部3は、発光部31と電源部32を備えたストロボ照明が例示でき、制御部CNから出力された制御信号(いわゆる、トリガ信号)を入力して、発光部31から閃光を発する。
具体的には、照明光照射部3は、発光部31と電源部32を備えたストロボ照明が例示でき、制御部CNから出力された制御信号(いわゆる、トリガ信号)を入力して、発光部31から閃光を発する。
撮像カメラ4は、液滴Qの飛翔する経路を横切った照明光Lを撮像素子43で受光しつつ当該液滴Qの横断面形状を撮像するものである。
具体的には、撮像カメラ4は、カメラ本体40、結像レンズ41等を備えている。
具体的には、撮像カメラ4は、カメラ本体40、結像レンズ41等を備えている。
カメラ本体40は、撮像エリアFの像を取得するものである。具体的には、カメラ本体40は、制御部CNから出力された制御信号(いわゆる、トリガ信号)を入力して、撮像エリアFの像を取り込み、画像信号や画像データとして検査部へ出力する。より具体的には、カメラ本体40は、CMOSやCCD等の撮像素子43を備えたものが例示できる。
結像レンズ41は、撮像エリアFの像をカメラ本体40の撮像素子43に結像させるものである。なお、レンズ倍率は、液滴吐出ノズルNから吐出された飛翔中の液滴Qが、撮像エリアF内に収まるように、設定しておく。さらに、結像レンズ41は、撮像素子43と液滴Qの飛翔する経路とがシャインプルーフ配置に設定されている。つまり、液滴吐出ノズルNから液滴Qが下方に吐出する構成であれば、撮像カメラ4は、斜め下方から斜め上方を見上げて液滴Qを撮像するような配置をしている。
体積算出部5は、撮像カメラ4で撮像された液滴Qの横断面形状から、当該液滴Qの体積Vを算出するものである。
具体的には、体積算出部5は、液滴Qと背景との輪郭を抽出し、当該輪郭で囲まれた領域の画素をカウントし、1画素当たりの面積から当該液滴Qの断面積を算出し、当該液滴Qが当該断面積を有する回転体であるとみなして、当該液滴Qの体積V(つまり、液滴量)を算出する構成をしている。
より具体的には、体積算出部5は、画像処理機能を有するコンピュータ(ハードウェア)とその実行プログラム(ソフトウェア)を備え、上述の処理や演算(輪郭抽出や画素カウント、断面積や体積の算出)を行う構成をしている。
具体的には、体積算出部5は、液滴Qと背景との輪郭を抽出し、当該輪郭で囲まれた領域の画素をカウントし、1画素当たりの面積から当該液滴Qの断面積を算出し、当該液滴Qが当該断面積を有する回転体であるとみなして、当該液滴Qの体積V(つまり、液滴量)を算出する構成をしている。
より具体的には、体積算出部5は、画像処理機能を有するコンピュータ(ハードウェア)とその実行プログラム(ソフトウェア)を備え、上述の処理や演算(輪郭抽出や画素カウント、断面積や体積の算出)を行う構成をしている。
液滴回収部6は、吐出ユニットJのノズルNから吐出された液滴Qを回収するものである。具体的には、液滴回収部6は、撮像カメラ4の撮像エリアFの外であって、液滴吐出ノズルNから吐出される液滴Qの飛翔方向の延長線上(つまり、飛翔先)に配置されている。より具体的には、液滴回収部6は、導管61、負圧吸引手段63を備えている。
導管61は、吐出された液滴Qを導くものである。具体的には、導管61は、液滴Qがが飛散したり、飛翔方向から逸脱したりするのを防ぎつつ、撮像カメラ4の撮像エリアFを通過した液滴Qを所定の場所や方向へ導くものである。そして、導管61は、液滴吐出ノズルNと対向する位置で、液滴吐出ノズルNから吐出される液滴Qの飛翔方向の延長線上(つまり、飛翔先)に配置されている。より具体的には、導管61は、円形ないし角形等の断面を有する筒状の部材で構成されており、管内の空気が外気に漏れるのを制限しつつ、液滴Qを一方の開口部(入口)から管内に導き、導いた液滴Qを他方の開口部(出口)から外部に排出する構成をしている。そして、液滴Qが液滴吐出ノズルNから下方に向けて吐出される構成であれば、導管61は、液滴吐出ノズルNの下方に配置されている。
負圧吸引手段63は、導管61内を外気よりも負圧にするものである。具体的には、負圧吸引手段63は、液滴Qやその成分(インク材料、溶剤等)が逆流しないように、導管61内の一方の開口部(入口)から他方の開口部(出口)にかけて、エアの流れを生じさせるものである。より具体的には、負圧吸引手段63は、排気ブロワやエジェクタ等が例示できる。
制御部CNは、液滴吐出ノズルN、照明光照射部3、撮像カメラ4等に対して制御信号やデータ等を出力し、各部を制御するものである。
具体的には、制御部CNは、以下の機能を備えている。
1)吐出ユニットJに制御信号(いわゆる、駆動信号)を出力し、検査対象とする液滴吐出ノズルNから液滴Qを吐出させる。
2)照明光照射部3の電源部32に制御信号(いわゆる、トリガ信号)を出力し、発光部31から閃光を発光させる。
3)撮像カメラ4のカメラ本体40に制御信号(いわゆる、トリガ信号)を出力し、撮像エリアFを撮像した画像を取得させる。
1)吐出ユニットJに制御信号(いわゆる、駆動信号)を出力し、検査対象とする液滴吐出ノズルNから液滴Qを吐出させる。
2)照明光照射部3の電源部32に制御信号(いわゆる、トリガ信号)を出力し、発光部31から閃光を発光させる。
3)撮像カメラ4のカメラ本体40に制御信号(いわゆる、トリガ信号)を出力し、撮像エリアFを撮像した画像を取得させる。
より具体的には、制御部CNは、コンピュータ、プログラマブルロジックコントローラ、制御用コントローラなど(ハードウェア)と、その実行プログラム(ソフトウェア)で構成されており、信号入出力手段やデータ通信手段などを介して各部を制御することができる。なお、制御部CNから塗布ノズルN、照明光照射部3、撮像カメラ4に出力する制御信号は、吐出した液滴Qが撮像エリアFに収まるタイミングとなるよう、それぞれ適宜ディレイ時間を設定する。
この様な構成をしているため、本発明に係る液滴量計測装置1は、撮像カメラ4のレンズ41等及び/又は照明光照射部3と、吐出ユニットJとの干渉を避けることができ、撮像カメラ4のレンズ41等及び/又は照明光照射部3を大型化させることができる。そのため、液滴吐出ノズルNから吐出された飛翔中の液滴Qを高倍率・高解像度で撮像することができる。
[変形例]
なお上述では、本発明に係る液滴量計測装置1として、撮像カメラ4は、撮像素子43と液滴Qの飛翔する経路とがシャインプルーフ配置に設定された結像レンズ41を備えた構成を例示した。
なお上述では、本発明に係る液滴量計測装置1として、撮像カメラ4は、撮像素子43と液滴Qの飛翔する経路とがシャインプルーフ配置に設定された結像レンズ41を備えた構成を例示した。
しかし、本発明を具現化する上で、上述の様な構成の液滴量計測装置1に限らず、異なる構成の撮像カメラ4Bを備えた液滴量計測装置1Bであっても良い。
図3は、本発明を具現化する形態の別の一例の全体構成を示す概略図である。図3には、本発明に係る液滴量計測装置1Bの概略図が示されている。
撮像カメラ4Bは、撮像素子43と液滴Qの飛翔する経路とがシフト配置に設定された結像レンズ42を備えた構成をしている。
この様な構成をしているため、本発明に係る液滴量計測装置1Bは、撮像カメラ4のレンズ42等及び/又は照明光照射部3と、吐出ユニットJとの干渉を避けることができ、撮像カメラ4のレンズ42等及び/又は照明光照射部3を大型化させることができる。そのため、液滴吐出ノズルNから吐出された飛翔中の液滴Qを高倍率・高解像度で撮像することができる。
[別の形態]
なお上述では、本発明に係る液滴量計測装置1,1Bのノズル姿勢保持部2で保持する
吐出ユニットJが、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rを設けている構成を例示した。しかし、本発明を具現化する上で、反射面Rが吐出ユニットJに設けられた構成に限らず、吐出ユニットJを保持するノズル姿勢保持部2の下面や、装置フレーム等に連結された部材等を介して、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rを設けた構成であっても良い。
なお上述では、本発明に係る液滴量計測装置1,1Bのノズル姿勢保持部2で保持する
吐出ユニットJが、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rを設けている構成を例示した。しかし、本発明を具現化する上で、反射面Rが吐出ユニットJに設けられた構成に限らず、吐出ユニットJを保持するノズル姿勢保持部2の下面や、装置フレーム等に連結された部材等を介して、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rを設けた構成であっても良い。
図4は、本発明を具現化する別の形態の一例の全体構成を示す概略図である。図4には、本発明に係る液滴量計測装置1Cの概略図が示されている。
液滴量計測装置1Cは、上述の液滴量計測装置1Bと概ね同様の構成をしているが、相違点に着目して詳細な説明を行う。
液滴ノズル姿勢保持部2は、液滴吐出ノズルNを所定の姿勢で保持するものであり、液滴吐出ノズルNを備える吐出ユニットJ2の筐体の一部(例えば、下面側の側方端部)をL字型の固定用金具22,23等で支持しつつ挟持する構成をしている。さらに、固定用金具23には、反射面Rが取り付けられており、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rが配置されている。つまり、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に反射面Rが設けられている。
照明光照射部3は、液滴吐出ノズルNの吐出口の側方に設けられた反射面Rに向けて、所定の傾斜角度で照明光Lを照射させるものであり、反射面Rで反射した照明光Lが、液滴吐出ノズルNから吐出された液滴Qの飛翔する経路を横切るように傾斜角度が設定されている。
撮像カメラ4Bは、液滴Qの飛翔する経路を横切った照明光Lを撮像素子43で受光しつつ当該液滴Qの横断面形状を撮像するものであり、液滴吐出ノズルNから液滴Qが下方に吐出する構成であれば、撮像カメラ4Bは、斜め下方から斜め上方を見上げて液滴Qを撮像するような配置をしている。
この様な構成をしているため、本発明に係る液滴量計測装置1Cは、撮像カメラ4のレンズ42等及び/又は照明光照射部3と、吐出ユニットJとの干渉を避けることができ、撮像カメラ4のレンズ42等及び/又は照明光照射部3を大型化させることができる。そのため、液滴吐出ノズルNから吐出された飛翔中の液滴Qを高倍率・高解像度で撮像することができる。
なお上述では、撮像カメラ4Bは、撮像素子43と液滴Qの飛翔する経路とがシフト配置に設定された結像レンズ42を備えた構成を例示しているが、図1を示して例示した液滴量計測装置1の撮像カメラ4のように、撮像素子43と液滴Qの飛翔する経路とがシャインプルーフ配置に設定された結像レンズ41を備えた構成であっても良い。そうすることで、液滴吐出ノズルNから吐出された飛翔中の液滴Qを高倍率・高解像度で撮像することができる。
[液滴回収部について]
なお上述では、本発明に係る液滴量計測装置1,1B,1Cとして液滴回収部6を備え、液滴Qを負圧にて吸引する構成を例示した。本発明を具現化する上で、この液滴回収部6は必須の構成では無いが、この様な構成の液滴回収部6を備えていれば、液滴Qを導く導管60の内部が外気よりも負圧に設定されているため、吐出された液滴Qやその成分が飛散して、発光部31や結像レンズ41,42等に付着することを防止できる。
なお上述では、本発明に係る液滴量計測装置1,1B,1Cとして液滴回収部6を備え、液滴Qを負圧にて吸引する構成を例示した。本発明を具現化する上で、この液滴回収部6は必須の構成では無いが、この様な構成の液滴回収部6を備えていれば、液滴Qを導く導管60の内部が外気よりも負圧に設定されているため、吐出された液滴Qやその成分が飛散して、発光部31や結像レンズ41,42等に付着することを防止できる。
また、液滴回収部6を備える構成の場合、上述の様な負圧吸引方式に限らず、下述のような液滴吸収手段を備えた構成であっても良い。
具体的には、液滴吸収手段は、例えば不織布、吸水性ポリマー、多孔質、スポンジ材料などで構成され、吐出された液滴Qの飛翔先に配置されている。そして、この液滴吸収手段66は、所定量の液滴Qを吸収させた後に取り外し、新品(つまり、液滴が未吸収のもの)と交換する構成とする。この様な構成の液滴吸収手段を備えていれば、吐出された液滴Qが飛散することを防ぎ、発光部31や結像レンズ41,42に液滴Qやミスト等が付着することを防止できる。
1 液滴量計測装置
1B 液滴量計測装置
1C 液滴量計測装置
2 ノズル姿勢保持部
3 照明光照射部
4 撮像カメラ
4B 撮像カメラ
5 体積算出部
6 液滴回収部
21,22,23 固定用金具
31 発光部
32 電源部
40 カメラ本体
41 結像レンズ(シャインプルーフ配置)
42 結像レンズ(シフト配置)
43 撮像素子
61 導管
63 負圧吸引手段
J,J2 吐出ユニット
R 反射面
N 液滴吐出ノズル
Q 液滴
L 照明光
F 撮像エリア
CN 制御部
1B 液滴量計測装置
1C 液滴量計測装置
2 ノズル姿勢保持部
3 照明光照射部
4 撮像カメラ
4B 撮像カメラ
5 体積算出部
6 液滴回収部
21,22,23 固定用金具
31 発光部
32 電源部
40 カメラ本体
41 結像レンズ(シャインプルーフ配置)
42 結像レンズ(シフト配置)
43 撮像素子
61 導管
63 負圧吸引手段
J,J2 吐出ユニット
R 反射面
N 液滴吐出ノズル
Q 液滴
L 照明光
F 撮像エリア
CN 制御部
Claims (2)
- 液滴吐出ノズルから吐出された液滴を撮像し、当該液滴の体積を測定する液滴量計測装置であって、
前記液滴吐出ノズルを所定の姿勢で保持するノズル姿勢保持部と、
前記液滴吐出ノズルの吐出口の側方に設けられた反射面に向けて、所定の傾斜角度で照明光を照射させ、当該反射面で反射した照明光が前記液滴の飛翔する経路を横切るように前記傾斜角度が設定されている照明光照射部と、
前記液滴の飛翔する経路を横切った照明光を撮像素子で受光しつつ当該液滴の横断面形状を撮像する撮像カメラと、
前記撮像カメラで撮像された前記液滴の横断面形状から、当該液滴の体積を算出する体積算出部を備え、
前記撮像カメラは、前記撮像素子と前記液滴の飛翔する経路とがシャインプルーフ配置に設定された結像レンズを備えた
ことを特徴とする、液滴量計測装置。 - 液滴吐出ノズルから吐出された液滴を撮像し、当該液滴の体積を測定する液滴量計測装置であって、
前記液滴吐出ノズルを所定の姿勢で保持するノズル姿勢保持部と、
前記液滴吐出ノズルの吐出口の側方に設けられた反射面に向けて、所定の傾斜角度で照明光を照射させ、当該反射面で反射した照明光が前記液滴の飛翔する経路を横切るように前記傾斜角度が設定されている照明光照射部と、
前記液滴の飛翔する経路を横切った照明光を撮像素子で受光しつつ当該液滴の横断面形状を撮像する撮像カメラと、
前記撮像カメラで撮像された前記液滴の横断面形状から、当該液滴の体積を算出する体積算出部を備え、
前記撮像カメラは、前記撮像素子と前記液滴の飛翔する経路とがシフト配置に設定された結像レンズを備えた
ことを特徴とする、液滴量計測装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019155997A JP2021032823A (ja) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | 液滴量計測装置 |
PCT/JP2020/027839 WO2021039183A1 (ja) | 2019-08-28 | 2020-07-17 | 液滴量計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019155997A JP2021032823A (ja) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | 液滴量計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021032823A true JP2021032823A (ja) | 2021-03-01 |
Family
ID=74678536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019155997A Pending JP2021032823A (ja) | 2019-08-28 | 2019-08-28 | 液滴量計測装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021032823A (ja) |
WO (1) | WO2021039183A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN118067358A (zh) * | 2024-04-17 | 2024-05-24 | 北京理工大学长三角研究院(嘉兴) | 液滴倾斜撞击旋转壁面中微米级非对称气膜的测量装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3678890B2 (ja) * | 1997-08-05 | 2005-08-03 | 株式会社リコー | 液滴の噴射速度測定システム |
JP3339024B2 (ja) * | 2000-01-07 | 2002-10-28 | 学校法人 慶應義塾 | 微小気泡及び微小液滴の径及び分布の測定方法及び微小気泡及び微小液滴の径及び分布の測定光学系 |
DK200801722A (en) * | 2008-12-05 | 2010-06-06 | Unisensor As | Optical sectioning of a sample and detection of particles in a sample |
JP6482056B2 (ja) * | 2014-08-26 | 2019-03-13 | セイコーインスツル株式会社 | 油滴吐出器検査装置、油滴供給装置、及び油滴吐出器検査方法 |
-
2019
- 2019-08-28 JP JP2019155997A patent/JP2021032823A/ja active Pending
-
2020
- 2020-07-17 WO PCT/JP2020/027839 patent/WO2021039183A1/ja active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN118067358A (zh) * | 2024-04-17 | 2024-05-24 | 北京理工大学长三角研究院(嘉兴) | 液滴倾斜撞击旋转壁面中微米级非对称气膜的测量装置 |
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WO2021039183A1 (ja) | 2021-03-04 |
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